業務フロー自動生成ツール『BPM＋』

PR業務フローを1時間で作成可能！

『BPM＋』は、業務改善の起点となる業務フローを、 誰でも速く・簡単に・正確に作成可能な業務フロー自動生成ツールです。 質問に答えるだけで業務フローが作成出来ます。 さらに、フロー上の次業務を予測する機能があるので、サクサク業務フローが作成可能。 また、回答した業務内容が即座にフローとして可視化され、確認・修正出来きます。 【特長】 ■面倒な準備や業務一覧表など作成は不要 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ドゥエピオン

『レーザーマーキングラベル』＜資料・サンプル進呈＞

PR耐候性や耐薬品性に優れたレーザーマーキングラベルを多数提供。発色や再現…

当社では、産業機械や医療機器など様々な箇所に採用されている 『レーザーマーキングラベル』の製造・販売を手掛けています。 ロール状・シート状など、ご要望に合わせた仕様で提供可能です。 現在、当社製品の仕様や特長、保有設備などを紹介したカタログや、 ラベル15種類、レーザー印字を行った樹脂2種類のサンプルを進呈中。 製品の比較・選定や、印刷技術の参考資料としてお役立てください。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社タック印刷

真空計『コンビネーションゲージ　CC-10（NW25）』

大気圧から高真空までの広帯域の計測をこの1台で！センサー・回路部・ディ…

計測でき、取り付け寸法の省スペース化が行えます。 構造の単純化により、センサークリーニング、センサー交換をお客様自身で行っていただく事ができ、生産復帰までの時間短縮を可能にしました！ 【特長】 ■広い測定範囲を実現（10＾5Pa ～ 10＾-7Pa） ■真空計設置スペースを節減 ■低真空部はクリスタルゲージの採用により大気圧検出、低真空側での抜群の安定性を実現 ■高真空部は耐久...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

環境対応はんだ付材料『次世代表面実装ソルダーペースト』＋装置『鉛フリーはんだ対応エコリフロー炉』

保存・供給安定性、濡れ性、耐熱性等の問題点を解決！次世代環境対応！

ルダーペースト」は、従来のソルダペーストに比べ、鉛フリー化に伴う問題点である保存安定性や、供給安定性、濡れ性、高融点化による耐熱性等の問題点を解決した次世代環境対応型のソルダペーストです。 □特長 ・従来品の保存・スキージングによる粘度安定性を維持 ・耐熱性、フラックス飛散抑制、信頼性の向上 ・実装品質・生産性までを総合的に向上 ・BGA融合不良の抑制力を大幅に改善 ・実装後の電気...

メーカー・取り扱い企業： 千住金属工業株式会社

小型真空蒸着装置『HVE-100』【クリーンな成膜を実現！】

クリーンな成膜が可能な小型真空蒸着装置！シャッタを具備しているので安定…

0』は省スペースな小型蒸着装置です。基板成膜面は下向きで 設置、抵抗加熱源からの蒸発で上向きに成膜する配置（デポアップ）です。 シャッタを具備しているので安定した状態で蒸着が可能です。 【特長】 ■高真空排気系：<10^-4Paの到達真空度でクリーンな成膜が可能 ■チャンバはメンテナンスしやすいようにSUS製で内部に防着板を配置 ■省スペース/小型化：W500×D395mmサイズで...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイブリッジ 東京営業所

BS-60610BDS ボンバード蒸着源

ハイレート対応、厚膜成膜、大型装置対応

ンバード蒸着源は、電子ビームボンバード間接加熱法を利用した真空蒸着源です。 従来機種 (BS-60310BDS) にビームスキャン機能を増設したことにより ハイレート対応、厚膜成膜、大型装置対応等の特長が得られます。 〇特長 ・ライナー大容量化。 ・ハイレート化 ・大型装置対応。 ・厚膜対応。赤外用途への対応も可能 ・レート安定化 ・低ダメージ・低欠陥・低吸収 ※詳細はPDFをダウンロードして...

