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51件 - メーカー・取り扱い企業
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17件 - カタログ
657件
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スポット溶接の品質を決定する条件の1つである電極加圧力の測定することで…
溶接電流の変化を最適化することにより改善が可能 • センサは溶接加圧力モニタ型式5825A2 (携帯用ハンドヘルド) とコントロールモニタ CoMo II 型式 5857Bに接続可能 • RS-232Cインタフェースにより文書化が可能 • 頑丈で過負荷に耐える部品形状...
メーカー・取り扱い企業： 日本キスラー合同会社 本社
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ベルヌーイ方式によりウェーハのダメージを最小限に抑えたアライメント可能
300mm対応光学式アライナ SAL30C1シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応します。シリコンウェーハのセンタリングとノッチを高速、高精度に位置決めし、薄物ウェーハのアライメントを実現します。薄物、反り、フィルム貼りに対応しますが、ワーク検出可否、位置決め精度につきましてはお問い合せ下さい。ベルヌーイ方式によりウェーハのダメージを最小限に抑えたアライ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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ウェーハ(シリコン、GaAs、ガラス)の位置決めを必要とする搬送に対応
光学式アライナ SAL4381シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ(シリコン、GaAs、ガラス)の位置決めを必要とする搬送に対応しております。シリコンウェーハのセンタリングとオリフラを高速、高精度に位置決めします。スピンドル側に0.1μmのフィルタを装備しています。制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/Oです。オプションでGaAsウェーハやガラスにも対応が可能です。 詳しくは...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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直動式シングルアームクリーンロボット『HR1400-720』
モータには減速機組付け可能！コントローラは5軸仕様のクリーンロボット
『HR1400-720』は、全軸アブソリュートエンコーダタイプ ACサーボモータ装備の直動式シングルアームクリーンロボットです。 モータには減速機組付け可能。 制御方式はRS232C、I/O及びイーサネットを選択できます。 【特長】 ■各種センサ装備 ■コントローラは5軸仕様 ■制御方式：RS232C ■I/O及びイーサネットを選択 ■全軸アブソリュートエンコーダタイ...
メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社
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真空シールには接触式シール方式を使用したシングルアームクリーンロボット
『EV2250』は、真空シールには接触式シール方式を使用した 平行リンク式シングルアームクリーンロボットです。 アーム部はアルピカ処理済み。 エンコーダ付2相パルスモータを装備しているほか、RS232C通信制御、 パラレルI/O制御が可能です。 【特長】 ■耐熱使用：アームにリフレクタ(熱反射板)の設置 ■アーム部はアルピカ処理済 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ...
メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社
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制御方式は、RS232C及びパラレルフォトI/Oです。
100mm～200mm対応光学式アライナ SAL4484シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応しております。シリコンウェーハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決めします。制御方式は、RS232C及びパラレルフォトI/Oです。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【仕様】 ○被搬送物 SEMI規格 100～20...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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指先で自在にコントロール！高機能・コンパクトなモバイル型操作端末
『KeTop T20』は、高パフォーマンスとオペレーションの自由度を両立させた片手操作可能なモバイル端末です。 軽量でコンパクト、人間工学に基づいたデザインは快適で疲れにくい操作が可能で、左右どちらの手でも同じように長時間操作を行うことが出来ます。 コストパフォーマンスに優れた『KeTop T20 eco』とLCDキーボードを搭載した高い柔軟性を持つ『KeTop T20 techno』の2つの...
メーカー・取り扱い企業： ＫＥＢＡ ＪＡＰＡＮ株式会社
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教育用ロボットシリーズ 自走ロボットベース ＩＨＭ／０８００１ＲＢＭ
インフォホビー教育用ロボットとして 自走ロボットを開発
インフォホビー教育用ロボットとして 自走ロボットを開発 ロボット基本原理の多くを習得出来るように DCサーボーモータA／D変換 など基礎から勉強して頂けます。 ■□■特徴■□■ ■本格的なブラシレスDCサーボの搭載によって、サーボモータの基本 PWM／位相計数／PIDと言った原理原則から学習できり ■デジタルサーボモーターですから、走行奇跡の記憶や トレースといった応用...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社インフォホビー インフォホビー
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シンプルなシステム構成で導入が可能！既存システムに組み込める汎用型ビジ…
『D-Vision』は、カメラで捉えた画像データと高さ方向のデータを元に 把持できる箇所を解析し、ロボットに情報を提供するシステムです。 深さ画像が撮像できるカメラを使用し、一般的な2D画像処理でのパターン マッチング法は行わないため、一般の3Dビジョンと比べ高速処理を実現。 ロボットを動作させる当社製のプログラム言語（D）によるインタプリタ言語も搭載し、 様々なシステムにマッチするため、既存...
