• 組込用小型高圧ポンプ『SSBL-XXシリーズ』 製品画像

    PR産業交流展2018にて実機を展示。電気を使用しないエア駆動式で、防火・…

    『SSBL-XXシリーズ』は、純水、IPA、NMPなどをウエハ等に高圧噴射して 膜を除去するリフトオフ装置などに適したポンプです。 昇圧部のシール材はフッ素系高分子ポリエチレンを標準採用し、NMPなど 有機溶剤系仕様としてデュポン社製のカルレッツにも対応可能。 また、接液部の材質はSUS316で耐食性を高めているほか 新開発のポペット弁により長寿命設計も追求しています。 【...(つづきを見る

  • 薬液脱気モジュール 『ERC-38M』 製品画像カタログあり

    薬液送液におけるガスの溶け込みトラブルを解消!品質のばらつきが激減!

    して耐溶媒性、耐腐食性に優れています。 ・連続的に脱気を行えます。 最大流量:10ml/min 接液材質:脱気膜 PTFE、真空容器 SUS316L、接液部 PFA 最大耐圧:1MPa 使用温度範囲:5~45℃ ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...(つづきを見る

  • シリンダータイプヒーター(円筒)  製品画像カタログあり

    シリンダータイプヒーター(円筒) 

    シリンダータイプヒーター(円筒)  耐熱ヒーターカンタルA-1を使用した、断熱材と一体化した高負荷タイプの 円筒形モジュールヒーターです。...均熱性にすぐれるため、電子部品、半導体材料などの熱処理に多く用いられております。 □■特徴■□ ■RACタイプヒーターは、スパイラル形状にしたカンタルA-1ヒーターをセラミックスペーサーで固定し、断熱材に埋め込んだ円筒形モジュールヒータ...(つづきを見る

  • R&D/実験室用超小型横型酸化炉 製品画像

    半導体工場の装置と同等の性能を有しながら、実験机の上に設置可能。

    ◆ヒーターはカンタルA-1を使用 ◆生産炉なみの均熱安定性 ◆小型ながらWet(バブラー)酸化に対応 ◆作業机にガスBOX・炉体が収まるコンパクト設計 ◆低価格設定(1ゾーンタイプ) ◆オプション ・3ゾーンヒーター ・専用架台 ・Sicチューブ...半導体工場の装置と同等の性能を有しながら、実験机の上に設置できる超小型横型炉です。 ...(つづきを見る

  • R&D/小型実験用横型炉 製品画像カタログあり

    小型ながら、半導体グレ−ドでの各種熱処理プロセスが行える実験炉

    小型でありながら、半導体グレ−ドでの各種熱処理プロセスが行える実験炉です。お客様の仕様に合わせ、低温から1400℃の高温処理、また、真空システムとの組合せにより、CVDや真空アニ−ル炉としてもご使用いただけます。 ●ヒータはカンタルA-1からス−パ−カンタルまで、温度仕様により選定可能 ●小型ながら3ゾ−ン制御により、均熱安定性が高い ●各種ガスユニットを用意。様々なプロセスに対応します...(つづきを見る

67件中1〜45件を表示中

表示件数
45件
  • 1
  • 2

おすすめ関連情報

分類で絞り込む

分類で絞り込む

[-]

PR