メーカー・取り扱い企業： アズサイエンス株式会社 松本本社

研究開発用真空蒸着装置

目的・コストに合わせて柔軟に対応！大学・公的研究機関や基礎実験用に。

源を 基本構成とした簡易実験型の2機種をラインアップしています。 両機種（前扉型・簡易実験型）とも目的・コストに合わせて柔軟な 仕様対応が可能。デモ機を常設し、サンプルテスト対応いたします。 【特長】 ■実績豊富なハードと柔軟なコスト対応 ■目的に合わせた豊富なオプション機構(高温加熱・基板冷却・多元同時蒸着・ 　有機物用蒸発源　リフトオフプロセス対応） ■プラズマ電極・RFコイルなどのイオン...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

ウェハプロセス用真空蒸着装置

膜厚均一性に優れた成膜機構と高速排気を実現！高品質の電極膜を安定して形…

富な実績を持っています。膜厚均一性に優れた成膜機構と高速排気を 実現するオイルフリー排気系により高品質の電極膜を安定して形成が可能。 量産用途の蒸着装置として高い稼働率を誇ります。 【特長】 ■信頼性の高い基本構成 ■豊富なオプション機構　 ・蒸発源、多連式電子銃（10kw）、抵抗加熱蒸発源、多元同時蒸着機構 ・高温加熱（最高550℃）＝3面プラネタリードーム　 ・基板クリ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

真空蒸着用ボート（タングステン・モリブデン・タンタル材）

【※全185種をラインナップ・在庫！】長時間の蒸着でもフィルム汚染が起…

かせないツールです。 「厳しい品質管理」「規格品の幅広さ」「特殊形状にも対応可能」など 高品質の蒸着ボートをいつでもご提供できる体制が整っています。 【プランゼージャパンだから！3つの特長】 ■長年蓄積した経験・豊富な製品デザインで適した形状をコンサルティング ■素材メーカーならではの一貫製造。不良時はパウダー材まで辿り検証も ■豊富なラインナップを在庫し、即納体制でご提供 ...

メーカー・取り扱い企業： プランゼージャパン株式会社

リニア有機材料蒸着器『LOE』

デリケートな有機材料の処理に最適化した熱設計！蒸発物および基板への熱影…

に接触するすべての部品、特にルツボとノズルパイプは、有機 EL材料に対して全く不活性なセラミックでできています。ルツボとノズル パイプは、有機材料の凝縮点を超える温度まで加熱されます。 【特長】 ■小分子量有機材料の蒸着 ■固体または液体の前駆体の蒸着 ■シングル蒸着、共蒸着、トリプル蒸着 ■垂直または水平に運転 ■基板幅最大1200mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただ...

メーカー・取り扱い企業： フォンアルデンヌジャパン株式会社

ロードロック式EB蒸着装置

好適な表面処理によるパーティクル低減！ロードロック式による高真空プロセ…

プロセスをはじめ、リフトオフプロセスや、 トレイ搬送にも対応。 最高900℃の高温プロセスが可能で、チャンバのメンテナンスが容易です。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■最高900℃の高温プロセスが可能 ■基板回転による優れた膜厚分布および再現性を実現 ■ロードロック式による高真空プロセスに対応 ■好適な表面処理によるパーティクル低減 ■チャンバのメ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

コンパクトレーザーMBE装置『PAC-LMBE』

扱いやすいデザインで各種成膜条件の制御が容易！6種類のターゲットが使用…

線ランプ加熱と半導体レーザー加熱の いずれかを選択可能。6種類のターゲットが使用できます。 また、ロードロック室ユニットにより、真空中でターゲットや基板を 簡単交換いただけます。 【特長】 ■拡張性が高い ■到達真空度：6.7×10^-7Pa（5×10^-9Torr）以下 ■6種類のターゲットが使用可 ■ロードロック室ユニットにより、真空中でターゲットや基板を簡単交換 ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社パスカル

真空蒸着加工サービス

気化した金属をプラスチック製品の表面に付着（メッキ）させる成膜技術です

の蒸着材料を使用し、 安定した蒸着膜を実現。 また、各種成形材への技術を持ち、ABS・PP・PC・PC-HT・PBT-PET・ PR・PAR・PPS・BMCへの実績がございます。 【特長】 ■クラス10,000のクリーンルームの完備 ■各種素材への蒸着が可能 ■独自の洗浄・液切り・乾燥技術で高品質な蒸着 ■ロボットによる安定した塗装 ■塗装の乾燥は2種類対応 ※詳し...

メーカー・取り扱い企業： 美光九州株式会社

モバイルコンビレーザーMBE装置『MC-LMBE』

スキャニングRHEEDを標準装備！モーター駆動コンビナトリアルマスクを…

体レーザー基板加熱ユニットを搭載。 モーター駆動コンビナトリアルマスクを2枚を装着しています。 また、ロードロック室ユニットにより、真空中でターゲットや基板を 簡単交換できます。 【特長】 ■操作性が高くコンパクト ■到達真空度：6.7×10^-7Pa（5×10^-9Torr）以下 ■モーター駆動コンビナトリアルマスクを2枚を装着 ■1200℃まで加熱可能な半導体レーザー基...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社パスカル

