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PR総合案内プレゼント!多用途接触端子など多数掲載!
【湘南エンジニアリング株式会社 総合案内】はプリント基板関連検査機機「SE-108A(操作パネル付)」をはじめ、 電子部品関連検査装置「レーザダイオード特性検査装置」や、通信機器関連検査装置「携帯電話開閉耐久試験機」など、 用途にあわせた幅広いラインナップを掲載しております。 *総合案内プレゼント中です!* 【掲載内容】 ○主要設備機械 ○会社概要 ○組織図 ○沿革 ○売上高推移グラフ 【掲...
メーカー・取り扱い企業: 湘南エンジニアリング株式会社
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PR装置全体をコンパクト化し組立た状態で運搬する為設置工事を簡略化 !生…
『Deopo(デオポ)』は、従来の蓄熱燃焼式脱臭装置「RTO」の3塔式と回転式の 優れている要素を併せ持ち、ワンユニットにパッケージ化した装置です。 VOCの処理効率は98%以上、温度効率は95%以上の性能を持ち、従来品に比べ、 パージ部分の体積を最小にすることによりコンパクト化することが出来ました。 また、工場で組立した状態で運搬可能なサイズなので、標準装置の場合は 現地の荷降...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社サーマルプラント
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φ200mmウェーハまで対応!成膜・エッチングの両用が可能なプラズマC…
『210Dモデル』は、誘導結合プラズマ(Inductively Coupled Plasma:ICP)による、成膜装置です。 現場でのハードウエアの交換により、十数分の作業時間で、 誘導結合プラズマエッチング装置として使用する事が可能。 コンパクトな機体に多彩なオプションで、薄膜の堆積やトレンチのパターニング等...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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Au, Pt, 磁性材料等の難エッチング材料の加工に最適なドライエッチ…
イオンビームミリング装置は、ドライプロセスでの微細加工装置として、研究開発から生産まで幅広い用途で使用されています。化学反応を伴わない物理的なエッチングプロセスの為、Au, Pt, 磁性材料、金属多層膜なども簡単に加工可能...
メーカー・取り扱い企業: 伯東株式会社 本社
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半導体製造装置やサブシステムの圧力校正試験にPACEシリーズを導入しま…
性と3拍子そろっています ■圧力制御スピード:他社製品の最大5.5倍 ■生産ライン上の圧力校正試験に最適(試験の自動化プログラムあり) ■モジュール式(シングル・デュアルが選べます) 【装置の気体・液体の流量計測、品質管理に】 ■圧力コントローラPACE:モジュール式で高精度且つ、幅広い圧力範囲に対応 ■PACE1000圧力インジケータ:最大3つの圧力を同時表示、最大5チャンネルの...
メーカー・取り扱い企業: 日本ベーカーヒューズ株式会社&ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社 (旧)GEセンシング&インスペクション・テクノロジーズ株式会社 & GEエナジー・ジャパン株式会社
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モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…
【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント(成膜ソース、ステージなど)、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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卓上タイプエッチング・成膜装置『Plasma POD シリーズ』
教育機関や小規模施設などに!タッチパネルで簡単操作が可能な卓上型システ…
『Plasma POD シリーズ』は、小型でコンパクトな 卓上タイプエッチング・成膜装置です。 設置スペースに限りがあり、低コストでエッチング・成膜装置の 導入をご検討されている方にお勧め。 ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■装置最大サイズ ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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レーザードリルなどで、ブラインドビア及びスルーホールなどの穴あけ後にス…
株式会社SETO ENGINEERINGでは、『デスミア装置』を取り扱っています。 当装置は、レーザードリルなどで、ブラインドビア及び、スルーホール などの穴あけ後にスミアを除去できます。 ラン構成は1レーンで、加工面は両面。 装置構成は、巻...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社SETO ENGINEERING 守谷事業所
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最短半日見積り/半導体製造関連/実装機械 等、装置の部分的な製作、装置…
◎お客様 装置メーカー・FA用機器 様 ◎ご依頼内容 自動化装置の安全カバーフレーム部分の製造 半導体製造装置メーカー様用 ◎主な仕様 [数量] 装置カバーA 1台 /装置カバーB 1台 [寸法(mm)/W...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社 エージェンシーアシスト 京都本社 営業所(仙台・東京・埼玉・神奈川・浜松・愛知・岐阜・新潟・福井・奈良・兵庫・岡山・福岡)
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小型、省スペース! 研究開発に最適 蒸着・スパッタ・アニール等目的に合…
限のモジュール・コントローラをPlug&Play感覚で19"コンパクトラックに組込む事により無駄が無く、小型省スペース・シンプル操作・ハイコストパフォーマンスを実現した、フレキシブルR&D用薄膜実験装置です。 マグネトロンスパッタ(最大3源)もしくは抵抗加熱蒸着(金属源 最大4、有機材料x4)に対応します、又基板加熱ステージを設置しアニール装置、プラズマエッチングも製作可能。 グローブボックス...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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MRAM用ドライエッチング装置!
