コスモリサーチのSDRプラットフォーム【COMNEXT出展】

PRホントに使えるソフトウェア無線プラットフォーム

コスモリサーチでは、ソフトウェア無線技術をベースにVHF帯からミリ波までの無線機器の開発製造を行っています。 SDR開発プラットフォームとRFフロントモジュールの組み合わせにより、低リスクで実用的な無線機を提供します。 ...【SPD-booster light+】 　■周波数：TX/RX 50MHz~1GHz 　■帯域幅：～100kHz BW 【SPD-booster x5G10】 　■周波数...

メーカー・取り扱い企業： コスモリサーチ株式会社

複雑な形状のシャフト研磨装置「IRF-1000」

PR複雑な形状のシャフトが研磨できる加工技術！

従来のフィルム研磨工法をさまざまな角度から駆使し、円筒物の外周部だけでなく、ワークの輪郭に好適角度でコンタクトローラーを押し当てる事が可能な「ワーク輪郭部追従型」フィルム研磨装置を開発しました。 【特徴】 ○研磨ヘッドをワークの研磨面に好適な角度で押し当てる事が可能 ○2種類のコンタクトローラーをローテーションすることで幅広い研磨加工が可能 ○最大90°まで研磨ヘッドを振ることが出来るため際まで...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コバックス

高周波RF電源・高効率パルスRF電源

高効率高周波電源【ローコスト・省電力・コンパクト設計】600W以上の耐…

【13.56MHｚ　1ｋW/3kW/5kW（パルス）】 NRFが新しく開発した高効率高周波電源【NR1NP】【NR3NP】【NR5NP】は、従来製の高効率RF電源と比較し、独自の高信頼性パワーアンプにより、飛躍的に耐久性をUPさせました。 高効率アン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ノダRFテクノロジーズ 営業本部

デスクトップRFスパッタ装置『SVC-700RFIII』

コンパクトな卓上サイズで3源のカソードを搭載。絶縁薄膜、酸化物・窒化物…

『SVC-700RFIII』は、卓上に置けるコンパクトなサイズながらφ2インチのカソードを3基搭載。3種類のターゲットを使用した積層膜の形成が可能なRFマグネトロンスパッタ装置です。 ガス導入機構を増設でき、アル...

メーカー・取り扱い企業： サンユー電子株式会社

研究・開発実験用　RFスパッタ装置

実験目的にあわせたカスタマイズが可能。小型RFスパッタ装置

☆金属薄膜は勿論、絶縁薄膜/酸化薄膜作製に対応した小型RFスパッタ装置☆ お薦めPOINT　＜実験目的にあわせたカスタマイズ!!＞ 1．試料サイズに合わせ3種類のチャンバーをご用意 2．カソードサイズは2〜6インチに対応 3．2インチカソードタイプは3源...

メーカー・取り扱い企業： サンユー電子株式会社

高出力RFイオンソース 「ISG-180」

広範囲で安定した放電を実現した高出力RFイオンソースです。

【RFイオンソース仕様と寸法】 ○グリッド径　Φ180mm　3枚構成、モリブデン製 ○BEAM v　100～1500V ○BEAM ｉ　100～1500mA ○ACC v　100～1000V ○...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空

RFプローブカード　（高周波プローブカード）

RFプローブカード　（高周波プローブカード）

RFプローブカード（高周波プローブカード） 　 周波数 / スペック / RF最大ピン数 ・DC-10GHz / IL<1.5dB RL>15dB / 8 ・DC-10GHz / IL<3dB RL>10dB / 32 ・DC-40GHz / IL<1.5dB RL>18dB / GSG, GSGSG等規定 特長 ・イニシャルコスト不要 ・短納期 ・高耐久 ・針先へチップ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノプローブ

低ロス・ハイパワーRFフレキシブルケーブル

通信用低ロス LMRシリーズ・RF大電力フレキシブルケーブルを国内在庫…

弊社コムクラフトは米国Times Microwave Systemの日本総代理店です。 LMRケーブル、RGケーブル、その他ハイパワー同軸ケーブルを国内在庫し、アッセンブリ、電気試験を実施し、短納期でお届けすることが可能です。 ■製品ラインナップ 超低損失発砲PE絶縁体 LMRシリーズ, Mil Spec品 RGケーブル, 各種LowPIMケーブル、各種ハイパワーケーブル ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コムクラフト

