セラミック基板 | イプロスものづくり

PR耐熱、耐薬品、耐久性とともに優れた耐衝撃性があり、自在にサイズと形状が…

セララベルＳＬは、ステンレス基板にセラミックスでバーコードパターンなどを焼成した高い耐熱性を持ったラベルです。【特長】 ◆高い耐熱性（セララベル-300の場合、最大1400℃まで） ◆セラミックのラベルにもかかわらず、約90度まで折り曲げても割れにくい。 ◆約15年相当の長期耐久性にも対応（生産現場に適しております） ◆耐薬品性も良好。（ただし、高温高濃度アルカリを除く） ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社シグマックス

セラミック・ガラス基板などの厚物加工

保有設備は洗浄装置や画像寸法測定器など！セラミック等の研磨加工承ります

当社では、長年培ってきたダイシング加工技術を応用し、ガラスやセラミックなどの厚物製品の切削加工を承っております。厚物基板の加工に好適なスライサーやダイサーで、最大厚み24mmまでの基板を加工する事ができます。切削時にWAXなどを使用することで、高い加工精度と安心の品質をご提供いたします。【スライス加工】 ■対応ワークサイズ　・角型ワーク：□90mmまで(ス...

メーカー・取り扱い企業：多摩エレクトロニクス株式会社本社

スルーホール基板・ＦＰＣ基板の移載装置

穴あきセラミック基板・ＦＰＣ基板を穴の位置に関係なく非接触にて移載可能…

段積みされたプリント基板、スルーホール基板、ＦＰＣ、フィルム、セラミック基板を穴の位置、基板の大きさに関係なく１枚ずつ非接触にて搬送。基板に向かって気体を噴出することにより、ベルヌーイ効果による負圧を発生し、基板を非接触保持し搬送します。穴あき基板、フィルム基板、セラ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

セラミック基板

高周波モジュールやICパッケージ用の基板として広く利用されています。

ＫＯＡのＬＴＣＣ基板は、配線導体とセラミックス基材を９００℃以下の低温で同時焼成して作る“低温焼成積層セラミックス基板”です。配線パターンを表層・内層に形成できるので、多層化が容易です。【製品ラインナップ】 LTCC基板...【主な取扱いメーカー】 KOA...

メーカー・取り扱い企業：株式会社オリナス東京営業所、名古屋営業所、京都営業所、大阪営業所、香港

セラミック基板分割装置

長年、基板分割に携わった経験豊富なスタッフが、分割の自動化によりコスト…

テクノアルファ製セラミック基板分割・搭載装置は完全カスタマイズの装置となり、お客様の要望に応じて設計いたします。基板分割の自動化によりコスト削減と品質向上を実現し、更に追加オプションの高精度画像処理検査を実施する事...

メーカー・取り扱い企業：テクノアルファ株式会社 SKG(システム開発神奈川事業所）

【HTシリーズ基板加熱ヒーターMax1900℃】Φ1〜8inch

プレート最高温度Max1900℃。HV, UHVほか過酷なプロセス環境…

*旧製品名「セラミック・トップ・ヒーター」窒化アルミプレート表面温度Max 1600℃ 対応可能サイズ Φ1〜8inch用、及び最大150mm角まで超高温・超高真空対応フルカスタムメイド基板加熱ステージ ◉ヒーターエレメント：・C/Cコンポジット Max1700℃ ・SiC3（炭化珪素）コーティンググラファイト Max1300℃ ・TiC3（チタン・カーバイド）コーティング...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

自動フォトレジスト塗布装置（スピンコーター）Coater

レジスト膜の面内均一性やウエハ間の平均膜厚の差が少ないコーターです。低…

ロボット搬送による全自動レジスト塗布装置です。高均一性、省薬液、複数薬液使用可能な仕様です。低粘度～高粘度レジストまで要求仕様に合わせてカスタムいたします。ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

大型プラズマエッチング装置

ウェハやガラス・大型基板のエッチング・アッシングに実績豊富なバッチタイ…

００ｍｍ□までステージを拡大。大型ステージでファインピッチのエッチング・各種有機物のアッシング・表面改質・クリーニングなど幅広いプロセスに対応「従来機種ＥＸＡＭ」同様にウェハ・ガラス・セラミック基板のエッチングを行なうと共に大型実装基板・カット済みのフィルム基板のエッチング・クリーニング・表面処理にも実績豊富。電子デバイスだけでな半導体製造装置部品や材料などくクリーンネスと繊細な表面...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

