• 【分析事例】CiGS,a-Si薄膜太陽電池の解析手法について 製品画像

    CIGS、a-Siなどの薄膜太陽電池の解析のことならお任せ下さい

    CIGS、a-Siなどの薄膜太陽電池の解析手法について、「a-Si, μc-Si 薄膜太陽電池の解析手法」、「a-Si,μc-Siが混在するSi薄膜のTEM/電子線回折」、「a-Si 薄膜太陽電池(p-i-n構...(つづきを見る

  • 【分析事例】UVセンサ AlGaN中不純物濃度の高精度評価 製品画像カタログあり

    様々なAl組成のAlGaN標準試料をラインアップ

    SIMS分析において、より確かな濃度定量値を算出するには測定サンプルと組成の近い標準サンプルを用いることが不可欠です。 紫外LEDやUVセンサに用いられるAlGaNについて、Al含有量に応じたAlGaN標準試料を幅広く取り揃えたことで、より高精度にAlGaN中不純物濃度を求めることができるようになりました。 UVセンサのSIMS分析を行い、ドーパントである...(つづきを見る

  • 【分析事例】HAADF-STEM像とは 製品画像カタログあり

    HAADF-STEM:高角散乱環状暗視野走査透過顕微鏡法

    ■原理 HAADF-STEM( High-angle Annular Dark Field Scanning TEM)像は細く絞った電子線を試料に走査させながら当て、透過電子のうち高角に散乱したものを環状の検出器で検出することにより得られます...(つづきを見る

  • 株式会社WADOWのシミュレーション受託 製品画像カタログあり

    世界最小のものから宇宙で使われるものまで!経験と実績のシミュレーション…

    他 →使用ツール:ALLEGRO、ライトニング、ハイパーリンクス、ADS、他 ○PIシミュレーション →インプットインピーダンス、トランスファーインピーダンス、他 →使用ツール:PIStream,SIwave,Ansoft Designer、他 ○EMIシミュレーション →プレーン共振、電磁放射、EMIルールチェック、他 →使用ツール:DEMITAS NX、EMIアドバイザー、 ...(つづきを見る

  • CAEツール『Femap with NX Nastran』 製品画像カタログあり

    多種で高度な解析が可能!複雑な有限要素モデリングが可能なプリポスト統合…

    『Femap with NX Nastran』は、プリプロセッサ「Femap」と 有限要素法ソルバー「NX Nastran」が高度に統合されたCAEツールです。 Femapでは、簡単な操作で複雑な有限...(つづきを見る

  • 繊維配向画像解析ソフト ExFactAnalysisFiber 製品画像カタログあり

    繊維配向 分布 3D画像解析ソフト ExFact Analysis F…

    『ExFact Analysis for Fiber』は、繊維、燃料電池、ワイヤなど、 細長いファイバーの構造が連続する材料をX線CTなどで撮像した時に、 その三次元構造や形態を評価する三次元画像解析ソフ...(つづきを見る

  • 多孔体 3D画像解析ソフト ExFact Analysis PP 製品画像カタログあり

    多孔体 粒子 3D画像解析ソフト ExFact Analysis Po…

    ExFact Analysis for Porous/Particlesは、多くの穴や空隙を持つ材料をX線CTなどで撮像した時に、その三次元構造や形態を解析、評価するソフトウェアです。薬顆粒、生体材料、新素...(つづきを見る

  • [XAFS]X線吸収微細構造 製品画像カタログあり

    XAFSは、物質にX線を照射することで得られる吸収スペクトルを解析する…

    物質にX線を照射することで得られる吸収スペクトルには物質中に含まれる元素特有の急峻な立ち上がり(=吸収端)が見られます。 この吸収端近傍±50 eV程度に現れる微細構造をXANES(=X-ray Absorption Near Edge Structure)と呼び、吸収端から高エネルギー側1000 eV程度に現れる振動構造をEXAFS(=Extended X-ray Absorption...(つづきを見る

  • 【分析事例】AFMデータ集 製品画像カタログあり

    AFM :原子間力顕微鏡法

    AFMは微細な探針で試料表面を走査し、ナノスケールの凹凸形状を三次元的に計測する手法です。 金属・半導体・酸化物などの材料評価だけでなく、毛髪やコンタクトレンズなどのソフトマテリアルまで幅広い材料を測定可能です。 本資料では、様々な材質のAFM像をご紹介します。...詳しいデータはカタログをご覧ください...(つづきを見る

