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ＤＣブラシレスモータ／ＤＣモータ　※カスタム対応可能！

PR【モータ効率最大90％以上】出力〜2.5kWの広範囲で対応し、メンテナ…

ブラシレスモータとは簡潔に言うとブラシ（整流子に電気を伝えるもの）が無く『機械的整流機構を持つ』という大きな欠点を電子部品で補ったモータになります。ブラシが無いのでメンテナンスフリーであり、騒音やノイズも少なく火花が出ることもありません。ギヤ、エンコーダ、ブレーキのオプション仕様にも対応しています。各種ドライバもラインアップしています。また、入力電圧は昨今のＥＶ市場に対応す...

メーカー・取り扱い企業：ユニテック株式会社
【B-402対応】イーサネットスイッチングハブ　ST13116M

PR【電力用規格B-402対応】防塵性（ファンレス構造・通風孔レス構造）に…

『ST13116M』は、電力用規格B-402に準拠した、防塵性（ファンレス構造・通風孔レス構造）に優れたギガビット対応インテリジェントL2スイッチングハブです。一般的なインテリジェント機能（VLAN、経路切替機能、セキュリティ機能）および固有機能（装置自己監視、接点入出力など）を有しています。その他、RoHSをはじめ、電力規格B-402、接点入出力、装置自己監視機能（WDT）・NTP機能や...

メーカー・取り扱い企業：株式会社リョウセイ
Ｃｕエッチング対応高密度プラズマエッチング装置

新プラズマ源ＨＣＤ（ホローカソード放電）電極搭載、各種メタルやＣｕ薄膜…

極搭載。無磁場・無アンテナのシンプルなk構造で従来型電極より一桁高いプラズマを密度を実現。独自開発高密度プラズマと独自プロセスで各種メタルだけでなくＣｕ薄膜などの難エッチング材のエッチングに対応。新開発HCD型ヘッドはスケールアップが容易で矩形基板や大型基板の高精度エッチングが可能。３００ｍｍウェハや積層基板、最大１ｍ□までの基板のメタルエッチングに対応。近年ニーズが高まってい...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店
側面電極用イオンプレーティング装置（面実装小型部品対応）

小型電子部品（面実装タイプ）の側面電極形成をドライ化。ＰＶＤ（イオンプ…

抗器・コンデンサ）などの側面電極をドライプロセスで形成。廃液処理不要なクリーンプロセス。部品の端面のみに強い密着力で電極被膜を形成。Ｓｎ、Ｎｉ等の金属膜をハイスループットで形成。（酸化膜形成にも対応）実績豊富なハードと独自の成膜プロセスで小型電子部品の生産プロセスのドライ化・低コスト化、安定生産に貢献いたします。...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店
ロードロックタイプスパッタリング装置（枚葉搬送タイプ）デモ対応中

ディスクリート素子から先端デバイスまで、Ｒ＆Ｄに量産に。コンパクト、ハ…

基板の枚葉搬送を基本としたロードロックタイプスパッタリング装置、上位機種（マルチチャンバタイプ）のプロセスチャンバと搬送機構を共用。高いレベルの膜質要求に対応、各種ＩＣ（ディスクリートＩＣ、カスタムＩＣ，化合物）の量産・試作。次世代デバイスの開発（強誘電体膜開発、配向性窒化膜形成）に実績のソフト＆ハードＵＶ－ＬＥＤ用テンプレート用ＡｌＮ膜、センサ...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店
ICP エッチング装置

ヨーロッパ発の技術から生まれた汎用性の高い装置！

8"工程用Pishowシリーズ：・Pishow：シリコン、金属、化合物半導体など、様々な材料に対応可能；幅広く温度の工程に対応可能；エッチングの速度と均一性を精密制御； BOSOH工程に対応可能・Pishow A： HEMT工程のソリューションを提供、SiNx、TiN、pGa...

