RS-232C | イプロスものづくり

スポット溶接の品質を決定する条件の1つである電極加圧力の測定することで…

溶接電流の変化を最適化することにより改善が可能 • センサは溶接加圧力モニタ型式5825A2 (携帯用ハンドヘルド) とコントロールモニタ CoMo II 型式 5857Bに接続可能 • RS-232Cインタフェースにより文書化が可能 • 頑丈で過負荷に耐える部品形状...

メーカー・取り扱い企業：日本キスラー合同会社本社

300mm対応光学式アライナ　SAL30C1シリーズ

ベルヌーイ方式によりウェーハのダメージを最小限に抑えたアライメント可能

300mm対応光学式アライナ　SAL30C1シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応します。シリコンウェーハのセンタリングとノッチを高速、高精度に位置決めし、薄物ウェーハのアライメントを実現します。薄物、反り、フィルム貼りに対応しますが、ワーク検出可否、位置決め精度につきましてはお問い合せ下さい。ベルヌーイ方式によりウェーハのダメージを最小限に抑えたアライ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

光学式アライナ　SAL4381シリーズ

ウェーハ(シリコン、GaAs、ガラス)の位置決めを必要とする搬送に対応

光学式アライナ　SAL4381シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ(シリコン、GaAs、ガラス)の位置決めを必要とする搬送に対応しております。シリコンウェーハのセンタリングとオリフラを高速、高精度に位置決めします。スピンドル側に0.1μmのフィルタを装備しています。制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/Oです。オプションでGaAsウェーハやガラスにも対応が可能です。詳しくは...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

光学式アライナ　SAL4484シリーズ

制御方式は、RS232C及びパラレルフォトI/Oです。

100mm～200mm対応光学式アライナ　SAL4484シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応しております。シリコンウェーハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決めします。制御方式は、RS232C及びパラレルフォトI/Oです。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【仕様】 ○被搬送物　SEMI規格　100～20...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

軽量モバイル型操作端末『KeTop T20』

指先で自在にコントロール！高機能・コンパクトなモバイル型操作端末

『KeTop T20』は、高パフォーマンスとオペレーションの自由度を両立させた片手操作可能なモバイル端末です。軽量でコンパクト、人間工学に基づいたデザインは快適で疲れにくい操作が可能で、左右どちらの手でも同じように長時間操作を行うことが出来ます。コストパフォーマンスに優れた『KeTop T20 eco』とLCDキーボードを搭載した高い柔軟性を持つ『KeTop T20 techno』の2つの...

メーカー・取り扱い企業：ＫＥＢＡ　ＪＡＰＡＮ株式会社

教育用ロボットシリーズ　自走ロボットベース　ＩＨＭ／０８００１ＲＢＭ

インフォホビー教育用ロボットとして　自走ロボットを開発

インフォホビー教育用ロボットとして　自走ロボットを開発ロボット基本原理の多くを習得出来るように　 DCサーボーモータA／D変換など基礎から勉強して頂けます。 ■□■特徴■□■ ■本格的なブラシレスDCサーボの搭載によって、サーボモータの基本 PWM／位相計数／PIDと言った原理原則から学習できり ■デジタルサーボモーターですから、走行奇跡の記憶やトレースといった応用...

メーカー・取り扱い企業：有限会社インフォホビーインフォホビー

バラ積みピッキングシステム『D-Vision』

シンプルなシステム構成で導入が可能！既存システムに組み込める汎用型ビジ…

『D-Vision』は、カメラで捉えた画像データと高さ方向のデータを元に把持できる箇所を解析し、ロボットに情報を提供するシステムです。深さ画像が撮像できるカメラを使用し、一般的な2D画像処理でのパターンマッチング法は行わないため、一般の3Dビジョンと比べ高速処理を実現。ロボットを動作させる当社製のプログラム言語（D）によるインタプリタ言語も搭載し、様々なシステムにマッチするため、既存...

