• プラズマクリーナー(大型) 製品画像

    小型・低コストな卓上型プラズマ処理装置Harrick Plasma社 …

    ラボ・研究開発向けに設計。光学材料のクリーニングはもちろん、ポリマー・生体材料などの材料改質、歯科・医学材料(器具)の滅菌、マイクロ流体工学などにも対応。あらゆる材料のクリーニングと表面処理に活用されており、各分野で多くの販売実績あり。真空ポンプ、クオーツチャンバー、サンプルトレー、プラズマフローなど、オプション品も幅広くラインナップ。...■□■特長■□■ ■業界最小サイズ 「研究機関向け...(つづきを見る

  • 製作実績【3】/半導体製造装置 関連部品 製品画像カタログあり

    金属部品から樹脂製品まで、半導体製造装置に関わる部品を実績にてご紹介!

    (1)基盤測定装置用プローブホルダー(アクリル材) アクリル材にプローブピン用の細穴加工を施し、 実際にプローブピンの圧入作業まで行い完成状態でお納めさせていただきました。 (2)製品搬送用パレット(A2017/ジュラルミン) マシニングセンタにて精密加工が施されております。 (3)ワーク搬送用トレー(A5052S) 製品位置決めトレーの製作を承りました。 アルマイト、ショ...(つづきを見る

  • バッチ式プラズマアッシング処理装置(バッチ式プラズマアッシャー) 製品画像カタログあり

    ウエハ50枚一括のバッチ式プラズマアッシング装置

    本装置は、同軸バレル構造をチャンバーに持つ、ウエハ50枚一括のバッチ式プラズマアッシング装置です。 ウエハサイズは、5インチ以下、6インチ、8インチに対応しています。 また、オプションにて4インチと6インチ、5インチと6インチウエハ兼用も可能です。 シリコンウエハ上に形成されたフォトレジスト薄膜を高周波プラズマ励起により、低ダメージアッシング(灰化除去)や表面改質等、多様なプロセス用途に利用...(つづきを見る

  • ポータブル大気圧プラズマ表面改質装置   製品画像カタログあり

    「プラミ-α」は小型で、使いやすい大気圧プラズマ発生装置です。 いつ…

    使いやすい! 持ちやすい! 大学や研究所と研究者のために...【特徴】  □アーク無しで素早く均一な表面処理が可能。  □本体重量が10kgしかない為、どこでも持ち運びが可能。  □オゾンフリーで環境にやさしく、ランニングコスト削減効果あり。  □幅広い用途に使用可能。「光学材料、プラスチック、金属、セラミック等」 【対象材料】  光学材料、プラスチック、金属、セラミック等 ...(つづきを見る

  • プラズマクリーナー(小型) 製品画像

    業界最小サイズ!小型・低コスト卓上型プラズマ処理装置

    小型・低コスト・業界最小サイズ、卓上型プラズマ処理装置です。ラボ・研究開発向けに設計。光学材料のクリーニングはもちろん、ポリマー・生体材料などの材料改質、歯科・医学材料(器具)の滅菌、マイクロ流体工学などにも対応。あらゆる材料のクリーニングと表面処理に活用されており、各分野で多くの販売実績あり。真空ポンプ、クオーツチャンバー、サンプルトレー、プラズマフローなど、オプション品も幅広くラインナップ。 ...(つづきを見る

  • バッチ式プラズマアッシャー装置 製品画像

    プラズマ自動機シリーズにアッシャー装置をラインナップしました。

    高性能装置を低価格でご提供。 アッシングレート:300Å以上、面内均一性:±20%以下、バッチ間均一性:±20%以下、処理能力:150枚/時間(RF0分で算出)。枚葉式アッシャー、エッチャーも低価格でご提供しております。老朽化した装置のレトロフィットもお受けしております。...50枚一括バッチ式のプラズマアッシング装置。 4,6インチ兼用、6,8インチ兼用、各インチ専用など柔軟に低価格で対応い...(つづきを見る

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