B-A真空計『ミニチュアイオンゲージ　IG-10（NW25）』

センサー・回路部・ディスプレイが一体型のコンパクトな熱陰極電離真空計で…

ディスプレイは高照度・高精細有機ELを採用し高視認性で、多様なデータを 簡単操作で呼び出し、コントロールする事ができます。 また、多様なインターフェースも標準装備しています。 【特長】 ■広い測定範囲（1.33×10-7Pa）?（6.65Pa） ■簡単なセットアップ ■有機ELディスプレイにより高視認性 ■16種類のガスに対応 ■フィラメント２本を標準装備（断線を防ぐ...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

TMPタイプ　真空蒸着装置

簡単操作のTMP排気システム採用！拡張性に優れたテーブルトップ型真空蒸…

考慮しています 豊富なオプションにより、薄膜作製実験の幅が拡がります。 また、専用オプションにより、有機物の薄膜作製実験にも対応。 グローブボックス内設置に関するご相談も承ります(実績多数)。 【特長】 ○コンパクトサイズ ○拡張性に優れたテーブルトップ型真空蒸着装置 ○簡単操作のTMP排気システム採用 ○豊富なオプション ○グローブボックス内への設置も対応可能 ...

メーカー・取り扱い企業： サンユー電子株式会社

カーボンコーター　SC-701CT

個人差のないカーボン蒸着が可能に！ EPMA・分析SEMの前処理用とし…

CTは、EPMAや分析SEMの試料作製の手間を省いたカーボン蒸着専用コーターです。誰でも簡単・手軽にカーボン蒸着できます。 個人差のない蒸着を実現し、試料に対する熱ダメージを低減します。 【特長】 〇フラッシュ式蒸着法を採用　→　個人差のないカーボン蒸着を実現 〇蒸着作業時毎にカーボン棒を削る手間を省く 〇ロータリーポンプのみによる排気(低真空)のため、試料表面へのカーボン粒子の回り...

メーカー・取り扱い企業： サンユー電子株式会社

BS-80011BPG 高密度プラズマ発生用内蔵形プラズマ銃

学薄膜や保護膜、機能膜などの膜特性を向上させることができます

。真空蒸着と組み合わせたプラズマアシスト蒸着 (イオンプレーティング) 法により、光学薄膜や保護膜、機能膜などの膜特性を向上させることができます。また基板のクリーニングや表面改質にも有効です。 〇特長 ・低電圧・大電流の高密度な直流プラズマにより、ガス分子や蒸発粒子を高効率にイオン化 ・反応性蒸着可能 ・大面積へハイレートで成膜が可能 ・様々なレイアウトの真空装置へ搭載することが可能 ※詳細は...

メーカー・取り扱い企業： アズサイエンス株式会社 松本本社

BS-80020CPPS プラズマソース

無加熱成膜でも密着性が良く、充填密度の高い薄膜が形成できます

材の温度上昇を抑え、基板/基材へのイオン照射エネルギーを高めた低温プロセス用のプラズマソースです。 プラスチックや有機フィルムへの成膜用途（プラズマアシスト蒸着）や表面改質用途に適しています。 〇特長 ・無加熱成膜でも密着性が良い ・填密度の高い薄膜が形成 ・既設の真空チャンバーへ後付けも可能 ※詳細はPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： アズサイエンス株式会社 松本本社

コールドカソードゲージ コントローラ　CG-20

堅牢な冷陰極型電離真空計

（特長） 　●堅牢な冷陰極型電離真空計 　●小型のボディーで省スペース化が可能 （仕様） ・出力信号 ：a)フォトリレー出力　容量DC24V、0.5A 　　 　 　 　 　b)アナログ出力...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

BS-04 series ロータリーセンサー

長時間・多量の真空蒸着またはスパッタリングのプロセスに有効

接続して、真空蒸着時の膜厚や蒸着レートを計測/制御するための多点センサーです。 真空チャンバー内長さ、センサーヘッドタイプ、水晶振動子（クリスタル）枚数を、選択して組み合わせることができます。 〇特長 ・検出孔が定位置 ・晶振動子（クリスタル）が6枚または12枚装着可能 ※詳細はPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： アズサイエンス株式会社 松本本社

LUXEL社製　抵抗加熱蒸着源(エバポレータ)　OLED

有機EL等の有機薄膜デバイスの開発に最適、抵抗加熱型蒸着源

スの開発に適しています。また、コンパクトで取扱いが簡単なため、実験用に最適です。 ★ラインナップ★ ●小型サイズ（1cc） のOLED１ ●中型サイズ（10cc）のOLED２ ★特長★ - 揮発性有機物の低温蒸着に適した独自のデザイン - 50℃〜600℃での熱コントロールが可能 - 高パフォーマンス：2Å/秒以上の一定速度で成膜が可能 ...

