CVD装置 | イプロスものづくり

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

保守・メンテナンスサービス

半導体・液晶・太陽電池製造設備の保守・メンテナンスは当社にお任せ下さい

＜対応実績＞ CVD装置, Dry Etching装置, 拡散炉/酸化炉, Wet洗浄装置, Wet Etching装置, 基板搬送装置, コーター/デベロッパー, ステッパー, など詳しくは、お問い合わせ下さ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社電子技研

書籍【SiCパワーデバイス最新技術】

次世代パワーエレクトロニクスの大本命!

○発刊日2010年05月14日○体裁B5判上製本 309頁○価格：本体 60,000円＋税 →STbook会員価格：56,952円＋税 ○著者：木本恒暢京都大学 / 大谷昇関西学院大学 / 藤本辰雄新日本製鐵(株) / 楠一彦住友金属工業(株) / 亀井一人住友金属工業(株) / 矢代将斉住友金属工業(株) / 岡田信宏住友金属工業(株) / 宇治原徹名古屋大学 /...

メーカー・取り扱い企業： S&T出版株式会社

成膜受託サービス

液相・気相コーティングに関わらず多様な工法でお客様のニーズを全方位でカ…

『連続プロセス』で工法の違うプロセスもワンストップで対応可能。生産工程を飛躍的に向上させます！多様なプロセス・膜種・膜厚が可能 ■ドライ　・スパッタ　・蒸着　・CVD 　・ALD 　・DLC ■ウェット　・ディップ　・スプレー　・印刷、転写　・ダイコーター　・ディスペンサー装置開発だけでなく、プロセス開発・装置調整、最適な冶具提案、最適な...

メーカー・取り扱い企業：株式会社クリエイティブコーティングス

水素フリーDLCコーティング【成膜装置の販売・受託成膜】

《技術資料を進呈》室温成膜で高硬度・高密着・優れた耐摩耗性を実現！プラ…

フィルタードアーク方式による水素フリーのDLC膜（ta-C）は、既存のPVD方式やCVD方式と異なり、電磁フィルターにより不純物を除くため、パーティクルが少なく、優れた密着性と高い耐摩耗性を実現します。また、室温成膜であるためプラスチックやゴム等の低融点材料への成膜や、セラミックス等の様々な材料への成膜も可能です。更に10um以上の厚膜も作成可能となり、自動車部品の高品質化、長...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ナノフィルムテクノロジーズ　ジャパン

株式会社エム・エー・シーテクノロジー　洗浄再生事業部

よりきれいに、より新しく、どんな部品も洗浄・再生します！

で様々な部品を地球に配慮し洗浄・再生します。市場が高まるLED・パワーデバイス製造装置に使用している構成パーツを、母材を傷めることのない「ドライ洗浄サービス」などを展開。 MOCVD装置の構成部品をドライ洗浄することで、再利用することが可能になり、お客様のコスト削減に大きく貢献しています。【ドライ洗浄サービス特長】 ■市場が高まるLED・パワーデバイス製造装置に...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エム・エー・シーテクノロジー東京営業所

ＨＰＣ－２０フルオートオスミウムコーター

高機能・低価格タッチパネル式フルオートコーティング機能搭載で、あら…

電子顕微鏡観察用前処理のための新型オスミウムコーター。これまで人の手によるオペレーションの難しかった部分を完全自動化。より安全に、より簡単にオペレーションできる、オスミウムコーティングの新次元。タッチパネルを搭載し、簡単で明快な操作を実現しました。誰でも簡単に、電子顕微鏡用導電膜を成膜可能。また、多彩なオプションもご用意。安全面や機能を拡張します。徹底的にこだわり抜いた装置ですが、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社真空デバイス

工業用プラスチック加工品のご紹介～太陽電池製造装置部品～

低吸水率で成膜ムラの解消を実現！

基板に成膜する際のムラを解消するため、吸水率の低いスーパーエンジニアリングプラスチック「スミカスーパーS1000」が採用されました。■採用例：CVD装置のキャリア部品 ■材質：スミカスーパーS1000■加工：機械切削加工■採用理由：吸水率が低い、キャリアの欠け破損防止 ...

