リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

連続離型性乾性離型剤フロロサーフ　微細成型用　ナノインプリント　

PR連続離型性が高く、ナノレベルの表面形状やナノインプリントにも対応「フロ…

焼き付けフッ素樹脂加工・シリコン離型剤を超える高性能フッ素系金型離型剤『フロロサーフ』をご紹介。 従来の離型剤では抜けない、連続離型性を向上させたい　→　そんな時に活躍します。 『フロロサーフ』はナノメータレベルの離型成分が母型表面に結合密着し、強力な非粘着性・潤滑性を金型表面に付与します。 精密複雑な形状の成形や粘着性の高い樹脂やエラストマー、割れやすい薄物の成形において、抜群の連続離型性を...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フロロテクノロジー

Maku ag社 Tダイリップ自動調整ロボット

Tダイに本装置を後付けするだけで、ダイリップ及びチョークバーの調整の全…

＜特徴＞ 反応が速い⇒樹脂ロスが少ない、ボルト位置・角度を記憶するため、次からの再現が非常に早い 繰り返し性が高い⇒品種替えの際、フィルム厚みをすぐに変更できる 各種膜厚計との連動による、厚みレシピ保存及びリアルタイムダイリップ自動調整対応 安全性が高い⇒オペレーターが直接ダイに触れる必要がない。マニュアルモードでの特定のボルト調整も可能 既存のTダイに取り付...

メーカー・取り扱い企業： 伊藤忠マシンテクノス株式会社

銅酸化膜除去剤（銅変色除去剤）「CU-600」 ４ℓ

多くのご要望にお応えして、銅変色除去剤ＣＵ－６００に４Ｌサイズを追加し…

く寄せられています。 そこで、ご要望にお応えして、銅変色除去剤CU-600に４Ｌサイズを追加しました。 かねてより本製品には、 ”機械加工、曲げ加工後に油や手袋跡が付き汚れた銅の、油汚れ・酸化膜を取り除いて本来の銅色のままで、お客様に納品することができるので重宝している。” ”熱が掛かかって生じた焼けを安全に除去できた。” ”変色した銅製看板がよみがえった” という声を多数いただいて...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＡＳＡＨＩ

銅酸化膜除去剤（銅変色除去剤）「CU-600」 ４ℓサイズ

少量４Ｌサイズが遂に登場！銅製品の変色を防止する変色防止剤！少量サイズ…

「CU-600」は変色した銅を浸漬するだけで、酸化膜・変色を除去できる銅酸化膜除去剤です。 お客様のご要望に応え、大人気製品「CU-600」の少量サイズが遂に登場！保管が容易になり、テスト的に利用することも出来るようになりました。 少量サイズの為...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＡＳＡＨＩ

蒸着モニター / コントローラー （膜厚計）

精密で安定な蒸着をお手伝いいたします

最新テクノロジーによる水晶膜厚モニタをベースに、レートや膜厚の監視、コントロール、蒸着シーケンスの制御を行います。高分解能で高速な計測による精密で安定な蒸着が可能です。拡張性、汎用性に優れた設計で、様々な用途に対応可能です。...

メーカー・取り扱い企業： VISTA株式会社

自動膜厚測定装置 KV-300 / KF-10

500μm厚までの厚膜レジストやポリイミドを非接触で高精度測定。

自動レジスト膜厚測定装置 KV-300/KF-10は従来安定した膜厚測定が困難とされていた超厚膜レジストを非接触で高精度な測定ができます。標準搭載の自動マッピング機能は、高精度自動ステージにより基板の面内膜厚分布...

メーカー・取り扱い企業： リソテックジャパン株式会社

高い安定性 飲料の溶存酸素管理に最適 O2センサー

CIP・SIP洗浄後に測定値のずれ、ドリフトでお困りではありませんか？…

ドリフトもなく、安定した仕様が可能です。国内外で多くの実績 ◆使用開始時、キャップ交換時の校正不要。出荷前に校正されたデータを自動適応 ◆キャプの寿命を事前に予想 ドリフトレスの理由：蛍光膜式溶存酸素計は蛍光膜の特性上、加熱による劣化が生じやすいという特徴を有します。アントンパールはこの特性を徹底的に分析し、蛍光膜の劣化を防ぐための数々の機能を有しています。お客様のラインでのデモンスト...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アントンパール・ジャパン