  • 繊維画像解析ソフト ExFactAnalysisFiber事例 製品画像カタログあり

    繊維配向 分布 3D画像解析ソフト ExFact Analysis F…

    【ExFact ForFiber】は三次元画像解析ソフトウェアです。 例えば、このような分析/解析の時におすすめです。 ・ガラス繊維、化学繊維などの構造解析をしたい ・燃料電池の内部構造を評価す...(つづきを見る

  • 【分析事例】髪表面の成分18-MEAの評価 製品画像カタログあり

    TOF-SIMSで髪表面の成分である18-MEAの評価が可能です

    毛髪(ヒゲ)の断面についてTOF-SIMSを用いてイオンイメージ分析を行い、皮脂としても検出される高級脂肪酸の分布を調べました。 その結果、脂肪酸の種類により分布が異なることが分かりました。...髪のキューティクル表面は18-MEA(18-メチルエイコサン酸)と呼ばれる脂質で覆われています。18-MEAは髪のツヤやまとまりの元と言われており、紫外線やヘアカラーで18-MEAが減少すると、キューテ...(つづきを見る

  • 断層画像(X線CT/FIB SEM等)3D解析 ExFactVR 製品画像カタログあり

    断層画像(X線CT/FIB SEM等)3D解析ソフト ExFact V…

    ExFact VRはX線CTなどから得た断層画像を3次元構築し、2次元/3次元的に可視化するソフトウェアです。 ○業務や研究で三次元画像デバイスを使うユーザーの定型的な利用形態に着目。再生互換性が高く...(つづきを見る

  • 断層画像(X線CT/FIB SEM等)3D解析 ExFactVR 製品画像カタログあり

    断層画像(X線CT/FIB SEM等)3D解析ソフト ExFact V…

    『ExFact VR 2.0』は、X線CTなどから得られた断層画像を ボリュームレンダリングにより二次元/ 三次元的に可視化する 三次元断層画像可視化ソフトウェアです。 断面画像と立体画像、付加情報...(つづきを見る

  • 統合リバースエンジニアリングソフト PointMaster 製品画像カタログあり

    統合リバースエンジニアリングソフト PointMaster 形状比較 …

    PointMasterを利用することにより、3D計測で得たデータを形状比較, CAD, CAEなど様々なシーンで活用できます。 ・三次元モデルの形状比較 ・詳細なレポート機能 ・ポイント指示による位置合...(つづきを見る

  • ボイド/内部欠陥/異物抽出 ExFact VR ボイド解析 製品画像カタログあり

    ボイド/内部欠陥/異物抽出 ExFact VR ボイド解析オプション

    『ExFact VR 2.0 ボイド解析オプション』は、 ソフトウェア「ExFact VR 2.0」に別売りで機能追加できるオプション製品です。 鋳造品や樹脂などの三次元画像から内部欠陥や粒子を抽出し...(つづきを見る

  • スライス画像(FIB-SEM/医用/連続切片)位置合わせソフト 製品画像カタログあり

    ExFact Slice Alignerは、5種類の自動位置合わせ、2…

    ExFact Slice Alignerは、スライス画像(FIB-SEM/医用画像/連続切片画像)の位置合わせソフト。面倒な手作業の位置合わせも、5種類の自動位置合わせで、あっという間に終了。 29種...(つづきを見る

  • 【分析事例】a-Si薄膜太陽電池中のドーパント濃度分布評価 製品画像カタログあり

    対象元素に応じて測定条件を選択

    フレキシブル薄膜Si太陽電池において、a-Si(アモルファスシリコン)中のドーパントの濃度分布を定量的に評価した事例をご紹介します。樹脂で封止されたサンプルを解体し、SIMS分析を行いました。 Bの分析(図3)では表面側の浅い箇所に存在...(つづきを見る

  • 統合リバースエンジニアリングソフト PointMaster 製品画像カタログあり

    統合リバースエンジニアリングソフト PointMaster 形状比較 …

    『ポイントマスター 5.5』は、三次元計測から得たポリゴンデータと CADデータの三次元形状を比較したり、面をはってサーフェスを出力し、 3DCADソフトウェアとデータ連携を実現するリバースエンジニアリング ソフトウェアです。 簡単な操作で、ポリゴンデータの表面に面(サーフェス)を貼ったり、 平面、円筒など単純形状に近似し、結果をIGES、STEPファイルとして 受け渡すことによっ...(つづきを見る