メーカー・取り扱い企業： ラドデバイス株式会社

BS series 研究開発用 電子ビーム蒸着装置

用途や目的に応じて任意にカスタマイズ可能な真空蒸着装置

BS series 研究開発用 電子ビーム蒸着装置は、研究開発や少量生産に適した蒸着装置です。 様々なオプション機器が搭載可能で、チャンバー形状やロードロック等、ご要望に合わせて制作します。 〇特長 ・蒸着源は、電子ビーム蒸着源（電子銃）、ボンバード蒸着源、抵抗加熱蒸着源を選択でき、任意に組み合わせて複数台搭載することが可能。 ・電子銃＋反射電子トラップ、またはボンバード蒸着減により、低温・低...

メーカー・取り扱い企業： アズサイエンス株式会社 松本本社

自動車部品用蒸着装置（ＡＡＭＦ－Ｃ１０７５ＳＲ型）

コンパクトな筐体で自動車外装品など大型樹脂成形品の全面成膜に対応　高速…

ラインの生産性の向上を図ります。 オールドライ排気系の採用と前扉型の装置形状によって 排気系のメンテフリー化とシステムのメンテナンス性にも優れており 高い稼働率を実現しています。 【特長】 ■樹脂基板への高速バッチ処理 ■安定した成膜性能と高速排気性能 ■オールドライ排気系による排気系メンテナンスフリー化 ■コンパクトな装置規模による高生産性 ※詳しくはPDF資料をご...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

BS-60310BDS ボンバード蒸着源

ダメージレス蒸着

BS-60310BDS ボンバード蒸着源 蒸着材料を充填したライナーの裏面に、電子ビームを照射し、電子衝撃 (ボンバード) によりライナーを加熱します。蒸着材料には直接電子ビームを当てません。 〇特長 ・間接加熱方式 ・成膜中の反射電子ダメージとX線ダメージなし ・スプラッシュが抑制され、低欠陥成膜可能 ・分解・組成ずれなし ・光学吸収が少ない。 ・安定成膜可能 ※詳細はPDFをダウンロードし...

メーカー・取り扱い企業： アズサイエンス株式会社 松本本社

リフトオフプロセス対応真空蒸着装置

高周波・通信デバイスに多用されるリフトプロセスに対応した専用蒸着装置で…

可能。 基板への蒸発粒子の入射角の垂直性に優れており、成膜時の基板の温度上昇を 防ぐ各種機構（基板水冷機構、電子銃用反射電子トラップ、輻射光防止対策） により低温蒸着が可能です。 【特長】 ■蒸着粒子の基板への入射角の垂直性（90°±3°at6インチウェハ） ■基板水冷機構による低温蒸着（70℃以下＝実績値） ■大口径排気系による高速排気とクリーンなバックグラウンドによる緻密...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

大型樹脂基板用蒸着装置

成膜前の高周波プラズマによる放電洗浄により、樹脂基板に対して高い密着力

子機器への電磁波シールドにも実績を持っており、 大型チャンバ（φ2000）、電子銃蒸発源、大型排気系の組合せにより 大量バッチ処理による高品質装飾膜や電磁波シールド膜の生産に好適です。 【特長】 ■各種金属膜の低温形成（70℃以下） ■短時間バッチ処理 ■RFボンバードによる樹脂基板への膜の高い密着性 ■各種薄膜・厚膜・多層膜の形成（Cu／Ni　Cu1μmNi0.25μm　積層）...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

薄膜技術

組合せによる透湿防水等の機能の付加加工を行い、各種産業資材として提供！

布地・フィルムなどの基材へのコーティング・ラミネート・蒸着・ スパッター・メッキ・含浸などの、組合せによる透湿防水等の機能の 付加加工を行い、各種産業資材として提供しています。 【特長】 ■組合せによる透湿防水等の機能の付加加工を行い、各種産業資材として提供 ※詳しくは外部リンクページをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 日本資材株式会社

プラティット　回転円筒カソード式PVDコーティング炉

合金ターゲット不要 皮膜をソフトウェアで制御

【主な特長】 1. 標準工具からホブ、タップ向け皮膜の最適化が可能 2. アークとスパッタリングの同時蒸着が可能 3. DLC、酸化物、スパッタリングに対応する最高の自由度 ※詳しくはカタログのダウンロード...

