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144件 - メーカー・取り扱い企業
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33件 - カタログ
244件
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洗浄装置｜ウェハーカセット・キャリア洗浄装置「 TCC-803」
ハイエンド、高付加価値製品の製造プロセスで用いられるウェハーカセット、…
度化する環境の中で求められる更なる歩留り向上、これらの問題をクリアーするソリューションの一つにコンタミネーションコントロールが最重要課題として位置付けられています。 テクノビジョンが提供するカセット洗浄装置「モデルTCC-803」は、この様な高度清浄化をサポートする高度な洗浄ノウハウが凝縮されています。 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社
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ウェハー 一括移し替え器
簡単操作でイージーハンドリング！ ウェハーをカセットから別のカセットへ移送することができます。 〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜〜 ■操作が簡単！ ガイドに従ってレバーが動きますので、簡単な操作によりウェハーを移送するこ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンワハイテック
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ウェハ搬送移載装置「ピッチ変換」「Face to Face移載」
カセット内のウエハを異なるカセットへ自動移載、2カセット同時やピッチ変…
ウェハ搬送移載装置は、オープンカセット内のウェハを別のオープンカセット・石英(SiC)ボート等へ自動移載する装置です。 【特徴】 ・4インチ～8インチウェハ用移載機 ・CR内でのウェハの自動移載が可能 ・2カセット同...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行
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カセット搬送システム
チルト機構によりウェーハのズレがなくスムーズなカセット搬送が可能 様々なカセット仕様にもカスタマイズ対応 バッチや枝葉処理の装置どちらにも対応...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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テスト印刷可能！ポリイミドカバーリングなどの印刷を、高精度かつ全自動で…
『MT-80SP』は、各種ウエハサイズに対応した、カセットtoカセットタイプの 全自動ウエハ向けスクリーン印刷機です。 ローダ部にカセット（各規格対応）を積載。水平搬送ロボットアームにより 自動で取り出し、プレアライメント（ノッチ検出）を経て印...
メーカー・取り扱い企業： マイクロ・テック株式会社
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Premtek RTP-1200A（SEC）（SEF）
4～8インチに対応した、シングルチャンバ全自動RTP装置です。搬送方式はオープンカセット・SMIFどちらかの選択で、カセットステーションは2台になります。 ウェハをサセプタに格納してプロセス処理をするため、反り、厚さ、透過率等のウェハの特性に関わらず、抜群のRc・温度均一性を実現しま...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社インターテック販売 東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）
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半導体周辺機器検査の新スタンダードを目指して！広視野撮像によってタクト…
ンピンホールを測定・検査します。 特注対応も行っております。お気軽にご相談下さい。 【特長】 ■各種メーカーのFOUP/FOSB/OCに対応 ■φ300mmの定型サイズ以外やカラーカセットも検査可能 ■2500万画素カメラ＋専用光学エンジンにより、超高画質での外径寸法が可能 ■超広視野で行う高速処理でスループットは業界最速クラス ■特注も対応 ※詳しくはPDF資料をご覧...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社清和光学製作所
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フルオートマティックスピン洗浄装置 300mm/8インチウエハー、ガラ…
本装置は、ウエハーカセットを本体に手動でセットし、収納されている対象ワークをロボットでスピン洗浄部に送り、スピン回転させながら二流体洗浄・超音波洗浄・N2ブロー乾燥の処理を行い、再びウエハーカセットに収納する装置です。...
メーカー・取り扱い企業： マック産業機器株式会社 テクノロジーセンター
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洗浄しにくい凹凸部を高圧パルスジェットで洗浄！手作業よりも安定した洗浄…
多関節ロボットで被洗浄物との距離を一定間隔に保ちながら、高圧パルスジェットによる各種キャリア（カセット）の洗浄を行う洗浄装置です。洗浄~乾燥工程まで対応が可能出です。 ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧ください。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクニカルフィット
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ダイシングフレームサイズ200mm・300mm。タクトタイム・搬送時間…
『PCT2022』は、所定のカセットに収納された200mm・300mm用 ダイシングフレームを標準カセットに入れ替えるウェーハカセット チェンジャーです。 使用するカセットは、6枚入カセット・13枚入カセット。 各カセッ...
メーカー・取り扱い企業： PHT株式会社
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スピン洗浄装置 自動フォトリゾ装置 JASC-1200AD型
対象ワークは200mm□基板又はφ300mm基板に適用します！
自動フォトリゾ装置はカセットからカセットでレジストスピンコート、真空ベーク、アライナー、スプレー現像を自動で行う装置です。勿論工程の選択も出来ます。ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。工程間の搬...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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切削・押出し加工のウエハーリングカセット！
当社では、アルミ製『ウエハーリングカセット』の設計・加工・製造を 行っております。 12インチ、8インチ、6インチ。各サイズでの製品がございます。 面取り加工（入口テーパー加工）、各種ストッパー加工、各種表面処理まで全て承ります...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ファーストメタル
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全自動全面一括露光が可能なオートアライナー装置をラインアップ
半導体をはじめとする各種デバイス、センサーなどの露光工程に用いられる、研究開発から中小ロット製造用に最適な片面マスクアライナー、カセットtoカセット搬送システムを搭載し、全自動全面一括露光が可能なオートアライナー装置をラインアップしました。...
メーカー・取り扱い企業： ウシオライティング株式会社
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6・8インチ用 ウェハソータ W-ST-200A
8種類までのレシピ登録が可能な 6・8インチ用ウェハソータ 【特徴】 ○3軸円筒座標型ロボットにて、ウェハカセット間でウェハを移載 ○カセットは抜き取り用を含む3カセット仕様 ○番号に対するスロットの指定が可能 ○OCR、アライメントのON/OFFの設定が可能 ○クリーンルーム内での使用が可能 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウイング
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PHTは半導体業界の中でウェーハ自動剥離装置（剥離洗浄機）のニッチトッ…
ワイヤーソー (スライス) 後のウェーハ自動剥離装置です。プレート治具に接着されたインゴットを投入側にセットすることで、粗洗浄～ウェーハ剥離～ウェーハ枚葉洗浄～乾燥～カセット収納までを全自動で行うシステムです。剥離後のプレート治具は、アンローダ側に排出されます。 剥離は、熱風加熱方式で、1枚ごとに行います。剥離後のウェーハは、枚葉式の洗浄です。2流体高圧洗浄～スクラブ...
メーカー・取り扱い企業： PHT株式会社
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テープ剥がし機
テープ剥がし機は、ウエハー上に貼られた保護フィルムを剥離する装置です。カセットで供給されたウエハーをアライナーで位置決めし、テープ剥離後同一カセットに排出します。 ■薄厚ワーク対応■ 独自の剥離機構と全面吸着テーブルの採用によりウエハへのストレスを最小限に抑え、薄ウ...
メーカー・取り扱い企業： 大宮工業株式会社 営業本部営業課
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コンパクトな小口径薄物ウェハ用移載装置
『Sicホルダー移載機』は、横型酸化/拡散炉用のウェハーボートから プロセスカセットへの移し替え装置です。 受注後3ヶ月と立上調整3日でご提供いたします。 ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ECP
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【無料配布中】自動エッチング装置や自動基盤用現像装置の総合カタログ
2インチから18インチのウエハ及び300mm口基板をローダーより多関節ロボットを使用し各工程を経てアンローダーカセットまで自動で処理する「枚葉式ウエハ処理装置」の総合カタログを無料配布中です！ デモも随時ご相談受付ておりますので、ぜひお気軽にお問合せ下さい！ ※詳しくはカタログをダウンロードもしくはお問合...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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【デモ機貸し出し可能！】ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1…
自動フォトリゾ装置は、カセットからカセットでレジストスピンコート、真空ベーク、アライナー、スプレー現像を自動で行う装置です。 勿論工程の選択も出来ます。 ローダー、アンローダーも同一側でオペレーター1人で作業が出来ます。 ...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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ベルト搬送による非接触ウエハソーティングシステム！
【ベルト搬送による非接触ウエハソーティングシステム】 ◆抵抗・厚さ・PN判定を全て非接触測定 ◆標準カセット数：ローダーカセット×4、アンローダーカセット×6 （カセット数は変更対応可能です） ◆ガラスマップ（サーチ）機能 ◆CIM通信、2-D/3-Dマッピングウェア ●対象ウエハサイズ：3...
メーカー・取り扱い企業： ナプソン株式会社
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6インチ用 ウェハローダー WR-100A
6インチ用、マニュアルタイプのウェハローダー 【特徴】 ○ウェハをカセットから顕微鏡の受け渡し位置へ渡し 作業終了後、カセットへ収納 ○検査するウェハは選択可能 ○オリフラ角度の設定が90度単位で可能（オプション） ●その他機能や詳細については、カタログ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウイング
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加工の終了したφ300 mmウェーハを1枚ずつテフロンカセットへ収納し…
ウェーハは作業者により加工装置から吸着パッドでウェーハシュータ部へ置かれた後に ステージの傾斜と純水の吐出を利用してテフロンカセットへ滑り込ませ収納します。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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EFEM
300mmウェーハをFOUPカセットより取出し、振り分けを行います。 振り分けのパターンは任意に設定でき、お客様の仕様に対応した振り分けが可能です。 振り分け以外にも装置のローダ/アンローダとして使用できます。 水平多軸ロ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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耐雷関連製品 「モリブデンSPDテスター、雷サージカウンター」
モリブデンSPDカセットの性能劣化を合否判定します。
モリブデンSPDテスターは、モリブデンSPDカセットの性能劣化を合否判定します。 SPDの劣化による被害発生を防ぎます。 雷サージカウンターは、雷サージ電流の通過回数をカウントします。 雷サージ発生の傾向がつかめます。 【特徴】 [モ...
メーカー・取り扱い企業： 山陽電子工業株式会社 放送機器事業部
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プロトスケース内の薄物ウェーハを安全、確実に搬送することを実現しました…
プロトス、カセット間をダメージなく自動移載 ベルヌーイチャックを搭載し、薄物ウェーハにも対応 ウェーハとプロトススペーサを自動識別 ワークの高さも自動認識 複数カセット及び各インチサイズにもカスタマイズ対応...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
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一括カセットtoカセット移載
本機械は、φ200mmウェーハのカセットtoカセット移載を、手動操作にて行う装置です。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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メンテナンス性の向上！カセットチェンジ機構に対応した高精度コーター
当社では、特殊カップリングの採用した『高精度コーター』を 取り扱っております。 塗工液粘度範囲は1～50,000(mPas)、塗工厚み範囲は1～(μm wet)です。 カセットチェンジ機構に対応し、メンテナンス性の向上が 図れます。 【特長】 ■高精度モーターの採用 ■特殊カップリングの採用 ■高精度軸受の採用 ■カセットチェンジ機構に対応 ■メンテナ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノスマート
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【デモ機貸し出し可能！】Φ300まで対応可能なディップタイプの枚葉式洗…
本機はディップ型の枚葉処理機であり、ローダー部でワークを縦に起し、搬送ロボットで各処理を行います。 最終洗浄が終わったのち、反転機構によりワークを横に戻し、スピン乾燥を行う、カセットtoカセットの洗浄機です。 詳しくはお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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先端薄膜デバイスの研究開発に最適。カスタマイズ容易な枚葉式超高真空イン…
１０‐⁷ｐａの排気性能を持つ超高真空スパッタリング装置。標準構成でカセット室・搬送室・エッチング室・複数のスパッタ室を装備。全自動ＣｔｏＣ方式による完全自動運転で研究開発作業の効率化を実現いたします。 高効率強磁性体用カソードやワイドエロージョンカソードなど成膜機構も...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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従来の陽極酸化装置をさらに応用したポーラスシリコン形成装置。使用薬液・…
【特長】 ■多孔質シリコンを全自動にて形成します。 ■裏面保護用治具を使用しない為カセットto カセットを可能にしました。 ■N型、P型両方に対応出来ます。 ■2～6インチまで各種サイズ対応いたします。8インチ以上はご相談ください。 ナノシリコン技術としてバイオメディカル・二...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン
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ポリイミドキュア装置（３００ｍｍウェハ対応 クリーンベーク装置）
３００ｍｍウェハ対応ポリイミドキュア、ベーキング、低温アニール、多層基…
真空置換後の低酸素雰囲気（N2）中で高均一性熱風加熱。300mm ウェハをカセット単位で加熱処理。システムLSIポリイミドキュア、フレキシブルプリント基板キュア・アニールに対応。３００ｍｍウェハカセット単位のキュアリングで高品質化と量産化を両立 ...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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お客様のご要望に沿ったカスタマイズ仕様。実験機から生産機まで対応可能で…
【特長】 ■対応ワーク 100mm角～1000mm角まで対応可能。（他のサイズ、形状は別途相談） ■揺動機構（水平揺動・スプレーノズル首振り）を付けることにより、処理効率を向上させます。 ■カセットtoカセット対応も可能。 ※詳しくはPDF（カタログ）をダウンロード頂くか、お気軽にお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン
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【デモ機貸し出し可能！】卓上型で本体が軽量なため移動が容易です
SFH typeは卓上型のスピンドライヤーです。 特に150mm□以下の基板をカセットに収納し、2カセット又は4カセットを手動でたてに装填し、スピン乾燥を行う卓上型スピンドライヤーです。 蓋にHEPA又はULPAフィルターを内蔵し、クリーンエアーを導入する事によりチャンバー内のク...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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3種類の動作が行える装置
φ6、8インチウェーハのカセットから取出しを行う【ロードモード】、カセットへ収納する【アンロードモード】、ロードモードとアンロードモードを交互に行う【出し入れモード】の3種類の動作が行える装置です。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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指定カセットに収納されたウェーハのノッチ及びオリフラの向きを整列させる…
・カセットを2個セット可能です。 2カセットにすることにより作業時間を大幅に削減できます。 ・回転ローラーに特殊樹脂整列バーはステンレス材に樹脂コートを行い、 耐摩耗性と低発塵を達成しま...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
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【デモ機貸し出し可能！】Φ300まで対応可能なカセットタイプのバッチ式…
300mmウエハ自動洗浄装置は、カセットタイプのバッチ式洗浄装置です。 Φ300まで対応可能です。 詳しくはお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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広い範囲で優れた測定直線性！三次元グラフィックマップとしてPCモニター…
【機能詳細】 ■最大300点まで計測可能 ■自動ドリフト補正 ■ソフトウェアで抵抗の測定範囲を選択可能 ■カセットToカセット式ソーティング ■外部膜厚入力 ■ウェーハマッピング(2次元等高線、3次元グラフィック） ■SPC(Statistical Process Control)統計管理ソフト ...
メーカー・取り扱い企業： 日本セミラボ株式会社 新横浜本社
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リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能
カセットをローダーにセットし、耐薬仕様のクリーンロボットにて基板の搬送を行います。 チャンバーＡでケミカル処理、チャンバーＢでリンス、スピン乾燥し、アンローダにセットしたカセットへ収納する、枚葉自動マルチスピンプロセッサーです。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナメックス 厚木工場
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電磁スキャナー式（特許取得済み） ダメージレスで非破壊で測定可能 …
初心者でも正確な測定が可能です！ サンプルをセットするだけで非破壊で測定できます！ ハンディタイプからカセット付の全自動測定までラインナップがあります。 【製品特徴】 ・奥行幅、共に１５cmの超小型でどこにでも手軽に持ち運び可能 ・評価、デモ機貸出可能。豊富な測定検査実績 ・低コストを実現。...
メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社
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自動で薬液を調合してエッチング槽に必要量投入！シーケンサ制御方式を採用…
ダ部へと自動搬送。 また、装置下側に薬液供給タンクがあり、自動で薬液を調合して エッチング槽に必要量投入します。 【主な仕様】 ■被加熱物：GaAs（ガリウムと砒素）ブロック ■カセット：PTFE専用カセット ■搬送機：自動ロボット搬送（サーボモーター駆動） ■制御方式：シーケンサ制御 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダン科学
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フルオートUV照射機
ブラックライト仕様フルオートＵＶ照射機は、カセットにより供給されたウエハーフレームを自動で取り出し、ＵＶ照射・収納する装置です。ダイシング後、ピックアップしやすいようにUVを照射することでテープの粘着力を低下させます。 ８インチ、１２インチのウ...
メーカー・取り扱い企業： 大宮工業株式会社 営業本部営業課
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