スパッタ | イプロスものづくり

PR難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに対応可能

当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池やバッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や表面保護のためのコーティングにも対応。サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の用途に応じて組み立てることが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業：プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

射出成形機連動型高速スパッタ・重合システムSPP-SERIES

樹脂基板への金属膜、保護膜が全自動で成膜可能！

新しく開発された射出成形機連動型高速スパッタ・重合システムSPP-SERIESは、自動車・装飾部品などで用いられる樹脂基板への金属膜、保護膜の自動成膜が可能です。射出成形された基板を全自動で真空成膜（スパッタリング及び重合）することが可...

メーカー・取り扱い企業：株式会社昭和真空

2インチ2元スパッタリング装置『HMS2-300』

フラットヒータ加熱により最大600℃まで昇温可能！真空及びガス置換雰囲…

『HMS2-300』は、フラットヒータ加熱により最大600℃まで昇温可能なため、高温化での成膜が可能な2インチ2元スパッタリング装置です。真空及びガス置換雰囲気下での成膜に対応しています。2インチマグネトロン式 スパッタカソードを具備しており、最大3元まで増設可能です。オプションでL/Lチャンバ、移動式膜厚...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハイブリッジ東京営業所

平行移動式3元RFスパッタリング装置『MSS600-3』

ガス導入と圧力コントロールバルブによるスパッタ圧の制御が可能！

『MSS600-3』は、矩形カソード W100ｘH500mmによる 3元RFスパッタリング装置です。基板サイズはW200×H300mmであり、X方向へ搬送しながら蒸着します。また、基板200mmを30秒から15時間の時間で任意に設定し、膜厚調整や様々な異種積層...

メーカー・取り扱い企業：株式会社愛知真空

【納入事例】地方独立行政法人大阪産業技術研究所様

多層膜の作成を自動で実行することが可能なスパッタ装置の納入事例をご紹介…

地方独立行政法人大阪産業技術研究所様に、マグネトロンスパッタリング装置を納入した事例を紹介させていただきます。今回納入しました装置は、当社の「MS-3C100L型」で、スパッタ室、ロードロック室(LL室)、真空排気系、ガス導入系、電源系、基...

メーカー・取り扱い企業：株式会社大阪真空機器製作所

研究・開発用機器/超高真空機器

信頼性の高いシステムを構築！メンテナンスや改造も当社にお任せください

当社は30年以上真空技術に携わり、ユーザー様の仕様に合わせた製品を主に研究機関に提供してまいりました。 2系統のガス導入が可能な「RFマグネトロンスパッタ装置」や安価で手軽に薄膜作製が可能な「小型真空蒸着装置」など真空成膜装置を多数ラインアップ。その他「真空チェンバー」や「ターボ真空排気装置」などの各種研究用装置もご用意しており...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ヤシマ

Ｒ＆Ｄ向け小型ロールコーター　FRC-100V

実験用小型スパッタリング装置！コンパクトでリーズナブルな設計！品質…

FRC-100Vは研究開発、小ロット生産に適した小型・高性能のマグネトロンスパッタ式ロールコーターです。樹脂フィルムに光学特性を持たせた透明導電膜や機能性膜を手軽にコーティングできる様に設計されています。スパッタによる緻密な成膜が可能で、走行パターンも多種設定可能です。使い勝手...

