- 製品・サービス
56件 - メーカー・取り扱い企業
企業
34件 - カタログ
247件
-
-
-
PR実は多用途！ スチールベルトの使用例をご紹介！ 搬送用や動力伝達用の事…
金属製のステンレススチールベルトは搬送や動力伝達など色々なところで使われています。 アプリケーション集ではイラストと共に10個の用途事例をご紹介。 用途事例毎に従来方式や問題点、SUSベルトの特徴や導入の効果を分かりやすく解説します。 【お困りの課題、問題点の紹介例】 耐熱、伸び、清潔、発塵、精度、精密性、耐久性、連続化、 エコロジー、平坦性、バタつき、生産効率、低摩擦、高剛性 など ※詳...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ディムコ
-
-
-
-
PR【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…
【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
-
ウェーハ搬送ロボット(FIロボット)OH修理、コントローラ修理
交換部品は純正部品を使用し、純正手順で検査致します。また、短納期でOH…
機能の各種検査を行います。 各種検査をクリアしたロボットに対し、レベル調整(製造メーカーのスペックに合わせて、レベル調整作業) ウェーハ・カセットを使用し、サイクルテストを行います。 （ロボットアームでの繰り返し精度測定、プログラムにてOH後の品質及び精度確認を行います） ※詳しくはお問い合わせいただくか、カタログをダウンロードしてご覧下さい。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行
-
-
-
-
-
ロボットシステムソリューション『MOTOMAN-GPシリーズ』
生産現場の悩みをロボットシステムがスマートに解決！高い搬送能力を実現し…
当社は、株式会社安川電機のロボットシステムソリューション 『MOTOMAN-GPシリーズ』を取り扱っております。 最高速度が従来機種より最大30％UPした「GP25」をはじめ、「GP7」や、 「GP8」、「GP12」をラインアップ。 機内ケーブル交換時にバッテリ接続不要で原点データ保持。 ケーブル・コネクタ数削減で作業性が向上します。 【特長】 ＜GP7、GP8＞ ■可...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社TOSAMACHINE
-
-
-
-
レジスト膜の面内均一性やウエハ間の平均膜厚の差が少ないコーターです。低…
ロボット搬送による全自動レジスト塗布装置です。 高均一性、省薬液、複数薬液使用可能な仕様です。 低粘度～高粘度レジストまで要求仕様に合わせてカスタムいたします。 ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
-
厚さ100um！極薄ウェーハ搬送自動レジスト塗布装置 コーター
GaAs、LT、ガラスなどの脆くて薄いウェーハでの搬送・塗布での実績（…
薄いウェーハで気になるのは搬送での割れ、塗布後の面内均一性です。 ウェーハ搬送装置（ウェーハソーター）の作製実績など、薄くて割れやすい（脆い）ウェーハの搬送に自信があります。 GaAs、LT（タンタル酸リチウム）、ガラス（石英）、GaN、サファイア、Si、セラミックなど多数の基板に対応可能です。 また、薄いウェーハでは塗布時の面内均一性がバラつきやすいですが、チャックなどを工夫す...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
-
他のコネクタでは取付け困難な、狭く限られたスペースに取り付けが可能！
に】 ・小型化・高密度実装を求められる装置 ・ドローンなどの堅牢性を維持しつつも小型・軽量化が求められる機器 ・現地での組立て、簡易コネクションが求められるユニット化された装置 ・小型ロボットアームなどの設置面積の低減を求められる装置・機器 など 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...