メーカー・取り扱い企業：八十島プロシード株式会社

テクノウェーブ株式会社　会社案内

"お客様の発展に貢献すること"を第一に真空技術で産業の底辺を支えます

【製作実績装置・部品】 ■真空デシケータ ■実験用薄膜作成装置 ■高真空チャンバー ■真空ベアリング試験機 ■常圧CVD装置 ■イオンビームスパッタ装置 ■卓上型装着装置（Meius） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：テクノウェーブ株式会社

「ガス供給ユニット」※溶接配管および特殊ガス用溶接配管の製作も

クラス100、1000のクリーンルーム内で一貫生産！短納期、少量製作に…

ワッティーが提供する『ガス供給ユニット』をご紹介します。使用配管グレードは、SUS316L BA、EP（WEP）で、 φ1/8、φ1/4、φ3/8、φ1/2インチの配管径に対応。溶接配管および特殊ガス用溶接配管の製作も承っております。【特長】 ■クリーンルーム内で一貫生産（クラス100、1000） ■CVD、エッチング、アッシング装置のプロセスガス供給ライン、　ベ...

メーカー・取り扱い企業：ワッティー株式会社

SEAVAC株式会社事業紹介

高度な技術と環境に配慮し、産業界のさまざまなニーズに対応します。

SEAVAC株式会社（旧社名は清水電設工業株式会社）は、熱処理装置メーカーとしてスタートし、現在は熱処理とPVDの受託加工、PVDおよび窒化処理装置の製造・販売を行っております。米国関連会社SEAVAC(USA)も含め、自社製コーティング装置を導入することで、品質向上と技術開発の相互作用を生み出し、高品質なサービスを提供することを可能としています。産業界の発展とともに、環境への配慮や高...

メーカー・取り扱い企業： SEAVAC株式会社本社

ガス分離型　面状加熱ヒーター『HFC-Ox』

均熱性に優れた面状ヒーター！

『HFC-Ox』は、C/Cコンポジット（炭素‐炭素複合材）を使用したヒーターが石英ガラスに完全に覆われており、酸化雰囲気下で最高1,000℃までの昇温が可能なガス分離型面状加熱ヒーターです。主に、薄膜装置（CVD/スパッタリング等）や半導体製造装置（基板加熱/ フラッシュアニール等）への組み込みに適しています。【特長】 ■大気中や酸化雰囲気中で1,000℃まで昇温可能 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ナガノ

溶湯鍛造アルミ鋳込みヒーター（ホットプレート）

アルミ材質が限定されず展伸材でも対応可！ヒーター回りに複合材を内蔵する…

『溶湯鍛造アルミ鋳込みヒーター（ホットプレート）』は、鋳巣発生リスク極少・展伸材での鋳造も可能な製品です。ヒーター回りに複合材を内蔵することが可能。ヒーターとの密着性が高く、空気層なく均熱性は良好、アルミ材質が限定されず展伸材でも対応可能です。下記PDF資料では、課題解決例や複合材内蔵仕様での対応、真空環境下での採用実績、各種アルマイト処理についても掲載しております。 ...

メーカー・取り扱い企業：アドバンスコンポジット株式会社本社　富士事業所　

受託成膜・受託分析

各種成膜・表面処理・塗布加工や、受託測定のことなら当社へお任せください

アイゲート株式会社は『受託成膜・受託分析』を承っております。「受託成膜」では、Si、ガラス、フィルムなどの真空成膜加工が可能なほか、エッチングや表面処理、塗布加工にも対応。また「受託分析」では、高性能水蒸気・ガス透過率測定装置を使用した受託測定を致します。【受託分析詳細】 <水蒸気・ガス透過率測定> ■測定装置：DELTAPERM ■測定範囲：5×10-5g/...

メーカー・取り扱い企業：アイゲート株式会社本社

Aera FC-R7700シリーズ　マスフローコントローラ

経済性に優れた高精度ラバーシール

半導体、FPD、データ記憶装置、産業用真空機器、工業用コーティング等の市場では、CVD、PVD、エッチング、イオン注入、スパッタリング、熱酸化膜、光学ガラスコーティング、光ファイバー、表面処理、その他のコーティングプロセスを含め、非腐食性ガスを使用したアプリケーションが展開されています。 FC-R7700シリーズは、高い信頼性と優れた性能でプロセスおよび装置エンジニアの業務の円滑化に対応いたしま...

メーカー・取り扱い企業：日立Astemo＆ナガノ株式会社

『事例』プラズマや熱によるセンターリングの劣化対策　無料進呈中

真空配管設備の不安を解消！プラズマや熱によるセンターリングの劣化対策の…

製品使用例のご紹介です。・プラズマCVD装置によるプラズマや高温排気の影響で配管接続に使用しているフッ素ゴムO-リングが劣化してしまう。・高価なセンターリングを採用しているが、コストが高く困っている。・真空設備のセンターリングが劣...

メーカー・取り扱い企業：株式会社キッツエスシーティー

有限会社浦野技研　会社案内

高圧窒素ガス発生装置・温調洗浄機の開発・製造のことならお任せください

浦野技研は、高圧窒素ガス発生装置・温調洗浄機の開発・製造を行っています。お客様をアシストする技術を高める為に、何故と思う関心を持ち、今あるテーマを成し遂げる諦めない心を持ち続ける事で、高い技術を保ち続けます。お客様をアシストできる喜びを糧に、躍進を目指してまいります。【事業内容】 ■高圧関連装置、半導体関連装置(電気炉関連・CVD) ■自動精密測定装置及び自動制...

メーカー・取り扱い企業：有限会社浦野技研

真空蒸着法

50種類以上もの薄膜コーティングを1個からでも対応可能！薄膜形成ならお…

薄膜とは「はくまく」「うすまく」と呼ばれ、一般的に膜の厚みがナノレベルのコーティング（被膜）を指します。薄膜は、真空装置の中で膜にしたい材料（金属等）を蒸発させたり叩き出したりして形成されます。『真空蒸着法』真空蒸着法は、真空中で膜にしたい材料（金属等）を加熱して蒸発させ、その蒸気（粒子）が対象物に到達し、堆積していくことで膜を形成する方法です。真空蒸着...

メーカー・取り扱い企業：東邦化研株式会社

ダイヤモンド加工サービス

硬く寿命が長い高精度な工具をご提供します！

当社では、ダイヤモンドを自在に加工し、切断工具・ヘッダー・パンチ・ガイド・ブレード等色々な形状の工具に作り変える技術を持っております。鋼や超硬やセラミック素材を使用した圧延ロール・成形ロールをはじめ、 PGAピン・電気電子部品加工用工具のダイヤモンドヘッダーパンチなど豊富な製作事例がございます。まずはお気軽にお問合せください。【製作事例】 ■圧延ロール・成形ロール ■...

メーカー・取り扱い企業：株式会社山下合金ダイス研究所

ヒーター　各種設計・製造・改造

配管ヒーターもお任せください！

千代田交易社では、各種設計・製造・改造を承っています...【各種設計・製造】 ○半導体向けCVDヒーター ○LCD向けヒーター ○ホットプレート ○基板加熱ヒーター【ヒーター改造】 ○一体化、分割化等 ○配管ヒーター【配管ヒーターの設計・施工】 ○各装置用配管ヒーター ○排気配管ヒーター ●その他機能や詳細については、お問合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業：千代田交易株式会社

大村技研株式会社　会社案内＆ウエーハファウンドリー

大村技研の技術は半導体業界、液晶、燃料電池、エコ関連等で採用されていま…

大村技研株式会社はガス関連事業と半導体関連事業が密接に結びついている企業です。各種生産工場（半導体・液晶・食料品・機械）、研究所等が当社の得意なフィールドです。大村技研の技術は、半導体業界、液晶、燃料電池、エコ関連、食品工場、各種製造プラント、薬品研究所、研究機関等、精密性・緻密性・安全性を厳格に求められる多くの業界で採用されています。当社は半導体のフィールドで培った豊富な経験と、信頼のネッ...

メーカー・取り扱い企業：大村技研株式会社

酸化物，窒化物成膜関連製品

MPSの酸化物，窒化物成膜関連製品を紹介します．

【特徴】 ○抵抗加熱式蒸着装置…小規模の光学膜生産用として使用．光学膜を作るための抵抗加熱式蒸着装置 ○熱+プラズマCVD装置…窒化物を作るための実験装置．熱とプラズマの併用も可能 ○EBPVD装置…100kWの直進銃を搭載したEBPVD装置です。新しい断熱膜の研究開発用として使用 ●詳しくはお問い合わせ，また...

メーカー・取り扱い企業：株式会社MPS

超高真空1インチ（小型）スパッタカソードの開発と商品化

世界最小クラスのスパッタカソード単品試作から用途に合わせて製作

超高真空1インチ（小型）スパッタカソードは、世界最小クラスで単品試作から用途に合わせて製作します。製品開発の背景には研究装置の小型化、レアメタル材料の使用効率化、高品質化・高再現性・量産応用可能技術への継続性、分析・評価システムへの接続などがあります。ヘッド直接ガス導入・水冷式構造でφ1インチターゲット対応、マッチングボックス内蔵の専用RF電源付きでUHVにも対応お手持ちの真空チャンバーに容易に搭...

メーカー・取り扱い企業：ケニックス株式会社

石英ガラス加工製品・再生石英材料

最高の加工技術で作られた製品をお客様に提供します。

当社は得意分野ごとに石英ガラスの加工業者を選定し、最高の加工技術で作られた製品をお客様に提供しています。また、合成石英材料の取り扱もしていますのでお気軽にお問い合わせください。...【加工例】 ◯洗浄装置用処理槽 ◯ウェーハ用キャリアー、ボート、チャック ◯拡散・CVD用炉芯管 ◯エッチャー/アッシャー用ベルジャー ◯各種治工具類 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご...

メーカー・取り扱い企業：株式会社インテリンク

クライオポンプ総合カタログ

【無料贈呈】アルバック・クライオのポンプ総合カタログ！

【特長】 ◆スパッタ装置用に排気速度可変型のポンプ ◆エッチング、CVD装置などのために耐食性のポンプ ◆極高真空用にベーカブルタイプ ◆分析機器、実験装置などのために防振型 ◆スペースの節約のために、高さをつめたL型ポンプや、1台のコンプレッサーで複数のポンプを...

メーカー・取り扱い企業：アルバック・クライオ株式会社

心臓血管デバイス市場の調査レポート

心臓血管機器市場は、2027年までに16.6%のCAGRの割合で成長す…

血管デバイスは、関連する心臓の問題とともに、いくつかの心臓病を診断し、治療するために採用されています。心血管疾患またはCVDは、医療業界の重大なペインポイントとして決定されています。世界中の死亡率と障害の主な理由は、脳卒中またはIHD(虚血性心疾患)です。心臓血管デバイスとその心臓関連治療におけるその卓越性は、急速に脚光を浴びています。低侵襲手術に対する需要の高まりと意識の高まりは、今後数...

メーカー・取り扱い企業： SDKI Inc.

株式会社システムリンケージ　事業紹介

実験装置・自動制御装置のことなら当社にお任せください！

株式会社システムリンケージでは、理化学実験装置や真空装置、生産管理用測定装置の設計・製造を行っております。研究機関における実験装置は、特殊性が高いために、入念な打合せ、満足のゆく仕様検討、現場におけるフレキシブルなご対応を心がけ、製作いたします。また、当社の真空技術は2乗Pa近辺の低真空から-5乗Pa以下の高真空まで幅広く対応できます。研究開発機関やクリーンルーム、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社システムリンケージ

プラズマモニタ

エッチング・スパッタ・CVD等プラズマモニタに好適！

オーシャンオプティクス社製の小型分光器は、リアルタイムでチャンバ内のプラズマ発光スペクトルを取得するために多くのお客様から選ばれています。これらの発光スペクトルから求めたプラズマ特性を監視し、半導体製造におけるプラズマベースのプロセス制御等に好適です。『プラズマモニタ』は、スタンダードモデルのFLAMEをはじめ、高分解能モデルの HR4000またはバッファリング対応UV高...

メーカー・取り扱い企業：オーシャンフォトニクス株式会社

高温管状型雰囲気電気炉　FT-201P-1600

卓上に置いて即実験！高温小型真空炉として使用可能！

【特徴】・ガス系等(オプション)及び真空装置(オプション)を接続すれば高温真空管状雰囲気炉の完成・16パターン×16ステップのパソコン通信対応プログラムコントローラーが標準装備(オプションにて32×32プログラム可能) ・専用MPCS(オプション)使用にてパソコンリンク可能・電源はA.C200V 1P 4Kw 省エネタイプ・標準でブルドン真空計付き ...『FT-201P-...

メーカー・取り扱い企業：フルテック株式会社

オスミウムコーター

低ダメージでオスミウムをコーティング可能！

当社では、観察倍率が高いSEM試料やデリケートな有機材料、複雑な凹凸構造を持つ試料に低抵抗のオスミウム金属（非晶質&微細粒子）をコーティングし、導電処理を行う装置『オスミウムコーター』を取り扱っております。「ホローカソード試料台による低電圧放電CVD法」を採用。ホローカソード円筒内全域に高密度プラズマが発生し、均一にコーティングが可能なため、試料サイズや試料高さでお悩み...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ユニオン

【infiTOF】半導体プロセスガスモニタリングソリューション

飛行時間型高分解能質量分析計で、プロセスガスのin-situモニタリン…

半導体プロセスには結晶成長(エピタキシャル成長)、成膜(CVD,ALD)、エッチング、クリーニングなど様々な工程があります。また、これらのプロセスでは多種の原料ガスが使われております。プロセスチャンバー内における反応生成物、分解物、残留成分をリアルタイムでモニタリングすることにより、歩留りの向上、生産性の向上、さらには次世代に向けた半導体研光開発に貢献することができます。...

メーカー・取り扱い企業：カノマックスアナリティカル株式会社

機能材料『PG（熱分解グラファイト）』

セラミックスでは実現が困難な形状が作製可能！加工性に優れた機能材料

『PG』は、CVD法（気相成長法）で製造したグラファイトです。半導体製造装置部品として優れた性能を発揮し、セラミックスでは実現が困難な形状が作製できます。また、銅と同等の熱伝導率を持ち、放熱に優れています。【特長】 ■高純度・優れた耐食性 ■優れた加工性 ■高い熱伝導率 ■セラミックスでは実現が困難な形状が作製可能 ■銅と同等の熱伝導率を持ち、放熱に優れる（面...

メーカー・取り扱い企業：巴工業株式会社機能材料部

隔膜式真空計（バラトロン真空計）

150℃/200℃対応！バイオ医薬品製造に最適な隔膜式真空計。

高温制御型の真空計で長年の実績を持つMKSが提供する最新モデルコンパクトな一体型、省電力を実現...150℃/200℃対応！　バイオ医薬品製造、半導体製造プロセスに最適なバラトロン真空計バラトロン631Bは、高温制御型真空計を10年以上にわたり供給してきたMKSの最新コンパクトモデルです。センサ内部を高温に保持し、プロセス副生成物のセンサへの堆積を防止することにより、ドリフ...

メーカー・取り扱い企業：日本エム・ケー・エス株式会社

超微粒化技術

独自技術の分散方法を利用して、高機能複合素材の開発を行っています

ナノフロンティアテクノロジーの『超微粒化技術』についてご紹介します。 CVD法やアーク放電法で製造されたカーボンナノチューブ(CNT)は、絡み合い凝集した状態となっています。複合素材等に使用する場合には、凝集体をほぐし、用途に応じた形状に分散させることが優れた性能を引き出す鍵となります。当社では、独自の技術と蓄積されたCNTのノウハウで、CNTを効率よく分散することが...

メーカー・取り扱い企業：ナノフロンティアテクノロジー株式会社本社

精密洗浄サービス

ICおよび半導体製造装置メーカーに対して信頼性の高いサポートを提供しま…

当社は、上海に長年の経験を持つ先端技術と信頼性の高いオペレーションチームを有しており、8インチ、12インチのファブ、 PVD/CVD/ETCH/IMPLA NT等のプロセスに対して、安定した洗浄技術を提供することが可能です。 10の主要な精密洗浄および表面処理ライン（溶射、プラズマ溶射、14nm精密洗浄、陽極酸化、電気メッキなど）とサービスチームと連携し、品質管理と技術開発...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンファインマテリアル株式会社

【カーボン製品の用途】電子部品

寸法精度が抑えられる！電子部品の製造治具や封着用治具としても使用されて…

黒鉛（グラファイト）は溶融金属に濡れない特長があり、加工性がよいため、寸法精度が抑えられます。そのため、トランジスターやダイオードの電子部品の製造治具や、リード線とリングの位置決め治具、それらをガラス溶着する際の封着用治具や鋳型としても、使用されています。当社では、お客様要望に対応する加工精度、公差を実現、三次元測定機により、品質を保証。また、カーボンの発塵性を抑え...

メーカー・取り扱い企業：株式会社レイホー製作所

細配管加熱ヒーター

200℃以上の加熱が可能です

ALD、CVD、PVD等の薄膜装置向け細配管加熱ヒーター、排気配管加熱ヒーター、200℃以上可能なヒーターをご提供。縫製技術とエレクトロニクス技術を融合させたガラスクロス等で構成されたヒーターです。...外皮；シリコンコーテッドガラスクロス（白）内皮；焼成済みガラスクロス（白）発熱線；二重絶縁ニクロム線細配管用K熱電対；SUSクリップ止め温調もご要望により行います。PID制御可...

メーカー・取り扱い企業：ラックデザイン株式会社

半導体ドライ真空ポンプの世界市場調査レポート2023-2029

半導体ドライ真空ポンプの市場規模、2029年までCAGR8.8％で成長…

QYResearchは「グローバル半導体ドライ真空ポンプに関する調査レポート, 2023年-2029年の市場推移と予測、会社別、地域別、製品別、アプリケーション別の情報」の調査資料を発表し、半導体ドライ真空ポンプの市場生産能力、生産量、販売量、売上高、価格、今後動向を説明し、世界市場の主要メーカーの製品特徴、製品規格、価格、販売収入及び世界市場の主要メーカーの市場シェアを重点的に分析する。過去デー...

メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research

株式会社エイディーディー　事業紹介

私たちは半導体業界に新しい風を起こします。

半導体製造装置の延命化のため、他社では不可能な周辺機器の修理を致します。コスト低減はもとより省エネルギー化などの改造も行い、環境問題にも取り組んでいます。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...【事業内容】 ○半導体製造における関連製品の開発・販売【サービス】 ○これまでに培った技術と経験を生かし、半導体製造装置のサポート、　延命化のご提案をいたします。 ○...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイディーディー

うっ血性心不全（CHF）治療デバイスのマーケットアラート

うっ血性心不全（CHF）治療機器市場は、2023－2035年の予測期間…

うっ血性心不全（CHF）治療機器市場は、2022年に200億米ドルの市場価値から、2035年までに約450億米ドルに達すると推定されます。うっ血性心不全（CHF）治療機器は、機械的循環補助装置としても知られています。植込み型除細動器、ペースメーカー、心臓再同期など、うっ血性心不全（CHF）治療機器には複数の種類があります。当社の調査によると、この市場の成長は主に、世界中で心血管疾患の有病率が増加し...

メーカー・取り扱い企業： SDKI Inc.

実績技術　ナノ関連

電気抵抗の改善や、ナノ粒子が小さいのでPtの量を減らす事が可能。

実績技術　ナノ関連はカーボンナノホーンを20％～30％含んだNanoカーボン物質に、Ptを37wt%で担持（下写真左）した結果、従来よりも電気抵抗の改善や、ナノ粒子が小さいのでPtの量を減らすことが可能となった。詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...【特徴】 ○カーボンナノホーンを、20％殻30％含んだナノカーボン物質に、Ptを37wt％で胆持した結果、　従来よりも電気抵...

メーカー・取り扱い企業：エイアールブイ株式会社

【資料】パワーデバイス用GaNのトレンチ加工

これまでの加工実績をベースに行ったGaNのトレンチ加工をご紹介します

当社は半導体製造装置メーカーとして、GaN系発光デバイス製造における ICPエッチング装置、CVD装置及びプロセス技術を提供してきた実績があります。また、4H-SiCパワーデバイスに対してもトレンチ加工、メサ加工等に対応できる装置を提供。当資料では、これまでの加工実績をベース...

メーカー・取り扱い企業：サムコ株式会社

東邦化研株式会社『コーティング受託加工実績』

30年を超え、受託薄膜加工一筋！豊富な経験と確かな技術に培われた加工実…

東邦化研株式会社の表面処理薄膜コーティング受託加工サービスの加工実績を紹介いたします。単金属膜をはじめ、酸化膜、炭化膜、窒化膜、合金膜、光学膜、またこれらの多層膜（積層膜）と様々な膜種に実績を残しています。【適用分野】 ■電気・電子部品：電極膜・絶縁膜・表面保護膜・透明導電膜など ■真空装置部品：汚染防止・絶縁膜・ボンディングメタルなど ■航空宇宙関連：軽量化・防蝕・固体潤滑...

メーカー・取り扱い企業：東邦化研株式会社

レーザ加工機　レーザーラインプレシジョン

【エワーグ社】コンパクトなダイヤモンド工具向けレーザープロダクションセ…

『レーザーラインプレシジョン（Laser Line Precision）』は、PCD、CVD-Dなどの超硬合金材の研削、放電加工といったレーザーによる従来の処理手順を置き換えるレーザー精密加工機です。最大工具径200mm、最大工具長250mmの回転工具および最低内径3mm、最大外径50mmのスローアウェイチップに対応することができます。切断、空洞部加工、チップブレーカー...

メーカー・取り扱い企業：ワルターエワーグジャパン株式会社

半導体用発熱体

半導体製造に使われる拡散炉用ヒーター、CVD炉用ヒーターを提供　...横型、縦型の既存半導体製造装置に使われているほとんどすべての炉に対して提供が可能です。またヒーター設計に関して数々の特許を有しており、長寿命化、均熱化への提案もさせて頂きます。 □■ラインナップ■□ ■ヘビーゲージヒーター（太線）主に、横型・縦型の拡散プロセスにて用いられるヒーターです。独自技...

メーカー・取り扱い企業：アレイマジャパン株式会社カンタルカンパニー

低温成膜で高硬度のDLC(TAC)膜を提供

部品の傷付き、摩耗にお困りではありませんか。水素フリーDLC（ta-C…

フィルタードアーク方式（FCVA）による水素フリーのDLC膜（ta-C）は、既存のPVD方式やCVD方式と異なり、電磁フィルターにより不純物を除くため、パーティクルが少なく、優れた密着性と高い耐摩耗性を実現します。また室温成膜であるためプラスチックやゴム等の低融点材料への成膜や、セラミックス等の様々な材料への成膜も可能です。更に10um以上の厚膜も作成可能となり、自動車部品の高品質化、長寿...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ナノフィルムテクノロジーズ　ジャパン