CVD装置 | イプロスものづくり

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

CCP シミュレーション解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』は2周波CCP 解析も得意とする粒子…

『Particle-PLUS』はCCPにも対応したプラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適したシミュレーションソフトウェアです・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とする・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析・自社開発ソフトの強みとして標準機能でのCC...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社

【事例】Particle-PLUS 2周波CCP

「Particle-PLUS」での解析事例紹介 Particle…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社

PLAD-250R PLDシステム

AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着（PVD）法と化学気相蒸着（CVD）法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームア...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

PLAD-261PG PLDシステム

AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着（PVD）法と化学気相蒸着（CVD）法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームア...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

エキシマレーザパルス蒸着システム

AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着（PVD）法と化学気相蒸着（CVD）法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームア...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

PLAD-271PE PLDシステム

AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着（PVD）法と化学気相蒸着（CVD）法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームア...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

PLAD-150Y PLDシステム

AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着（PVD）法と化学気相蒸着（CVD）法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームア...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

PLAD-161 PLDシステム

AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着（PVD）法と化学気相蒸着（CVD）法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームア...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

【事例】Particle-PLUS AC マグネトロンスパッタ

「Particle-PLUS」での解析事例紹介「AC マグネトロン…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社

PLAD-250E PLDシステム

AOVでは、多種多様なお客様のご要望にお応えするために、カスタマイズされた様々な真空製膜装置を取り扱いしております。AOVの取り扱う真空装置は物理気相蒸着（PVD）法と化学気相蒸着（CVD）法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームア...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

【オーダーメイド製作実績】各種真空装置

デモ機にてサンプル処理を実施！「研究開発用アニール装置」などの実績を保…

ス切替装置 ■フィルム巾390mm対応R to Rプラズマ処理装置 ■低温グロープラズマ実験装置 ■HW式表面改質装置（CAT） ■排気セット（TMP+RP） ■ロードロック室プラズマCVD装置（当社デモ機） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

ICPにも対応解析ソフト『Particle-PLUS』

『Particle-PLUS』はICPやCCP 解析も得意とする粒…

『Particle-PLUS』はICPやCCPにも対応したプラズマを用いた装置・デバイス研究開発に適したソフトウェアです・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのシミュレーションを得意とする・ICP シミュレーションのための誘導加熱の計算機能・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析・ICP とCCP を同時にシミュレートすることが可能・2D(2次元),3D(3次...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社

大気圧プラズマ装置による繊維束状用表面改質

大気圧プラズマ装置を用いた効率的な繊維束状用表面改質方法

点】 ■ドライ処理のため乾燥工程が不要 ■目的とする接触角をコントロールできる ■活性ガス(OHラジカル等)の侵入部分全て処理ができる ■種々のガスを添加することで、撥水・還元処理やエッチング、CVD装置プラズマソースとして簡便に使用できる ■コンパクト(省スペース) ■親水処理では排ガス等の後処理も不要 ■処理表面への物理的ダメージがない(ダウンストリーム型) ■処理後の帯電がない(ダウンスト...

メーカー・取り扱い企業：株式会社イー・スクエア

【事例】Particle-PLUS 対向ターゲット式スパッタ

「Particle-PLUS」での解析事例紹介「対向ターゲット式ス…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社

【事例】「Particle-PLUS」対抗ターゲット式スパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介 "対面ターゲットを用いた…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社

【事例】Particle-PLUS 外部回路モデルを用いたCCP

Particle-PLUS解析事例紹介外部回路としてπ 型マッ…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社

【事例】Particle-PLUS DCマグネトロンスパッタ3D

「Particle-PLUS」は真空チャンバ内のプラズマ解析を得意と…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社

【事例】『Particle-PLUS』DCマグネトロンスパッタ

プロセスプラズマを用いた成膜手法のひとつである、DCマグネトロンスパッ…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2次元),3D(3次元)...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社

【事例】「Particle-PLUS」イオンビームの質量分析

Particle-PLUS解析事例紹介 "イオンビームの質量分析…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社

【事例】Particle-PLUS ロールツーロールスパッタ

Particle-PLUS解析事例紹介 "回転ターゲットのマグネ…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社

【事例】Particle-PLUS　回転ターゲットのマグネトロン

カットセルメッシュを用いた回転ターゲットのマグネトロンスパッタシミュレ…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・軸対称モデルと鏡面対称境界条件を組み合わせで装置全体のシミュレーションを行う必要なく、高速に結果を得ることができます。・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社

【事例】『Particle-PLUS』RFマグネトロンスパッタ

プロセスプラズマを用いた誘電体膜の成膜手法のひとつである、RFマグネト…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・真空チャンバ内のプラズマ解析を得意としており、　高速に成膜速度などのシミュレーションを行うことができます。・低圧プラズマ解析を得意とします・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2次元),3D(...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社

グローバルグラフェン化学気相成長装置の分析レポート2022

グローバルグラフェン化学気相成長装置市場規模、販売量、売上高、価格の分…

2022年12月23日に、QYResearchは「グローバルグラフェン化学気相成長装置に関する調査レポート, 2017年-2028年の市場推移と予測、会社別、地域別、製品別、アプリケーション別の情報」の調査資料を発表しました。グラフェン化学気相成長装置の市場生産能力、生産量、販売量、売上高、価格及び今後の動向を説明します。世界と中国市場の主要メーカーの製品特徴、製品規格、価格、販売収入及び世界と中...

メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research

【事例】『Particle-PLUS』CCPでのクリーニング処理

代表的なドライエッチング手法のひとつである CCP（容量結合プラズマ…

『Particle-PLUS』はプラズマを用いた装置・材料・デバイス研究・開発・製造に適したシミュレーションソフトウェアです。・低圧プラズマ解析を得意とします・CCPや外部回路モデル等の高度な物理モデル解析が可能です・流体モデルでの計算が難しい低圧ガスでのプラズマシミュレーションを得意とします・2D(2次元),3D(3次元)対応し、複雑なモデルでも効率良く解析できます ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社

Yano E plus 2019年1月　汎用人工知能（AGI）

定期刊行物「Yano E plus」の 2019年1月号です。

も早まる見通し～ ◆最新量子技術シリーズ（7）量子フォトニクス ◆汎用人工知能（AGI）の動向 ◆IoT・5G・自動運転と「超小型モビリティ」の市場動向(1) ◆半導体・ディスプレイ製造CVD装置用クリーニングガスNF3市場 ◆国内AGV市場資料体裁：B5判約100～130ページ　発刊頻度：月1回発刊（年12回）販売価格：97,142円(税別)(1ヵ年)　...

メーカー・取り扱い企業：株式会社矢野経済研究所

グローバルエピタキシー装置に関する調査レポート

2017年-2028年の市場推移と予測、会社別、地域別、製品別、アプリ…

世界のエピタキシー装置規模とセグメント世界のエピタキシー装置市場は、会社別、地域別、製品別とアプリケーションによって細分化することができます。世界のエピタキシー装置市場における主な会社、関係者及びその他の参加者は、本調査レポートを重要なリソースとして活用することができます。このレポートは、2017年から2028年までの会社別、地域（国）別、製品別及びアプリケーション別の売上実績と予測に焦点を当て...

メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research

超高真空化学気相蒸着装置

1

2022年10月20日に、QYResearchは「グローバル超高真空化学気相蒸着装置に関する調査レポート, 2017年-2028年の市場推移と予測、会社別、地域別、製品別、アプリケーション別の情報」の調査資料を発表しました。超高真空化学気相蒸着装置の市場生産能力、生産量、販売量、売上高、価格及び今後の動向を説明します。世界と中国市場の主要メーカーの製品特徴、製品規格、価格、販売収入及び世界と中国市...

メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research

立体形状への成膜加工

平面モノだけでなく、立体モノへの成膜もできます！ご希望の成膜箇所をお聞…

東邦化研株式会社では、イオンプレーティング、真空蒸着、スパッタリング、プラズマCVDによる機能性薄膜の受託加工（コーティングサービス）を行っております。金属膜や、酸化膜・炭化膜・窒化膜等の反応膜、合金膜、また、それらの積層膜等、様々な膜種に対応し、試作・開発・研究などの少量案件から、中小ロットの生産案件まで、幅広いご要望にお応えするべく体制を整えて参りました。例えば、ガラス板やフ...

メーカー・取り扱い企業：東邦化研株式会社

グローバル太陽電池用LPCVD装置の分析レポート2022

グローバル太陽電池用LPCVD装置市場の収益、市場規模、販売量、売上高…

2022年12月20日に、QYResearchは「グローバル太陽電池用LPCVD装置に関する市場レポート, 2017年-2028年の推移と予測、会社別、地域別、製品別、アプリケーション別の情報」の調査資料を発表しました。太陽電池用LPCVD装置の市場生産能力、生産量、販売量、売...

メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research

樹脂フィルムへの成膜加工

低温での成膜加工が可能！ポリイミド、ポリカーボネート、アクリル、PET…

東邦化研株式会社では、イオンプレーティング、真空蒸着、スパッタリング、プラズマCVDによる機能性薄膜の受託加工（コーティングサービス）を行っております。金属膜や、酸化膜・炭化膜・窒化膜等の反応膜、合金膜、また、それらの積層膜等、様々な膜種に対応し、試作・開発・研究などの少量案件から、中小ロットの生産案件まで、幅広いご要望にお応えするべく体制を整えて参りました。小型装置から大型装置ま...

メーカー・取り扱い企業：東邦化研株式会社

【高周波洗浄ユニット：用途例】半導体製造工程

出力が低い所でも安定した性能を維持！繊細な部品洗浄にも適しています。

当社では、半導体製造工程において「高周波洗浄ユニット」をご提案いたします。スパッター装置や、CVD装置などをお使いのお客様で、冶具の再生をメーカー等に依頼されていらっしゃる方も多いと思います。特定のお客様では、超音波で部品にダメージを与えてしまうケースがあります。当社の超音波...

メーカー・取り扱い企業： ULT-JAPAN(ユーエルティージャパン)株式会社

プレス金型の寿命・成形性向上に対するOX-FSP処理の有効性

〔効果〕表面硬度向上、フリクション低減！プレス金型に対する表面処理・精…

表面処理技術の精密ショットピーニング『OX-FSP処理』には、多様な効果がありますが、その中でもプレス金型の寿命・成形性向上に対する有効性を5つご紹介します。（１）表面硬度向上（２）フリクション低減（３）かじり低減、型寿命の延長　　　濡れ性向上によりプレス油の保持性向上（４）膜の密着強度向上による、コーティング膜寿命の延長（５）残留圧縮応力の付与によ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社オキソ

【瞬時電圧低下補償装置TSP】なぜ保護が必要なのか？

瞬時電圧低下による製品不良の発生と装置故障の損害からラインを守る『TS…

可変速モーター、パソコン、電磁開閉器、高圧放電ランプ、マグネット・スイッチ付きモーターなどが瞬時電圧低下の影響を受けて動作に支障をきたす可能性があります。シリコンメーカ様では研磨、エッチング、洗浄工程等で影響を受ける可能性があり、デバイスメーカ様ではCVD、スパッタ、フォトリソ、エッチング、イオン注入、拡散、洗浄工程での影響が想定されます。このため半導体の製造設備に...

メーカー・取り扱い企業：株式会社シナジー