メーカー・取り扱い企業：株式会社富士アールアンドディー

電子顕微鏡向け真空応用機器、前処理装置　総合カタログ2019

マグネトロンスパッタや親水処理装置などを掲載しております

当カタログは、株式会社ユニオンが取り扱う、株式会社真空デバイス製の電子顕微鏡向け真空応用機器、前処理装置を掲載した製品総合カタログです。電子顕微鏡の試料に導電膜処理を施す『マグネトロンスパッタ』をはじめ、 2チャンバー、3種処理機能を搭載した電子顕微鏡向け複合前処理装置『VES-10形マルチ成膜装置』や、低ダメージでオスミウムをコーティングできる『オスミウムコーター』などを...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ユニオン

技術資料ULVAC TECHNICAL JOURNAL No79

無料プレゼント中！真空に関する最新技術資料 No.79です。【アルバッ…

ULVAC TECHNICAL JOURNAL No.79は、真空に関する最新技術資料です。大型スパッタカソードにおけるIGZO成膜技術や、結晶太陽電池向けイオン注入装置の開発、OLED用薄膜封止装置 CEE-950の開発、リークディテクタ HELIOT900シリーズの開発、マグネットカップリング搭...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

各種装置

スパッタ・アッシャー複合機や水素吸蔵機能材料評価装置など、各種装置をご…

当社は、ガス供給設備メーカーの技術を生かし、産業界で必要とされる様々な「流体制御システム」製品を設計・製作しております。 スパッタ・アッシャー複合機をはじめ、飲料プラントや高純度ケミカル供給装置、エキシマ照射装置など、各種装置をご用意。目的に合せたグレードの高いガス供給技術は、半導体製造装置メーカーから高い評...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ヒューズテクノネット

ULVAC DIGEST　真空関連機器　総合カタログ

無料プレゼント中！真空ポンプやクライオポンプなどを紹介しています。【ア…

ULVAC DIGEST 真空関連機器総合カタログでは、ドライ真空ポンプや油回転真空ポンプなどの「真空ポンプ」、スパッタイオンポンプ､クライオポンプなどの「クライオポンプ／冷凍機」、大気圧ピラニ真空計､キャパシタンスマノメータなどの「真空計」、ベーシックプロセスガスモニタなどの「ガス分析計／プロセスモニタ」等、多数...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

幅広ロールコーター『FRC-500VT』

幅600mmまで対応！フィルムにスパッタにより成膜するウェブコーター

『FRC-500VT』は、幅600ミリまで対応のウェブコーターです。 PET等のフィルムにスパッタにより成膜します。巻き上げはフィードバック制御です。ロールコーターは複数台納入し、ご好評頂いております。その他スパッタリグ装置も多数手掛けております。カソード用マグネットからターゲ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社富士アールアンドディー

ガス配管製作

クラス１０，０００相当のクリーンルームにて行っております。製品完成後は洗浄工程を通り、減圧脱気梱包を施したものを納品させて頂きます。【他に・・・】 ◆半導体・各種産業向けの蒸着装置、スパッタ装置、ＣＶＤ装置等の成膜装置の　設計・製作を行っております。 ◆真空装置完成後の現地搬入・立ち上げ、稼動後の保守を含めたトータルでのサービスが可能な　体制となっております。 ◆...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コスモ・サイエンス

真空装置　設計・製造サービス

実験装置から生産装置まで、お客様のご要望、ご予算に合わせて設計、製造し…

、お手持ちのポンプをご支給いただいたり、このメーカのバルブを使って欲しいなどのご要望にも柔軟に対応いたします。【真空装置、部品の製作事例】 ■PE-CVD装置 ■熱CVD装置 ■スパッタ装置チャンバ設計・製作（チャンバスケッチ・設計・製作） ■大気圧プラズマ用電極ユニット設計・製作 ■画像評価装置制御BOX製作　など ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽...

メーカー・取り扱い企業：株式会社DINOVAC

真空加熱乾燥炉

スパッタターゲットの真空乾燥や真空部品の真空乾燥、治具等の真空乾燥に利…

『真空加熱乾燥炉』は、自動乾燥プロセスレシピが30通りあります。使用温度範囲は最高450℃。スパッタターゲットの真空乾燥をはじめ、真空部品の真空乾燥や、治具等の真空乾燥にご利用いただけます。各種オーダーメイドも製作可能ですので、ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。【...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

真空ウエハ接合R&D装置『WI-1000』

加熱・加圧機能に付加して表面活性化機能や陽極接合機能を追加可能です！

『WI-1000』は、真空中でサブミクロンのアライメント精度を達成した真空ウエハ接合R&D装置です。加熱・加圧機能に付加して表面活性化機能(ライン式ビーム照射、Siスパッタ、べーパーアシスト)や陽極接合機能を追加可能。オプションでCTCオートハンドリング化も可能です。【特長】 ■真空中真空アライメント精度：±0.2μm ■加熱加圧機能 ■M...

メーカー・取り扱い企業：ボンドテック株式会社

真空技術とFAの要素技術を融合！設計・製造からサポートまで対応

重ね合わせ装置やシール剤塗布装置と窒素置換容器、特型GBの設計・制作

半導体・各種産業向けの蒸着装置、スパッタ装置、ＣＶＤ装置等の成膜装置の設計・製作を行っております。装置完成後の現地搬入・立ち上げ、稼動後の保守を含めたトータルでのサービスが可能な体制となっております。排気セット等のユニット単位での設計製...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コスモ・サイエンス

メンテナンス・リサーチ株式会社　会社案内

真空装置のサポート・真空プロセス製品を広くご紹介しております。

メンテナンス・リサーチ株式会社は、米国Materia Is Research Corporation製造スパッタリング装置のメンテナンスを目的に2008年に設立しました。メンテナンス・リサーチは新しい真空プロセス設備のご紹介とともに、ご使用設備を長く安定して稼働して頂くよう、製造中止パーツの置き換え、電...

メーカー・取り扱い企業：メンテナンス･リサーチ株式会社

クラスター真空成膜・評価装置紹介

測定・研究したい要素をそのまま！お客様のニーズに合致させることが可能な…

『クラスター真空成膜システム』は、試料自動搬送システム、サンプル交換室、サンプルストッカー室、スパッタ室に加え誘電率・磁性測定、ホール測定装置などの分析機を備えた評価室から構成されます。また、中央の試料自動搬送チャンバーは、各成膜室ならびに分析室と接続。試料を真空中でロボット搬送し...

メーカー・取り扱い企業：株式会社パスカル

イオンゲージ『M-311HG』

再現性・リニアリティーがよく、広範囲な圧力測定が可能！真空計として優れ…

【その他特長】 ■10^−7Pa～10Paまで、超高真空側の特性を犠牲にすることなく、　スパッタプロセスを超える低真空領域まで測定可能 ■圧力値のアナログ信号出力は、100msec以内と高い応答性を確保し、　プロセス圧力コントロールにも使用できる ■高圧力領域側での使用時のフィラメン...

メーカー・取り扱い企業：キヤノンアネルバ株式会社栗木本社

ワイドレンジ電離真空計『M-431HG』

圧力表示はデジタル、測定レンジ自動切換！ワイドレンジ電離真空計

専用の真空計制御電源です。入力電圧はワイド電圧。外部入出力で、RS-232C通信機能を標準装備し、 CEマーキング、RoHSに対応しています。自動化真空装置の圧力測定や、スパッタなどのプロセス圧力の測定、制御などにご使用いただけます。【特長】 ■外部入出力 ■RS-232C通信機能を標準装備 ■入力電圧はワイド電圧 ■CEマーキング、RoHS対応 ■...

メーカー・取り扱い企業：キヤノンアネルバ株式会社栗木本社

中古真空装置・機器販売のご案内

全機種オーバーホールして完全稼動した状態で納品しております

株式会社グリーンテックでは、完全オーバーホールを実施して性能確認した中古真空機器・装置の販売・メンテナンス及びレンタルを行っております。取扱商品はスパッタ装置・真空蒸着装置をはじめとして、Heリークディテクタ等の計測器や電源・電子銃・真空計・ポンプ等の単品も販売しておりますので、ご要望の際はお気軽に、お問い合わせください。【特長】 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社グリーンテック大阪本社

真空装置　小型真空アーク溶解炉

真空装置＆真空ポンプのことならお任せください！

ンガス雰囲気中で、金属材料をアーク溶解によって容易に生成。【特徴】 ○研究・開発に適したコンパクト＆エコノミータイプです。 ○手軽に超高温が得られ、母合金の溶解・精製が可能です。 ○スパッタ用ターゲット材料の自作が容易に実現できます。 ※詳しくはPDFダウンロード、またはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：アトーテック　株式会社

電子ビーム真空蒸着装置

メタルコーティングやシャドーイングは超微粒子蒸着となり解像度が向上！

nの組合わせで、全て電磁バルブを使用した全自動排気系。到達圧力は液体窒素トラップ無しで10-5Paに入ります。この他、電子顕微鏡向けタングステン薄膜のコーティング装置「マグネトロン スパッター装置」や、薄膜作成準備、表面分析の実験研究用として利用される「3KV イオン銃(SIG030)」などをご用意しております。【特長】 ■真空排気系はTMP80L/secとRP50L/...

メーカー・取り扱い企業：アトーテック　株式会社

パルスレーザパルス蒸着システム

取り扱う真空装置は物理気相蒸着（PVD）法と化学気相蒸着（CVD）法に大きく分かれています。 PVD法による装置は、 * PLD（パルスレーザ蒸着）装置 * マグネトロンスパッタ装置 * EB電子ビーム蒸着装置 * イオンビームアシスト（IBAD）蒸着法に区分され、CVD法による装置と共に各種お取り扱いしております。高い雰囲気中ガス（酸素、...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

製品カタログ　真空装置

FCCLや透明導電膜、脱ガスなどをラインアップ

【その他掲載内容】 ■有機EL ■超電導 ■Mic-Mini[小型縦走行式スパッタ装置] ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ヒラノK&E

真空排気装置『KST-F08VS-RKS型』

狭い場所にも設置できるスリムなデザインの真空排気装置です！

【その他取扱製品】 ■薄膜作製装置 ■マグネトロンスパッタソース ※詳しくはPDFをダウンロードして頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：ケーズテック合同会社

実験用小型スパッタリング装置

ターゲットを３種取付可能！真空中で基板を自動搬送します！

真空引きから基板の搬送、スパッタリングまでを自動で行います。小型設計ので、スペースを取らず実験装置として最適です。～特徴～・メインポンプはターボ分子ポンプを使用しています。・スパッタリングを行う成膜室と、成膜...

メーカー・取り扱い企業：株式会社富士アールアンドディー

金属膜+保護膜成膜装置

新しい成膜方法をお考えのエンジニア必見！樹脂基板への金属膜、保護膜を全…

新しく開発された射出成形機連動型高速スパッタ・重合システムSPP-SERIESは、自動車・装飾部品などで用いられる樹脂基板への金属膜、保護膜の自動成膜が可能です。射出成形された基板を全自動で真空成膜（スパッタリング及び重合）することが可能で...

メーカー・取り扱い企業：株式会社昭和真空

サドルフィールドファーストアトム（FAB）ビームソース

電荷を持たない中性ビームを生成。英国オックスフォードアルライドリ…

ＡｒやＸｅのような不活性ガスによる基板のクリーニング、スパッタエッチング、常温接合などに利用出来ます。 ※仕様・寸法についてはカタログをダウンロード下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業：三和真空株式会社

まとめて進呈！『真空関連機器の総合カタログ』＆『真空の技術資料』

IGZO成膜やイオン注入技術など、技術者必見の資料と製品カタログを進呈…

速度制御　　　　・真空機器構成部品・分子間相互作用解析装置／ソフトウェア／真空搬送系　ほか【技術資料『ULVAC TECHNICAL JOURNAL No.79』の掲載内容】・大型スパッタカソードにおけるIGZO成膜技術・結晶太陽電池向けイオン注入装置の開発・OLED用薄膜封止装置「CEE-950」の開発・リークディテクタ「HELIOT900シリーズ」の開発・マグネ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