水素アニール装置（電子デバイス用、サンプルテスト対応中）

大気圧水素雰囲気中で均一加熱、。薄膜・ウェハ・化合物・セラミック基板、…

水素の還元力を最大限に活用し従来に無い薄膜・基板表面の高品位化を実現デリケートな化合物デバイスや誘電体基板の熱処理（べーく・アニール）に最適。実績と経験に支えられた信頼性の高いハード構成で安全性も確保電極・配線膜の高品質化に、高融点金属膜の抵抗値・応力制御に研磨後のウェハの終端処理に、特殊用途の熱処理に多くの実績を元に初期段階からテストを含めて対応...６インチウェハ対応の石英管の横型...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

横型蒸着装置

両面成膜・端面成膜・コンパクト・大量バッチ処理。基板の自公転機構が蒸着…

小型基板や小径ウェハの両面成膜、セラミック基板の端面成膜、マスク成膜に最適な独自基板機構を装備。小型チャンバで大きな処理量を持つ標準横型蒸着装置。蒸発源・加熱温度・排気系の各種選択可能。樹脂装飾用から電子部品量産の電極形成まで実績...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

2サイズ兼用自動レジストコーター・デベロッパー（塗布・現像）

段取り替え不要、2サイズのウエハ兼用装置です。低粘度～高粘度レジス…

当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました！ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります。 GaAs...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

非接触ロボットハンド

た無接触・非接触状態にて懸垂保持し、搬送、反転、傾斜する。ベルヌーイチャックともいう。排気回収機構により超クリーンルーム内での使用も可能。半導体ウエハ、ＬＣＤ・ＰＤＰガラス基板、プリント基板、セラミック基板、フィルム、紙、不織布、極薄ワーク、通気性ワーク等に対応...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

UV洗浄表面改質装置　ASM1101N

110Wの高出力UV洗浄をお手元で手軽に。

造用レンズ、水晶振動子用途・効果レンズ表面の有機系皮膜の除去、樹脂レンズ表面の親水化コーティング、金属系蒸着膜との密着性向上、貼合せ前処理・基板製品　プリント基板、銅基板、セラミック基板ほか用途・効果メッキ加工の前処理、レジスト膜表面の有機物除去、はんだとの部品密着性向上・樹脂製品　携帯電話外装、コネクタースイッチ、自動車内装品ほか用途・効果塗装と...

メーカー・取り扱い企業：株式会社あすみ技研

リニア有機材料蒸着器『LOE』

デリケートな有機材料の処理に最適化した熱設計！蒸発物および基板への熱影…

『LOE』は、密閉したルツボから熱により有機材料を蒸発させるコンポーネントです。デリケートな有機材料の処理に最適化した熱設計が、蒸発物および基板への熱影響を最小限に抑制。その蒸気は、基板へ通じる加熱パイプを通って供給され、リニアノズルアレイから基板に放出されます。有機蒸気に接触するすべての部品、特にルツボとノズルパイプは、有機 EL材料に対して全く不活性なセラミックで...

メーカー・取り扱い企業：フォンアルデンヌジャパン株式会社

VBPC(Vertical Bending Probe Card）

〜ワイヤーの縦方向のストロークによるタワミをコンタクト荷重に利用し、基板検査を行う〜『VBPC』とは、タングステン等の極細線を特殊メッキ及びテフロンコーティングを施しプローブ化したもので、ワイヤーの縦方向のストロークによるタワミをコンタクト荷重に利用し、基板検査を行う治具です【特長】 ◆先端板材質：エンプラ・セラミック ◆ピン位置精度：±5 ◆ピン高さバラツキ：±...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コーヨーテクノス

エレクトロニクス･半導体業界向け硬さ･弾性率･粘弾性評価

セミコンダクタ・スマートフォンなどの研究開発のためのナノインデンテーシ…

エレクトロニクス･半導体産業では製品開発のためにナノインデンテーションテスタによる表面機械特性評価が用いられます。微小荷重にてダイヤモンド圧子を対象サンプルに押し込むことにより、硬さ・弾性率・粘弾性・貯蔵弾性率・損失弾性率・クリープ率などの物性値を測定することができます。ナノインデンテーション試験では数百ナノ～数百ミクロンの薄膜や柔らかいポリマーの評価が可能です。測定例 -スマー...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アントンパール・ジャパン

超高精度フリップチップ・ダイボンダー

±1um以下の超高精度アライメント。試作開発に最適

行います。（型式：MOA1250の場合無負荷アライメント±１micron） PC又はシーケンサーコントロールにより簡易に高精度ボンディングを実現。 ●シリコンウェハー／チップ／セラミック基板／FR4等対象物を選びません。 ●アクチュエーター単位に移動量のフィールドバックを行い、超高精度を実施。（MOA-1250タイプ） ●エアーカーテン方式ヒートアップステージにより、低酸...