メーカー・取り扱い企業：ダブル技研株式会社座間事業所

産業用ロボット「エプソンロボット」　オプション　早見表

産業用ロボット「エプソンロボット」のオプションに適合する機器一覧

ーパネル（OP1） ○ティーチングペンダント（TP1） ○ティーチングペンダント(TP2) ○画像処理（VisionGuide5.0） ○画像処理（VisionGuide6.0） ○RS-232C基板 ○拡張I/O基板 ○フィールドバスI/Oスレーブ基板 ○フィールドバスI/Oマスター基板 ○PG基板 ○コンベヤートラッキング ○DVDドライブ ○RAIDオプション ○...

メーカー・取り扱い企業：エプソン販売株式会社本社

4軸水平多関節型クリーンロボット　GCR4280-AMシリーズ

300mm、450mm対応の半導体製造装置内等のウエハなどの搬送に最適

スーパークリーンルーム用多軸タイプ、4軸水平多関節型クリーンロボットGCR4280-AMシリーズは、300mm、450mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ、小型ガラス基板などの搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

高性能直交ロボット『SCRシリーズ』

卓上ロボットで培った使いやすさと機能を搭載した3軸・4軸直交ロボットを…

『SCRシリーズ』は、ロボット本体と専用のコントローラーをセットにした多機能で使いやすい3軸・4軸タイプの直交ロボットです。ジョグ動作による位置指定は動作選択を基本とした、初心者でも扱いやすい簡単ティーチングシステムで、設備立ち上げがスムーズに行えます。またカメラ補正機能などの多くの便利な機能を利用すれば設定時間を短縮できます。【特長】 ■ニーズに合った的確な...

メーカー・取り扱い企業：株式会社サンエイテック

防水対応3軸円筒座標型ロボット　SWHR3156シリーズ

LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウエハ搬送に最適

防水対応3軸円筒座標型ロボットSWHR3156シリーズは、300mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付です。保護等級IP64で、LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウェーハ搬送に適しています。S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型クリーンロボット　SSCR3115Sシリーズ

小型ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。

スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットSSCR3115Sシリーズは、省フットプリント化、軽量化により、半導体製造装置内部、検査装置及びLED製造装置等の小径ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。SSCR2090S-PMとはユニット互換があり、リンクアーム仕様、Z軸レス仕様にも変更が可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○S...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

ライオンパワー　全自動配線ロボット/HI-1000Nシステム

電線加工から盤内配線まで、夢の１００％完全自動化を実現します。

○端子供給方式：パーツフィーダ（裸バラ端子）又はHI-1300（テープオン端子、日圧）、アプリケータ（コネクタ端子　絶縁被覆付端子） ○マーカ ○制御方式：外部コンピューターによる（RS-232C） ○機械重量：約450kg ●その他機能や詳細についてはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：ライオンパワー株式会社

産業用ロボット『Smart Terrace AIO』

簡単据え付け、機械の前に置くだけ！ワーク交換からチャック爪交換まで…

『Smart Terrace AIO』は、加工機への投入・取り出しを変種変量生産に対応したノンストップ運転する産業用ロボットのパッケージです。加工機側のラダープログラム変更不要で、NCを選びません。 2台の加工機を対面に置いて1、2工程の加工も可能。また、既設機に取り付けや別機械への移動もできます。【特長】 ■段取り替えを含む自動化 ■加工機側のラダープログラム変更不...

メーカー・取り扱い企業：ダイドー株式会社東京支店

超小型魚眼カメラ　NM33

「NM33シリーズ」は、独自の技術開発により、世界最小、高速画像処理を…

300万画素高感度CMOSセンサーを搭載し、360度高画質映像のデジタル出力(USB)が可能です。俯角付き(17度)を含めた3種類の魚眼レンズタイプから用途に合わせて選択が可能です。...◆カメラ内部で画像の切出し展開を処理を実行、VGA画像を出力 ◆360度2分割画面他、11パターンの画像出力(MJPEG)が選択可能 ◆パン、チルト、ズーム等の外部制御が可能 ◆USB、RS232C、リ...