メーカー・取り扱い企業： ダブル技研株式会社 座間事業所
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産業用ロボット「エプソンロボット」のオプションに適合する機器一覧
ーパネル（OP1） ○ティーチングペンダント（TP1） ○ティーチングペンダント(TP2) ○画像処理（VisionGuide5.0） ○画像処理（VisionGuide6.0） ○RS-232C基板 ○拡張I/O基板 ○フィールドバスI/Oスレーブ基板 ○フィールドバスI/Oマスター基板 ○PG基板 ○コンベヤートラッキング ○DVDドライブ ○RAIDオプション ○...
メーカー・取り扱い企業： エプソン販売株式会社 本社
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防水対応ダブルアームクリーンロボット『WR2154-300』
テフロンコーティングで高剛性アーム仕様！ハンド部に透過式マッピングセン…
『WR2154-300』は、防水対応のダブルアームクリーンロボットです。 取付フランジより上部のアーム部はIP64の規格に適合。 ハンド部は垂直/水平仕様の駆動が可能な透過式マッピングセンサを 装備しています。 また、ロータリ及びクランプユニットの搭載が可能です。 【特長】 ■アーム部：テフロンコーティング 高剛性アーム仕様 ■ロータリ及びクランプユニットの搭載可能 ...
メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社
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4軸水平多関節型クリーンロボット GCR4280-AMシリーズ
300mm、450mm対応の半導体製造装置内等のウエハなどの搬送に最適
スーパークリーンルーム用多軸タイプ、4軸水平多関節型クリーンロボットGCR4280-AMシリーズは、300mm、450mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ、小型ガラス基板などの搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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半導体製造装置内、検査装置などのウエハ搬送に適したクリーンロボット！
『STCR4000Sシリーズ』は、スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型 クリーンロボットです。 2本のアームにより短時間でウエハの交換が可能。使用用途は半導体製造 装置内、検査装置などのウエハ搬送に適しています。 他にも当社では、さまざまなクリーンロボットを取り扱っておりますので、 是非お気軽にご相談下さい。 【特長】 ■アームバリエーションは100mm～選択可能 ■...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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従来のアルミ構造の部品点数削減によりさらに製造コストの削減を実現！
『SV1240』は、真空シールに磁性流体シールと金属ベローズ方式を採用した シングルアームクリーンロボットです。 従来のアルミ構造の部品点数削減によりさらに製造コストの削減を実現。 アーム駆動にタイミングベルトを使用するベルトリンク式です。 【特長】 ■エンコーダ付2相パルスモータ装備 ■RS232C通信制御 ■パラレルI/O制御 ■真空シールに磁性流体シールと金属ベローズ...
メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社
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低消費電力100W以下！搬送アームには独自の小型軽量多段スライド方式を…
『AR2300-220』は、従来のクリーンロボットと同様の機能を装備した 卓上タイプのウェハー搬送装置です。 搬送アームには独自の小型軽量多段スライド方式を採用。 旋回、上下軸の軽量化により簡単な構造となり、従来比1/3以下の 質量を実現します。 【特長】 ■従来比1/3以下の質量を実現 ■クリーン対策：下部カバー側面から吸引する独自構造 ■低消費電力100W以下を達成...
メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社
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卓上ロボットで培った使いやすさと機能を搭載した3軸・4軸直交ロボットを…
『SCRシリーズ』は、ロボット本体と専用のコントローラーをセットにした 多機能で使いやすい3軸・4軸タイプの直交ロボットです。 ジョグ動作による位置指定は動作選択を基本とした、初心者でも扱いやすい 簡単ティーチングシステムで、設備立ち上げがスムーズに行えます。 またカメラ補正機能などの多くの便利な機能を利用すれば設定時間を 短縮できます。 【特長】 ■ニーズに合った的確な...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンエイテック
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LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウエハ搬送に最適
防水対応3軸円筒座標型ロボットSWHR3156シリーズは、300mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付です。保護等級IP64で、LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウェーハ搬送に適しています。S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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小型ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。
スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットSSCR3115Sシリーズは、省フットプリント化、軽量化により、半導体製造装置内部、検査装置及びLED製造装置等の小径ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。SSCR2090S-PMとはユニット互換があり、リンクアーム仕様、Z軸レス仕様にも変更が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○S...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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ライオンパワー 全自動配線ロボット/HI-1000Nシステム
電線加工から盤内配線まで、夢の１００％完全自動化を実現します。
○端子供給方式：パーツフィーダ（裸バラ端子）又はHI-1300（テープオン端子、日圧）、 アプリケータ（コネクタ端子 絶縁被覆付端子） ○マーカ ○制御方式：外部コンピューターによる（RS-232C） ○機械重量：約450kg ●その他機能や詳細についてはお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業： ライオンパワー株式会社
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簡単据え付け、機械の前に置くだけ！ ワーク交換からチャック爪交換まで…
『Smart Terrace AIO』は、加工機への投入・取り出しを変種変量生産に対応したノンストップ運転する産業用ロボットのパッケージです。 加工機側のラダープログラム変更不要で、NCを選びません。 2台の加工機を対面に置いて1、2工程の加工も可能。 また、既設機に取り付けや別機械への移動もできます。 【特長】 ■段取り替えを含む自動化 ■加工機側のラダープログラム変更不...
メーカー・取り扱い企業： ダイドー株式会社 東京支店
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「NM33シリーズ」は、独自の技術開発により、世界最小、高速画像処理を…
300万画素高感度CMOSセンサーを搭載し、360度高画質映像のデジタル出力(USB)が可能です。 俯角付き(17度)を含めた3種類の魚眼レンズタイプから用途に合わせて選択が可能です。...◆カメラ内部で画像の切出し展開を処理を実行、VGA画像を出力 ◆360度2分割画面他、11パターンの画像出力(MJPEG)が選択可能 ◆パン、チルト、ズーム等の外部制御が可能 ◆USB、RS232C、リ...
メーカー・取り扱い企業： オプト株式会社
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簡単な設定＆操作で送受信！
○RS-232Cの規格に準拠 ○ＩＳＯコード、ＥＩＡコード、ＡＳＣＩIコードをサポート ○フロー制御としてDC(Xon/Off)、RTS/CTS、DSR/DTRをサポート ○任意コードとして無穿孔...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社システムアイ
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真空対応4軸円筒座標型クリーンロボットSTVCR4000シリーズ
STVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます
真空対応4軸円筒座標型クリーンロボットSTVCR4000シリーズは、真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。STVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます。更にSTVHRと取付互換がありますので、乗せ替えに際してもスムーズに行えます。ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮を実現しました。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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クランプハンド用制御ラインを装備！ロボット＋スライダシステム
『SSR1160+S2244-S001』は、リンク式シングルアームロボットと スライダからなるシステムです。 クランプハンド用制御ラインを装備。 前後方向の端面をクランプし、基板を保持します。 全軸エンコーダ付2相パルスモータを装備しています。 【特長】 ■基板保持：前後方向の端面をクランプ ■全軸エンコーダ付2相パルスモータ装備 ■各種センサ装備 ■RS232C...
メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社
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5軸真空水平多関節型クリーンロボットGTVHR5000シリーズ
チャンバ加工のシンプル形状化による加工コスト削減が可能
5軸真空水平多関節型クリーンロボットGTVHR5000シリーズは、多彩な装置レイアウトへの対応が可能です。フットプリントの縮小化、真空引容積の縮小化に寄与しており、チャンバ加工のシンプル形状化による加工コスト削減が可能です。並列したステージへのアクセスが可能(レイアウトのインライン化に最適)です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエーション:2...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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真空対応4軸円筒座標型クリーンロボットDTVHR4000シリーズ
長寿命と信頼性の高い搬送を維持でき、低アウトガス環境での使用が可能
4軸円筒座標型リンク式高真空対応クリーンロボットDTVHR4000シリーズは、リンク構造は金属ベルト、ギア等を使用せず転動体により連結された構成のため、長寿命と信頼性の高い搬送を維持でき、低アウトガスと20℃～50℃の環境での使用が可能です。CE認証を取得しました。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエーション:275mm ○Z軸バリエーション...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットSCR3100S…
小フットプリント化により、半導体製造装置内、検査装置等の小径ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。...【特徴】 ○アームバリエーション:100mm ○Z軸バリエーション:200mm、300mm ○可搬重量:アーム第3関節換算0.5kgf以下 ○クリーン対応:真空ラインには0.1μmメッシュフィルター装備 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応
光学式アライナ SAL38C2/SAL3361シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応しております。シリコンウェーハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決めします。スピンドル側に0.1μmのフィルタを装備しており、制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/Oです。従来機種SAL46C6、SAL4484に対して約50%の省フットプリント化を...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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300mm対応エッジグリップアライナ SAL20C1シリーズ
エッジグリップ方式を採用しウェーハへの接触を最小限にすることが可能
300mm対応エッジグリップアライナ SAL20C1シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応します。エッジグリップ方式を採用しウェーハへの接触を最小限にすることが可能です。ノッチサーチ後、指定位置へノッチを移動する為、持ち直し動作が入っています。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○半導体製造装置内、検査装置等のウェ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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従来型MHRに比べコストパフォーマンスに優れています。
スーパークリーンルーム用300mm対応MCR3000Cシリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。全軸ACサーボによる高速搬送が可能で、従来型MHRに比べコストパフォーマンスに優れます。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧くださ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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シリコンウエハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決め
150mm～300mm対応光学式アライナ SAL46C6シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応しております。シリコンウェーハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決めします。制御方式は、RS232C及びパラレルフォトI/Oです。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【仕様】 ○被搬送物 SEMI規格 150～30...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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小径ウェーハ対応で省フットプリント化を実現しました。
50mm～100mm対応アライナ SAL2241シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハの位置決めを必要とする搬送に対応しております。小径ウェーハ対応で省フットプリント化を実現しました。小径ウェーハのセンタリングとオリフラ・ノッチを高速、高精度に位置決めします。スピンドル側に0.1μmのフィルターを装備しています。制御方式はRS232C及びパラレルフォトI/Oです。 詳しくはお問い合わ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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真空対応3軸円筒座標型クリーンロボット SVCR3000シリーズ
真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。
真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3000シリーズは、真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。SVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます。更にSVHRと取付互換がありますので、乗せ替えに際してもスムーズに行えます。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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ウェーハ搬送に適しており、短時間でのウェーハの交換が可能です。
スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型ツインアームロボットSTHR4000シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。2本のアームにより短時間でのウェーハの交換が可能です。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくは...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能
ガラス基板対応3軸円筒座標型クリーンロボットLHR3000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエーション:400mm、500mm、700m...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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直動式ダブルアームクリーンロボット『HR81315-1900』
高剛性設計によりガラス基板を高速搬送！ISOクラス2のクリーンロボット
『HR81315-1900』は、全軸ABSエンコーダACサーボモータ仕様の 直動式ダブルアームクリーンロボットです。 高剛性設計によりガラス基板を高速搬送。 CFRPフォーク上面に滑り止めパッドを貼り付けてガラス基板を保持します。 また、250℃耐熱性CFRPフォークを採用しています。 【特長】 ■各種センサ装備 ■全軸ABSエンコーダACサーボモータ仕様 ■RS232...
メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社
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液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています
ガラス基板対応4軸円筒座標型クリーンロボットLTHR4000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエーション:400mm、500mm ○Z...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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卓上型シングルアームクリーンロボット『AR1300-220』
稼働に排出されるCO2の削減に大きく貢献！超コンパクトなクリーンロボッ…
『AR1300-220』は、超コンパクト、軽量化した 卓上型シングルアームクリーンロボットです。 従来のソータや検査装置などの搬送システムを卓上システムとして構築可能。 コントローラ小型化のため、モータドライバをロボット底部に収納できます。 【特長】 ■モータドライバをロボット底部に収納可能 ■稼働に排出されるCO2の削減に大きく貢献 ■基板保持：ウェハを真空吸着 ■各...
メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社
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装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能
スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型ロボットSHR3000シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○ア...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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2本のアームにより短時間でウェーハの交換が可能です。
スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型クリーンロボットSTCR4000Sシリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。2本のアームにより短時間でウェーハの交換が可能です。CEマーキング認証取得しました。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエーション:100m...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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直動式ダブルアームクリーンロボット『HR71000-1500』
第3世代ガラス基板搬送対応！各種センサ装備ダブルアームクリーンロボット
『HR71000-1500』は、第3世代ガラス基板搬送対応の 直動式ダブルアームクリーンロボットです。 アーム、上下軸ともにロングストロークが可能。 基板裏面を真空吸着します。 アームはステッピングモータ仕様、旋回上下軸はサーボモータ仕様です。 【特長】 ■RS232Cによる専用コマンド制御 ■各種センサ装備 ■基板保持：基板裏面を真空吸着 ■アーム：ステッピングモー...
メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社
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液晶製造装置内、検査装置等のマスク・ガラス基板の搬送に最適
マスク・ガラス基板対応4軸円筒座標型リンク式高真空対応クリーンロボットFTVHR4000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のマスク・ガラス基板の搬送に適しています。S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエーション:550m...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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4軸水平多関節型クリーンロボット GCR4000-AMシリーズ
ACサーボモータ仕様及び、動作軌跡最適化による高速搬送化
スーパークリーンルーム用多軸タイプ、4軸水平多関節型クリーンロボットGCR4000-AMシリーズは、300mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエー...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。
スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットSCR3000CSシリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能で、S字加減速制御によりウェーハを高速、高精度に搬送します。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○アームバリエーション:100mm、130mm、160mm、...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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ウエハ搬送に適しており、全軸ACサーボによる高速搬送が可能です。
スーパークリーンルーム用300mm対応MTCR4000シリーズは、半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。全軸ACサーボによる高速搬送が可能で、従来型MTHRに比べコストパフォーマンスに優れます。装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧くだ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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