ボイラ燃焼用油の流量制御　調量弁[FCVシリーズ]

圧力変動が生じても流量を一定に制御する弁

ると流量が変わってしまいます。 調量弁は、動力源を持たない自力式流量制御弁です。 流体の流れによって生じる可変オリフィスの前後差圧（一次側と二次側の圧力差）が、 ピストンまたはダイアフラム膜にかかり設定バネとバランスするように作られています。 ピストンまたはダイアフラム膜は、内部に組込まれた弁に連結されており、 常に可変オリフィスの前後差圧が設定圧と等しくなるように、自動的に弁開度...

メーカー・取り扱い企業： 岡谷精立工業株式会社

プロセス制御システム『VA PROCOS 2』

低発光強度のプラズマでも安定した測定と制御！熱的に安定した光電子増倍管…

組み合わせによるプロセス調整に好適。 さらに、プラズマ放電の安定化、そして1つまたはそれ以上の反応性ガスの 供給を調整することによって製品特性の安定にも利用できます。 【特長】 ■製膜レートの向上 ■"アーク"イベント検出と対処の特殊処理 ■作用点の選択 ■自動オンラインバランス調整 ■熱的に安定した光電子増倍管でPEMを構成 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか...

メーカー・取り扱い企業： フォンアルデンヌジャパン株式会社

ツール『VA プロセスマスター』

新しいレシピへの調整時間の短縮！ツールは製膜システムの生産性向上に貢献

『VA プロセスマスター』は、自動化されたプロセス設定、そしてすべての 薄膜システムを制御するためのツールです。 プロセス制御において新手法を採るこのツールは、オペレーターの関与無しに 優れた結果をもたらします。 また、スパッタリングプロセスの完全自動ドリフト...

メーカー・取り扱い企業： フォンアルデンヌジャパン株式会社

壁掛型 COセンサー

駐車場，工場，室内，トンネル，ダクト内などの CO 濃度を検出し、効率…

屋内駐車場や工場、トンネル内などCO濃度を監視し、設定濃度(25ppm又は35ppm)を超えたろとリレー接点を出力するCOセンサーです。濃度に比例したアナログ信号を出力するタイプもあります。金属酸化膜半導体(MOS)方式とマイクロプロセッサー制御で長期間安定性に優れ、キャリブレーションが不要です。このセンサーで常時回していた換気ファンをＣＯ濃度によりON/OFF制御やインバーター制御することによ...

メーカー・取り扱い企業： EDI Japan株式会社

【事例集】溶存オゾン計

様々な用途で幅広いレンジの液中オゾン濃度を計測する溶存オゾン計です。

・試薬不要。メンテナンスは電解液と膜の交換のみ。 ・電極が隔膜で保護されている為、汚れに強く、電気伝導度にも影響されにくい。 ・オプションで㏗センサーを取り付けることでオゾン濃度と㏗の同時測定が可能。 ・UV式と比較して安価で提...

メーカー・取り扱い企業： サニー・トレーディング株式会社 営業本部

脱保護反応解析装置　PAGAシリーズ

フォトレジストの高度な評価を行う、さまざまな装置を提供します。

R室内にベークプレートを配置し、加熱しながら官能基の変化を観察できます。 ○紫外線(248nm)照射装置も搭載されており、露光中における酸発生のメカニズムなどの解析にも利用できます。 ○レジスト膜厚75nmでの測定を可能。 ○EUVリソのような超薄膜レジストプロセスの解析に最適。 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： リソテックジャパン株式会社

レジスト現像アナライザ　RDA-Qz3

現像速度測定・評価装置。現像中のレジストの膨潤挙動も評価できます。

【主な特徴】 ○QCM法による現象速度測定評価 ○現像中のレジストの膨張挙動が評価可能 【その他の特徴】 ○現像速度の測定・解析 →Si基板、多層膜基板、Al基板、ARC上のレジストに対応 ○現像特性解析 →γ値、Eth、ディスクリミネーションカーブの測定、現像コントラスト（tanθ）の算出 ○正確なモデリングパラメータの決定 →現像パ...

メーカー・取り扱い企業： リソテックジャパン株式会社

燃料電池試験装置＆制御ソフト　ＳｉＦC-500

「水素エネルギー社会」の主役として期待されています。

「水素エネルギー社会」の主役として期待されている固体高分子型燃料電池の電解質膜や触媒等を開発するために、本プログラム式制御ソフトと燃料電池試験装置を用いて発電試験を行うものです。...

メーカー・取り扱い企業： エスティー・ラボ株式会社

継手、制御装置、真空装置等総合カタログ（ピスコ社製）

確かな製品づくりと豊富な品揃えで、あらゆる分野の産業界を支え続けていま…

バーブ継手 ○制御シリーズ 　一般環境向け ： 速度制御弁、流量制御弁、圧力制御弁、方向制御弁、圧力ゲージ、圧力センサー、ゴミ除去、消音器 　特殊環境向け： 速度制御弁、流量制御弁、中空糸膜フィルタ ○切換シリーズ 　手動弁： 方向切替弁、圧力閉止弁、プッシュ式開閉弁 　電磁弁： 樹脂製大容量タイプ、金属製タイプ ○真空シリーズ 　真空発生器： 単体タイプ、総合タイプ、...

メーカー・取り扱い企業： 関西理工株式会社

水素センサー、濃度計測、溶存水素、水素燃料

用例；EVバッテリー開発（発生水素をオンライで計測）水素ジェット・ター…

水素ガス限定、膜交換不要、メンテ・校正不要、自動校正、インライン用、OEM向け、水素検知、水素濃度計測、水素ガス分析、水素ジェット燃料BTU計測、水素ガスタービン混合比オンライン計測、FCV排気管内水素計測、水素発...

メーカー・取り扱い企業： TRANS-PAC SALES CORP

VAトリム＆シム ツール

ターゲット変更後に均一性の調整を開始！単一の薄い層の厚さ均一性をすばや…

ルLow-Eのような厳格な均一性要求のアプリケーションを 可能にし、生産品質が向上します。 【特長】 ■優れたの均一性を得るために各層を調整 ■ターゲット変更後に均一性の調整を開始 ■膜厚均一性の長期的なズレ発生時にピットイン補正 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： フォンアルデンヌジャパン株式会社

pHセンサー

長期にわたる安定した精度を確保

本製品は、容積を十分にとった2重構造の電極により溶液の変化を防ぎ、長期にわたる安定した精度を確保。厚さ0.2mmの半球形電極膜の採用により高耐水圧とハイレスポンスを実現。鉛直分布の直接測定にも威力を発揮し、さらに自動洗浄機構の装備により長期の連続観測を可能にした。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東邦電探

逆浸透膜式純水装置　PNET-12000aqHG

中規模用の安価モデルで、場所をとらないプラント仕様です。

日産12000リットルの逆浸透膜式純水装置、オリジナルの制御システムを導入してあり、大変使いやすい機械になっています。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社プライムネット

銅酸化膜除去剤（銅変色除去剤）「CU-600」

変色した銅を浸漬するだけ！素地を痛めず、銅の変色除去を行える銅酸化膜除…

株式会社ＡＳＡＨＩの「CU-600」は変色した銅を浸漬するだけで、酸化膜・変色を除去できる銅酸化膜除去剤です。 銅・銅合金・他金属の酸化物のみを取り除き、金属素地は痛めません。 【特長】 ◆浸漬するだけで簡単に変色除去可能 ◆金属素地を痛めず、酸化膜・変色だ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ＡＳＡＨＩ

工具補正装置『メンブレンヘッド（高速回転対応デザイン）』

高速回転に対応！高い比例性を持った補正動作を実現する工具補正装置

た遠心力の影響を受けにくい デザインを採用しています。 ラジアルヘッド同様の制御システムで、高精度、高品質、高耐久性を 実現しました。 【特長】 ■遠心力の影響が少ないメンブレン（膜）型の弾性体を採用 ■高速回転に対応 ■ピボット動作で補正量に伴うアンバランス量を低減 ■スティックスリップの影響が無い ■プラス/マイナスのテーパ加工の対応に適している ※詳しくは、...

メーカー・取り扱い企業： エヌティーエンジニアリング 本社