メーカー・取り扱い企業：ハイソル株式会社

レーザースクライバー『SS-400BG2』

固体レーザ光を利用し電子部品基板のスクライブ加工が可能なレーザスクライ…

西進商事株式会社が取り扱う、レーザスクライバー『SS-400BG2』をご紹介します。当製品は、固体レーザ光を利用し電子部品基板のスクライブ加工を目的とした装置です。対応基板材料は、主にアルミナセラミック。対象ワークサイズは50mm×60mm及び60mm×70mm　※その他サイズの要求も対応します。加工位置アライメント機能をはじめ、加工高さ自動制御機能、表裏ア...

メーカー・取り扱い企業：西進商事株式会社

遠赤外線ヒーター

真空状態やクリーンルームでも使用可能！設計の自由度が高い遠赤外線ヒータ…

基板にステンレスを採用することで、セラミックヒーターの高い応答性のままで、セラミックヒーターにはできなかった大判化を実現したヒーターです。その他次のような特徴があります。 ●クイックレスポンス（応答性） ●高い効率のＩＲ（遠赤外線）特性が得られる ●設計の自由度が高い（形状・Ｗ密度） ●クリーンルームでの使用が可能 ●真空中での使用が可能...基板にステンレスを採用することで、セラミック...

メーカー・取り扱い企業：株式会社美鈴工業

標準バッチバッチタイプ蒸着装置（ＡＭＦシリーズ）

電子デバイス用途のスタンダードシリーズ。Ｒ＆Ｄ用の多目的小型研究用から…

半導体・ＭＥＭＳ・各種電子部品（センサー、水晶振動子等）の研究開発から本格量産まで幅広く対応する標準型蒸着装置のラインナップ。全機種クリーンルーム、クリーンバキューム対応で各種選択機構を装備。実績豊富な標準仕様から個別要求に細やかに対応。蒸発源・加熱温度・基板機構（プラネタードーム・公転ドーム）操作・ロギングソフト　全てカスタマイズＯＫ社内デモ機でプロセステストも対応　幅広く柔軟な...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

MAX400℃！高温ベーク対応レジスト塗布装置（スピンコーター）

BARCやその他薬液をスピン塗布後、MAX400℃でベーク可能！高温ベ…

当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、高温ベーク（MAX400℃）、低温ベーク（MAX200℃）、クーリング機能を搭載。低温ベークと高温ベークの組み合わせでステップベークも可能です。レジスト以外での薬品でもスピン塗布後に高温ベーク可能！その他、ポジレジスト・ネガレジスト、ポリイミド（PI）、シリコーン、SOG、WAXなどなど多数の薬液に実績ございます！シリコン...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

気体垂直気体噴流方式のベルヌーイチャック

空気噴流によりワークを非接触にて懸垂搬送! ベルヌーイチャック

圧発生の効果を増し、従来型より大幅に懸垂能力を増加させることで、保持安定元が増し、衝撃に強く、気体消費量をほぼ半減させました。半導体ウエハ、ＬＣＤ・ＰＤＰガラス基板、、ディスク、プリント・セラミック基板、スルーホール基板、フィルム、紙、不織布、極薄ワーク、通気性ワークを空気噴流によりワークを非接触にて懸垂搬送する。...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

スピンドライヤー（乾燥機）

【デモ機貸し出し可能！】シリコンウエハーやマスク、フィルム基板のスピン…

出来ます。12インチは2キャリアタイプまで。・異常振動が発生した場合、自動的に停止します。・特殊シールにより回転軸からのパーティクルの発生を防止しています。・特殊仕様/ガラス基板、セラミック基板系のスピン乾燥機も製作しています。...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

小型薄板用エッチング装置　ＦＢＥ４０

◆独自の搬送方式により０．０３ｔのＦＰＣが治具無しで枚葉搬送が可能 ◆薄板基板でも搬送ローラーによるダメージがない ◆薄板用液切り方式でワークの折れ、シワがない ◆２インチ角の小ワーク(セラミック基板等)でも処理可能 ◆標準機だから短納期 ◆仕様に合わせたカスタマイズ可能 ◆各種エッチング液に対応可能...

メーカー・取り扱い企業：株式会社二宮システム

TEG(テスト)ウエハソリューションサービス

お客様のご希望に応じたカスタムTEGウエハの設計・試作！

当社では、実装評価用TEGウエハ・基板・各種加工技術をコアとしたトータルソリューションの提案を行っております。お客様の仕様に基づくカスタムTEG・基板の作成を承ります。またウエハのパンプ加工試作も承っておりますので、ご要望の際はお気軽にお問い合わせください。 ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。...【ラインナップ】 ■TEGウエ・チップ ...

メーカー・取り扱い企業： TEGソリューション株式会社本社

平井精密工業株式会社　事業紹介

豊富な実績と管理から生まれる品質。幅広い分野の期待にお応えし続けます！

平井精密工業株式会社は、フォトエッチング加工品、機械加工品、メッキ加工品、セラミック基板等の製造を行っている会社です。長年にわたって培ってきた独自の加工技術は、半導体、LED、自動車、医療など、あらゆる分野のモノづくりの現場で活躍しています。近年では、金属加工だけ...

メーカー・取り扱い企業：平井精密工業株式会社

自動塗布・露光・現像一貫プロセス装置（フルオートリソグラフィ）

レジスト塗布～露光～現像処理を一気通貫。自動で処理可能な装置です。フォ…

当製品は、スピンコーティング、一括等倍露光、現像処理を自動で行う装置です。HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載可能。設計から製造・販売まで自社で行い、コーター、アライナ、デベロッパのフォトリソ装置をラインナップしている当社だからこそ実現出来た装置です。対応レジストは、ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、など、多彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、GaAs、InP、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

ロボット型フィルム研磨装置　※動画付き

多軸ロボットによる新たなるフィルム研磨加工法への挑戦！動画でご覧いただ…

・軸形に於ける多工程加工の面精度向上を1HEAD対応で可能に・ガラス・セラミック・樹脂基板等々への端面部の最終面精度向上・パワー半導体・シリコンウエハー等の外径円周部の面精度向上 ...従来のフィルム研磨工法技術を応用し、多軸ロボットに小型フィルム研磨装置を取付ることで、多種多様な形状に対応可能な研磨装置を開発いたしました。従来、各部位に合わせた専用装置が必要とし...

メーカー・取り扱い企業：株式会社サンシン

厚さ100um！極薄ウェーハ搬送自動レジスト塗布装置　コーター

GaAs、LT、ガラスなどの脆くて薄いウェーハでの搬送・塗布での実績（…

薄いウェーハで気になるのは搬送での割れ、塗布後の面内均一性です。ウェーハ搬送装置（ウェーハソーター）の作製実績など、薄くて割れやすい（脆い）ウェーハの搬送に自信があります。 GaAs、LT（タンタル酸リチウム）、ガラス（石英）、GaN、サファイア、Si、セラミックなど多数の基板に対応可能です。また、薄いウェーハでは塗布時の面内均一性がバラつきやすいですが、チャックなどを工夫す...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

フロートチャッくLNAS型

穴あきワーク・不織布・紙を掴み、搬送する

ワークに向かって空気を噴出することにより、ベルヌーイ効果による負圧を発生し、ワークを非接触状態にてチャックし、把持搬送します。スルーホール基板、セラミックグリーンシート、FPCプリント基板、柔軟物・発泡体・不織布・フィルム・紙等の軟弱、柔軟物をチャックし搬送します。...セラミックグリーンシート、FPCプリント基板、柔軟物・発泡体・不織布・フィルム・紙等の軟弱、柔軟物をチャックし搬送します。...

メーカー・取り扱い企業：有限会社ソーラーリサーチ研究所大阪事業所

クリーニングペーパー、研磨パッド/フィルム、クリーニングローラー

ＦＰＤ業界や半導体向けの研磨パッド、研磨フィルム、クリーニングローラー…

FPD業界、半導体業界をはじめとしてLCDガラス、ガラス基板、セラミック、シリコンウエハ、ハードディスクなどの研磨、艶出し、異物除去、フィニッシングのための製品を提供しています。ペーパー、フィルム、パッド、ホイール、ローラーなど目的にあわせた形状での提供が可能です。...【企業情報】企業名：エムシーケー株式会社資本金：31百万円年間売上：171百万円日本輸出実績：あり取得認...