スパッタリング装置『nanoPVD-S10A』

高機能 コストパフォーマンスに優れた研究開発用RF/DCマグネトロン式…

高機能 ハイパフォーマンス RF/DCマグネトロンスパッタリング装置 ● 到達圧力5 x 10-5Pa（*1x10-4Paまで最速30分！） ● スパッタ源 x 3：連続多層膜膜制御, 同時成膜 ● 膜均一性±3% ● 多...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

RFスパッタ装置『SP-3400』

逆スパッタも可能！500Wの高周波電源を1台搭載し、金属・酸化物・絶縁…

『SP-3400』は、3インチ用カソードを3源搭載したRFスパッタ装置です。 電源は500Wの高周波電源を1台搭載しており、金属・酸化物・絶縁物等の 成膜が可能となっています。 整合器は自動整合器を2台搭載することにより切替にて逆スパッタもで...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンバック 本社

平行移動式3元RFスパッタリング装置『MSS600-3』

ガス導入と圧力コントロールバルブによるスパッタ圧の制御が可能！

『MSS600-3』は、矩形カソード W100ｘH500mmによる 3元RFスパッタリング装置です。 基板サイズはW200×H300mmであり、X方向へ搬送しながら蒸着します。 また、基板200mmを30秒から15時間の時間で任意に設定し、膜厚調整や 様々な異...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社愛知真空

難燃性/UL取得　同軸RFケーブル

UL,IECの難燃性規格認証済の同軸ケーブルをご提供致します。　

弊社コムクラフトは米国Times Microwave Systemの日本総代理店です。 同社は同軸ケーブルの専門メーカーとなり、ノンハロゲン・難燃性規格が必須となる米国内のビル・スタジアム等の公共施設や、船舶、防衛関連で多くのUL認証ケーブルの納入実績がございます。 弊社ではケーブルを国内在庫しているため、アッセンブリ、電気試験を実施し、短納期でお届けすることも可能です。 ＜ラインナッ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コムクラフト

半導体用RFジェネレータの世界市場シェア2023

『無料サンプル』を入手可能！ 関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…

YH Research株式会社（本社：東京都中央区）は調査レポート「グローバル半導体用RFジェネレータのトップ会社の市場シェアおよびランキング 2023」を10月19日に発行しました。本レポートでは、半導体用RFジェネレータ市場の製品定義、分類、用途、企業、産業チェーン構造に関する情報を...

メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社

小型スパッタ装置『SS-DC・RF301』

小型設計ながら性能はキープ！高温での基板加熱が可能なスパッタ装置

『SS-DC・RF301』は、2"マグネトロンカソードと基板加熱機構をそれぞれ 1基搭載した小型スパッタ装置です。 シンプルな設計により、事務机の約半分のスペースに設置可能。 基板上下機構を採用し、ターゲッ...

メーカー・取り扱い企業： アリオス株式会社

高電力RF同軸フレキシブルケーブルアセンブリ

高電力（20KW@60MHz）タイプのフレキシブルケーブルアセンブリ

をしております。そのため、総合品質・納期・価格対応に自信を持っており、お客様の開発段階～量産までご安心してご対応可能です。 EP-610Sは、半導体製造装置、高周波電源、プラズマ電源など高電力RF同軸接続を必要とするアプリケーションに最適なフレキシブルケーブルです。 現在、対応しているコネクタは、EIA 1-5/8、EIA 7/8ですが、お客様のご要望に応じて他の規格にも対応致します。...

メーカー・取り扱い企業： アノイスンジャパン株式会社

グローブボックス付　多源RFスパッタ装置

酸素や水分を排除したい研究製膜環境！多層膜、化合物製膜、反応製膜に対応…

当製品は、電池、触媒材料や有機デバイス開発用のスパッタ装置です。 スパッタ室にロードロック室とグローブボックスを連結。 UHV対応スパッタカソードを4本装着することができます。 また、多層膜、化合物製膜、反応製膜に対応しております。 【特長】 ■電池、触媒材料や有機デバイス開発用 ■スパッタ室にロードロック室とグローブボックスを連結 ■UHV対応スパッタカソードを4本装着...

メーカー・取り扱い企業： ケニックス株式会社

RFプラズマ源　ERFS-500

RFプラズマ源　ERFS-500

無電極放電により 金属コンタミの少ないプロセスが可能なRFプラズマ源 【特徴】 ○光学窓付きにより放電が目視確認できる ○石英製窓により高精度のプラズマ分光等が可能 ○自動マッチング機構により 　操作が簡単かつ長時間安定な動作が可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： アリオス株式会社

高効率高周波電源

高効率高周波電源【NR3N-13】【NR3N-13】

NRFが新しく開発した高効率高周波電源【NR3N-13】【NR3N-13】は、従来製の高効率RF電源と比較し、独自の高信頼性パワーアンプにより、飛躍的に耐久性をUPさせました。 高効率アンプの弱...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ノダRFテクノロジーズ 営業本部

RFアンプICテスター -高速・高精度パワーアンプテストを実現-

厳しい予算にも余裕で対応できます。RFアンプICテスター

RFアンプICテスターは、高性能のミックスドシグナル計測器を各種組み合わせたもので、検証・製造環境における高速かつ高精度のパワーアンプテストを実現するための厳しい要件をも満たすことができ、従来のスタンドアロン計測器と比較して、最大10倍のテスト速度を実現できます...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ペリテック 神奈川エンジニアリングセンター、東京営業所、ベトナム事業所

RFラジカルビーム源　IRFS-503

RFラジカルビーム源　IRFS-503

放電部、引き出し部は高純度PBNで製作され 活性ガス導入時でも長時間安定動作が行え かつクリーンな原子・ラジカルビームを得ることが可能な、ラジカルビーム源 【特徴】 ○ICPタイプのRF放電により化学的に活性なラジカルを形成し 　差圧によりフラックスを引き出す ○放電が目視確認できるビューポートを標準装置 　発光モニターや分光器を使用して、放電状態・励起状態を確認できる ...

メーカー・取り扱い企業： アリオス株式会社

[開発事例]複数の通信デバイスに対応したRF-ICテスタの開発

PXI-RFモジュールを使用し複数の通信デバイスに対応したRF-ICテ…

etooth、WiFi、NFC等の複数のプロトコルを搭載しており、周波数帯も検査項目も様々です。 また、通信機器の低価格化、製品のライフサイクルが短くなっているなど、１つの通信デバイス試験に対するRF試験のコストを削減する必要があります。 そのため、株式会社ペリテックは今回、汎用RF−ICテスタよりも3分の１以下の価格帯を目指した複数の通信デバイスに対応するRF-ICテスタの開発に着手しました...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ペリテック 神奈川エンジニアリングセンター、東京営業所、ベトナム事業所

【MiniLab-SA125A】 多元マルチスパッタ装置

高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ（Φ4inch用）…

連続多層膜、同時成膜（2〜6元同時成膜：RF, DCをHMIより自在に配置切替） 高出力RF, DC電源, パルスDC電源を独自の'プラズマ・スイッチング・リレー'モジュールでマルチカソードに自在に配置を組み合えることが可能、様々な用途に柔...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

半導体製造装置の周辺機器の修理、改善サービス

高周波電源、搬送ロボットや、RFマッチングボックスなどを修理、改善、オ…

アローズエンジニアリングは、半導体装置周辺機器の設計制作、改造、修理、販売、 半導体製造装置付帯工事、瞬低保護装置の製造・販売などを行っています。 「高周波電源」をはじめ、「RFマッチングボックス」や「輸送ロボット」 などの修理改善サービスについてご紹介。修理対応機種などを掲載しています。 当社では、お客様のニーズを的確に捉え、好適なサポートをご提供するために、 ...

メーカー・取り扱い企業： アローズエンジニアリング株式会社

【導入事例】半導体バーイン装置（RF/DC）

発振しにくい治具を実現！試験条件設定、通電試験、データ取得まで全自動化…

周波特性を考慮したデバイス治具設計等、お客様のご要望に沿ったカスタマイズ設計と長期メンテナンスも承ります。 【事例概要】 ■導入先：FA（半導体試験設備） ■導入製品：半導体バーイン装置（RF/DC） ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社多摩川電子

DCRF混在プローブ　　（電源と高周波の混在プローブ）

DCRF混在プローブ　　（電源と高周波の混在プローブ）

RFプローブに合わせて使用頂けるDCRF混在プローブ （電源と高周波の混在プローブ） 特長 ・完全国内生産 ・DC−40GHz ・GSG, GSSG等のRFにDCを加えたプローブです。 ・お客様のPADレイアウトに合わせて製作致します。 ・ご指定箇所へキャパシターを実装可能。 ・短納期 ・ローコスト（イニシャルコスト不要） ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノプローブ

基板設計

EMC/EMI関連・RF関連・高周波関連に最適な基板設計技術紹介

クァンタムロジックジャパン（株）では、基板設計サービスを行っております。 EMC/EMI関連・RF関連・高周波関連を得意としております。 RF回路経験者が基板設計を行っております。 ※詳細はお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： クァンタムロジックジャパン株式会社

クリーンローラー『RYシリーズ』薄板対応タイプ

薄板対応の除塵装置。 駆動部にマグネットギアを採用！この一台で幅広い…

の新型クリーンロールを使用 することで、薄板やフイルムの除塵が可能になりました。 また、装置駆動部分にマグネットギアを採用する事により、 ギア部分からの微少発塵を抑制。 この他にも「RFC-705A」、「RF-705A」をご用意しています。 【特長】 ■落ち込み防止 ■巻き込み防止クリーンロール ■駆動部にマグネットギアを採用 ■50μmワークのクリーニング可能 ■...

メーカー・取り扱い企業： 日精株式会社 本社

イオンビームエッチング(IBE)・成膜装置(IBD)

R＆D用特殊仕様から量産向けまで対応可能！一般的なグリッドと比較して約…

【その他の特長】 ■Marathon gridsは、一般的なグリッドと比較して3倍の長寿命化達成 　(他社製品への搭載可) ■独自技術によりRFシャントおよびアノード消失を防止したイオンガンを搭載 ■プラズマCVD、ドライエッチャー等の当社装置とのクラスター化も可能 ■複数ターゲットの搭載、デュアル・イオンガン・システムによるイオンアシ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

ウエハサイズ 後工程 投影露光装置 MRS

ウエハサイズ 後工程 投影露光装置 MRS

■ ８インチ以下は「一括露光方式」、 　 12インチは「ステップ＆リピート露光方式」の選択が可能 ■ 露光エリアが広い為、高生産性を実現 ■ 焦点深度が深い為、MEMS、RFフィルター業界に多数の 　 実績あり ■ TAIKOウエハにも対応 ■ グローバルアライメント方式 ■ 高剛性フレームにより、高精度アライメント露光が実現 ■ フォーカスマップ機構標準装備...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サーマプレシジョン

多機能スパッタリング装置 【MiniLab-S060】

コンパクト、60ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの…

Φ2inchカソード x 4基搭載 同時成膜：3元同時成膜（RF500W or DC850W）+ HiPIMS（PulseDC 5KW） x 1 プラズマリレーSWでHMI画面より自在に4カソードへの電源分配・配置設定の変更が可能 MFC x 3系統（Ar,...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

CVD装置『ナノカーボン堆積装置』

3種類の堆積装置をラインアップ！用途に合わせてお選びください

【仕様(抜粋)】 ＜ナノカーボン堆積装置(CND-050LP)＞ ■プラズマ源 　・水素ラジカル注入用：RF13.56MHz・1KW・MHC 　・メインプラズマ用：RF13.56MHz・1kW・CCPシャワーヘッド ■チャンバー：SUS304、架台 ■基板ステージ：800℃、2インチ基板×1枚、上下...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社片桐エンジニアリング

多源同時マグネトロンスパッタ装置『FRS-HGシリーズ』

放電操作が容易！RF電源にオートマッチングを採用したコンパクトな設計

ソードに 加え、アークプラズマ蒸着源などスパッタリングとの相乗効果が期待できる 成膜ソースを搭載することが可能です。 【特長】 ■据付タイプながらコンパクト且つスタイリッシュな設計 ■RF電源にオートマッチングを採用しており、放電操作が容易 ■2源または3源の同時成膜により、薄膜の機能・性能の微調整が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社FKDファクトリ