  • シミ分析の受託サービス|JTL 製品画像カタログあり

    試料表面の微量なシミの分析から調査まで一貫してご対応します。

    製品表面に発生したシミには、ケースに応じて様々な原因が考えられます。 弊社ではシミの状態に応じて、最適な分析手法を提案致します。 成分分析によるシミの原因物質の特定のみでなく、外観撮影から広がり具合の調査まで一貫して取り組み、問題を解決致します。...●様々なシミの分析に対応 シミ状の異常の発生原因には、様々なパターンが存在します。 当社では、有機・無機・化合物問わず、原因物質の特定を行う...(つづきを見る

  • SNP(SNPs)ジェノタイピング受託解析サービス 製品画像カタログあり

    Taqman試薬によるSNP受託解析を行います。Taqmqnは信頼性の…

    Taqman法による受託解析を行っております。Taqman法はSNP解析において、経済的で信頼性の高い正確な解析方法です。論文でも多数採用され最も一般的な解析法となっています。Taqman試薬代がかかる...(つづきを見る

  • 3D希薄流体解析ソフトウェア『DSMC-Neutrals』 製品画像カタログあり

    低圧条件のガス流れの解析ができる 希薄気体(希薄流体)にも対応した解…

    【特長】 ■非構造メッシュを採用しているので、複雑な実際の装置の形状そのままを計算することが可能 ■高い並列効率から、大規模形状でも短時間で計算結果が得られる ■粒子法を採用しているため流体モデルと異なり,品質の悪い計算格子が有っても,必ず収束解を得られる ■充実した技術サポートにより、シミュレーションが始めての方や実験で忙しい方々も確実に結果を出すことが可能 ◆さまざまな事例に対応...(つづきを見る

  • 生化学試験の受託サービス|JTL 製品画像

    化合物、食品素材、化粧品素材などの機能性に関する生化学試験を行います。

    化合物、食品素材、化粧品素材の機能性スクリーニングのためのin vitroでの生化学試験を実施します。 抗糖化、抗酸化、血糖抑制、血圧調整、抗肥満、抗老化、美白など各種試験に対応します。...【特徴】 ●豊富な試験メニュー 抗糖化、抗酸化、血糖抑制、血圧調整、抗肥満、抗老化、美白など各種試験に対応します。 ●化合物、素材の初期のスクリーニングに活用 各種素材の機能性評価のファーストス...(つづきを見る

  • 断面分析の受託サービス|JTL 製品画像カタログあり

    目的に応じた設備で、断面試料作製及び分析を実施します。

    試料内部評価の際は、断面試料作製後、分析を実施します。 断面試料作製では、機械研磨、イオンミリング(CP)、ミクロトームなどの様々な手法があります。 試料作製後に、SEM、FE-EPMA等の装置にて分析を実施します。 いずれも解析目的に応じて最適な方法をご提案します。...【特徴】 ●ご依頼内容に応じた最適な研磨方法 試料状態や解析目的に応じて、最適な断面作成方法を実施致します。 通常...(つづきを見る

  • WDXによる元素分析サービス|JTL 製品画像カタログあり

    材料分析・異物分析に適した微量元素・軽元素の分析を実施します。

    EPMA、FE-EPMA、XRFの分析方法である波長分散型X線分析法(WDX)を用いて、微量元素・軽元素の受託分析サービスを実施致します。 WDX装置はエネルギー分散型X線分析装置(EDX)よりも波長分解能が優れており、微量元素や軽元素の検出感度が高い分析が可能です。 そのため金属材料の判別や微量元素の拡散状態の分析、異物の分析等の微量元素分析にご利用いただけます。...【優れたエネルギー分解...(つづきを見る

  • 粉体分析の受託サービス|JTL 製品画像カタログあり

    無機物・有機物問わず、様々な粉体試料の成分分析を実施します。

    金属粒子、土壌、医薬品など多種多様な粉体試料の分析に対応しています。 粉体試料は、その構成成分、粉体の量、あるいは粒径などによって、用いる装置や試料調製方法が多岐に渡ります。 JTLでは、ご依頼内容に応じた最適な分析手法を提案させて頂きます。...【特徴】 ●様々な粉末試料に対応 粉末試料は、無機・有機問わず分析が可能です。 結晶質または有機物の試料であれば、化合物の分析にも対応していま...(つづきを見る