500mm幅ロールコーター（ウェブコーター）

R＆D向けウェブコーターです。PET等のフィルムにスパッタにより成膜し…

研究開発向けのロールコーター（ウェブコーター）です。 PET等のフィルムにスパッタリング成膜します。巻上げトルクはフィードバック制御で細かく設定が可能です。搬送距離をモニターし、自動運転・自動停止ができます。ガスは複数導入可能、フィルム幅は600mmまで対応します。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社富士アールアンドディー

高電流密度イオンビーム型イオン銃

EUROVAC社製VARIAN型廉価版3keVイオン銃

移管し、製品、スペアパーツ、サービスサポート等を提供する製造メーカーとして信頼性の高い非常に優れた機器を低価格でご提供しております。【特⾧】　■ 高電流密度イオンビーム：サンプル表面のスパッタ洗浄及び薄膜構造の迅速で正確な深さプロファイリングに最適です。　■ スイッチャブルデュアルフィラメント：真空サイクル中でフィラメントがバーンアウトした場合、作業の進行を妨げることなく継続的な操...

メーカー・取り扱い企業：有限会社テク

『各種真空成膜装置』

ユーザーのニーズに合う多種多様な真空装置のカスタマイズ製作を行います

【特長】＜ICF成膜装置＞ ■HIPIMS（High Power Impulse Magnetron Sputtering）法による成膜 ■高出力でスパッタされた粒子が基材に衝突することにより、　高い密着と硬度を特長とする緻密な膜成形を実現 ■高速成膜も可能 ■フィルムへの大面積、フレキシブル成膜可能 ■基板温度制御－50～120℃まで対応...

メーカー・取り扱い企業：ナノテック株式会社

テクノウェーブ株式会社　会社案内

"お客様の発展に貢献すること"を第一に真空技術で産業の底辺を支えます

【製作実績装置・部品】 ■真空デシケータ ■実験用薄膜作成装置 ■高真空チャンバー ■真空ベアリング試験機 ■常圧CVD装置 ■イオンビームスパッタ装置 ■卓上型装着装置（Meius） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：テクノウェーブ株式会社

株式会社ラジカル　真空機器事業部

現在使用されている設備の改造、老朽化対策、修理をお受けいたします。

株式会社ラジカル　真空機器事業部では、極低温冷凍機により真空状態を作り出す非常に特殊な真空ポンプ「クライオポンプ」の修理業務を日本、台湾、韓国で事業展開しています。また、真空蒸着装置、スパッタ装置等、各種真空設備の設計、製作も行なっております。特に、大手真空メーカーでは対応しない特定業種専用機を対応いたします。さらに、現在使用されている設備の改造、老朽化対策、修理をお受けいたします。古...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ラジカル

スパッタソース「超高真空対応マグネトロンスパッタソース」

マグネットを取り外すことにより、300℃までのベーキングが可能

本スパッタソースは超高真空対応の汎用型小型マグネトロンスパッタソースです。本体がすべてベーカブルであるため、反応性の高いターゲットでも、不純物の少ない成膜が可能です。【特徴】 ○Oリングを使用...

メーカー・取り扱い企業：北野精機株式会社

真空配管、粗引配管設計及び制作

外観検査にて除去し、リークテストは全数実施しています。製品完成後は洗浄工程を通り、減圧脱気梱包を施したものを納品させて頂きます。【他に・・・】 ◆半導体・各種産業向けの蒸着装置、スパッタ装置、ＣＶＤ装置等の成膜装置の設計・製作を　行っております。 ◆装置完成後の現地搬入・立ち上げ、稼動後の保守を含めたトータルでのサービスが　可能な体制となっております。 ◆排気...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コスモ・サイエンス