- 製品・サービス
644件 - メーカー・取り扱い企業
企業
59件 - カタログ
172件
-
-
-
小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】
PRクリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…
『HVE-100』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D39...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所
-
-
-
-
-
独自の安全機構でガス充満による酸欠事故を防止『グローブボックス』
PR真空装置メーカーの技術・経験を結集！自社設計により柔軟な仕様変更とリー…
当社では、不純物ガス濃度1ppm以下の高純度環境を実現する 『グローブボックス』を設計・製造・販売しております。 内部のガス圧力が一定範囲になるよう制御するAPC機構や、 グローブ・圧力計の破損時に異常を検知してガス供給を停止するセイフティ機構を標準搭載。 グローブボックスの豊富な知識・経験を活かし、各種カスタマイズも承ります。 【特長】 ■自社設計により柔軟な仕様変更とリ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイエルエステクノロジー
-
-
-
-
モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…
【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
-
-
-
-
プラズマクリーニング室、有機蒸着室、電極蒸着室、封止室等を自由に選択で…
『有機EL用蒸着装置』は、デバイス開発や材料開発に好適なマルチチャンバ 仕様の装置です。 前処理から成膜、封止までの工程を大気に触れずに処理することが可能。 目的に応じて、プラズマクリーニング室、有機蒸...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
-
-
-
-
蒸着源はボートタイプ！基板は支柱上のプレートに取付けられており高さは任…
『2次元抵抗加熱蒸着装置』は、簡単に2つの材料を抵抗加熱により蒸着出来る 装置です。 蒸着源はボートタイプで、基板は支柱上のプレートに取付けられており、 高さは任意に変更可能。 排気系は、DPとRPを併用...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社和泉テック
-
-
-
-
グローブボックス内でベルジャーを着脱し、基板や蒸着材料を交換・補充可能…
当社が取り扱う『グローブボックス内収納型真空蒸着装置』をご紹介します。 50×50基板を蒸着可能な小型蒸着ベルジャーを、グローブボックス内に収納。 グローブボックス内でベルジャーを着脱し、基板や蒸着材料を 交換・補充することができます...
メーカー・取り扱い企業： ケニックス株式会社
-
-
-
-
両面成膜・端面成膜・コンパクト・大量バッチ処理。基板の自公転機構が蒸着…
小型基板や小径ウェハの両面成膜、セラミック基板の端面成膜、マスク成膜に最適な独自基板機構を装備。 小型チャンバで大きな処理量を持つ標準横型蒸着装置。 蒸発源・加熱温度・排気系の各種選択可能。樹脂装飾用から電子部品量産の電極形成まで実績豊富な独自機構で対応 ...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
-
-
-
-
マグネトロン、イオンビームなど！さまざまな薄膜蒸着ソリューションから選…
当社では、幅広いプロセス機能、使いやすさ、優れた信頼性、および グローバルなサービスとサポートを通じて、一貫した再現性のある 結果を提供する「薄膜蒸着装置」を取り扱っております。 蒸着、熱蒸着、マグネトロン、スパッタリング、PE-CVD、イオンビームなど、 幅広い材料とアプリケーションに対応するさまざまな薄膜蒸着ソリューション から選択可...
メーカー・取り扱い企業： TST SEMICONDUCTOR株式会社
-
-
-
-
多目的真空蒸着装置HEXシステム用抵抗加熱蒸着源
多目的真空蒸着装置HEX／HEX-L用の抵抗加熱蒸着源です。 抵抗加熱蒸着法は、最も一般的な真空蒸着プロセスです。ボート型やルツボ型の加熱容器に材料を置き、加熱容器に電流を流すことで抵抗熱を発生させ、材料を加...
メーカー・取り扱い企業： テガサイエンス株式会社
-
-
-
-
パルスレーザパルス蒸着システム
と化学気相蒸着（CVD）法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームアシスト（IBAD）蒸着法 に区分され、CVD法による装置と共に各種お取り扱いしております。 高い雰囲気中ガス（酸素、窒素、アルゴン等）下における高温基板加熱技...
メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社
-
-
-
-
容易に基板セットや蒸着用試料補充と交換が可能！大規模集積回路用の装置で…
『ESE-09』は、高真空領域での使用を目的とした抵抗加熱式の蒸着装置です。 アルミ蒸着も想定してBNコンポジットの選択が可能。また、チャンバ開閉は 上下分割駆動式で、ウェハを公転させる機能を装備しています。 なお、排気系はドライな真空状態を得るために、磁気浮上...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本シード研究所
-
-
-
-
粒状や粉末タイプの試料表面に各種金属薄膜をコートするための真空蒸着装置…
特徴】 ○当社発案のバイブレーション試料台を搭載し、試料を振動・回転させながら蒸着が可能。 ○粒子の回転により、粒子各面に均一な蒸着が可能で、蒸着斑が大幅に改善が可能。 ○お客様の既存の真空蒸着装置に、当社バイブレーション試料台と逆さま蒸発坩堝を組み込んで搭載させることも可能。 ●その他機能や詳細についてはお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社マイクロフェーズ
-
-
-
-
多目的真空蒸着装置HEXシステム用有機蒸着源
多目的真空蒸着装置HEX／HEX-L用の有機蒸着源です。 ORCAをインストールすることで、HEXシステムを有機物蒸着装置として使用できます。ORCAソースはルツボを積極的に冷却しています。加熱と冷却のバラン...
メーカー・取り扱い企業： テガサイエンス株式会社
-
-
-
-
大型基板に対応！シンプル&ハイタクトは生産性重視の樹脂性基板成膜装置！
「MDP2015」は、樹脂基板に抵抗加熱蒸着法によるアルミニウムなどのメタル膜を成膜後、腐食を防止するポリマー保護膜をプラズマ重合によりせい膜する装置です。 扉を左右に二つ設けることにより、プロセス中にワークの交換と蒸発物の装着を効率的に行えます。 装置構成の最適化により、高生産性・低ランニングコストを実現します。 【工程概要】 ■ワークを取り付け、扉を閉じて排気 ■プラズマ放電によ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社メープル
-
-
-
-
親水処理・蒸着装置・イオンスパッタの機能を完全一体化。
マルチ成膜装置VEＳ－１０は親水処理・蒸着装置・イオンスパッタの機能を完全一体化した小型卓上装置です。シャーペンの替え芯を蒸着。マグネトロンターゲットで低ダメージスパッタ。イオンスパッタと親水処理の操作は全自動。排気開始からコーティング終了ま...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社真空デバイス
-
PR
-
【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置
モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用…
テルモセラ・ジャパン株式会社