  • マッピング分析の受託サービス|JTL 製品画像カタログあり

    カラーマッピングにより、元素の分布を確認します。

    マッピング分析とは元素や成分の分布状態を視覚的に確認する分析手法です。 当社では、電子線(EDX,WDX)と、赤外顕微鏡(FT-IR)を用いたマッピング分析に対応しております。 元素マッピングにより、対象の元素がどこに・どの程度存在しているのかを把握することができます。 表面観察・定量分析等のサービスと併せて利用することにより、より分析対象の状態への理解に繋がります。...【特徴】 ●視覚...(つづきを見る

  • EDXによる元素分析サービス|JTL 製品画像カタログあり

    試料表面に含有される元素(B~U)の定性・定量分析を実施します。

    エネルギー分散型X線分析(EDX)による元素分析サービスでは、EDX装置から電子線を試料に当てることで励起される特性X線のエネルギーを測定し、得られるスペクトルから試料表面の元素分析を実施致します。 試料表面のどこに、どのような元素が(定性)、どれぐらいの量(定量)含まれているかを分析することが可能です。 ...【数1,000ppmオーダーの定量精度】 定量精度は元素によって異なりま...(つづきを見る

  • 膜分析の受託サービス|JTL 製品画像カタログあり

    メッキや薄膜、多層膜の分析を多彩な手法で適切に実施致します。

    主に断面研磨、イオンミリング(CP加工)、EDX、WDX、XRFの4つの手法から、メッキや薄膜などの観察・分析を実施致します。 無機物・有機物問わず、硬い膜や多層膜まで幅広くご対応しております。...【特徴】 ・断面研磨:10μm以上の観察 樹脂包埋を行い、指定箇所で断面だしを実施後、光学顕微鏡もしくは、SEMで観察します。 膜厚が約10μmまでなら、凹凸のない研磨が可能です。それ以上の薄...(つづきを見る

  • 定性分析の受託サービス|JTL 製品画像カタログあり

    試料中に含まれる未知の成分を特定することで、お客様の研究開発を支援致し…

    A):エネルギー分解能が10eV程度 近接したピーク間の干渉を抑え、EDXでは分離不可能なピークの解析も可能です。定性範囲は、B~Uになります。 ●ED-XRF:非破壊分析 定性範囲は、Na~U、分析範囲は、φ0.3、1、3、10mmになります。 SEM-EDXよりも分析深さがあり(金属は数十μm、樹脂は数mm程度)バルク試料の分析に適しています。 ●ICP分析:高感度な微量分...(つづきを見る

  • RoHS/ELVスクリーニング分析の受託サービス|JTL 製品画像カタログあり

    ED-XRFによるRoHS/ELVスクリーニング分析を実施します。

    ELVとは自動車・廃自動車及び部品・材料の鉛(Pb)、水銀(Hg)、カドミウム(Cd)、六価クロム(Cr6+)の4物質を規定値以下にする欧州連合の指令です。 RoHSとは電子・電気機器における鉛(Pb)、水銀(Hg)、カドミウム(Cd)、六価クロム(Cr6+)、ポリ臭化ビフェニル(PBB)、ポリ臭化ジフェニルエーテル(PBDE)の6物質を使用を制限する欧州連合の指令です。 (※新たに4種類のフ...(つづきを見る

  • 腐食分析の受託サービス|JTL 製品画像カタログあり

    金属の錆分析や樹脂やゴムの劣化分析により、お客様の問題解決をサポートし…

    腐食とは材料が周囲の環境との間に化学反応を起こし、変質、消耗、破壊されて本来の機能を失う現象です。 JTLでは、所有する機器分析装置を組み合わせることで、様々な金属の錆分析や樹脂やゴムの劣化分析を実施します。...【特徴】 ●金属腐食分析 金属錆発生の必要条件は水と酸素です。 またハロゲンや硫化物は表面酸化膜を破壊し錆を促進させる因子です。 SEM-EDX、ED-XRF、EPMAによりこ...(つづきを見る