小型スパッタ装置

対応基板は最大φ1インチまで処理が可能！デュアルガスノズルを備えた装置

『小型スパッタ装置』は、1.3インチマグネトロンスパッタカソードを搭載した 実験用高真空小型制膜装置です。 放電用にマッチングユニット付きのRF電源を一台装備。 酸化反応スパッタリングに対応できるデュアルガスノズルを備えます。 また、対応基板は最大φ1インチまで処理が可能です。 【特長】 ■1.3インチマグネトロンスパッタカ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社和泉テック

【多目的真空蒸着装置】スパッタリングソース

多目的真空蒸着装置HEXシステム用RF&DCスパッタリングソース

多目的真空蒸着装置HEX／HEX-L用のスパッタリングソースです。 ターゲットが導体の場合はDCモードで、絶縁体の場合はRFモードで使用することができます。ガスフードが標準装備されているため、ターゲット表面近傍での圧力を高め、成膜中のチャンバー圧力を低く抑えることが可能です。 冷却水配管およびガス配管の接続には、ク...

メーカー・取り扱い企業： テガサイエンス株式会社

蒸着/スパッタ・デュアルチャンバーシステム【MiniLab】

2台の薄膜実験装置をロードロック機構で連結。異なる成膜装置（スパッタ、…

抗加熱蒸着 x 2 ・有機蒸着限 x 2 2. MiniLab-S060A（スパッタリング装置） ・基板サイズ：Φ8inch ・Φ2"マグネトロンカソード x 4源同時スパッタ ・DC, RF両電源対応 3. Load Lockチャンバー ・プラズマエッチングステージ ロードロック室では「RF/DC基板バイアスステージ」による基板表面のプラズマクリーニング、又、同社独自の『ソフトエ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

実験用スパッタ装置

簡易でありながらφ3インチターゲットのマグネトロンカソードと200L/…

●　価格500万円(税込み) ●　φ3インチターゲット　1元カソード ●　RF300W電源、自動マッチングボックス付 ●　ガス系統：1系統(オプションにて3系統まで対応可)、 　　マスフローコントローラーによる調整 ●　酸化物など絶縁体のスパッタが可能。 ●　オプショ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヤシマ

【ホットステージ】超高温基板加熱ステージ Max1800℃

超高温基板加熱ステージに、基板昇降・回転、RF/DC基板バイアスの全て…

◉ 超高真空・不活性ガス雰囲気中・その他各種プロセスガス雰囲気に対応 ◉ ステージ上下昇降（基板又はヒーター昇降、基板&ヒータ二段昇降式） ◉ 基板回転 ◉ RF(1KW)/DC(800V)バイアス印加（逆スパッタ） ◉ 使用環境に応じたエレメントの選択： グラファイト, CCコンポジット, ハロゲンランプヒーター, グラファイト/SiCコーティング, ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

アローズエンジニアリング株式会社　会社案内

お客様のニーズに的確に捉え、最適なサービスを提供し、躍進して参ります。

【事業紹介】 ○修理・オーバーホール →確かな技術と高度な知識で様々な問題の解決をお手伝い →RF Generator＆RF Matching Boxのリペアーサービス →各種コンポーネント機器の修理＆オーバーホール →各種ボード（PCB基板）の修理 ○付帯設備・製造 →半導体製造装置の...

メーカー・取り扱い企業： アローズエンジニアリング株式会社

ソフトエッチング装置【nanoETCH】＜30W低出力

＜30W（制御精度10mW）低出力RFエッチングによる、精細でダメー…

【nanoETCH（ナノエッチ）】Model. ETCH5A ＜30W（制御精度10mA）低出力RFエッチングによる、精細でダメージレスなエッチング処理を実現。 2010年グラフェン発見でノーベル賞受賞者率いる マンチェスター大学グラフェン研究グループとの共同開発製品。 ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

ＲＦフィルタ

高性能でコンパクトなＲＦフィルタ(高周波フィルタ)です。複数チャンネル…

・チャンネル：1～8 ・RF周波数：1～50MHz ・インピーダンス：共振周波数で10kΩ以上 ・DCR：各チャンネルで25℃の場合に2MHzで100mΩ未満、13MHzより高い周波数で15mΩ未満 ・L：各チャンネル2...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社グローブ・テック

【マグネトロンスパッタリングカソード】

不純物なく金属・絶縁物等を堆積するRF, DC, パルスDC対応高効率…

【主仕様】 ■RF, DC, パルスDC対応 ■ターゲット厚さ：1/16"〜1/4" ■N型同軸コネクター接続 ■水冷式：4ℓ/min, 0.35Mpa Φ6mmチューブ接続 ■ケース材質：SUS304 ■...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

通信関連測定器　製品カタログ

WiFiテスターやネットワークテスターなどの通信関連測定器を多数掲載！…

【その他掲載製品（抜粋）】 ■SMART ATE シールドボックス ■DECT RFテスタ ■（BLUETOOTH SMART）BLE RFテスタ ■（BLUETOOTH SMART）ATEバンドル BLE専用計測システム ■光波長計　ほか 　 ※詳しくはカタログをご覧頂...

メーカー・取り扱い企業： 東洋計測器株式会社

研究・開発用機器/超高真空機器

信頼性の高いシステムを構築！メンテナンスや改造も当社にお任せください

当社は30年以上真空技術に携わり、ユーザー様の仕様に合わせた製品を 主に研究機関に提供してまいりました。 2系統のガス導入が可能な「RFマグネトロンスパッタ装置」や 安価で手軽に薄膜作製が可能な「小型真空蒸着装置」など 真空成膜装置を多数ラインアップ。 その他「真空チェンバー」や「ターボ真空排気装置」などの 各種研究用装...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヤシマ

スパッタ成膜ユニット

スパッタ成膜ユニット

マグネトロンスパッタ源と基板回転機構を装備した スパッタ成膜ユニット 【特徴】 ○優れた膜厚分布を実現 ○DCスパッタリング、RFスパッタリングを切り替えて 　使用する事が可能 ○2種類のスパッタ源を搭載することにより、異なった膜種を成膜可能 ○逆スパッタ機能搭載により、基板のクリーニング・エッチングが可能 ○ツーモ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社メープル

スパッタリング装置『MiniLab（ミニラボ）シリーズ』

モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【MiniLabフレキシブル薄膜実験装置 構成モジュール】 ◉ 製作範囲 抵抗加熱蒸着（TE）、有機膜蒸着（LTE）、電子ビーム蒸着（EB）、RF/DCスパッタリング（SP）、T-CVD/PE-CVD、プラズマエッチング（RIE） ◉ チャンバー ・026（26Litter）-TE/LTE/SP/CVD/Etch/*Globe Box o...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

ICPエッチング装置　RIE-800iPC/RIE-400iPC

真空カセット室を備え、プロセス再現性や安定性に優れた本格生産用装置をご…

『RIE-800iPC/RIE-400iPC』は、SiCトレンチ形状の25枚連続加工の安定性を 誇るICPエッチング装置です。 高RFパワー(2 kW以上)を効率よく安定して印加可能で、良好な均一性を実現。 また、反応室に直結した排気システムを採用することで、小流量・ 低圧力域から大流量・高圧力域の幅広いプロセスウィンドウ...

メーカー・取り扱い企業： サムコ株式会社

サンセイジェネリック株式会社　事業紹介

半導体製造装置・LCD製造装置なら当社にお任せください

品目】 ■高周波電源及び高周波マッチングユニットの販売 ■高周波電力測定機器の開発及び販売 ■高周波インターロックシステムの開発及び販売 ■Process Chamberの開発及び販売 ■RF GENERATORおよびRF MATCHING BOXの修理業務 ■半導体ROBOTの開発、製造及び販売 ■半導体熱交換器の開発、製造及び販売 ■半導体、LCD製造装置の開発及び修理・改善工...

メーカー・取り扱い企業： サンセイジェネリック株式会社

ビットエラーレートテスター『BA-4000』

800G/400G/200G/100Gの伝送規格向けテストをフルサポー…

00Gの伝送規格向けテストをフルサポート 　(～56GBd, NRZ/PAM4, ～8チャネル) ■バーストエラー分析に必須のFECシミュレーション機能 ■生成信号の高品質なアイパターン ■RFインターフェースに着脱容易なO-SMPMコネクタ採用 ■PRBS 7/9/11/13/15/23/31/13Q/31Q, SSPRQをサポート ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽に...