メーカー・取り扱い企業： ＹＫＴ株式会社

LEMO■半導体製造装置用コネクタ

「過酷な環境下の使用」にも耐えるLEMOコネクタ。その信頼と実績により…

【特長】 ●高密度・・・アプリケーションの省スペース、装置の小型化と関連コストの最適化を可能とするコネクタ。 ●高電圧・・・『最大50kVDCまで』の様々なタイプの高電圧コネクタ。 　　　　　　　ラ...

メーカー・取り扱い企業： 丸紅エレネクスト株式会社

蒸着用成膜コントローラー「TMC-13」

【PREVAC社製】6個の水晶振動子のモニターおよび制御が可能です。6…

【特長】 ○6個の水晶振動子のモニターおよび制御が可能 ○6.5インチ液晶タッチパネルで操作が簡単 ○シンプル・コンパクトはデザイン ○2台分の真空計の入力が可能 ○インターフェイス：USB、R...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノポート

カフマン　グリッドタイプ イオンソース

ＫＲＩグリッドイオンソースはDCタイプ、RFタイプがあります。

【特長】 ○OptiBeamTM self-aligning optics ○Controlled neutralization ○Plasma discharge ○Modular archit...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社

OPV用蒸着装置『KVD-OLED Evo.6』

コンパクトな設計を実現！有機蒸着源を4台標準搭載した蒸着装置

グローブボックス（MBRAUN社製Labmaster）と接続でき、 ロードロック室間は手動の搬送機構で操作可能。 排気操作は前面のタッチパネル(PLC)により操作できます。 【特長】 ■排気シーケンスはPLCにて制御可能 ■金属の蒸着はボート式とルツボ式を標準搭載 ■膜厚計は3センサーを標準搭載 ■金属蒸着源はボート式とルツボ式を標準搭載 ■蒸着室はメンテナンスが容...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

高真空蒸着装置『RD-1230』

サイリスタ制御により蒸着電圧及び、電流値の調整が可能！排気操作は全自動…

調整が可能です。 排気系はターボ分子ポンプによる排気で、排気操作は全自動。 水晶振動式膜厚計もオプションで付けることができ、卓上型タイプとしては 高性能な成膜制御が可能です。 【特長】 ■ロブスカイト太陽電池電極作成用小型蒸着装置 ■抵抗加熱機構を2対装備、サイリスタ制御により蒸着電圧及び、電流値の 　調整が可能 ■排気系はターボ分子ポンプによる排気で、排気操作は全自動...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サンバック 本社

Epitaxial-EB蒸着装置

最高900℃の高温プロセスが可能！エピタキシャル促進機構により単結晶成…

現させ、またチャンバの メンテナンスが容易。 リフトオフプロセスにも対応しており、適切な表面処理によりパーティクル 低減させます。 マルチチャンバ仕様やバッチ式も製作可能です。 【特長】 ■酸化促進ガス導入機構 ■材料酸化防止機構 ■最高900℃ の高温プロセスが可能 ■ロードロック式による高真空プロセスに対応 ■リフトオフプロセスにも対応 ■トレイ搬送にも対応 ...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

品質担保の一貫生産！プラスチック成型品の印刷・塗装・蒸着サービス

プラスチック成型品での蒸着、塗装、印刷でお困りの方いませんか？印刷・塗…

・海外製造拠点も持ちながら国内での拠点を確保したい ・生産が追い付いていないので、短納期​で印刷、塗装した状態で納品をしてほしい などお困りごとがあれば、まずはお問い合わせください。 【特長】 ■自社工場でワンストップ（一貫生産）で印刷・塗装・蒸着が可能 ■短納期のスポットなども対応可能 ■小ロット多種品の生産にも対応可能なライン構成 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社奈良原産業

2次元抵抗加熱蒸着装置

蒸着源はボートタイプ！基板は支柱上のプレートに取付けられており高さは任…

置です。 蒸着源はボートタイプで、基板は支柱上のプレートに取付けられており、 高さは任意に変更可能。 排気系は、DPとRPを併用しておりますので、短時間で高真空が得られます。 【特長】 ■SUS製上チャンバーには、CF70ポートが2式、50φの窓が2式、 　又下チャンバーはCF70ポートが6式標準装備されている ■上チャンバーは電動にて上下する機構を有している ■標準で...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社和泉テック

研究・開発用機器/超高真空機器

信頼性の高いシステムを構築！メンテナンスや改造も当社にお任せください

」など 真空成膜装置を多数ラインアップ。 その他「真空チェンバー」や「ターボ真空排気装置」などの 各種研究用装置もご用意しております。 ご用命の際はお気軽にご相談ください。 【特長】 ＜真空成膜装置＞ ■装置の拡張性を考慮 ■経済性なシステムとなるよう設計 ■簡易・小型のものから1mを超えるターゲットサイズも対応 ■実験から生産まで幅広い分野で実績あり ※詳し...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヤシマ

無料プレゼント！『蒸着装置の総合カタログ』

太陽電池や有機デバイス、バイオ系の用途に！蒸着装置の総合カタログプレゼ…

することにより、8源化を実現するなど お客様のご意見や培った設計経験をもとに使いやすさを追求。 太陽電池や有機デバイス、バイオ系の用途に適しております。 ただいま総合カタログをプレゼント中！ 【特長】 ■搬送位置ずれなし！信頼性の高い自社製の搬送ロッド ■ドライな排気系を使用 ■自動排気系（タッチパネル） ※詳しくはカタログダウンロード、もしくはお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エイエルエステクノロジー

高真空蒸着装置『KW-030D』

水晶振動式膜厚モニター搭載！コンパクト設計でクリーンな成膜が可能

できる高真空蒸着装置です。 ターボ分子ポンプを搭載することにより、高真空での成膜が可能。 また、基板傾斜機構も搭載し、2軸の回転角度を調節することにより 斜め蒸着ができます。 【特長】 ■初心者でも容易に作業可能 ■ターボ分子ポンプ搭載 ■基板傾斜機構搭載 ■蒸発源は抵抗加熱3基、オプションでEB加熱に対応 ■水晶振動式膜厚モニター搭載 ※詳しくはPDF資料をご...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社片桐エンジニアリング

ディスペンス式ギャップフィラー【サーマギャップ】

ロボットプログラムによる自動実装も可能。製造・物流でのコスト低減に！2…

ロボットプログラムによる自動実装も可能で、製造・物流などの コストが低減できます。 2液性と異なり、キュアされた製品であり、実装後すぐに使用でき、 熱処理などの後工程が不要です。 【特長】 ●密着性に優れ、きわめて低い熱抵抗を実現 ●圧縮後、ほぼゼロ反発力で熱伝導性能を発揮しBGA等実装部品への 　負荷を減らします。 ●優れた粘弾性を持ち、多様なギャップに対応しつつ垂直実装...

メーカー・取り扱い企業： 太陽金網株式会社 東京営業所

有機EL用蒸着装置

プラズマクリーニング室、有機蒸着室、電極蒸着室、封止室等を自由に選択で…

装置です。 前処理から成膜、封止までの工程を大気に触れずに処理することが可能。 目的に応じて、プラズマクリーニング室、有機蒸着室、電極蒸着室、 封止室等を自由に選択できます。 【特長】 ■基板サイズは最大□300mm対応 ■蒸着セルは各種材料・サイズから選択可能 ■CVD室、スパッタ室等との組み合わせも対応可 ■各種オーダーメイドも製作可能 ■デモ機にてサンプル処理を...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

パルスレーザパルス蒸着システム

パルスレーザパルス蒸着システム

PLD（Pulsed Laser Deposition)法はPVD（物理気相蒸着）法として他の手法では行えない材料、条件化で使用できる特長を持っています。...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

卓上型蒸着装置『Meius Light』

学生向けの実験や教材作りに！卓上で簡単に使えるコンパクトな蒸着装置

『Meius Light』は、一般家庭のAC100V壁コンセントから 導入が可能な卓上蒸着装置です。 チャンバは分割方式により多くの用途に応じたサブチャンバを搭載可能。 【特長】 ■卓上で簡単に使えるコンパクトサイズ ■蒸発源はタングステンボート2個搭載 ■マグネット駆動式基板シャッタ装備 ■非常停止スイッチ装備 ■排気系はターボ分子ポンプ、電磁フォアバルブ、油...

メーカー・取り扱い企業： テクノウェーブ株式会社

奈良原産業の真空蒸着

機能面もご満足いただける仕上がり！小ロット多種品の生産にも対応可能なラ…

塗装、スクリーン印刷、 ホットスタンプを併用しながら、金属的な装飾部分を主に真空蒸着の技術で表現。 製品の美しさはもちろんのこと、機能面もご満足いただける仕上がりに いたします。 【特長】 ■塗装、スクリーン印刷、ホットスタンプを併用 ■金属的な装飾部分を主に真空蒸着の技術で表現 ■製品の美しさはもちろんのこと、機能面もご満足いただける仕上がり ■小ロット多種品の生産にも対...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社奈良原産業

アルミハニカムパネル事例集【同じ剛性でアルミの1/5へ軽量化】

アルミの1/5の超軽量！剛性を保ちつつ大幅な軽量化を実現するアルミハニ…

アルミハニカムパネルであれば剛性を保ちながら大幅な軽量化を実現できます。しかも、寸法やロットによっては、従来のアルミや鉄などの加工品に比べてコストダウンも可能です。 【特長】 ■軽量＆高剛性 パネル体積の約9割が空気のため軽量です。アルミ箔製のハニカムコアは「蜂の巣」のように6角形を敷き詰めた「最も少ない材料で最も丈夫な構造」を実現します。 ■コストダウン 寸...