反応性イオンエッチング装置(RIE)、誘導結合プラズマ (ICP)エッチング装置、イオンビームエッチング装置(IBE)等のドライエッチング装置など各種取り揃えております。...
メーカー・取り扱い企業: 日星産業株式会社
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ヨーロッパ発の技術から生まれた汎用性の高い装置!実験~量産に幅広く対応…
当社は汎用性の高いエッチング装置や、低温低圧条件でも緻密に成膜できる堆積式の成膜装置を取り揃えております。 【ドライエッチング機種(一例)】 Pishowシリーズ: ■シリコン、金属、化合物半導体など、様々な材料に対応可...
メーカー・取り扱い企業: 日星産業株式会社
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Al系やCrなどの金属膜の微細パターンのエッチングに対応!デモ機常設!…
『ICPメタルエッチング装置』は、先端薄膜プロセスに対応した 金属膜対応の高密度プラズマエッチング装置です。 半導体、MEMSなどの汎用デバイスだけでなく露光用マスクや金属基板の 表面処理などの特殊プロセスにも積極対...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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ヨーロッパ 発の技術から生まれた汎用性の高い装置!
8"工程用Pishowシリーズ: ・Pishow: シリコン、金属、化合物半導体など、様々な材料に対応可能; 幅広く温度の工程に対応可能; エッチングの速度と均一性を精密制御; BOSOH工程に対応可能 ・Pishow A: HEMT工程のソリューションを提供、SiNx、TiN、pGaN、AlGaN層の特別処理が可能; pGaNの高エッチング選択比を実現、AlGaN層に低損失制...
メーカー・取り扱い企業: 日星産業株式会社
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シンプル構造で低価格を実現!GaNウェハ低ダメージエッチング装置をご紹…
当社が取り扱う『PECプロセス装置』をご紹介します。 光源・波長はUVA、UVCから選択でき、エッチング溶液加熱により 高速な深堀エッチングが可能。 タッチパネル入力でエッチングリンスをパラメータ設定できます。 ご用...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社三明 本社、東京支店、大阪支店、神奈川営業所、山形営業所、浜松営業所、名古屋営業所、長野営業所、八戸営業所
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エッチング装置
塩化第二鉄及び、塩化第二銅を使用し 現像後の銅箔をエッチングする装置 【特徴】 ○Lane構成:2Lane ○搬送速度:2.0m/min ○材料幅:TAB/CSP/COF用 35mm〜160mm(FPC用 250〜300mm) ○材料厚み:PI 25μ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社SETO ENGINEERING 守谷事業所
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ドライブ基板は1ch毎に電流設定が可能!御希望に合わせたシステム装置の…
当社では『定電流方式 LEDエージング装置/バーンイン装置』を取扱って おります。 当社オリジナルのドライブ基板を選択し、御希望に合わせたシステム装置の 提案・製作を行っています。 ドライブ基板は1ch毎に電流設定ができ、1...