  • 【無料】成果志向のAIIT PBLの運営戦術 村越PTの活動から 製品画像カタログあり

    【論文集 無料進呈】3D画像解析丸分かり!14本の論文を60Pに凝縮 …

    る樹脂成形品中のガラス繊維の観察と三次元解析 4.X線CTによるメタリック射出成形品の配向挙動解析 5.高分解能X線CTによる厚肉球状黒鉛鋳鉄の三次元組織観察 6.X線CTとExFact VR 2.0による鋳造品の内部品質評価 7.セメントコンクリート舗装の三次元損傷診断 8.三次元空隙ネットワーク解析によるリチウムイオン電池電極の評価法の開発 9.三次元画像...(つづきを見る

  • 劣化分析の受託サービス|JTL 製品画像カタログあり

    FT-IRにより、高分子材料の劣化具合を評価します。

    プラスチックなど高分子材料は金属材料と異なり錆のような腐食が起こりづらい反面、熱や紫外線により劣化が起こります。プラスチックによく見られる黄変もその一例です。劣化分析サービスでは、このような試料に対してFT-IRを用いて劣化具合の評価を行います。この結果は破損のみられた製品など不具合品に対し、原因特定の材料として利用することができます。...【特徴】 ●結合から構造の変化を推定 FT-IRは分...(つづきを見る

  • 受託評価・試験サービス|JTL 製品画像カタログあり

    JIS等の規格試験だけでなく、治具の製作や規格外の製品評価にも積極的に…

    製品の使用環境下におけるストレスを再現した幅広い試験にも対応します。 材料の機械的特性の評価はもちろん、製品形状品の評価にも引張圧縮試験機や疲労試験機、電気試験機などを用いて対応致します。振動試験はISO/IEC 1025試験所認定の取得により国際的に通用する確かな品質と技術力を提供することが可能です。...【振動試験】 製品特性と実際に使われる環境に応じた振動耐久性試験に対応します。 [設...(つづきを見る

  • 同定解析の受託サービス|JTL 製品画像カタログあり

    FT-IRおよびGC-MSによる有機物の同定解析を実施します。

    同定解析サービスでは、FT-IRおよびGC-MSを利用して化合物の同定を行います。 FT-IRではフーリエ変換赤外分光法により得られた化合物分子の赤外吸収スペクトル、GC-MSでは電子イオン化法より得られたフラグメントのマススペクトルをもとに解析を行います。 同定解析結果は、異物・付着物や製品の材質、成分の特定に利用することが可能です。...●FT-IRで高分子化合物・GC-MSで揮発性有機化...(つづきを見る

  • 異物分析の受託サービス|JTL 製品画像カタログあり

    製品や素材に混入した不明な異物を特定するため、様々な手法で分析致します…

    不明な異物の性状を分析するためには、異物の大きさ、組成などの情報から適した分析方法を選択する必要があります。 また、異物が発生した周囲の環境情報や、異物が発生していない対象品のご提供も大きな情報となります。 JTLでは、異物分析によりお客様の課題解決をサポート致します。...【特徴】 ●金属のような異物の分析 異物が金属であることを予想された場合、ED-XRFにより、非破壊&前処理不要で元...(つづきを見る

  • アミノ酸分析の受託サービス|JTL 製品画像カタログあり

    プレカラム誘導体化法を用いて、HPLCでアミノ酸分析を実施します。

    アミノ酸には9種類の必須アミノ酸と11種類の非必須アミノ酸があり、栄養補助食品としても注目されている成分です。また、毛髪など生体試料中のアミノ酸を分析し、栄養状態を評価することも可能です。 アミノ酸分析サービスではこれらのアミノ酸について、HPLCを用いて分析を実施します。対象は遊離アミノ酸だけでなく、タンパク質やペプチドを構成する構成アミノ酸としても分析可能です。さらに、HPLCでは測定不可と...(つづきを見る

  • VOC分析の受託サービス|JTL 製品画像カタログあり

    加熱脱着GC-MSおよびHPLCによって、VOCの測定を実施します。

    VOCは揮発性有機化合物の略称であり、浮遊粒子状物質や光化学オキシダントの原因のひとつです。これらは大気汚染をもたらすと共に人の健康への影響が懸念される物質であるため、排出規制や自主的取り組みによる規制が進められています。 VOC分析サービスでは加熱脱着GC-MS法およびHPLC法を用いて、VOCに該当する項目の測定を行います。...【特徴】 ●加熱脱着GC-MSで8成分、HPLCで3成分の測...(つづきを見る

  • 元素分析の受託サービス|JTL 製品画像カタログあり

    製品や材料の主成分を特定することで、お客様の研究開発をサポート致します…

    様々な製品や材料等に含まれる元素の種類と構成比率を特定することで、お客様の課題解決に繋がる情報をご提供します。 手法としては、EDX、WDX、XRF、ICPから材料の分析を実施します。...【特徴】 ●SEM-EDX:多元素同時分析 試料を観察しながら分析することで、100μm以下の異物を狙って分析できます。分析深さは1μm程度で、表面分析に適しています。 ●WDX(FE-EPMA):...(つづきを見る

  • 有機酸分析の受託サービス|JTL 製品画像カタログあり

    HPLC、LC-MS/MSを用いて有機酸分析を実施します。

    分離できない成分や、試料のマトリクスによる夾雑物の影響を受けてしまう成分については、選択性が高く夾雑物の影響を受けづらいLC-MS/MSを用いて測定を行います。 ●最大18項目分析可能 trans-アコニット酸/アジピン酸/ギ酸/クエン酸/グリコール酸/グルタル酸/コハク酸/酢酸/酒石酸/乳酸/ピルビン酸/フマル酸/プロピオン酸/マレイン酸/マロン酸/酪酸/イソ酪酸/リンゴ酸の18成分の...(つづきを見る

  • 残留溶媒分析の受託サービス|JTL 製品画像カタログあり

    GC-MSによって、製品中の残留溶媒測定を実施します。

    残留溶媒はプラスチックなどの高分子材料、医薬品、食品、化粧品といった様々な製品の評価に使用されます。 残留溶媒分析サービスでは、ヘッドスペースバイアルに試料を入れ、加熱後に発生したガスをGC-MSを用いて分析します。試料や目的によっては加熱脱着GC-MSを用いて、より高温の条件で分析を行うことも可能です。...【特徴】 ●GC-MSを用いた定性分析 GC-MS分析結果より、得られたマススペク...(つづきを見る

  • 油種定性分析の受託サービス|JTL 製品画像カタログあり

    GC-MSによって油に含まれる成分を特定し、どのような油種であるか評価…

    不具合品が発生した場合、残留油分の評価を行い原因究明の手がかりとすることが出来ます。 油種定性分析サービスではGC-MSを用いて油に含まれる成分を同定し、付着している油がどのような成分を含む油であるか評価することが可能です。 さらに、比較対象とする油をご提供頂くことで、より詳細な分析が可能となります。...【特徴】 ●GC-MSで各成分を分離 重量法やFT-IR法では油種の区別は困難です。...(つづきを見る

  • 残留油分測定の受託サービス|JTL 製品画像カタログあり

    重量法・FT-IR法・GC-MS法を用いて残留油分測定を実施します。

    製造現場で使用される様々な油に対し、不具合対策や品質管理として残留油分測定が利用されます。 残留油分測定サービスでは、重量法・FT-IR法・GC-MS法のいずれかを用いて残留油分を測定します。 試料の形状・材質や目的に応じて、これらの方法のいずれかをご提案いたします。...【特徴】 ●重量法で簡便に分析 製品に付着している油を溶媒で除去し、洗浄前後の重量差から残留油分量を求めます。最も簡便...(つづきを見る

  • 無機ガス分析の受託サービス|JTL 製品画像カタログあり

    GC-TCD、GC-BIDによって無機ガスの測定を実施します。

    無機ガス分析サービスでは、各種無機ガス(一部有機ガスを含む)を測定いたします。窒素・酸素・ヘリウムをGC-TCD、水素・一酸化炭素・二酸化炭素・メタン・エタン・プロパン・エチレンをGC-BIDで分析いたします。各種試験と組み合わせた測定も行っております。...【特徴】 ●無機ガスを高感度に測定 発生ガスが微量である場合、バリア放電イオン化検出器を持つGC-BIDを用いることでGC-TCDと比較...(つづきを見る

  • 【分析事例】a-Si中Pの高感度分析 製品画像カタログあり

    低加速エネルギー・高質量分解能条件においても高感度な測定が可能

    二重収束型SIMS(CAMECA IMS-7F)に搭載されている後段加速機能1)を用いることにより、従来型の装置に比べてより高感度な評価が可能になりました。例としまして、H含有のa-Si膜中にPをイオン注入した試料について高質量分解能法で分析した結果を従来のSIMS装置での結果と比較しました。 ※ 注入条件は31P 10keV 1E14atoms/cm2です。 ※ 水素を...(つづきを見る

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