メーカー・取り扱い企業： モリシン工業株式会社 本社

広い分野で汎用された金属ベローズ

金属ベローズは各種の真空装置や半導体製造装置に応用された部材です。

【特長】 ○製品材質：SUS304 ○製品は溶接ベローズ、成形ベローズ、フレキシブルチューブがあります。 ○規格品を提供可能以外に客先のニーズを応じて特製品を提供できます。 ●その他機能・詳細...

メーカー・取り扱い企業： 日揚科技股份有限公司

電子ビーム蒸着『EFMシリーズ』

豊富なラインアップをご用意！有機分子の蒸着への応用が可能な電子ビーム蒸…

る「EFM 3」の他、イオンビームアシストタイプの「EFM 3i」 大型サンプル用の「EFM 4」など、豊富なラインアップがございます。 ご用命の際はお気軽にお問い合わせください。 【特長】 ■有機分子の蒸着への応用が可能 ■豊富なラインアップ ■UHV条件での超高純度サブモノレーヤーから多層薄膜の成膜に特化 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トヤマ

真空蒸着とは

ほぼ真空にした空間で薄膜を形成する成膜技術！真空蒸着の原理についてご紹…

の表面に衝突・付着・堆積させて 薄膜を形成する成膜技術です。 当社では、発熱体の両端に電圧をかけ、流れる電流によるジュール熱で 加熱する抵抗加熱式の真空蒸着装置を採用しています。 【特長】 ■ほぼ真空にした空間で、金属などの蒸着素材を加熱 ■蒸発もしくは昇華した粒子を基板の表面に衝突・付着・堆積させて薄膜を形成 ■抵抗加熱式の真空蒸着装置を採用 ※詳しくはPDF資料をご...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社奈良原産業

アルミハニカムパネル 無料サンプル【活用事例集も進呈中！】

アルミハニカムパネルの無料サンプル&活用事例集を進呈中！同等の剛性でア…

できます。体積の約9割が空気なので、同等の剛性でアルミ板の1/5、鋼板の1/10以下の重量を実現できます。 ◎今なら、無料サンプル品 & 活用事例集 を進呈中です。 【アルミハニカムパネルの特長】 ■同等の剛性でアルミ板の1/5、鋼板の1/10以下の重量を実現 ■体積の約9割が空気であるため、アルミ板と比較して材料費が安い ■0.05mm/m程度の平面度を実現 ■従来のアルミ素材 ...

メーカー・取り扱い企業： モリシン工業株式会社 本社

3連式電子ビーム蒸着装置

メンテナンス性・作業性が簡便！リフトオフ成膜機構には特殊遮熱機構を採用…

ム蒸着装置です。 3連式EBガンはスライド移動機構により、メンテナンス性・作業性が簡便。 基板寸法は最大φ3インチで、リフトオフ成膜機構には特殊遮熱機構を 採用しております。 【特長】 ■基板寸法：最大φ3インチ ■基板加熱温度：常用600℃ ■リフトオフ成膜機構：特殊遮熱機構採用 ■電子ビームガン：ハース3連手動スライド移動式 ■EBガンメンテ機構：EBガンスライド...

メーカー・取り扱い企業： ケニックス株式会社

グローブボックス内収納型真空蒸着装置

グローブボックス内でベルジャーを着脱し、基板や蒸着材料を交換・補充可能…

します。 50×50基板を蒸着可能な小型蒸着ベルジャーを、グローブボックス内に収納。 グローブボックス内でベルジャーを着脱し、基板や蒸着材料を 交換・補充することができます。 【特長】 ■50×50基板を蒸着可能 ■小型蒸着ベルジャーをグローブボックス内に収納 ■グローブボックス内でベルジャーを着脱し、 　基板や蒸着材料を交換・補充できる ※詳しくはPDF資料をご...