メーカー・取り扱い企業：日星産業株式会社
ICPメタルエッチング装置

Al系やCrなどの金属膜の微細パターンのエッチングに対応！デモ機常設！…

『ICPメタルエッチング装置』は、先端薄膜プロセスに対応した金属膜対応の高密度プラズマエッチング装置です。半導体、MEMSなどの汎用デバイスだけでなく露光用マスクや金属基板の表面処理などの特殊プロセスにも積極対応いたします。独自の...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店
豊富な実績！プラズマ処理加工【小ロット・短納期に対応！】

プラズマ装置の製造実績をいかし、御社のご希望に合わせてプラズマ処理を承…

様々な材質を用途に合わせプラズマ処理いたします。小ロット・短納期で対応可能です。【用途例】『洗浄』『表面改質』『接着効果のUP』など、御社のニーズに合わせて処理いたします。試作用や小ロットでの加工をお考えの企業様、お気軽にお問合せください ★詳し...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エスクラフト
マルチチャンバスパッタリング装置

20年以上の歴史を誇る実績のラインナップ。R&Dから量産までハイエンド…

標準仕様では対応の困難な各種用途・基板に積極対応。Ｒ＆Ｄ・ディスクリート・化合物・ＭＥＭＳ・パッケージ・実装工程・マスク・小型ＦＰＤ　多くの基板に専用機構を用意。基板のトレイ搬送も標準対応、大気側の基板ハン...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店
SDR型巻取式スパッタリング装置（RｔｏＲタイプスパッタ装置）

サンプルテスト対応中　フィルム・金属箔に成膜、フレキシブルデバイスや先…

ＦＰＣに代表されるフレキシブル電子デバイスの量産に実績対応。社内デモ機によるプロセスサポートにより各種の個別要求に確実に対応。一般的な樹脂フィルムだけでなく金属箔を含む幅広い基板に実績独自開発による高使用率カソードと実績豊富な搬送機構により安定した...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店
大気非暴露型多元スパッタ装置

硫化物対応も可　薄膜固体二次電池研究用専用成膜装置ターゲット～成膜…

薄膜固体二次電池の研究用の専用スパッタ装置後処理が可能。多元カソードによる負極・電解質・正極の一括形成と成膜後の大気非暴露による基板の封止が可能。Ｌｉの専用ターゲットによる事前成膜テストも対応可能（有償）材料（ターゲット）ソフト（成膜テスト）ハード（専用装置）一貫対応硫化物ターゲット及び専用グローブボックスも装備可能。汎用性と個別対応を両立. ...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店
簡易実験用スパッタリング装置

手動バッチ型と簡易ロードロック型の2機種　簡易ロードロックタイプで化合…

ッチタイプと手動搬送機構を装備した簡易ロードロックタイプの2機種をラインアップ。両機種とも上位機種のプロセス性能を維持した上で、大きなコスト低減を実現しています。サンプルテスト・仕様対応・納入後のフォローまで一貫して丁寧な対応を行っています。【特長】 ■リーズナブルなコストと高いプロセス性能 ■少量生産にも対応可能な高い信頼性 ■豊富な実績に支えられた豊富なオプシ...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店
枚葉式プラズマアッシング装置（ＳＷＰシリーズ）

ダメージレス・ハイスループット・多用途対応　ハイエンドデバイス・化合物…

Ｐ）によるハイレートアッシングと２室装備されたアッシング室によりハイスループットを実現。アッシングだけでなくＲＩＥ室の装備により特殊レジスト・有機膜野除去にもまたイオン注入後の硬化レジスト除去に対応。表面部の硬化レジストの除去とレジスト下層のダメージレスアッシングの両立を実現。コンパクトな枚葉式ロードロック室とツインハンドロボットの採用でりコンパクトな設置寸法を実現。通常のウェハだけで...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店
緊急除害装置(S-CDシリーズ)

毒性ガス漏洩の緊急時に無害化します。（高圧ガス保安法一般則第55条第1…

緊急除害装置「S-CDシリーズ」は、高圧ガス保安法に対応した緊急用乾式除害設備です。（高圧ガス保安法一般則第55条第１項） ● 特殊高圧ガス（７種）の他、アンモニア、塩素など、各種ガスの仕様に合わせた安全設計 ●排気ブロワーのインバーター制御によ...
メーカー・取り扱い企業：株式会社巴商会管理部署：企画営業部
超高真空スパッタリング装置（STM2323型）

先端薄膜デバイスの研究開発に最適。カスタマイズ容易な枚葉式超高真空イン…

室を装備。全自動ＣｔｏＣ方式による完全自動運転で研究開発作業の効率化を実現いたします。高効率強磁性体用カソードやワイドエロージョンカソードなど成膜機構も選択でき、基板や目的に合わせて個別要求にご対応いたします。シンプルな装置構成にも対応可能、リーズナブルなコスト対応を実現いたします。上位仕様としてクラスタタイプの搬送室も装備可能でアニールや蒸着などの異種プロセス室も搭載可能な進化型スパ...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店
水素フリーDLCコーティング装置（高密度スパッタＡＤＭＳ装置）