メーカー・取り扱い企業： セブンシックス株式会社

サンユー電子　真空応用機器／電子顕微鏡関連機器製品総合カタログ

スパッタ装置、真空蒸着装置、SEM/電子顕微鏡関連機器のサンユー電子

膜(Au・Pt)作製装置 →EDX・EPMA分析用前処理装置 →イージー＆シンプルオペレーションのミリング装置 ○SVCシリーズ →抵抗加熱式真空蒸着装置 →電子ビーム式真空蒸着装置 →RFマグネトロンスパッタ装置：Iシリーズ/IIシリーズ [電子顕微鏡関連機器] ○SUP/SDM/SPGシリーズ →SEM画像取込装置 →三次元計測装置 →電子線描画用パターン発生装置 ○S...

メーカー・取り扱い企業： サンユー電子株式会社

RIBER　MBEセル（蒸着源）

MBEセル（蒸着源、分子線セル）はエピタキシャル膜の品質において重要で…

素、リン、アンチモン向けバルブドクラッカーセル ・大容量・高安定性ガリウム、インジウムセル ・窒化物向け高耐性エフュージョンセル ・特殊用途セル（高温セル、昇華型カーボンセル） ・窒素、酸素RFプラズマ源 ・高温・低温ガスインジェクター...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

通信用HTCCパッケージの市場規模・シェア｜2029年までの予測

このレポートは世界の通信用HTCCパッケージ市場を詳細かつ包括的に分析…

いくつかのリーダーの2023年までの市場シェア推定値を提供しています。 タイプ別市場区分 アルミナHTCC AlN HTCC 用途別市場区分 光通信 RF/マイクロ波通信 主な対象メーカー 京セラ 日本ガイシ/NTK 河北省シノパック電子科技＆CETC 13 エガイド アドテックセラミックス ...

メーカー・取り扱い企業： GlobaI Info Research有限会社 Global Info Research

小型スパッタリング装置

コンパクト設計で省スペースを実現！大学や民間の研究室に最適なスパッタリ…

【主な特長】 コンパクト設計により省スペース化を実現 RF/DC電源が可能 優れた膜厚均一性 タッチパネル(PLC)による簡単操作 大学の研究室や民間の研究開発に最適...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー

卓上真空プラズマ装置YHS-G(ガス導入タイプ)

空気・酸素・窒素・アルゴンなど様々なガスを導入できる卓上型の真空プラズ…

が簡易 【オプション対応致します】 設計から製造まで弊社の技術者により製品を作っております。 お客様からの様々な要望に専任の担当者が親身に対応させていただいております。 ◇圧力調整 ◇RFタイプ ◇クリーンボックス ◇ステージサイズ ◇POWERコントロール　など・・・ その他お気軽にご相談下さい。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社魁半導体

研究開発用真空蒸着装置

目的・コストに合わせて柔軟に対応！大学・公的研究機関や基礎実験用に。

いたします。 【特長】 ■実績豊富なハードと柔軟なコスト対応 ■目的に合わせた豊富なオプション機構(高温加熱・基板冷却・多元同時蒸着・ 　有機物用蒸発源　リフトオフプロセス対応） ■プラズマ電極・RFコイルなどのイオン化機構・プラズマ電極追加対応 ■サンプルテストからハードのカスタマイズ、納入後のフォローまで 　一貫した顧客対応 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

大型樹脂基板用蒸着装置

成膜前の高周波プラズマによる放電洗浄により、樹脂基板に対して高い密着力

）、電子銃蒸発源、大型排気系の組合せにより 大量バッチ処理による高品質装飾膜や電磁波シールド膜の生産に好適です。 【特長】 ■各種金属膜の低温形成（70℃以下） ■短時間バッチ処理 ■RFボンバードによる樹脂基板への膜の高い密着性 ■各種薄膜・厚膜・多層膜の形成（Cu／Ni　Cu1μmNi0.25μm　積層） ■不連続膜の安定した成膜　 ■カスタム化対応にて長尺基板（最大175...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

量産対応バッチタイプスパッタリング装置　（STH10311型）

φ４１０基板×４枚の自公転基板台を４枚備えたバッチ型のスパッタリング装…

装置形態 平行平板型サイドスパッタリング装置 カソード：ロータリーマグトロンカソード３元 対応基板：φ４１０までの平板基板 カソード電源：DCおよびRF 付属機構：基板加熱機構、逆スパッタ、バイアススパッタ機構 オプション機構 同時スパッタ機構 CｔｏＣ化、インライン化...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

ウエハースケール グラフェン合成装置【nanoCVD-WGP】

Φ3inch、Φ4inch ウエハーサイズ対応プラズマCVD 装置。不…

ル） ・原料：CH4, C2H4, solids (PMMA), etc.. ・プロセスガス：H2, Ar, N2, etc.. ・基板サイズ：Φ4inch ・150W, 13.56MHz RF電源 ・500℃～Max1100℃基板加熱 ・高精度プロセスガス圧力APC制御 ・マスフローコントローラー最大4ch ...

メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社

精密光学用イオンビームスパッター装置　IBS1400／1600

ビューラー・ライボルトオプティクスの真空IBS装置

ビューラー・ライボルトオプティクスが開発したイオンビームスパッター装置です。 搭載基板サイズは4x350mmもしくは最大600mm系の大型基板。可動式ターゲットタワー・RF220 イオン源・OMS5100を用いたダイレクトモニタリング方式にてプラスマイナス0.3％ の範囲内で膜厚分布を実現いたします。 詳細はお気軽にお問合せください。 ...

メーカー・取り扱い企業： ビューラー株式会社

【高耐食性Y2O3/YOF膜事例】エッチング装置部品の保護膜に

溶射やエアロゾルデポジションによる保護膜より遥かに耐食性・耐プラズマ性…

に日本で設立されました。日本の半導体製造業をサポートすべく、エッチング装置部品に成膜致します。第一段階として誘電体窓にY2O3（酸化イットリウム）やYOF（酸フッ化イットリウム）を再生成膜することでRF window（誘電体窓・天板）交換の費用（純正部品購入より再生で大幅にコスト削減！）や装置メンテナンスに伴うダウンタイムを大幅に抑えて装置稼働時間を上げることができます。 誘電体窓やビューポート...

メーカー・取り扱い企業： つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー

モジュール検査装置　CM2030（カメラモジュール）

CCTECHのオーダーメイドのモジュール検査装置。外観検査を基本とし、…

ールの外観検査対応の検査装置になります。基本はイメージセンサーですが、CCTECHのCMシリーズはモジュールだけではなく、カスタマイズすることにより、さまざまな外観検査に対応することが可能。 昨今RF関係の半導体など、ICパッケージの中に複数の半導体ダイを内蔵した製品が多く、それらの半導体チップ内部のサブストレート基板のワイヤーボンディングの検査、キズ、欠けなどの欠陥検査までさまざまな欠陥を検査...

メーカー・取り扱い企業： CCTECH Japan CCTECH Japan（株）- 　日本法人

R&D用スパッタ装置 QAMシリーズ

各種研究開発、材料開発等に幅広く対応できる成膜装置。多様性・拡張性を持…

ンスパッタリング　※ヘリコンスパッタ（通称）　※オプション ・カソード数：　2インチカソード（磁性体、非磁性体共用）　Max.4台まで搭載可能 ・搭載電源：　DC500W　1台　※DC500W、RF300Wを選択でき、Max.2台まで搭載可能　※オプション ・到達圧力：　1×10-4Pa　以下 ・対応基板サイズ：　Max.φ4インチ×1枚 ・膜厚分布：　±5％以内（Al成膜時、基板回転併...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

カフマン　グリッドタイプ イオンソース

ＫＲＩグリッドイオンソースはDCタイプ、RFタイプがあります。

カフマン型グリッドイオンガン 　RFICPイオン源グリッドサイズ：4cm, 10cm, 14cm, 22cm, 36cm 　DCイオン源グリッドサイズ：1cm, 4cm, 8cm, 10cm, 16cm The versati...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社