メーカー・取り扱い企業： ケニックス株式会社

MBE装置適応蒸発セル　EF 40C1型

手動及び自動シャッターは、純度の高いタンタルで製作！

【特長】 ●クルーシブルー容量が5ccの中間温度用セルとして、広く使用 ●クルーシブの材料は主にPBN、AI203ですが、他の材料のご要望にも対応可能 ●手動及び自動シャッターは、純度の高いタンタル...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノポート

熱蒸着装置『EVAD シリーズ』

金属、誘電及び有機膜成膜！熱蒸着装置をご紹介

はPID温度制御された低温蒸着セルによる有機分子成膜の熱蒸着装置。 また、電子ビームや各種抵抗加熱による金属、誘電及び有機膜成膜です。 ご用命の際は、当社へお気軽にご相談ください。 【特長】 ■電子ビームや各種抵抗加熱による金属、誘電及び有機膜成膜 ■PID温度制御された低温蒸着セルによる有機分子成膜 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ

LUXEL社製　抵抗加熱蒸着源(エバポレータ)　RADAK

有機物蒸着にも対応。　コンパクトで取扱いが簡単な、抵抗加熱蒸着源

オプションをお選び頂けます。 ※アルミナルツボを標準でご提供しています。 ★ラインナップ★ ●RADAK１…　小型サイズ（1cc） ●RADAK２…　中型サイズ（10cc） ★特長★ - 高純度金属、セラミックで構成 - ルツボ、Wフィラメントによる抵抗加熱方式 - 安全、高品質 - 回転式ロックカバーでルツボの出し入れが容易 - 低熱損失、低消費電力 ...

メーカー・取り扱い企業： ラドデバイス株式会社

【資料】コーティングの処理方法によるメリット比較表

処理方法の選定に！乾式法と湿式法のメリット・デメリットを掲載しています

【反射防止膜(ARコート)　特長】 ■光の干渉により、基板表面の反射を低減させる透明な薄い被膜 ■反射の低減により、ディスプレイの視認性向上 ■レンズの透過率アップによる光量増加などに活用できる ■対応基材：ガラス、アクリ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ニデック コート事業部

フリーマウント式金属蒸着源『KFMD-1』

メンテナンスフリー！ボートタイプで取扱容易なフリーマウント式金属蒸着源

装置への増設に対応可能です。 熱輻射シールドなどを設置することで、基板や真空槽内部への ダメージを軽減することができます。 小型で簡易な設計の為、研究開発用途におすすめです。 【特長】 ■コンパクトな取り付けフランジICF070 ■ボートタイプで取扱が容易 ■定めた位置への蒸着が可能 ■メンテナンスフリー ■真空槽内部の汚染防止が可能 詳しくはカタログをご覧頂く...

メーカー・取り扱い企業： 北野精機株式会社

Nd:YAGレーザパルス蒸着システム

Nd:YAGレーザパルス蒸着システム

体・FPD等様々な分野に薄膜作製技術は応用されています。 PLD（Pulsed Laser Deposition)法はPVD（物理気相蒸着）法として他の手法では行えない材料、条件化で使用できる特長を持っています。 Nd:YAGレーザは装置コストが廉価であること、金属系ターゲット等、集光（エネルギー密度）が必要な場合に適しております。...

メーカー・取り扱い企業： AOV株式会社

エッチング技術

シンプルな窓抜き型から微細なデザインパターンまで、さまざま応用展開が可…

能。 また、蒸着膜の上に耐アルカリ性塗膜を形成した後に化学処理する 化学的エッチングと、蒸着膜の下の水溶性塗膜を洗い流し、部分的に 蒸着膜を残す水性エッチングの2工法があります。 【特長】 ■フィルムに文字や図柄等、任意のパターンの蒸着模様を作る技術 ■シンプルな窓抜き型から微細なデザインパターンまで、応用展開が可能 ■“アルカリ・パスター”と“水洗・パスター”の2工法がある...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社麗光

仕様多様化真空フランジ-「ICFフランジシリーズ」

高真空及び超高真空に対応可能の真空部品

【特長】 ○製品多様化 ○規格品を提供可能以外の特製品を提供できます。 ○製品の材質は基本的にSUS304ですが、他の材質も製造可能です。 ○許容温度：-200℃～450℃(OFHC Copper...

メーカー・取り扱い企業： 日揚科技股份有限公司

高電圧リレー

高電圧リレー

キロバックの高電圧真空リレーは、その高真空技術により高電圧、大電流切替回路の超小型化を実現しました。 また、スイッチングの高速化、高電圧接点の真空封入による安全設計を特長として、半導体製造装置のDC/RFスイッチングにも最適な製品です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コムクラフト

製品多様な真空配管部品-フィッティングシリーズ

配管部品は各種の真空装置や半導体製造装置に応用された部材です。

【特長】 ○製品多様化 ○製品の表面処理はブラストと研磨の2種類が選択できます。 ○規格品を提供可能以外に客先のニーズを応じて特製品を提供できます。 ●その他機能・詳細はお問い合わせ頂くか、も...

メーカー・取り扱い企業： 日揚科技股份有限公司