メーカー・取り扱い企業: 新日本電工株式会社
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ドラフト構造でクリーンルーム仕様!エッチング処理やレジスト除去する装置
「ウェット式エッチング装置」は、半導体関連で使用される各ウェハーをバスケットに入れ、X-Y-Zロボットにて、エッチング処理やレジスト除去の作業を行います。 発生ガス、及び空気は、薬品系、有機溶剤系に出来るだけ分けた状況での...
メーカー・取り扱い企業: オーエヌ総合電機株式会社
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ドライ洗浄のプラズマ技術で環境を守り、半導体デバイスの生産性を大幅に向…
当カタログは、ヤマトマテリアルが取り扱うプラズマ装置を掲載したカタログです。 デモ機や、プラズマ装置のラインアップの他、「RIE プラズマ処理のしくみ」や、 「DP プラズマ処置のしくみ」などもご紹介しています。 当社では、プラズマドラ...
メーカー・取り扱い企業: ヤマトマテリアル株式会社
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ウェハやガラス・大型基板のエッチング・アッシングに実績豊富なバッチタイ…
実績豊富なバッチタイププラズマエッチング装置「EXAM」をベースとし最大Φ600mmもしくは500mm□までステージを拡大。 大型ステージでファインピッチのエッチング・各種有機物のアッシング・表面改質・クリーニングなど幅広いプロセスに対応 ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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洗浄、現像、エッチング等カスタマイズ可能な、低価格多目的処理装置
研究・開発に最適なコンパクトサイズの卓上型多目的処理装置です。 【特長】 ・エッチング、洗浄、現像、剥離、乾燥など用途に合わせてカスタマイズ可能。 ・PVCボディー素材で酸、溶剤に対応。 ・卓上型なので場所を取らず、低価格にてご提供可能。 ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社トービ
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新プラズマ源HCD(ホローカソード放電)電極搭載、各種メタルやCu薄膜…
度プラズマと独自プロセスで各種メタルだけでなくCu薄膜などの難エッチング材のエッチングに対応。 新開発HCD型ヘッドはスケールアップが容易で矩形基板や大型基板の高精度エッチングが可能。 300mmウェハや積層基板、最大1m□までの基板のメタルエッチングに対応。 近年ニーズが高まっている半導体周辺部材(フォトマスク、高密度実装基板)をカバーする従来のプラズマエッチングにとらわれない新型エッチング装置
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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搬送速度は1.5m/min、材料幅は350mmまで対応!薬液温度・圧力…
当装置はFPC等の薄い枚葉基板をロールtoロール搬送し連続にて エッチングを行います。 装置は、巻出(基板投入)~ラミネート~エッチング~水洗~ 酸洗~水洗~巻取(基板剥がし)~水洗~乾燥~基板...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社SETO ENGINEERING 守谷事業所
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非球面レンズのDLC膜の除去に実績豊富なプラズマクリーニング装置。高付…
実績豊富なプラズマクリーニング装置「POEM」をDLC除膜用にグレードアップ&カスタマイズ。 従来型より処理時のイオンのエネルギーを向上させ緻密なDLC膜の除去に対応。通常のO2クリーニングプロセスだけでなくマルチガスプロセスでS...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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シンプルな機構で高密度プラズマを実現。ウェハから1m□基板まで対応。S…
従来型の容量結合型プラズマエッチング装置にくらべ一桁高い密度のプラズマを実現。高周波アンテナや磁石を使用せず、電極構造のみの工夫によって高精度エッチングが可能。従来型のエッチング装置(CCP型・ICP型)とのハード上の互換性も高く低コスト...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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板厚50μmのワークを安定して搬送可能、FPC搬送対応も可能です。
銅表面粗化処理装置 マイクロエッチング装置は、板厚50μmのワークを安定して搬送可能な表面処理装置です。ファイン化仕様ノズルパターンとオシレーション機構により均一な面精度が出せます。上エッチングは個別圧調でさらに高精...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社二宮システム
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IC・MEMSの実験に適した安価で超小型!即稼働の実験装置をご提案!