　独自技術で従来に無い水素フリーDLC膜を形成（水素含有量１％以下）優…

ロンスパッタリング装置）水素フリーの緻密なDLC膜は従来の水素含有DLC膜に比べＭｏ添加の潤滑油中の摺動特性を１／１５以下に低減（１⇒０．０６）最新成膜プロセスで導電性カーボン薄膜の形成にも対応。バイオ用途から新エネルギーまで幅広い分野で用途を開拓しています。新開発アーク放電式マグネトロンカソードによる低電圧・低圧力プラズマは成膜だけでなく基板表面のイオン窒化やエッチングにも応用されて...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店
卓上型真空プラズマ処理装置『PC-0400』

洗浄・表面処理・表面改質・接着強化に対応！タイマー機能付！

PCシリーズ』は、プラズマ放電にさらすことで、従来の洗浄方法では難しかった表面汚物物質の除去ができる真空プラズマ処理装置です。金属、セラミック、プラスチック、PDMSなど多くの材質処理に対応可能。また、洗浄以外にもポリマーへの薄膜形成、表面接着力強化、細胞培養の前処理などあらゆる試料のプラズマ処理に対応します。低価格でコンパクト設計なので、実験・研究・開発に適しておりま...

メーカー・取り扱い企業：ストレックス株式会社
大型プラズマエッチング装置

ウェハやガラス・大型基板のエッチング・アッシングに実績豊富なバッチタイ…

グ装置「ＥＸＡＭ」をベースとし最大Φ６００ｍｍもしくは５００ｍｍ□までステージを拡大。大型ステージでファインピッチのエッチング・各種有機物のアッシング・表面改質・クリーニングなど幅広いプロセスに対応「従来機種ＥＸＡＭ」同様にウェハ・ガラス・セラミック基板のエッチングを行なうと共に大型実装基板・カット済みのフィルム基板のエッチング・クリーニング・表面処理にも実績豊富。電子デバイスだけでな...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店
量産用プラズマクリーニング装置（大型プラズマクリーナー）

自動化量産ラインに対応。インラインタイプ、枚葉タイプ、柔軟なハード構成…

リーニング用途に展開。高いクリーニング効果を各種基板で実現。基板と生産量に合わせて柔軟なハード構成と高いプロセス能力クリーニング・ディスカム・アッシング・親水処理、撥水膜処理、各種用途に対応。基板実装から素材表面処理まで実績豊富な大型プラズマ装置...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店
熱触媒式除害装置(TCSシリーズ)

排気ガス中の有害成分を専用触媒により除去します。

● 反応副生成ガスにも対応　カーボンナノチューブCVDプロセスで使用される　NH3（アンモニア）の他　副生成される可能性が　ある毒性の強いHCN（シアン化水素）にも対応。※1 ● 視認性に優れたデザイン　集合表...

メーカー・取り扱い企業：株式会社巴商会管理部署：企画営業部
ＤＬＣ除膜装置（精密金型用プラズマクリーナー）

非球面レンズのＤＬＣ膜の除去に実績豊富なプラズマクリーニング装置。高付…

実績豊富なプラズマクリーニング装置「ＰＯＥＭ」をＤＬＣ除膜用にグレードアップ＆カスタマイズ。従来型より処理時のイオンのエネルギーを向上させ緻密なＤＬＣ膜の除去に対応。通常のＯ２クリーニングプロセスだけでなくマルチガスプロセスでＳｉ含有ＤＬＣなどカスタマイズされた各種ＤＬＣ膜の除去に実績。当然ＤＬＣ除膜だけでなく成型残差や型表面の酸化層の除去、メッキ前のクリ...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店
HCD型高密度プラズマエッチング装置

シンプルな機構で高密度プラズマを実現。ウェハから１ｍ□基板まで対応。Ｓ…

によって高精度エッチングが可能。従来型のエッチング装置（CCP型・ICP型）とのハード上の互換性も高く低コスト・高い信頼、稼働率の実現に寄与。ウェハレベルの基板だけでなく大型基板のエッチングにも対応可能基板の大型化にスムースに対応可能な新型高密度プラズマエッチング装置...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店
R%D用マルチチャンバスパッタリング装置

R&Dやニッチプロセスへの対応に特化　量産用装置では困難な少量生産や試…

先端薄膜プロセス開発・少量生産専用の低コスト型マルチチャンバスパッタリング装置。膜厚制御性に優れた高効率カソードと豊富なオプション機構により幅広い分野に対応Ｓｉ半導体の電極・配線膜だけでなく、マイクロ磁気デバイスやＭＥＭＳ用の磁性体膜・絶縁膜・保護膜など各種プロセスに実績蒸着・アニール・ＣＶＤなどの異種プロセス室も装備可能で実績のあるメインフレ...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店
枚葉式プラズマエッチング装置「ＥＸＡＭ－Σ」

ニッチプな要求に細やかに対応。ライトエッチング・アッシングを薄ウェハや…

薄ウェハ（１００μｍ以下）の自動枚葉搬送を実現したプラズマエッチング装置。マルチモードプラズマとステッププロセスで幅広いプロセスに対応自然酸化膜除去から厚膜レジストアッシング・クリーニング・ディスカムまで。ディスクリートＩＣ、パワーデバイス、化合物半導体・ＭＥＭＳなど多くのデバイスの量産現場で多様なプロセスで活躍中...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店
乾式除害装置(MAKシリーズ)

大気放出できない装置から排出される有害排気ガスを安全に除害処理します。…

害成分を化学処理剤トムクリーンと反応させ、安全な化合物に変えて処理剤内に固定し、弊社にて産業廃棄物として処理されます。トムクリーンを処理対象成分に合わせて選択することにより、多種多様な排気ガスに対応できます。...
メーカー・取り扱い企業：株式会社巴商会管理部署：企画営業部
撥水コーティング装置テスト受付中

プラズマ処理で撥水コーティング。低温処理で樹脂フィルムに対応。サンプル…

エッチング・クリーニングで実績豊富なプラズマ技術で撥水コーティングに対応。樹脂フィルム・ガラス・金属薄膜、多種の基板を撥水処理。プロセス変更で親水化やクリーニングにも対応コパクト・リーズナブル・高信頼性、サンプルテストでプロセス開発に協力。実績と対応のプラズ...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店
プラズマ処理装置　WLP600S

6インチと8インチのウエハーに対応！平行平板方式のプラズマ処理装置

WLP600Sは、平行平板方式のプラズマ処理装置です。 6インチと8インチのウエハーに対応し、低価格・省スペースを実現しました。コントロール・パネル上の操作のみでDP（ダイレクトプラズマ）モードとRIE（リアクティブイオンエッチング）モードの2種類のプラズマ方式を切り替えられ、ポリイ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エスクラフト
ロールtoロール式減圧プラズマ処理装置『PR Series』

ロール状フィルム基材の処理に対応。減圧プラズマ処理により、アッシン…

はお問い合わせください。【特長】 ■ロールtoロールタイプ ■減圧下でプラズマ処理　・大気圧装置と比べて有機物除去効果や表面改質効果が高い　・大気圧装置では出来なかったプロセスも対応（各種官能基修飾など） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社電子技研
導電性カーボン薄膜形成装置（アーク放電スパッタリング装置）

導電性カーボン薄膜をスパッタリングで形成。低温（４００℃以下）で不活性…

）によりメタル成膜と同等のプロセスで導電性カーボン薄膜を形成。従来のスパッタカーボン薄膜に比べて格段に緻密で高い密着性が特徴。導電特性と膜の安定性よりエネルギー・バイオセンサーなどの新分野に対応導電性カーボン薄膜は硬度や表面の平滑性に優れており、金属への高い密着性より機械部品の表面処理（トライボロジー用途）への応用も可能です。...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店
ガス導入型真空プラズマ装置

空気・酸素・窒素・アルゴンなど様々なガスを導入できる卓上型の真空プラズ…

プラズマ装置国産メーカー『魁半導体』 2002年に京都工芸繊維大学発ベンチャー企業として設立。昨年の『関西フロントナー大賞』『京都中小企業優秀技術賞』を受賞。社内の技術者が様々なニーズに対応いたします。本製品は文部科学省の支援事業『京都環境ナノクラスター』に協力頂き製品化を実現致しました。【特徴】 ○回転チャンバー搭載 ○様々なガスの導入が可能 ○タッチパネル制御...

メーカー・取り扱い企業：株式会社チェッカーズ
実験用スパッタ装置

簡易でありながらφ3インチターゲットのマグネトロンカソードと200L/…

●　価格500万円(税込み) ●　φ3インチターゲット　1元カソード ●　RF300W電源、自動マッチングボックス付 ●　ガス系統：1系統(オプションにて3系統まで対応可)、　　マスフローコントローラーによる調整 ●　酸化物など絶縁体のスパッタが可能。 ●　オプションにて基板ヒーターの取付可。 ●　余分なものを省きながら使いやすいシンプルな構造。 ●　...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ヤシマ
前処理・表面改質-コロナ放電・プラズマ処理

立体形状のワークに対応可能！豊富なアプリケーション電極、周辺機器、搬送…

質のコロナ放電・プラズマ処理をご紹介します。印刷・塗装前の基材表面の処理(濡れ性向上)を目的とし、フレーム処理とは異なりガスを使用せずに表面処理を行う事が可能。立体形状のワークに対応でき、豊富なアプリケーション電極、周辺機器、搬送装置でプラスチック、金属の混合部品に対して処理が可能です。【特長】 ■立体形状のワークに対応できる ■コロナ放電･プラズマ処理装置で真...

メーカー・取り扱い企業：株式会社第一メカテック
卓上プラズマエッチング装置『TP-50B』

独自のスポットプラズマ技術で局所加工が可能な卓上プラズマエッチング装置

、操作も簡単、気軽にプラズマ加工が行える卓上プラズマエッチング装置です。独自のスポットプラズマ技術で局所加工が可能で、半導体故障解析用試料の前処理（配線の露出）から、各種プラズマ加工に幅広く対応致します。また小型のため、スペースの限られた研究室で活躍します。【特長】 ■卓上サイズでコンパクト ■局所的なプラズマ加工が可能（Φ0.5mm～） ■低残渣かつ高速加工を実現（...

メーカー・取り扱い企業：ナラサキ産業株式会社メカトロソリューション部　機能材料課
大気中プラズマ照射表面改質装置

基材処理テスト可能！プラズマウエッジは、大気中ですべての基材表面に…

ださい。TEL:06-6885-6273 / FAX:06-6885-6274/E-mail:info.wedge-d@webcatch.jp ・「イプロスを見た」と伝えていただけると、スムーズに対応できます。 ...

メーカー・取り扱い企業：ウエッジ株式会社営業本部及び本社工場
プラズマイオンボンバーダＰＩＢ－２０

あらゆる用途に対応可能な高性能装置。調整後はボタンひとつでＯＫ！

ボンバーダ　ＰＩＢ－２０型は好評な弊社製PIB-10形親水処理装置の多機能モデル。TEM用支持膜の親水化処理、ダイアモンドナイフ等のクリーニング、有機材料のエッチング、ＰＤＭＳの貼付とあらゆる用途に対応可能な高性能装置です。フルオート機能搭載で、調整後はボタンひとつでＯＫ！RFプラズマ装置が導入困難な方、RFプラズマ装置が高価で手が出せなかった方に高性能なACプラズマ装置を低価格で！詳しくはお...

メーカー・取り扱い企業：株式会社真空デバイス
プラズマ成膜及びエッチング装置『FLARIONシリーズ』

プラズマアシストリアクティブ成膜可能！インテグレーション用オプションな…

レスICPによるプラズマアシストリアクティブ成膜が可能。また、基板回転機構、バイアス機構やプログラム制御された軸動作機構の搭載が可能で、カスタマイズやインテグレーション用オプションに対応しています。【特長】 ■PLUM シリーズのシームレスICPによる　プラズマアシストリアクティブ成膜可能 ■基板回転機構、バイアス機構や　プログラム制御された軸動作機構搭載可能 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハイテック・システムズ
大気圧プラズマ装置『小型実験機タイプ』

小片基板の濡れ性改善、密着性向上、表面改質に！実験用途に特化した大気圧…

『小型実験機タイプ』は、A4サイズ程度までの枚葉処理に対応する大気圧プラズマ装置です。リモート処理、ダイレクト処理どちらも使用可能。実験用途に特化しており、扱いやすい半自動タイプです。小片基板の濡れ性改善、密着性向上、表面改質などに...

メーカー・取り扱い企業：積水化学工業株式会社 P2事業推進部
マイクロ波プラズマソース『MIRENIQUEシリーズ』

MWPECVD用R&D装置に好適！MW-SURFATRONSは常圧また…

PECVD用やダイアモンド・DLC・CNTやプラズマアシスト重合など向けで、リアクター及びプラズマソースは、MWPECVD用R&D装置に好適。 MW-SURFATRONSは常圧又は減圧に対応しています。【特長】 ■PECVD用やダイアモンド・DLC・CNTやプラズマアシスト重合など向け ■MWPECVD用R&D装置に適したリアクター及びプラズマソース ■MW-SURFAT...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハイテック・システムズ
簡易型大気圧プラズマ装置

低温・電荷ダメージなし！簡易型大気圧プラズマ装置洗浄・表面改質・親水…

な価格帯です。全国の大学、大手の研究機関・R&D部門・生産部門でも多数ご利用頂いており、高い処理効果が有ります。又、社内で設計から製造まで全ておこない、専任の技術者により、あらゆる仕様に対し、親身に対応させて頂いております。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社チェッカーズ
水素プラズマクリーニング装置（イオンクリーニングタイプ）

H2（水素プラズマの還元力で各種基板表面クリーニング。表面酸化層除去効…

ズマによる表面洗浄機能に加え、水素プラズマによる還元洗浄機能を実現。今まで以上に表面酸化層の除去能力が向上し、クリーニング後の基板の親水性も大きく向上。従来と同じプラズマクリーニングにも当然対応。さらに従来のＡｒプラズマクリーニングとの複合クリーニングやＯ２（酸素）クリーニングとの2段階ステップクリーニングなど新たなクリーニング機能により、一般的なプラズマクリーニングに比べ洗浄対象物や洗浄...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店
標準バッチタイプスパッタリング装置（ＳＲＶシリーズ）

多機能・コンパクト・フレキシブル対応、実績と信頼の標準型ラインナップ

きます。カソードも膜種に合わせて強磁性体用、コンベンショナルタイプなどの各タイプが選択できます。その他機構も高温加熱、基板冷却（水冷）、多元同時スパッタなど多くのオプションにより幅広い用途に対応いたします。...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店
ALNコーティング装置（高密度プラズマスパッタADMS装置）

高密度プラズマスパッタで結晶性ＡｌＮ膜を形成、立体形状への全面コーティ…

立体毛状基板（機械部品・治工具・金型）対応の従来型硬質膜用ＡＤＭＳ装置にＡｌＮ膜用カソードとプロセスソフト装備可能ウェハやセラミックなどの平面基板でなく立体形状品への成膜を高高率で実現。高い信頼性を持つ全自動量産システムをラインナッ...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店
高周波大気圧プラズマ表面改質装置

基材処理テスト可能！無電界・大気圧プラズマを照射し、プラスチック・ガラ…

ださい。TEL:06-6885-6273 / FAX:06-6885-6274/E-mail:info.wedge-d@webcatch.jp ・「イプロスを見た」と伝えていただけると、スムーズに対応できます。...

メーカー・取り扱い企業：ウエッジ株式会社営業本部及び本社工場
大気圧プラズマによるフィルムや基板の受託処理

エア・ウォーターグループの表面改質受託処理サービス。お客様のニーズに合…

を図り、中核事業として拡大してまいります。【仕様】フィルム幅：300～1250mm幅フィルム厚：8～125μm フィルム巻径：最大直径400mm フィルム重量：最大160kg 対応コア：内径3 inch及び6 inch、長さ1400mm 処理面：両面同時処理 ※詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：エア・ウォーター株式会社
真空機器関連商品　EBEP処理装置＜FAP-EB/2D＞

CVD、エッチング、表面改質のプロセスに最適です。

種を生成することが可能。CCPプラズマ、ICPプラズマでは達成できないプラズマ状態を生成し、様々な材料の精密成膜、エッチング、表面改質ができます。φ100mmの酸化物、金属、樹脂等の成膜、表面改質に対応。ステージ加熟（Max500℃）、バイアス印加による高速高精度処理が容易となっております。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社片桐エンジニアリング
プラズマ容器内壁処理装置『IP-200』

特許取得済！様々な形状の容器内壁面を集中改質できるプラズマ処理装置

『IP-200』は、試験管・シャーレ・チューブ・マイクロプレートなど多様な形状にも対応し、親水性・撥水性・除菌・クリーニング性を付与させるプラズマ処理装置です。「樹脂製試験管でスラントを作りたい」「容器の内壁を親水化させたい」「チューブ内の液溜まりをなくしたい」などのご要望に最適...

メーカー・取り扱い企業：泉工業株式会社
大気圧プラズマ装置　MyPLシリーズ

独自のリアクターヘッドにより大面積エリアに高密度プラズマを発生！ …

ス基板等の大型ワーク（ガラス基板等）の量産インラインシステム構築を容易にし、設備投資とランニングコストの低減を実現！マニュアルステージ搭載した簡易プラズマユニット機各種装置へのビルドイン対応可能です...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェル
大気圧リモートプラズマ装置『RT』

低温処理＆電界遮蔽構造でダメージレス！LCD工場を始め数多くの生産工程…

『RT』は、低温処理＆電界遮蔽構造の大気圧リモートプラズマ装置です。高速（10m/min)処理で10°以下を達成（LCD向けガラス基板の処理）。 160～3400mm巾まで対応の豊富なラインアップをご用意しています。 LCD分野では、ガラス表面の濡れ性改善、wet洗浄効果の向上に、タッチパネル、OLEDの分野では、導電フイルムの表面改質、貼り合わせ前処理など...

メーカー・取り扱い企業：積水化学工業株式会社 P2事業推進部
粉体用大気圧プラズマ処理装置

改質Revolution！

当て、回転揺動による撹拌で均一な処理が可能です。・危険な溶媒を用いない､完全なドライプロセスでの処理を可能とし､環境に優しく生産性に優れた装置です｡・冷却機構を搭載しており、低融点の粉体にも対応できます。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ジェイ・サイエンス・ラボ本社
プラズマCVD装置『PEGASUS』

低温成膜。高絶縁、ハイバリア、均一性！

『PEGASUS』は、メモリ、パワーデバイス、MEMSへの絶縁膜、保護膜の形成プロセスに低温で緻密な安定した成膜が可能な量産対応型プラズマCVD装置です。インターロック機構による、高い安全性を持ち合わせており、ウエハ接触部位に非金属を使用しているため、裏面からの汚染を防止します。【特長】 ■低温成膜 ■メンテナンス...

メーカー・取り扱い企業：株式会社セルバック
量産現場の実績多数　WET処理装置(洗浄・現像・エッチング剥離)

液晶及び有機EL市場において高いシェアを誇る枚葉平流し式ウェット処理装…

●量産工場への納入実績多数 ●用途に合わせて、スプレー処理、ディップ処理、パドル処理など、　好適なエッチング装置構成をご提案 ●独自開発したスプレーノズルによる均一性の向上 ●様々な薬液に対応可能な実績 ●基板サイズ：□100×100mm～□2,250×2,800mm 【特長】 ●薬液消費量の低減に効果を発揮 ●独自の搬送駆動機構によりパーティクルレスを実現 ●大量処理デー...

メーカー・取り扱い企業：株式会社SCREENファインテックソリューションズ
難接着材料でも接着力UP『Openair-Plasma(R)』

『Openair-Plasma(R)』は高速で、オゾンレスの表面処理技…

独自開発のジェネレーターFG5001Sの特徴： ●　複合材、CFRP、汎用プラスチック、金属など様々な材料に対応 ●　表面洗浄と活性化を同時に処理 ●　表面処理プロセスを自動化に ●　コンパクトなのにマルチノズルに対応 ●　タッチパネル操作で見える化を実現 ●　制御システムによりプロセスを管理 ●...

メーカー・取り扱い企業：日本プラズマトリート株式会社
MAGNION、FLARION、EVADシリーズ

シングル・マルチカソード対応！グローブボックスとのインテグレーションも…

『MAGNION、FLARION、EVADシリーズ』は、卓上薄膜蒸着及びプラズマ装置です。マグネトロンスパッタPVD装置は、シングル・マルチカソード対応。熱蒸着装置は、有機・無機材料向け蒸発ボート・小クヌーセン・セル(K-セル)で、グローブボックスとのインテグレーションも可能です。【特長】 ■マグネトロンスパッタPVD装置：シ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハイテック・システムズ
研究開発に最適！卓上型の真空・大気圧・粉体プラズマ装置

【表面改質】濡れ性向上、接着強化、ナノ洗浄！最先端プラズマ処理で新技術…

プラズマ装置国産メーカー『魁半導体』昨年の『関西フロントナー大賞』『京都中小企業優秀技術賞』を受賞。社内の技術者が様々なニーズに対応いたします。本製品は国内の様々な大学や研究所、メーカーのR&D部門に導入実績がございます。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社魁半導体
プラズマ照射表面改質装置『PS-601SW/1200AW』

ロボットで自由に稼働！中空ボトルや凹凸のある成型品等の表面改質が可能

【対応素材】 ■ポリオレフィン系樹脂 ■ガラス ■金属 ■セラミック ■カーボンその他すべての基材 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：エム・エルエンジニアリング株式会社
ウェブ搬送ロールのしわ・傷・粘着物による不具合防止コーティング

アメリカ生まれの高耐久コーティング！業界スタンダードとして採用実績多数…

離型剤の種類だけでも20種以上ありますが、その離型剤と組み合わせる硬質層との調整によって、離型（離形）性、グリップ力、耐摩耗性などさまざまな特性を与えることが可能。お客様の多様なニーズに対応することができます。【特長】 ■世界中で採用されているコーティング技術 ■コンバーティング分野をはじめ、幅広い産業分野で使用 ■現在使用している部品に対し、様々な表面特性を付与可能 ...

メーカー・取り扱い企業：カンメタエンジニアリング株式会社
Diener Electronic社製『プラズマ処理装置』

幅広い材質に対応できる低圧タイプや、インライン設置が可能な大気圧タイプ…

当社では、半導体分野をはじめとする現場で数多くの導入実績を持つ Diener Electronic社製の『低圧・大気圧プラズマ装置』を販売しています。取り扱いが簡単で低価格な実験用の小型製品からパワフルな処理能力を備えた大型機まで幅広くラインアップ。低圧タイプ、大気圧タイプともに豊富なモデルを揃えており、研究開発や少量生産などお客様のニーズに合わせた選択が可能です。 ...
メーカー・取り扱い企業：テクノアルファ株式会社
赤外線反射防止膜用ＤＬＣコーティング装置

高い赤外線透過率をもつＤＬＣ膜をハイレートで基板両面に形成。安定の…

独自開発高密度プラズマ源（ＰＩＧプラズマ源）を装備自公転機構によるハイレート全面成膜機構各種赤外線光学素子の対応した充実のソフトウェア...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店
ProfileTEC

ランニングコストを大幅に抑えることが可能！非接触処理で機械を損傷しませ…

『ProfileTEC プラズマトリーター』は、単一または複数のプラズマヘッドを利用して、様々なプロファイルに対応できます。既存の生産ラインに簡単に導入可能。プラズマヘッドはプロファイルに触れないため、機械を損傷しません。また、必要なのは電力と圧縮空気に関するコストだけで、ランニングコストを...

メーカー・取り扱い企業：株式会社第一メカテック
サンプル形状を選ばず、自由に処理！バレルタイププラズマ処理装置

微細なパターンやチューブ形状内面の洗浄、改質が可能！溶液を使用せずに洗…

します。【装置特徴】 ■サンプル形状を選ばない自由な処理（円筒形処理室／等方性プラズマ） ■多様なプロセス：Ａｓｈｉｎｇ（洗浄）、Ｅｔｃｈｉｎｇ、表面改質等 ■部品は全てクリーンルーム対応（半導体製造装置として使用可能） ■廉価、小フットプリント設計 ■量産装置としてお使い頂ける安全仕様詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社電子技研
５G通信の伝送損失を低減できるプラズマ表面改質技術

低誘電率樹脂を粗面化せずに直接めっき、接着剤を使わず直接接合！※技術資…

っきにより伝送損失を低減・フッ素樹脂、LCPへのダイレクト接合が可能接着剤を使わず低誘電率樹脂の直接接合が可能低誘電率界面のみで積層基板形成が可能 100GHz以上の高周波通信にも対応可能・廃液のないドライプロセス環境にやさしく、省エネ ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社電子技研
大気圧プラズマ装置を用いたダイレクト接着

大気圧プラズマ装置による分子結合接着「ダウンストリーム型大気圧プラズマ…

大気圧プラズマ装置を用いたミリ波に対応するFCCL製造関連に適した伝送ロスを排除した接着技術であり、分子結合を利用した接着剤レス接着であるため信頼性が高く、ワーク表面のフラットな状態をキープしながら、フッ素樹脂やその他フィルムとの異種材...

メーカー・取り扱い企業：株式会社イー・スクエア