メーカー・取り扱い企業： レモジャパン株式会社
-
-
-
-
-
EFEM
300mmウェーハをFOUPカセットより取出し、振り分けを行います。 振り分けのパターンは任意に設定でき、お客様の仕様に対応した振り分けが可能です。 振り分け以外にも装置のローダ/アンローダとして使用できます。 水平多軸ロボット(GCR4210-500-AM)を搭載することにより走行軸なしで4カセットにアクセス可能 Z軸ストローク500mmの採用によりカセットを上下2段に配置可能 ロ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
-
-
-
-
自動レジスト現像装置（枚葉式） デベロッパー Developer
枚葉式のためプロセスの再現性が高く、薬液使用量も少なく済みます。品質向…
枚葉式フォトレジスト現像装置です。 パドル現像、スプレー現像（1流体、2流体）など様々な現像プロセスに対応できます。 薄型ウェハや角基板など多数実績がございます！ また、厚膜レジスト現像～微細なパターンの現像まで幅広く対応できます。 当製品は、枚葉式で現像、ベーク、クーリング機能を搭載（オプション：全面露光ユニット） マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたライ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
-
ロール・スプレーコーターの置き換え！回転カップ式レジスト塗布装置
多彩な薬液に実績あり！低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っている…
当社の装置はロールコーターやスプレーコーターなどで塗布するような基板でもスピンコーティングで処理をすることができます！ 細長い長方形の基板や正方形に近い角基板、段差のある基板や厚膜などでもスピンコーティングで塗布ができる回転カップ式塗布装置です（特許取得済み） マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップをご用意しています。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
【～300mmウエハ用】旋回軸にダイレクトドライブモータを採用！ 高…
■Z軸が標準搭載されているダブルアームタイプの真空用ウエハ搬送ロボット ■θ軸にダイレクトドライブモータを採用し、ウエハを低振動で搬送することで スループット向上に貢献 ■CVD装置、アニール装置など、高温プロセス装置に対応 ■可搬重量2kgのため、重量物搬送にも対応 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 ...【仕様】 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン
-
-
-
-
3軸円筒座標型クリーンロボット
防水対応3軸円筒座標型ロボットのSWCRシリーズです（300mmウェーハ対応反転+エッジグリップ機能付）。 水がかかる環境やぬれたウェーハを搬送することができます。 薬液などのため人が入れずウェーハを触ることができない環境でのウェーハ搬送ができます。 保護等級IP64 LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウェーハ搬送に適しています アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
-
-
-
-
自動塗布・露光・現像一貫プロセス装置（フルオートリソグラフィ）
レジスト塗布～露光～現像処理を一気通貫。自動で処理可能な装置です。フォ…
当製品は、スピンコーティング、一括等倍露光、現像処理を自動で行う装置です。HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載可能。 設計から製造・販売まで自社で行い、コーター、アライナ、デベロッパのフォトリソ装置をラインナップしている当社だからこそ実現出来た装置です。 対応レジストは、ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、など、多彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、GaAs、InP、...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
-
2サイズ兼用自動レジストコーター・デベロッパー（塗布・現像）
段取り替え不要、2サイズのウエハ兼用装置です。 低粘度～高粘度レジス…
当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました！ ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります。 GaAs...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
-
段取り替えなし！複数ウエハサイズ兼用自動レジスト塗布装置コーター
現状のウエハサイズと将来的に使用したいウエハサイズを兼用した装置を作製…
2種類以上のウエハサイズを兼用した装置製作が「段取り替えなし」で可能です。 実績例 ■2・3・4インチ兼用装置 ■4・5インチ兼用装置 ■4・6インチ兼用装置 ■6・8インチ兼用装置 ■8・12インチ兼用装置 ウエハ重量、ウエハ材質によっても変わりますので、 まずはお気軽にご相談ください。 2種類のウエハサイズの専用装置を1台ずつ設置することを考えれば、設置面積は実質...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
-
両面プロセスに最適！両面自動フォトレジスト塗布装置 コーター
ウェハ反転ユニットを使うことでウェハの両面塗布を自動で行えます！
一度ウェハをセットするだけで、ウェハの両面プロセスが自動で行える装置です。 塗布は片面ずつ行いますが、反転ユニットを使い、自動運転が終わる時には両面にレジストが塗られています。 ウェハの処理が律速しないように最適化した塗布・ベーク・反転の搬送手順で処理を行います。 ポジ・ネガどちらのレジストでも、低粘度～高粘度まで対応可能です。 当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
-
医療、バイオ関連施設などの無菌室、クリーン環境下での搬送が可能
医療、バイオ関連施設などの無菌室、クリーン環境下での搬送が可能 マイクロプレート搬送も可能 チルト機構によりシャーレを傾けて、培養液などの吸引可能 当社各ロボットに搬送部を取り付け可能（本仕様は水平多関節型ロボットへの搭載としています）...ロボット仕様 ロボット型式 GCR4210-300-AM 被搬送物 シャーレφ90x21mm（ガラス）（※その他サイズ、マイクロプレートも対応可） ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
-
-
-
-
シリコンウエハを搬送する際に使用するロボットに使われる部品です。クリー…
横型マシニングセンターを駆使した高精度アルミ切削加工の量産を得意としています。 加工工程にＣＮＣ測定を組み込み高精度を確保しながら、最高３万回転の主軸による高速切削と合わせ、作業者の多台持ちや昼夜連続運転など全てにおいて効率化を図り、他の追随を許さないコストパフォーマンスが実現できます。...▼取扱製品 産業用機械部品/工作機械部品/半導体装置部品/電子部品製造装置部品/医療用機器部品/環境関...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイパーウェブ
-
-
-
-
「半導体製造装置部品」や「産業用ロボット部品」などの精密加工部品11点…
当資料では、株式会社タアフが行った精密加工部品事例をご紹介しています。 “ベース”や“プレート”などの半導体製造装置部品の加工事例をはじめ、 ロボット部品の加工事例やFA装置部品、工作機械部品の加工事例を掲載。 【掲載事例】 ■半導体製造装置部品 ■ロボット部品 製作内容やお見積りのご相談等、興味を持っていただけましたら何でも お気軽にお問合せ下さい。 ■その他の装置部...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社タアフ
-
-
-
-
～10000cP程度の高粘度ポリイミドを均一に塗布する高粘度専用スピン…
【特徴】 ・高価な薬液の吐出量を高精度ポンプにて制御 ・均一良く塗るためのカップ構造（密閉式、回転カップ式） ・少量で塗り広げるプロセスのノウハウ ・少量生産に対応したシリンダ対応ディスペンサーも搭載可能（オプション） ・高粘度材料で難しいEBR（エッジリンス）機能 高粘度ポリイミドをスピン塗布する装置です。高粘度対応ポンプ及び、薬液温調システムを搭載し、高粘度ポリイミドをムラ無く...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
-
逆テーパー角を一定に！PEB対応レジスト現像装置（デベロッパー）
逆テーパー角度を一定に！ネガレジストやイメージリバーサル用のレジストに…
枚葉式で現像、全面露光（反転露光、イメージリバーサル）、ベーク、クーリング機能を搭載。 リフトオフ用レジストで逆テーパーの角度を決める重要なPEB。 当社独自プログラムで逆テーパー角度を安定させます！ また、ネガレジストの露光後ベークに使用することで安定プロセスが得られます。 マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、 設計から製造・販売まで自社で行ってい...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
-
真空トランスファーチャンバーの小型化に寄与します。
業界最小クラス、装置の小型化が可能 当社標準比真空ロボット：フットプリント65%（φ95mm）, 容積比75%ダウン アームの組み合わせにより任意の到達距離の設定が可能...ロボット仕様 ロボット型式 TSVCR3060N-020-PM 被搬送物 2インチシリコンウェーハ ウェーハ保持方式 落とし込みによるラフガイド方式 機械構造形式 円筒座標型 制御軸 3軸 モータタイプ エンコー...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
-
-
-
-
MAX400℃！高温ベーク対応レジスト塗布装置（スピンコーター）
BARCやその他薬液をスピン塗布後、MAX400℃でベーク可能！高温ベ…
当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、高温ベーク（MAX400℃）、低温ベーク（MAX200℃）、クーリング機能を搭載。 低温ベークと高温ベークの組み合わせでステップベークも可能です。 レジスト以外での薬品でもスピン塗布後に高温ベーク可能！ その他、ポジレジスト・ネガレジスト、ポリイミド（PI）、シリコーン、SOG、WAXなどなど多数の薬液に実績ございます！ シリコン...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
-
フォトレジスト量削減！回転カップ式塗布装置（スピンコーター）
ポリイミドや高価な高粘度レジストの削減に有効！回転カップ式スピンコータ…
回転カップ式スピンコーターは高粘度材料（ポリイミドや高粘度レジスト）の使用量を大幅に削減できます！ 弊社取得特許により、最小塗布量の薬液を低回転で均一に塗り広げることで、使用量を削減することに成功しました。 削減の幅は薬液によりますが、使用量3割～7割の削減実績があります。 生産量に合わせて、マニュアル機～フルオート機までのラインアップを揃えています。 設計から製造・販売ま...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
-
UV-LED光源！半導体製造用自動露光装置|マスクアライナー
光源を水銀ランプからLEDへ置き換えた露光装置です。 自動平行調整、…
当製品は、UV-LED光源搭載の自動一括等倍露光装置（マスクアライナー）です。 弊社の特徴として、フォトマスクとウエハを完全非接触でステージとマスクの自動平行調整が行えます。 超精密UVW駆動ステージを搭載し高性能画像処理を行う事で フォトマスクとウエハのアライメントも正確に行います。 露光方式としてプロキシミティ、ソフト、ハードコンタクトにも対応。 マニュアル機～フル...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
-
【複数サイズのウエハを段取り替えなしで処理！】複数サイズ兼用装置はダウ…
ウエハサイズ違いによる段取り替えがなく、生産性UP！ 製品の種類によってインチサイズが違う、将来的に大きいサイズのウエハを処理したいというご要望が大変多いです。 そこで、段取り替えをしないで複数サイズ処理が可能なリフトオフ装置をご提供します。 【複数サイズ兼用の例】 「2・3」、「2・4」、「3・4」、「4・6」、「6・8」インチ 【薄型ウェハにも対応！】 高圧ジェット...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
-
独自の制御システムにより、パターンの再現性を実現出来る
『エマルジョンガラス自動現像機EL-GP』は、 6槽の処理槽・ローダ／アンローダ間にエマルジョンマスクを 移動させる搬送用ロボットと、自動液補充システムを備えた ガラスマスク用自動現像装置です。 タッチパネルを用いて処理条件の設定が可能です。 ローダには5枚（標準）のエマルジョンマスクの収納が可能です。 ローダにセットすると、自動で連続処理します。 【特長】 ■独自の処理制...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ラットコーポレーション 本社：営業部・業務部
-
-
-
-
テスト印刷可能！ポリイミドカバーリングなどの印刷を、高精度かつ全自動で…
『MT-80SP』は、各種ウエハサイズに対応した、カセットtoカセットタイプの 全自動ウエハ向けスクリーン印刷機です。 ローダ部にカセット（各規格対応）を積載。水平搬送ロボットアームにより 自動で取り出し、プレアライメント（ノッチ検出）を経て印刷を行い、 再びカセットに収納します。 半田バンプやポリイミドカバーリングなどの印刷を、高精度かつ全自動で 行えます。...
メーカー・取り扱い企業： マイクロ・テック株式会社
-
-
-
-
-
ガラス、サファイア、SiC、GaN、等々のウェーハ対応 卓上ローダーシ…
ウェーハ検査ステージと搬送部分が一体化したコンパクトな卓上システム X軸190mm、Y軸200mmのロングストローク設計であり、どの位置でも手元のノブでウェーハの回転操作が可能 搬送ロボットは2本のチャックを持ち、検査ステージへのウェーハ入れ替え動作を短時間で完了可能 ロボットと落とし込みアライメントステージの組み合わせで低コスト・省スペース・高機能なシステムを実現 ...○被搬送物 ～1...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
-
-
-
-
装置内の狭いスペースでの作業時や、電路の引き回し設計においてフレキシブ…
アプリケーション例として、ロボットアーム部や装置内電路引き回し時に採用されておりますが、材質や表面処理を変えることによって高温（数百度）用途として半導体製造装置のヒーターやＥＳＣへの接続なども可能とします。 また、同等の電気仕...
メーカー・取り扱い企業： エヌビーエス株式会社 本社・工場
-
-
-
-
450mmウェーハ搬送システム
450mmウェーハの高速搬送に使用できます。 走行軸使用により、カセットのポート数に応じたストロークでご提案します。 ACサーボモータを採用し、動作軌跡最適化により高速、高精度に搬送します。 ベルヌーイチャックの搭載可能（オプション）。 Z軸 (昇降軸) 500mmまで対応可能。 走行軸を採用し、高速で4FOUP（450mmウェーハ）へアクセス可能 可搬重量：アーム第3関節換算5k...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
-
-
-
-
短時間剥離！手動リフトオフ装置（マニュアル機）Lift-off
短時間剥離！当社独自の特殊ノズルによる高圧ジェットで、枚葉による高速処…
研究開発用途で活躍するマニュアルリフトオフ装置をご紹介します！ アセトンや専用剥離液で一晩浸漬した後に超音波やスプレーでリフトオフをするような長時間工程を短くできます。 当社独自の特殊ノズルを使用した高圧ジェットにより、枚葉による高速処理・高剥離力を実現し、薬液の使用量も削減できます。 さらに、弊社独自の温調膨潤と高圧ジェットの組み合わせで処理時間を24時間→3minに減らした事...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
-
・クローズドループ制御 ・アブソリュートエンコーダ搭載 ・バッテリ…
低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300mmウェーハ対応のスーパークリーンルーム用4軸水平多関節型クリーンロボットです。 並列配置されたカセットに対して走行軸なしで搬送可能です。 チャックの向きがカセットに対して直線移動し、エッジグリップによる搬送や角基板搬送も走行軸なしで対応可能。 各ウェーハサイズ対応可能です。 急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
-
-
-
-
無人稼働でフレキシブル生産を目指します！
ロボットアームと５軸加工機・三次元測定器をライン化し、省人化によるコスト低減と、多品種の生産も可能とするフレキシブルな生産体制を目指しています。 作業員1名で高精度の製品を自動生産していきます。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社津田製作所
-
-
-
-
ブラシ洗浄からの置き換え！枚葉式ウエハ洗浄装置（スクラバー）
実績多数の高圧ジェットを採用したスクラバー。ソフトスプレーと組み合わせ…
当社のスクラバー装置は、当社独自の特殊ノズルを使用した高圧ジェットにより、枚葉による高速処理・高洗浄力を実現し、薬液の使用量も削減できます。 ノズルは、高圧ジェット方式の他、2流体スプレー、1流体スプレー等の方式も選択可能ですし、組み合わせることも可能です。 ウエハ洗浄だけでなく、フォトマスクの洗浄でも実績があります。 また、DIP処理で問題となるパーティクルの再付着がありませ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
超低振動２軸３軸一体型マイクロステップドライバー・ステッピングドライバー
ステッピング特有の振動を最大限に抑制し低速から高速まで安定した制御を実…
実現。３軸一体型（２軸一体型も御座います）の為、今まで実現不可能であったスペースにも設置が可能。特にＸ・Ｙ・Ｚ軸等、３軸駆動方式には抜群の威力を発揮します。低速重視の検査装置・半導体制御装置・ロボットアーム・医療機器・プリンター等、応用範囲は色々。 納得の低コスト化も実現。サンプル貸出しも随時おこなっております。実機にて一度お試しください。現在ご使用中のモーターをそのままお使いになれます。（５...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ケー・プロジェット
-
-
-
-
シリコンウェーハのP/N判定・外観検査を行うためにハンドリングする装置…
ウェーハを真空吸着方式で取り扱います。 従来、作業者が手で行っていたウェーハのハンドリング作業を、この装置を使用することで、品質の向上を図ることができます。...・反転機能付きのツインアームロボットを使用することにより、効率よくウェーハの搬送が行えます。 ・P/N判定は接触式にて行います。 ・検査ステージでは ウェーハの吸着 前後の傾斜（片側最大約45°） 360°回転 ユニット全体...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
-
-
-
-
抵抗率別かつ厚さ別の区分に分類
シリコンウェーハの厚さと抵抗の測定を行い、指定された抵抗率の区分 または、抵抗率別かつ厚さ別の区分に分類する装置です。 ...・カセットはローダ側12個アンローダ側15個設置可能です。 ・搬送はローダ、アンローダの搬送はシングルアームロボットを使用し真空吸着方式で搬送します。 ・測定データはパソコンに転送されます。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
-
-
-
-
●クローズドループ制御●アブソリュートエンコーダ搭載●バッテリレスを実…
スーパークリーンルーム用3軸円筒座標型クリーンロボットです。 低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300mmウェーハ対応の新型シングルアームロボットです。 急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用し、ロボットの信頼性を更に向上 アブソリュートエンコーダを搭載していることにより、現在の位置を把握、原点復帰後動作にかかる時間を短縮 バッテリ不要な機械式多回転...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
-
-
-
-
●クローズドループ制御●アブソリュートエンコーダ搭載●バッテリレスを実…
スーパークリーンルーム用4軸円筒座標型クリーンロボットです。 低価格、高速搬送、脱調レスを実現した2インチ～300mmウェーハ対応の新型ツインアームロボットです。 急激な負荷変動や急加速でも脱調しないクローズドループ制御を採用し、ロボットの信頼性を更に向上 アブソリュートエンコーダを搭載していることにより、現在の位置を把握、原点復帰後動作にかかる時間を短縮 バッテリ不要な機械式多回転...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
-
-
-
-
低粘度～高粘度レジスト対応！小口径～大口径まで、どのウェハサイズの装置…
【特長】 ■低価格を実現 ■低～高粘度（1.7cP～10000cP）まで対応 ■2～12インチまで対応 ■複数サイズウエハを処理可能（例、3・4・5インチ兼用、8・12インチ兼用) ■ウエハサイズ自動認識システム ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減（省スペース化） ■レジスト削減で多数のオプション ■生産量に合わせたラインアップ 【ASAPのコーター・デベロッパ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
-
防水対応4軸円筒座標型ロボットのSTWHR4156シリーズです。
水がかかる環境やぬれたウェーハを搬送することができます。 薬液などのため人が入れずウェーハを触ることができない環境でのウェーハ搬送ができます。 LSI製造プロセスにおける酸、アルカリのミスト雰囲気中のウェーハの搬送に適しています。 アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕性を確保 アーム関節部防水構造にVシール使用 部品の接合部はバイトンパッキンによりシール Z軸部防水構造にジャ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
-
-
-
-
2流体スプレー方式自動フォトレジスト現像装置（デベロッパー）
高い圧力から霧状の柔らかい圧力まで自由自在！2流体スプレーレジスト現像…
N2と現像液を混合して吐出する2流体スプレー方式の現像装置です。 N2の圧力を変更することで、スプレーの吐出圧力を変更することができます。 液の圧力を高め、高圧で吐出す方法や、液量を少なくして霧状にして柔らかく吐出する方法など幅広くスプレーの吐出パターンを選べます。 スプレーノズルは扇形、円形などの形状と分布や広がり角度や範囲も自由に選択できます。 マニュアル機～フルオート...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
-
1流体スプレー方式自動フォトレジスト現像装置（デベロッパー）
厚膜現像や処理時間短縮に効果を発揮する1流体現像装置です。スプレー形状…
1流体スプレー方式の現像装置です。 現像液の圧力でスプレーをするため、スプレーによるミストが飛び散りにくく、また現像スピードを速くすることができます。 大型基板や厚膜の現像に最適です。 スプレーノズルは扇形、円形などの形状と分布や広がり角度や範囲も自由に選択できます。 当製品は、枚葉式で現像、ベーク、クーリング機能を搭載。 マニュアル機～フルオート機まで生産量に合...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
-
大型角基板用（～430mm）回転カップ式自動レジスト塗布コーター
430mm角までの大型基板を隅まで均一良く塗ることができます！正方形、…
角基板は正方形、長方形などあらゆる形状のものを均一に塗布できます。 また、弊社の回転カップ式スピンコーターでは、ある程度の段差も気にすることなく均一に塗ることができます（高粘度で実績多数！） 当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
-
角基板対応自動レジスト塗布・現像装置（コーター・デベロッパー）
低粘度～高粘度レジスト対応！どのウェハサイズの装置も作製可能です！
当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました！ ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります。 GaAs...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
-
多彩な薬液に実績あり！低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っている…
当製品は、枚葉式で現像、前面露光（反転露光）、ベーク、クーリング機能を搭載。 マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、 設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました。 TMAH等多彩な薬液に実績があります。 【特長】 ■低価格を実現 ■自動サイズ認識 ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減 ■生産量に合わせたラインアッ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
静止現像式（パドル）自動フォトレジスト現像装置（デベロッパー）
多彩な薬液に実績あり！低価格の理由は、設計から販売まで自社で行っている…
枚葉式でウエハ上に現像液を液盛りして現像を行います。 ディップ方式と違い、1枚1枚現像を行うので、プロセスの再現性が非常に高いです。 薬液使用量を最適化することにより、現像液使用量の削減に繋がります。 液盛り方法もシャワータイプからストレートノズルなどご要望にお応えできます。 静止現像中の揺動機能も搭載！ （低回転と停止を繰り返して液を動かします） 枚葉式で現像、、...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
-
搬送部の小型化に寄与します。
業界最小クラス、装置の小型化が可能 当社標準比大気ロボット：フットプリント75%（□115x130mm）, 容積比80%ダウン アームの組み合わせにより任意の到達距離の設定が可能...ロボット仕様 ロボット型式 TSCR3060N-135-PM 被搬送物 2インチシリコンウェーハ ウェーハ保持方式 真空吸着保持方式 機械構造形式 円筒座標型 制御軸 3軸 モータタイプ エンコーダ付き...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル
-
-
-
-
10000cP！高粘度対応自動レジスト塗布装置（スピンコーター）
10000cPのポリイミドやレジストにも対応可能！ASAP（エイ・エス…
高粘度レジストの塗布に強みを持っています！ 例えば、400cP以上のレジストでも面内均一±5％以内に納めます（φ300mmウェハ） ASAP(エイ・エス・エイ・ピイ)特許の回転カップ方式によって厚膜を均一良く塗布することが可能です（保有特許：第3821468） 当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 マニュアル機～フルオート機まで生産量に...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
高粘度フォトレジスト対応！密閉式自動レジスト塗布装置（コーター）
高粘度フォトレジスト塗布に自信があります！10000cPのポリイミドで…
高粘度フォトレジストやポリイミド塗布の実績が多数あります！ 当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。 ベローズポンプやシリンジの対応も可能です！ マニュアル機～フルオート機までお客様の生産量に合わせて設計から製造まで行います。 ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 【特長】 ■高粘度塗布でも高均一...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
【超高圧ジェットでメタル＆レジスト除去】ASAP専用ノズルで、枚葉によ…
【特長】 ■最大20MPaの超高圧ジェットを噴射 ■リフトオフ時のバリの除去 ■メタルの再付着なし！ ■薄いウエーハでも割れる心配なし ■レジスト、ポリマー、 マスクの洗浄としても使用可能 ■薬液のリサイクルシステム （オプション） 超高圧ジェットリフトオフは熱やプラズマの影響で取れづらくなったレジストをきれいに除去可能！ 昔はDIPプロセスで簡単に除去できていたものがだん...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
-
【枚葉式でDIP並みの膨潤】リサイクル式循環ヒーターにより、高温・高剥…
【枚葉式の装置でDIP並みの膨潤】＋【超高圧ジェット】の組み合わせで、取れづらくなったレジストを完全除去！ ●【膨潤＋高圧ジェット】の繰り返し処理でがんこなレジストを除去可能！ ・高温ベークで取れづらくなったレジスト ・ドライエッチング後のレジスト ・微細パターンの奥深くのレジスト また、DIP処理で問題となるバリやメタルの再付着がありません！ 厚膜のメタル、酸化膜など、エ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
-
自動等倍露光装置（オートマスクアライナー）Maskaligner
簡単設定、自動平行調整、完全非接触ギャップ管理。オートアライメント機能…
当製品は、オート一括等倍露光マスクアライメント装置です。 フォトマスクとウエハを完全非接触で自動平行調整を行います。 超精密UVW駆動ステージを搭載し高性能画像処理を行う事で フォトマスクとウエハのアライメントを正確に行います。 ソフト、ハードコンタクトにも対応。 マニュアル機～フルオート機まで生産量に合わせたラインアップで、 設計から製造・販売まで自社で行っているの...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
-
高田工業所社製量産用枚葉式ウェット処理装置『TWPシリーズ』
リフトオフ・レジスト剥離プロセスによるウエハー表面処理を行う量産用枚葉…
量産用『TWPシリーズ』は以下の特長を備えた装置になります。 ■特長 ・ 高い剥離性能をもつ独自のジェットリフトオフ機構 ・多品種少量・生産量の変動への対応に向けた、 フレキシビリテイの向上とランニングコストの削減 ・枚葉化による品質・歩留り向上 （クロスコンタミの無い精密処理の実現と面内の均一性・制御性の向上 ） ・1チャンバー完結 完全枚葉処理 ・パドル処理、低速回...
メーカー・取り扱い企業： JFE商事エレクトロニクス株式会社 プロセスソリューション営業部 実装プロセス営業室
-
-
-
-
高圧ジェットで驚きの剝離能力！当社独自の特殊ノズルで、枚葉による高速処…
物理力と化学力のW（ダブル）効果リフトオフ！ W効果リフトオフとは？ ・当社独自の特殊ノズルを使用した高圧ジェット（MAX20MPa）により、物理力による剥離 ・溶剤にNMPやDMSOなどの有機溶剤を使用し、化学的な力で剥離 また、枚葉による高速処理・高剥離力・高安定性を実現し、さらに薬液の使用量も削減できます。 この他にレジスト、ポリマー、 マスクの洗浄装置としても使用で...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイ・エス・エイ・ピイ
-
-
-
-
リンス、乾燥を専用のチャンバーで行うことにより、精密洗浄が可能
カセットをローダーにセットし、耐薬仕様のクリーンロボットにて基板の搬送を行います。 チャンバーＡでケミカル処理、チャンバーＢでリンス、スピン乾燥し、アンローダにセットしたカセットへ収納する、枚葉自動マルチスピンプロセッサーです。...スイングアームの仕様は、ケミカル、ブラシ、2流体ジェット、メガソニック等の各種処理アイテムの中から各チャンバー2系統お選び頂けます。本体両側面に薬液供給タンク又は廃...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社カナメックス 厚木工場
-
-
-
-
シリコンウェーハの厚さ測定を行い、その厚さに応じて並べ替えを行う装置で…
ツインアームロボットを使用することにより効率的な動作が可能になり短時間処理が可能になりました。 測定データはExcelファイルに自動保存します。 ...・ウェーハの厚さ測定位置は中心1点です。多点測定が必要な場合もご相談ください。 ・仕分けは同一ロットのカセットの中で並べ替えを行う方式ですので、仕分けランクが大きい場合は並べ替えを行わない割合が増え、従ってトータル処理時間は短縮します。 ・...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャステム
-
- 表示件数
- 60件
- < 前へ
- 1
- 次へ >