『Mini-Lab』は、当社とリソグラフィー研究開発の実績を持つ リソテックジャパン株式会社が共同で立ち上げたサービスです。 IC・MEMSの実験に適した超小型の実験装置を安価で即稼働できるよう ご提案。全工程の小型装置を取り扱っております。 大型実験装置レベルの機能を有し、コンパクトで高性能な小型装置を取り 揃え、安価・小型化・高性能・短納期をモットーに...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社アシストナビ
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【高耐食性Y2O3/YOF膜事例】エッチング装置部品の保護膜に
溶射やエアロゾルデポジションによる保護膜より遥かに耐食性・耐プラズマ性…
エッチング装置内部材の保護膜に、イオンアシスト蒸着法による耐プラズマ性の高耐食性Y2O3膜(酸化イットリウム膜), YOF膜(酸フッ化イットリウム膜)を使用した事例をご紹介します。 半導体の微細化は急速に進んで...
メーカー・取り扱い企業: つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー
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排ガス・風量に応じた室内型スクラバーを装着することにより、排ガス処理設…
・エッチング、洗浄装置などの装置に合せて設置が可能です。 ・酸・アルカリなどのガスを適切に処理します。 ・スクラバーで適切に処理することで後工程のダクト、装置への影響がありません。また、室外へ排気された場合でも周辺環...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダルトン
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現像機等で発生する泡の液化処理に!基板品質の向上を実現する泡処理装置
東京化工機の『泡処理装置』は、槽内に発生した泡をブロワーにより吸引し 独自のセパレートシステムの採用により液化する装置です。 消泡剤の残渣による製造基板への影響懸念の解消及び、基板品質の 向上を実現します。 ...
メーカー・取り扱い企業: 東京化工機株式会社 本社・長野工場
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液晶ガラス基板の薄肉加工ケミカル研磨の自動装置として、G6世代までの薄…
×機械研磨ではタクトが合わない。 ×フッ酸によるガラス溶解では綺麗に仕上がらない。 などのお困りごとを解決します。当社のガラスエッチング装置は「浸漬ディップ式」と「枚葉搬送スプレー式」の2種類あります。どちらも量産装置として数多くの実績がある装置です。 【当社装置の特徴】 ■狙い板厚±30μm規格でCpk1.33以上可能 ■自...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社NSC エンジニアリング本部
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ダメージレス・ハイスループット・多用途対応 ハイエンドデバイス・化合物…
けでなくRIE室の装備により特殊レジスト・有機膜野除去にもまたイオン注入後の硬化レジスト除去に対応。表面部の硬化レジストの除去とレジスト下層のダメージレスアッシングの両立を実現。 コンパクトな枚葉式ロードロック室とツインハンドロボットの採用でりコンパクトな設置寸法を実現。 通常のウェハだけでなく。1mm以上の厚みのウェハや矩形基板など特殊基板にも対応実績。多用途対応の枚葉式エッチング・アッシング装置
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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総保有コストを減少させる事が可能!最高クラスの均一性とスループットを実…
『QuaZar』は、大面積イオンソースと高度なモーションコントロールにより、 難しいエッチングプロセスや薄膜形成アプリケーションにおいて、 プロセス結果を実現できるエッチング・成膜装置です。 当製品のMarathon grids技術は、重要な要素となっており、現在お使いの 既存のシステムに設置する事も可能。 世界の多くのお客様が、grid技術で既存装置の性能を向上さ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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ドライエッチング装置・リアクティブイオンエッチング装置・コンパクトエッチャー・アッシング装置・クリーナー(クリーニング装置)
ドライエッチング装置・リアクティブイオンエッチング装置・コンパクトエッ…
FA-1は、ICチップ上の各種不良解析のためのパッシベ-ション膜の剥離や各種シリコン薄膜のエッチング、フォトレジストのアッシングなどを効率よく、かつ低損傷で行うドライエッチング装置です。操作方法は簡単で、試料をセットしてボタンを押すだけで使用できます。また、省スペースで場所を選ばず、床置型、卓上型のどちらにも対応が可能です。...
メーカー・取り扱い企業: サムコ株式会社
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ニッチプな要求に細やかに対応。ライトエッチング・アッシングを薄ウェハや…
薄ウェハ(100μm以下)の自動枚葉搬送を実現したプラズマエッチング装置。マルチモードプラズマとステッププロセスで幅広いプロセスに対応 自然酸化膜除去から厚膜レジストアッシング・クリーニング・ディスカムまで。 ディスクリートIC、パワーデバイス、化合物半導体・MEM...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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半導体製造装置の流量制御に必要な高精度の圧力センサ各種。モジュールのカ…
【SEMICON JAPAN2021に出展いたしました】 多くのお客様にブースにお寄りいただきありがとうございました。 【半導体製造装置の流体制御に】 半導体製造工程においてはプロセスガスの高精度な流量制御が不可欠です。厳しい条件下で高いパフォーマンスを発揮する各種圧力センサ、カスタマイズできるモジュール機能などをご提供しておりま...
メーカー・取り扱い企業: 日本ベーカーヒューズ株式会社&ベーカーヒューズ・エナジージャパン株式会社 (旧)GEセンシング&インスペクション・テクノロジーズ株式会社 & GEエナジー・ジャパン株式会社
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高機能マルチスパッタリング装置 6元マルチスパッタ(Φ4inch用)…
自の"Soft-Etching"技術で基板バイアスにより基板のダメージを軽減 ・タッチパネル又はWindows PC制御:操作が分散せず、全ての操作をタッチパネル/PCで行うことができます。 ・装置設置寸法:1,767(W) x 754(D) x 1,645(H)mm ●抵抗加熱蒸着・有機材料蒸着・EB蒸着などの混在仕様も構成可能です。 ●マルチチャンバー式も製作可能です。...
メーカー・取り扱い企業: テルモセラ・ジャパン株式会社
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静電チャック、ピンチャック等の調達にお困り事があった方は必見! 海外…
当社の海外サプライヤーでの生産により、お客様の部品調達のご不安を解致します! 高精度/高品質の半導体製造装置用のセラミック部品を材料込みでご提案致します。 ☆8インチ、12インチサイズ対応可能です。 ☆国内装置メーカー様への納入実績は豊富に御座います。...
メーカー・取り扱い企業: ナラサキ産業株式会社 メカトロソリューション部 機能材料課
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有効パターンエリアを大きくとる事が可能であり、材料の有効活用ができます
『TAB・COF製造装置』は、連続搬送方式で製品リール巻出に同期して、 ライン搬送に影響を与えず巻取ができます。 テンションコントローラーで製品巻出リールの回転速度を一定に制御。 巻出部テンションは製品幅により可...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社SETO ENGINEERING 守谷事業所
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自動化量産ラインに対応。インラインタイプ、枚葉タイプ、柔軟なハード構成…
先端薄膜デバイスで実績豊富なチャンバ構成をクリーニング用途に展開。 高いクリーニング効果を各種基板で実現。 基板と生産量に合わせて柔軟なハード構成と高いプロセス能力 クリーニング・ディスカム・アッシング・親水処理、撥水膜処理、各種用途に対応。 基板実装から素材表面処理まで実績豊富な大型プラズマ装置
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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長年の経験と蓄積された加工ノウハウ!化合物半導体加工向けに1300台以…
「プラズマ加工装置」は、光化合物半導体のプラズマ・エッチング・ 成膜装置です。 研究・開発から量産とシーンに適したシステムの提供が可能。 また、光電子デバイス製造に必要な幅広い材料を扱うように設計されて...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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高いスループットを実現!大面積イオンソースと高度なモーションコントロー…
当社のイオンビームエッチング・成膜装置『QuaZar(TM)』を ご紹介いたします。 大面積イオンソースと高度なモーションコントロールにより、 高いスループットを実現。 特にMarathon(TM)グリッドは、従来の方式...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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プラズマベースの原子層エッチング装置『Takachi ALE』
表面の単原子層のエッチング!エッチング対象物へのダメージを抑える事が出…
当社が取り扱うプラズマベースの原子層エッチング装置 『Takachi ALE』をご紹介します。 Takachiシステムは、ALEキットを搭載することにより、 ALEプロセスが可能です。 表面の単原子層毎にエッチングしていく為、エッチ...
メーカー・取り扱い企業: プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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【エッチング装置/アッシング装置部品の保護膜に】Y5O4 F7膜
Y5O4 F7膜は表面フッ素量変化が小さいのでエッチング装置のエージン…
堆積物をコーティングすることによってチャンバ内表面状態を安定させる手法(エージング)が適用されていました。Y5O4 F7膜はY2O3膜に比べてプラズマ処理前後の表面フッ素量変化が小さいのでエッチング装置のエージング時間を大幅に短縮し、装置稼働時間を上げることに寄与します。 ...
メーカー・取り扱い企業: つばさ真空理研株式会社 横浜ラボラトリー
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【デモ機貸し出し可能!】一連の洗浄・エッチング処理を行い、純水処理・乾…
スプレー式ウエハーエッチング装置は、一連の洗浄・エッチング処理を行い、その後、純水処理・乾燥までを処理する装置です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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ウェットエッチングによる、コストダウンに配慮した仕様をご提案します。
エッチングならではの低コスト、高生産性を実現します。 ご要望に応じて様々な搬送位置や方式に対応し、追加機構の付加、カスタマイズも可能です。 【特長】 ■全自動酸・アルカリエッチング(洗浄)装置 ■手動酸・アルカリエッチング(洗浄)装置 ■RCA洗浄装置 ■前面搬送機タイプ・背面上部搬送機タイプの他に、お客様のニーズに合わせ上部搬送機タイプ・背面搬送機タイプにも対応できます。 ■キ...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ダルトン
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自動管理装置「アデカエイフェススーパー装置」による液管理
専用エッチング液「アデカケルミカTFE-3000シリーズ」により、サブトラクティブ法による微細配線を実現します。ピッチ25μm以下COFにおいて、高エッチファクターの回路形成を可能にします。自動管理装置「アデカエイフェススーパー装置」による液管理により、安定したファインエッチングを提供します。詳しくはカタログをダウンロード、もしくはお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ADEKA
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バッチ式プラズマアッシング処理装置(バッチ式プラズマアッシャー)
ウエハ50枚一括のバッチ式プラズマアッシング装置
本装置は、同軸バレル構造をチャンバーに持つ、ウエハ50枚一括のバッチ式プラズマアッシング装置です。 ウエハサイズは、5インチ以下、6インチ、8インチに対応しています。 また、オプションにて4インチと6...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社リバティー
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簡易な槽内洗浄が可能!装置内の数か所に基板蛇行修正機構を取り入れていま…
『ITOガラスエッチング剥離装置』は、ガラス基材表面のITO(透明導電性膜)を エッチングする製品です。 駆動部の簡易洗浄ノズル管により、駆動ギアの結晶防止機能を持たせており、 薬液槽内にも洗浄スプレーを設けることで簡易...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社トーア電子
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加工の一体化的な装置化!自動切断による生産効率を向上したレーザーシステ…
薄膜パターニング装置『FILM LASER』は、ガラスや樹脂などの各種基板上の 薄膜除去加工に特化した装置です。 ご要望により最大加工エリアサイズは800mm×800mmまで、ライン&スペースは 20μm/2...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社デルファイレーザージャパン
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自動管理装置「アデカベアック装置」を用いて、エッチング液を常時分析
回路形成材料「アデカベアックシステム」は、自動管理装置「アデカベアック装置」を用い、エッチング液を常時分析し、ORP(酸化還元電位)、イオン指数(遊離塩酸濃度)、比重の状態により、各種取り揃えた特殊エッチング液と再生剤及び水を必要量自動補給します。微細...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社ADEKA
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【デモ実施中!】使用ニーズに合わせてカスタマイズできるイオンソースを搭…
「小型実験用イオンビームエッチング装置」は、DCイオンソースを使用し、基板回転冷却シングルステージを搭載した装置です。 Au、Pt、磁性材等を容易にエッチングし、テーパー加工も簡単にできます。基板表面温度80℃以下での処理が可能です。...
メーカー・取り扱い企業: アールエムテック株式会社
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【国産】真空プラズマ装置(49万)大気圧プラズマ装置(34万)
表面改質・洗浄に優れた低温電荷ダメージ無し!真空・大気圧プラズマを安価…
プラズマ装置国産メーカー『魁半導体』 昨年の『関西フロントナー大賞』『京都中小企業優秀技術賞』を受賞。 社内の技術者が様々なニーズに対応いたします。 本製品は微細な加工やラボ用途に最適な仕様で提供させて頂...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社魁半導体
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イオンソースを使用し、加工対象物にイオンビーム照射をし、ドライエッチン…
小型イオンビームエッチング装置は、DCイオンソースを使用し、基板回転冷却シングルステージを搭載したイオンビームエッチング(IBE)装置です。 微細加工、金属及び磁性体材料もエッチング可能です。 【特長】 ○Au, Pt...
メーカー・取り扱い企業: アールエムテック株式会社
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エッチング、アッシング及びイオンクリーニングを可能とする汎用性に優れた…
『アッシング装置』は、最大φ12インチ基板を全自動連続処理することが できる量産装置です。 ガス種およびプラズマモードの切り替えによりエッチング、アッシング 及びイオンクリーニングを可能とする汎用性に優れ...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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平滑なエッチング面と高い加工精度を実現!サンプルテスト対応いたします!
『SERIO』は、Si深掘り、石英の垂直加工、有機膜のエッチングなど 幅広い用途に対応する高密度プラズマエッチング装置です。 実績豊富なICPプラズマ電極を搭載し、平滑なエッチング面と高い 加工精度を実現。スキャロップの無い平滑なエッチングが可能で、 ナノインプリントモールドの作成に適しています。 平滑なエッチ...
メーカー・取り扱い企業: 神港精機株式会社 東京支店
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間欠供給薬液恒温装置
薬液供給装置とユースポイントの間にセットするだけで希望の温度、 インターバルで薬液を供給可能! 【特徴】 ○簡単に安定した温度調節が可能 ○小型だから場所をとらない ○装置への組み込みが簡単 ○...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社セラ
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独自のスポットプラズマ技術で局所加工が可能な卓上プラズマエッチング装置
『TP-50B』は、電波法による設置許可申請も不要の50W型で、操作も簡単、 気軽にプラズマ加工が行える卓上プラズマエッチング装置です。 独自のスポットプラズマ技術で局所加工が可能で、半導体故障解析用試料の 前処理(配線の露出)から、各種プラズマ加工に幅広く対応致します。 また小型のため、スペースの限られた研究室...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社三友製作所 テクノセンタ
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RIEモードとDPモードの切り替えが可能!特殊表面処理によるメタルコン…
『ドライエッチング装置』は、最大φ12インチ基板を全自動で 連続処理することができる量産装置です。 2周波独立印加方式で、特殊表面処理によるメタルコンタミ低減。 マルチチャンバ仕様や各種オーダーメイドも製作いた...
メーカー・取り扱い企業: ジャパンクリエイト株式会社
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『粉粒体定量供給機の総合カタログ』※納入事例集も進呈
約100ページの大ボリューム。化学・製鉄・製紙・食品など多業界…
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