メーカー・取り扱い企業：大韓貿易投資振興公社(KOTRA)

コーヨーテクノス製　パッケージ検査用治具

当社VBPCの最も得意とする分野です。

マトリックスピン設定の多いパッケージ基板は当社のＶＢＰＣの最も得意とする分野です。...【特徴】 ○VBPC方式垂直プローブ採用により、ピン間ピッチ8umライン、100umマトリックスにも対応。 ○ガラス､セラミック、フレキ等､様々な基板に対応致します。 ○各社検査装置及びステップ検査など、あらゆる検査方法にお応えします。 ○シンプル構造により、ピン交換､メンテナンスが非常に簡単です。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コーヨーテクノス

実験・研究用露光装置

コンパクトな設計のマニュアル式オートアライメント露光装置(マスクアライ…

【主な特長】・多品種・小ロット生産や実験・研究に最適なマニュアル一括露光装置・高精度オートアライメントおよび裏面アライメント機能を搭載。・割れ基板へのオートアライメントが可能。・フットプリントを縮小化することで省スペースを実現。・UV-LED光源搭載可能・レシピ管理機能・バーコードリーダーを用いたオペレータ補助とLOG保存。...【主な仕様】・サイズ：Ø2～Ø8” ・マスクサイ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社大日本科研

【アルミ表面処理　問題解決事例】IC 検査治具への耐熱性絶縁膜

コスト削減や形状の自由度UPで作業性向上！高耐電圧を実現したクラックレ…

電子基板やIC・半導体などの検査をする際に、所定の高電圧を加えなければならず、その際に絶縁体の治具が必要となります。セラミック溶射や絶縁コーティング等はコストが高く、治具の形状に制限もあり、熱伝導率低下などの問題も生じます。そこで、350℃の環境下でもクラックすることなく使用が可能な、耐熱クラックレス硬質アルマイト処理「TAF TR」を部品表面に施工。特殊な形状...

メーカー・取り扱い企業：東栄電化工業株式会社相模原本社工場

【国産】真空プラズマ装置(49万)大気圧プラズマ装置(34万)

表面改質・洗浄に優れた低温電荷ダメージ無し！真空・大気圧プラズマを安価…

詳しくはカタログをダウンロード下さい。『樹脂』『金属』『ガラス』の『基板』『チューブ』『繊維』『粉体』など様々な材質の『濡れ性向上』『接着強化』『洗浄』などプラズマの持つ高い反応性を利用し、多岐にわたる表面処理用途にご活用頂けます！【実用例】・異材料の接着力を強化　　有機薄膜の除去　　ガラスの洗浄・フィルムの接着強化　　　電子部品の洗浄　　薄膜の密着強化・各種塗工の濡れ性U...

メーカー・取り扱い企業：株式会社魁半導体

ダイシングブレード『レジンボンドブレード』

自己研磨でダイヤモンドを常時露出！優れたカット性で硬くて壊れやすい材料…

『レジンボンドブレード』は、レジンボンドを基盤にした中に埋め込んだ研磨剤で構成されたダイシングブレードです。ブレードの刃は常時ダイアモンドが新しく露出されて、刃先がシャープになるように速度が制御されるため、切り口が高度に正確で顕著な歩留まりとブレードの長寿命を達成します。アルミナやガラス、水晶といった硬くて壊れやすい材料に好適です。【特長】 ■自己研磨でダイヤ...

メーカー・取り扱い企業：日本技術産業株式会社

ME-1000 枚葉式スピン洗浄装置

ブラシ洗浄、超音波洗浄、リンス洗浄、N2ブロー乾燥の処理を行う装置です…

ンス容易高速、スピン乾燥、Ｎ２乾燥、によりウオーターマークを軽減両面洗浄可能なメカグリップ機構（特許第3558543) 対応試料サイズ: Ф225以下　ウエハー、液晶ガラス、セラミック基板、その他 Work　: (Ф225 Wafer, Liquid , Crystal , Ceramic) カップ径 cup size : Ф350 sus316 本体サイズ main...

メーカー・取り扱い企業：マック産業機器株式会社テクノロジーセンター

研磨機

震動ユニットを安定的に支持！バフの交換は、1人が容易く実施できます

当製品は、超薄板基板、高多層、SUS、セラミックなどのバリエーションを備えた研磨装置です。重いバフの回転や震動ユニットを安定的に支持します。バフの交換は1人で容易に実施でき、交換時間は16∼20 分。長い間を使ってもナットの解けることが円滑です。【特長】 ■安定的なバフのユニット ■容易いバフの交換 ■安定的なバフモーターベース ■自動厚さ測定による自動研磨...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ラットコーポレーション本社：営業部・業務部

キャリア『シリコンキャリア』

高平坦度・高位置精度のキャリア

『シリコンキャリア』は、半導体製造装置を改造せずに、小口径ウエハや異形ウエハ等を搭載して搬送、そのまま大気中、または真空中でのプロセスを可能とする高精度キャリアです。２～１２インチシリコンウェハを、お客様の基板が搭載可能な様に加工（研削・研磨）、組み立てを致します。また、シリコン以外に石英・金属・セラミック等各種材料にも対応可能です。ご要望の際は、お気軽にご相談下さ...

メーカー・取り扱い企業： Carrier Integration株式会社

Ø150mm対応露光装置

Ø2”～6”対応全自動露光装置（マスクアライナ）

【主な特長】・全機能がコンパクトに一体化・独自のアライメントシステムを搭載。・バーコードリーダーを用いたオペレータ補助と生産管理。・上位通信システム対応可能。・量産用としてのべ５００台以上の販売実績。 ...【主な仕様】・サイズ：Ø2～Ø6” ・マスクサイズ：□4～□7” 【対応基板】・シリコン、セラミック、サファイア、ガラス、水晶、他 ※各...

メーカー・取り扱い企業：株式会社大日本科研

角基板対応自動レジスト塗布・現像装置（コーター・デベロッパー）

低粘度～高粘度レジスト対応！どのウェハサイズの装置も作製可能です！

当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。設計から製造・販売まで自社で行っているので、低価格を実現しました！ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、GaAs、InP、GaN、SiC、サファイア、セラミック、SiO2（ガラス）など多数の基板搬送実績もあります。 GaAs...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

自動フォトレジスト塗布・現像装置（コーター・デベロッパー）

低粘度～高粘度レジスト対応！小口径～大口径まで、どのウェハサイズの装置…

【特長】 ■低価格を実現 ■低～高粘度（1.7cP～10000cP）まで対応 ■2～12インチまで対応 ■複数サイズウエハを処理可能（例、3・4・5インチ兼用、8・12インチ兼用) ■ウエハサイズ自動認識システム ■多彩な薬液に実績あり ■フットプリントの低減（省スペース化） ■レジスト削減で多数のオプション ■生産量に合わせたラインアップ【ASAPのコーター・デベロッパ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

半自動レジスト塗布装置(セミオートスピンコーター)Coater

低～高粘度レジスト対応！どのウェハサイズの半自動機（セミオート）も作製…

当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。設計から製造・販売まで自社で行っているので、自動機を買うには手が届かないというお客様や小ロットのため自動機まではいらないというお客様のために半自動（セミオート機）の製作を低価格で実現しました！ポジ・ネガレジスト、ポリイミド、SOG、WAX、シリコーンなど、多彩な薬液に実績があります。 Si（シリコン）、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

R&Dや少量生産に最適！手動レジスト塗布装置(スピンコーター)

研究・開発、小ロット対応のマニュアル装置！卓上タイプとは違う自動機と同…

当製品は、スピンコーティング、HMDS処理、ベーク、クーリング機能を搭載。設計から製造・販売まで自社で行っているので、装置の低価格を実現しました♪ 自動機を買うには手が届かないというお客様や小ロットのため自動機まではいらないというお客様のために最適な手動機（マニュアル）装置です。卓上タイプとは違い、自動機と同等のレジスト塗布が可能なので、自動機へ移行した際もプロセスの条件出し...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エイ・エス・エイ・ピイ

立体形状への成膜加工

平面モノだけでなく、立体モノへの成膜もできます！ご希望の成膜箇所をお聞…

東邦化研株式会社では、イオンプレーティング、真空蒸着、スパッタリング、プラズマCVDによる機能性薄膜の受託加工（コーティングサービス）を行っております。金属膜や、酸化膜・炭化膜・窒化膜等の反応膜、合金膜、また、それらの積層膜等、様々な膜種に対応し、試作・開発・研究などの少量案件から、中小ロットの生産案件まで、幅広いご要望にお応えするべく体制を整えて参りました。例えば、ガラス板やフ...

メーカー・取り扱い企業：東邦化研株式会社