メーカー・取り扱い企業：オプト株式会社

真空対応4軸円筒座標型クリーンロボットSTVCR4000シリーズ

STVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます

真空対応4軸円筒座標型クリーンロボットSTVCR4000シリーズは、真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。STVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます。更にSTVHRと取付互換がありますので、乗せ替えに際してもスムーズに行えます。ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮を実現しました。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

5軸真空水平多関節型クリーンロボットGTVHR5000シリーズ

チャンバ加工のシンプル形状化による加工コスト削減が可能

5軸真空水平多関節型クリーンロボットGTVHR5000シリーズは、多彩な装置レイアウトへの対応が可能です。フットプリントの縮小化、真空引容積の縮小化に寄与しており、チャンバ加工のシンプル形状化による加工コスト削減が可能です。並列したステージへのアクセスが可能(レイアウトのインライン化に最適)です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエーション:2...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

真空対応4軸円筒座標型クリーンロボットDTVHR4000シリーズ

長寿命と信頼性の高い搬送を維持でき、低アウトガス環境での使用が可能

4軸円筒座標型リンク式高真空対応クリーンロボットDTVHR4000シリーズは、リンク構造は金属ベルト、ギア等を使用せず転動体により連結された構成のため、長寿命と信頼性の高い搬送を維持でき、低アウトガスと20℃～50℃の環境での使用が可能です。CE認証を取得しました。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエーション:275mm ○Z軸バリエーション...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

半導体用ロボット　SCR3100S-PM

スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットSCR3100S…

小フットプリント化により、半導体製造装置内、検査装置等の小径ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。...【特徴】 ○アームバリエーション:100mm ○Z軸バリエーション:200mm、300mm ○可搬重量:アーム第3関節換算0.5kgf以下 ○クリーン対応:真空ラインには0.1μmメッシュフィルター装備 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

光学式アライナ　SAL38C2/SAL3361シリーズ

半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応

光学式アライナ　SAL38C2/SAL3361シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応しております。シリコンウェーハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決めします。スピンドル側に0.1μmのフィルタを装備しており、制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/Oです。従来機種SAL46C6、SAL4484に対して約50%の省フットプリント化を...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

300mm対応エッジグリップアライナ　SAL20C1シリーズ

エッジグリップ方式を採用しウェーハへの接触を最小限にすることが可能

300mm対応エッジグリップアライナ　SAL20C1シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応します。エッジグリップ方式を採用しウェーハへの接触を最小限にすることが可能です。ノッチサーチ後、指定位置へノッチを移動する為、持ち直し動作が入っています。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○半導体製造装置内、検査装置等のウェ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型クリーンロボット　MCR3000Cシリーズ

従来型MHRに比べコストパフォーマンスに優れています。

スーパークリーンルーム用300mm対応MCR3000Cシリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。全軸ACサーボによる高速搬送が可能で、従来型MHRに比べコストパフォーマンスに優れます。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧くださ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

光学式アライナ　SAL46C6シリーズ

シリコンウエハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決め

150mm～300mm対応光学式アライナ　SAL46C6シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応しております。シリコンウェーハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決めします。制御方式は、RS232C及びパラレルフォトI/Oです。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【仕様】 ○被搬送物　SEMI規格　150～30...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

50～100mm対応アライナ　SAL2241シリーズ

小径ウェーハ対応で省フットプリント化を実現しました。

50mm～100mm対応アライナ　SAL2241シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応しております。小径ウェーハ対応で省フットプリント化を実現しました。小径ウェーハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決めします。スピンドル側に0.1μmのフィルターを装備しています。制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/Oです。詳しくはお問い合わ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

真空対応3軸円筒座標型クリーンロボット　SVCR3000シリーズ

真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。

真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3000シリーズは、真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。SVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます。更にSVHRと取付互換がありますので、乗せ替えに際してもスムーズに行えます。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

4軸円筒座標型クリーンロボット　STHR4000シリーズ

ウェーハ搬送に適しており、短時間でのウェーハの交換が可能です。

スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型ツインアームロボットSTHR4000シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。2本のアームにより短時間でのウェーハの交換が可能です。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。詳しくは...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型クリーンロボット　LHR3000シリーズ

Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能

ガラス基板対応3軸円筒座標型クリーンロボットLHR3000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエーション:400mm、500mm、700m...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

4軸円筒座標型クリーンロボット　LTHR4000シリーズ

液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています

ガラス基板対応4軸円筒座標型クリーンロボットLTHR4000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエーション:400mm、500mm ○Z...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型クリーンロボット　SHR3000シリーズ

装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能

スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型ロボットSHR3000シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○ア...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

4軸円筒座標型クリーンロボット　STCR4000Sシリーズ

2本のアームにより短時間でウェーハの交換が可能です。

スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型クリーンロボットSTCR4000Sシリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。2本のアームにより短時間でウェーハの交換が可能です。CEマーキング認証取得しました。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエーション:100m...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

4軸円筒座標型真空対応クリーンロボット　FTVHR4000

液晶製造装置内、検査装置等のマスク・ガラス基板の搬送に最適

マスク・ガラス基板対応4軸円筒座標型リンク式高真空対応クリーンロボットFTVHR4000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のマスク・ガラス基板の搬送に適しています。S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエーション:550m...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

4軸水平多関節型クリーンロボット　GCR4000-AMシリーズ

ACサーボモータ仕様及び、動作軌跡最適化による高速搬送化

スーパークリーンルーム用多軸タイプ、4軸水平多関節型クリーンロボットGCR4000-AMシリーズは、300mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエー...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型クリーンロボット　SCR3000CSシリーズ

半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。

スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットSCR3000CSシリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能で、S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送します。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエーション:100mm、130mm、160mm、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

4軸円筒座標型クリーンロボット　MTCR4000シリーズ

ウエハ搬送に適しており、全軸ACサーボによる高速搬送が可能です。

スーパークリーンルーム用300mm対応MTCR4000シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。全軸ACサーボによる高速搬送が可能で、従来型MTHRに比べコストパフォーマンスに優れます。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧くだ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

4軸水平多関節型クリーンロボット　GCR4000-PMシリーズ

300mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に最適

スーパークリーンルーム用多軸タイプ、4軸水平多関節型クリーンロボットGCR4000-PMシリーズは、300mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエー...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型クリーンロボット　SCR3100S-PMシリーズ

省フットプリント化により、装置レイアウトを小型化できます。

スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットSCR3100Sシリーズは、省フットプリント化により、半導体製造装置内、検査装置等の小径ウェーハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエーション:100mm ○Z軸バリエーション:2...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

2軸円筒座標型クリーンロボット　SSCR2090Sシリーズ

全軸ステッピングモータを使用した省エネ設計となっています。

スーパークリーンルーム用2軸円筒座標型クリーンロボットSSCR2090Sシリーズは、省フットプリント化、軽量化により、半導体製造装置内部、検査装置及びLED製造装置等の小径ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。各軸にはエンコーダ、ラッチ式電磁弁、デジタル表示付圧力スイッチの装備等、上位機種のスペックはそのまま受け継いでおります。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3330Sシリーズ

真空チャンバ内で4kgf以下のトレイの搬送にご使用頂けます。

真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3330Sシリーズは、可搬重量はアーム第3関節換算10kgf(チャック・ワーク含む)、許容曲げモーメント25N・m以下まで搭載可能です。高剛性、高負荷対応によりウェーハを乗せたトレイ、小型ガラス基板の搬送が可能です。シャトルタイプのツインチャック採用により、ワーク交換時間の短縮を可能にしました。真空シール方式は磁性流体方式フィールドスルー(2軸タイプ)...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

5軸水平多関節型クリーンロボットGTCR5000-AMシリーズ

シングルアームでありながらツインアームの機能を確保しております。

300mm対応5軸水平多関節型クリーンロボットGTCR5000シリーズは、ツインチャックを搭載することでシングルアームでありながらツインアームの機能を確保し、300mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくは...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型真空対応クリーンロボットLVHR3000シリーズ

S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。

ガラス基板対応3軸円筒座標型真空対応クリーンロボットLVHR3000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエーション:330mm、440mm、500mm、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェーイーエル