レーザーマーカー『UBI Basic』

PR安全性が高いClass1製品仕様！高出力パフォーマンスでリーズナブルな…

『UBI Basic』は、アルミ・鉄・SUS等の金属部品、工具、銘板などの 小・中型ワーク向けの高出力でコストパフォーマンスに優れたレーザーマーカーです。 一品一様のマーキング工程に適しており、独自のMicro aWave レーザーソースにより様々な対象物にマーキングが可能。 Z軸ボタンによりステージの昇降、電磁式インターロックを 標準搭載、正面スタートボタンで簡単にマーキング開...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東陽 グローバル商品課

防爆Wi-Fi振動センサー『コナンエアー』

PR第36回中小企業優秀新技術・新製品賞の優良賞を受賞。ZONE1に対応し…

防爆Wi-Fi振動センサー『コナンエアー』は、危険エリアで使用できる、 価格もリーズナブルな予防保全用の製品です。 このたび、本製品が第36回中小企業優秀新技術・新製品賞の 優良賞を受賞いたしました。 工場・プラントの危険エリアのほか、ビル管理、大型商業施設など 様々な場面で使え、巡回点検の負担を大幅に減らすことができます。 【特長】 ■国際防爆（ATEX、IECEx）、...

メーカー・取り扱い企業： 中山水熱工業株式会社

防水対応3軸円筒座標型ロボット　SWHR3156シリーズ

LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウエハ搬送に最適

【特徴】 ○アームバリエーション:156mm ○Z軸バリエーション:200mm、300mm ○可搬重量:アーム第3関節換算3kgf以下 ○アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕性を確保 ○アーム関節部防水構造にVシール使用 ○部品の接合部...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型クリーンロボット　SSCR3115Sシリーズ

小型ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。

トプリント化、軽量化により、半導体製造装置内部、検査装置及びLED製造装置等の小径ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。SSCR2090S-PMとはユニット互換があり、リンクアーム仕様、Z軸レス仕様にも変更が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VFX3000NMシリーズ』

【～300mmウエハ用】 アーム長、Z軸の有無の選択が可能なシングル…

■2種類のアーム長に標準対応。 Z軸の有無も選択可能のため、さまざまな装置レイアウトに対応。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UTVW-R2800H』

【～300mmウエハ用】旋回軸にダイレクトドライブモータを採用！ 高…

■Z軸が標準搭載されているダブルアームタイプの真空用ウエハ搬送ロボット ■θ軸にダイレクトドライブモータを採用し、ウエハを低振動で搬送することで スループット向上に貢献 ■CVD装置、アニー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

ローダーロボット『ガントリーローダー』

省スペースに搬送する場合にも対応！非切削時間を短縮可能なロボット

【仕様】 ■ローダー形式：2軸門型ローダー ■搬送重量：10kg（10kg以上も承ります） ■走行ストローク 　・X軸（左右方向）：打合せにより決定 　・Z軸（上下方向）：打合せにより決定 ■走行速度 　・X軸：200m/min 　・Z軸：120m/min ■ワーク径：Φ20～Φ150mm（Φ150mm以上も承ります） ■ワーク長さ：10mm～...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社前田工作所 本社

4軸水平多関節型クリーンロボット　GCR4280-AMシリーズ

300mm、450mm対応の半導体製造装置内等のウエハなどの搬送に最適

【特徴】 ○アームバリエーション:280mm ○ロボットのみで3FOUP対応可(300mmウェーハ) ○Z軸バリエーション:300mm、420mm ○可搬重量:アーム第3関節換算4kgf以下 ○クリーン対応:真空ラインには、0.1μmメッシュフィルタ装備 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フラン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

大気環境用ウエハ搬送ロボット『UTM-R3700F』

【～300mmウエハ用】走行軸無しで広範囲へ動作！ さまざまな装置レ…

■走行軸無しで広範囲へ動作するウエハ搬送ロボット ■横方向2.7m・高さ方向1.6mの広範囲にアクセスするため、 さまざまな装置レイアウトに対応 ■ロボット1台で4FOUPにアクセス。最大8FOUPにアクセス可能。 ■ダブルアーム機構により、ウエハ同時入替動作が可能で省スペース化と スループット向上が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

ガントリーローダー／(株)スター精機

高精度・高性能のガントリーローダー誕生！パレットチェンジャーとの連動も…

【その他仕様】 ■常用空気圧：0.5Mpa ■ストロークX軸(走行)：2500mm ■ストロークY軸(前後)：200mm ■ストロークZ軸(上下) ・GX-800VIP、GXW-800VIP：800mm ・GXW-1200VIP：1200mm ■操作ペンダント：STEC-520(ケーブル長4.5) ■操作ペンダント重量：1.1...

メーカー・取り扱い企業： 大喜産業株式会社

真空対応4軸円筒座標型クリーンロボットSTVCR4000シリーズ

STVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます

【特徴】 ○アームバリエーション:160mm、190mm、260mm ○Z軸バリエーション:50mm ○可搬重量:第3関節にて2kgf以下(アーム長160mm、260mm) 　第3関節にて3kgf以下(アーム長190mm) ○アーム関節部には、磁性流体シール装備 ○...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

5軸真空水平多関節型クリーンロボットGTVHR5000シリーズ

チャンバ加工のシンプル形状化による加工コスト削減が可能

【特徴】 ○アームバリエーション:281mm、330mm ○Z軸バリエーション:60mm ○可搬重量:アーム第3関節換算4kgf以下 ○アーム関節部には磁性流体シール使用 ○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用 ○クリーン対応:アーム内排気用に5μ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

円筒座標型クリーンロボット『PHT-R-4』

ウエハの大気中搬送に対応！本体重量は約47Kgでコントローラは約8Kg

『PHT-R-4』は、クリーンルームで使用する水平多関節型の ウェーハ搬送ロボットです。 前後(X軸)・旋回(θ軸)・上下(Z軸)+ハンド回転(0～180度)の動作が可能で ウエハの大気中搬送に対応。 駆動モータは、ACサーボモータで全軸アブソリュートエンコーダ仕様です。 【製品概要(抜粋)】 ■設置環境：ク...

メーカー・取り扱い企業： PHT株式会社

真空対応4軸円筒座標型クリーンロボットDTVHR4000シリーズ

長寿命と信頼性の高い搬送を維持でき、低アウトガス環境での使用が可能

【特徴】 ○アームバリエーション:275mm ○Z軸バリエーション:50mm ○リンク式採用による優れた直進性、低パーティクルを実現 ○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用 ○ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮 ○使用環境:不...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

大気環境用ウエハ搬送ロボット『UT-AFX/W4000NM』

【～300mmウエハ用】高可搬搬送・広範囲動作が可能！ 高速電力線通…

■高速電力線通信技術利用により、ロボット本体内配線数・外配ケーブル本数を大幅に削減。 ■サーボアンプをロボットに内蔵したことで、コントローラを小型化。 ■高可搬搬送(ハンドフォルダ・ハンド・搬送ワークの総質量4kg)が可能なため、 反転軸搭載を実現。テープフレーム付きウェハ搬送、貼り合わせウェハ搬送、 レチクル搬送が可能。 ■ワーク把持は、真空吸着方式・圧空を使用したエッジク...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

横型マシニングセンター加工

１ｍ×１ｍで10枚パレットの東芝機械BMCです。X軸は２０００動きます…

東芝機械製BMC100E・ATC120本・パレット10枚・主軸φ100・X軸2000・Y軸1250・Z軸1200・テーブル1000×1000...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社防府鉄工所

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VDX3000NSシリーズ』

【～300mmウエハ用】ダイレクトドライブモータを搭載！ 振動の大幅…

■ダイレクトドライブモータ搭載並びにアーム内スチールベルト採用により、 超高精度な搬送とアーム動作時の大幅な振動低減を実現。 ■隔壁型真空シールの採用により、超高真空環境下にも対応可能 ■旋回軸エンドレス仕様により、装置スループットの改善を実現 ■コントローラ内蔵により、装置の小型化を実現 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはPDF資料をご覧いただく...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

大気環境用ウエハ搬送ロボット『UT-AFX/W3000NM』

【～300mmウエハ用】ロボット本体内・外配ケーブルを大幅に削減！ …

■高速電力線通信技術を利用した配線設計により、従来機に比べ ロボット本体内・外配ケーブルを大幅に削減し、ケーブル断線リスクが低減。 ■在荷センサ・マッピングセンサ・スライド軸等、多彩なオプションをラインアップ。 ■サーボアンプをロボットに内蔵したことで、コントローラを小型化。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...【仕様】 ■動作範囲...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

光学式アライナ　SAL3261GRシリーズ

2インチ,3インチ,100～150mmウェーハのアライメントが可能です

ーハのアライメントが可能 ○ウェーハ端面を検出するタイプのセンサを搭載 →シリコン、透明、半透明ガラス、サファイヤウェーハ等のアライメントが可能 ○オプションでウェーハ持ち直し動作を行うためのZ軸ユニットを準備 ○スピンドルのウェーハ接触部はPEEK材、Oリング(特殊フッ素ゴム)を採用 ○その他、ウェーハ形状に合わせカスタマイズ 【仕様】 ○被搬送物：2インチ,3インチ,100～...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

ウエハリング供給対応高速ハンドラー装置『BITA-2KWD』

極薄部品、微細部品に配慮した吸着・収納！単純なシート剥離の為、部品にダ…

部品に力学的ストレスを 　与えることなくソフトな吸着可能な状態を実現 ■吸着時と収納時に部品に与えるダメージをなくすため、微細な「すきま」を維持した 　高さへノズルを位置決めする高精度な高さ（Z軸）制御を行う ■移載ヘッドには高速自転・公転する16本のノズルを備え、1往復のX軸動作で16個の部品を一気に移載 ■XY軸の高精度制振制御、高精度部品姿勢認識、自動キャリブレーションにより、±0...

メーカー・取り扱い企業： KNE株式会社

大型重量物 真空搬送モジュール【可搬重量200kg対応！】

真空中での重量物搬送に特化した真空搬送モジュール！真空ロボット方式やロ…

当社は、真空中での重量物搬送に特化した独自コンセプトのソリューションで、従来方式(真空ロボット方式やローラー方式)における課題を解決します。独自採用のメカニズムにより、僅かな搬送力で重量搬送が可能となり、シンプルな搬送機構で低コストを実現しています。一般的な製品に比べ、50%の薄型化を実現し、チェンバー容積を大幅に削減することができます。 【特長】 ■シンプル・スリムなのにパワフル(可搬重...

メーカー・取り扱い企業： コミヤマエレクトロン株式会社

3軸円筒座標型クリーンロボット　LHR3000シリーズ

Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能

ガラス基板対応3軸円筒座標型クリーンロボットLHR3000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

4軸円筒座標型クリーンロボット　LTHR4000シリーズ

液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています

ガラス基板対応4軸円筒座標型クリーンロボットLTHR4000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

2軸円筒座標型クリーンロボット　SSCR2090Sシリーズ

全軸ステッピングモータを使用した省エネ設計となっています。

【特徴】 ○SSCR3115S-150-PMとはユニット互換があり、 　リンクアーム仕様、Z軸付仕様にも変更可能 ○可搬重量:アーム第3関節換算0.1kgf以下（ワークのみ） ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相ステッピングモータ使用 ○...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

4軸円筒座標型クリーンロボット　MTCR4000シリーズ

ウエハ搬送に適しており、全軸ACサーボによる高速搬送が可能です。

【特徴】 ○アームバリエーション:160mm ○Z軸バリエーション:300mm ○可搬重量:アーム第3関節換算4kgf以下 ○ツインアーム採用によりウエハ交換時間の短縮 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

真空対応3軸円筒座標型クリーンロボット　SVCR3000シリーズ

真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。

【特徴】 ○アームバリエーション:160mm、190mm、260mm ○Z軸バリエーション:20mm、40mm ○可搬重量:第3関節にて2kgf以下(アーム長160mm、260mm) ○第3関節にて3kgf以下(アーム長190mm) ○アーム関節部には、磁性流体シール...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

4軸円筒座標型クリーンロボット　STHR4000シリーズ

ウェーハ搬送に適しており、短時間でのウェーハの交換が可能です。

【特徴】 ○アームバリエーション:95mm、156mm ○Z軸バリエーション:200mm、300mm ○可搬重量:アーム第3関節換算3kgf以下 ○クリーン対応:真空ラインには、0.01μmメッシュフィルタ装備 ○ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型クリーンロボット　SHR3000シリーズ

装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能

【特徴】 ○アームバリエーション:100mm、130mm、158mm、173mm、203mm ○Z軸バリエーション:200mm、300mm ○可搬重量:アーム第3関節換算3kgf以下 ○クリーン対応:真空ラインには、0.01μmメッシュフィルタ装備 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フラ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

4軸円筒座標型クリーンロボット　STCR4000Sシリーズ

2本のアームにより短時間でウェーハの交換が可能です。

【特徴】 ○アームバリエーション:100mm、130mm、160mm、200mm ○Z軸バリエーション:200mm、300mm、400mm、500mm ○可搬重量:アーム第3関節換算3kgf以下 ○クリーン対応:真空ラインには0.1μmメッシュフィルター装備 ○ツインアーム採用に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型クリーンロボット　MCR3000Cシリーズ

従来型MHRに比べコストパフォーマンスに優れています。

【特徴】 ○アームバリエーション:160mm、200mm ○Z軸バリエーション:300mm、350mm、500mm ○可搬重量:アーム第3関節換算4kgf以下 ○クリーン対応:真空ラインには、0.1μmメッシュフィルタ装備 ○装置レイアウトに合わせベースタ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

4軸円筒座標型真空対応クリーンロボット　FTVHR4000

液晶製造装置内、検査装置等のマスク・ガラス基板の搬送に最適

【特徴】 ○アームバリエーション:550mm、750mm、800mm、820mm ○Z軸バリエーション:95mm、105mm、335mm ○可搬重量 →第3関節にて30kgf以下(550mm、750mm、820mm) →第3関節にて40kgf以下(800mm) ○リンク式採用に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

4軸水平多関節型クリーンロボット　GCR4000-AMシリーズ

ACサーボモータ仕様及び、動作軌跡最適化による高速搬送化

【特徴】 ○アームバリエーション:210mm ○ロボットのみで2FOUP対応可能 ○Z軸バリエーション:300mm ○可搬重量:アーム第3関節換算4kgf以下 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型クリーンロボット　SCR3000CSシリーズ

半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。

【特徴】 ○アームバリエーション:100mm、130mm、160mm、200mm ○Z軸バリエーション:200mm、300mm、400mm、500mm ○可搬重量:アーム第3関節換算3kgf以下 ○クリーン対応:真空ラインには0.1μmメッシュフィルター装備 ○装置レイアウトに合...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

4軸水平多関節型クリーンロボット　GCR4000-PMシリーズ

300mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に最適

【特徴】 ○アームバリエーション:210mm ○ロボットのみで2FOUP対応可能 ○Z軸バリエーション:300mm ○可搬重量:アーム第3関節換算3kgf以下 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型クリーンロボット　SCR3100S-PMシリーズ

省フットプリント化により、装置レイアウトを小型化できます。

【特徴】 ○アームバリエーション:100mm ○Z軸バリエーション:200mm、300mm ○可搬重量:アーム第3関節換算0.5kgf以下 ○クリーン対応:真空ラインには0.1μmメッシュフィルター装備 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3330Sシリーズ

真空チャンバ内で4kgf以下のトレイの搬送にご使用頂けます。

【特徴】 ○アームバリエーション:330mm ○Z軸バリエーション:60mm ○可搬重量:第3関節にて10kgf以下 ○アーム関節部には、磁性流体シール装備 ○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用 ○クリーン対応:アーム内排気用に5μm...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

5軸水平多関節型クリーンロボットGTCR5000-AMシリーズ

シングルアームでありながらツインアームの機能を確保しております。

【特徴】 ○アームバリエーション:210mm、280mm ○ロボットのみで2FOUP対応（210mm）、3FOUP対応（280mm）が 　それぞれ可能 ○Z軸バリエーション:300mm ○可搬重量:アーム第3関節換算4kgf以下 ○ツインチャック採用によりウエハ交換時間の短縮 ○シングルチャック仕様も選択可能 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型真空対応クリーンロボットLVHR3000シリーズ

S字加減速制御によりガラス基板を高速、高精度に搬送します。

【特徴】 ○アームバリエーション:330mm、440mm、500mm、550mm ○Z軸バリエーション:20mm、32mm、40mm、60mm ○可搬重量:第3関節にて10kgf以下 ○アーム関節部には磁性流体シール装備 ○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用 ○クリーン...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル