膜 | イプロスものづくり

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メーカー・取扱い企業

ダイヤモンドライクカーボン膜（DLC）コーティング加工

PR金属から樹脂まで幅広く対応。金型や摺動部品の耐摩耗性向上に。メッキの代…

『PEKURIS COAT』は、当社独自のプラズマイオン注入成膜装置を使用し、潤滑性に優れたDLC膜をワークに形成するコーティング加工です。イオン注入効果により、高密着成膜が容易で、ステンレス鋼や工具鋼、アルミ合金等にも成膜可能。また、低温での処理が可能で、融点の低い樹脂やゴム、アルミなどにも対応しております。 DLCコーティングでお困りの方は、ぜひお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社栗田製作所本社・京都事業部
マイクロ粒子のシート化技術

PR【技術の実用化に向けて協力企業を募集中！】導電性フィルムや、全固体…

当社で開発した「マイクロ粒子のシート化技術」についてご紹介いたします。マイクロ粒子を熱プレスとUV硬化により、両端を露出させた状態で樹脂膜中に単層で埋め込む技術です。この技術により、マイクロ粒子の両端を複合膜の上下両面から露出させることができ、各種マイクロ粒子がもつ熱・電気・イオン伝導性などを損なわず、粒子本来の性能を発揮させられます。これは粒子を複合膜に埋没させない特許技...
メーカー・取り扱い企業：日榮新化株式会社
膜厚測定装置『LF-1000』

ウェハ・ガラス基板+鏡面基板上の膜厚測定も可能な膜厚測定装置

『LF-1000』は、分光器と光干渉式膜厚解析ソフトを搭載し、各種パラメータの設定をする事により膜厚測定を可能とした非接触式自動膜厚測定装置です。本解析ソフトは薄膜の表面及び基盤との界面からの干渉波形を解析することにより、 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ラポールシステム
TDDB(酸化膜破壊)試験

寿命10年を想定した場合、試験デバイスのゲート電圧を、20V以下で使用…

当社で行う、TDDB(酸化膜破壊)試験をご紹介いたします。半導体の酸化膜に電圧を継続的にかけていると、時間が経つにつれ酸化膜の破壊が発生します。これを酸化膜破壊(TDDB：Time Dependent Di...
メーカー・取り扱い企業：株式会社クオルテック
【DL可STEM/EDS】STEM/EDSによる半導体絶縁膜評価

STEM-EDS観察は半導体のPoly-Si(ポリシリコン)間の絶縁膜…

入射角度を変えることで、回折コントラストの変化を観察・観察対象が結晶質であるかの判断・結晶内にある結晶欠陥（転位、双晶等）の情報の獲得本事例では「STEM-EDSによる半導体絶縁膜評価」を紹介しています。本事例は問題なしの結果でしたが、異常検出も可能です。ぜひPDF資料をご一読ください。また、弊社では本STEMに加えFIBとの併用で、試料のある領域に対...

メーカー・取り扱い企業：セイコーフューチャークリエーション株式会社
フイルム膜圧測定装置システム

画像処理装置と位置決め装置及び光学顕微鏡などを用いて2枚のフイルムを位…

位置決め装置を総合的にアドバイスし、御客様のニーズに会わせた製品を構築する会社です。設計、製作、検査、納入まで一環した製品作りに取組みかゆいところに手が届く小回りのきく対応が出来ます。 ...画像処理装置と位置決め装置及び光学顕微鏡などを用いて2枚のフイルムを位置決めし(十字マーク)、貼り合わせる装置です。 ...

メーカー・取り扱い企業：ワイヤード株式会社
水銀プローバ　CV/IV測定システム

水銀プローバ　CV/IV測定システム

i、化合物、SOI、バルクといった様々なウェハの特性を測定できます。【特長】 ◆電極作製が不要。水銀自体が電極となるため、コスト／時間の掛かる　パターン形成工程が不要。バルク、又は絶縁膜を形成した状態で測定　可能 ◆オートマチックシステム。最大49箇所の測定サイトを指定しC-V、I-V 　特性、TDDB、Vdb、Qbdの酸化膜破壊評価、Dit、ドーピング濃度、酸化　...

メーカー・取り扱い企業：雄山株式会社東京支店
硬質アルマイト処理

硬度や耐摩耗性を上げることが出来ます。

硬質アルマイト処理は、硬度が高い（Hv450〜500）ため、自動車や機械など工業分野で広く使われています。また、処理後にバフ研磨が可能なので、光沢を求めたい製品などにも採用できます。・膜厚を厚く処理出来る硬質アルマイト処理は皮膜を厚くすることができ、その膜厚は素材にもよりますが30〜100µｍ厚まで可能です。硬度だけでなく膜厚も厚くできることにより、耐久性も向上します。 ...

メーカー・取り扱い企業：三和メッキ工業株式会社
真空装置設計・製作からサポートまで短納期でご対応

真空装置の設計・製作から保守作業までお任せを！

各種真空成膜装置の設計・製作を行っております。装置完成後の現地搬入・立ち上げ、稼働後の保守を含めたトータルでのサービスが可能な体制となっております。各種実験補助設備の設計や真空設計の応用に豊富な経験があり、仕様...

メーカー・取り扱い企業：株式会社コスモ・サイエンス
500℃温度サイクル用薄膜ストレス測定装置　FLX-2320-S

500℃温度サイクル用　薄膜ストレス測定装置　FLX-2320-S

室温から500℃までの温度範囲で非接触・非破壊にて薄膜ストレスを正確に測定することが可能な測定装置【特徴】 ○膜付けされた薄膜によって生じる基板の曲率半径の変化量を算出　曲率半径は、基板上を走査するレーザーの反射角度から計算されるため...

メーカー・取り扱い企業：ヤマト科学株式会社
エレクトロニクス･半導体業界向け硬さ･弾性率･粘弾性評価

セミコンダクタ・スマートフォンなどの研究開発のためのナノインデンテーシ…

ンド圧子を対象サンプルに押し込むことにより、硬さ・弾性率・粘弾性・貯蔵弾性率・損失弾性率・クリープ率などの物性値を測定することができます。ナノインデンテーション試験では数百ナノ～数百ミクロンの薄膜や柔らかいポリマーの評価が可能です。測定例 -スマートフォン等のディスプレイ用有機材料・ポリマーフィルム (絶縁体・光ファイバー・半導体) -磁気記憶媒体 (ハードディスクドライバー) ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アントンパール・ジャパン
半導体関連装置

ワークの外観検査を目視にて行う装置などを豊富に取り揃えております

半導体関連装置』についてご紹介します。浜松ホトニクス社製厚み計を使用し、ワークの厚みを測定出来る「厚さ測定機」をはじめ、搬送ロボットを搭載しておりますのでフルオートでの測定が可能な「膜厚測定機」や、ワークにレジストを塗布する事を目的とした「レジスト塗布(スピンコーター)装置」等をご用意。ご要望に合わせてお選びいただけます。【ラインアップ(一部)】 ■厚さ測定...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピクリング
低圧力損失ＰＴＦＥガスフィルター

濾過膜はＰＴＦＥ製２層構造

(株)ピュアロンジャパン製ガスフィルターです。濾過膜はＰＴＦＥ製２層構造で経年や振動などでの伸びが殆どなく、安定した濾過性能を有します。全数疑縮核式パーティクルカウンターによって０.０１μｍのパーティクル捕捉試験を実施しております。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ
光学式細孔率・細孔分布測定装置

世界唯一の分光エリプソメーター技術でのEP(光学式ポロシメーター）細孔…

【アプリケーション】・Low-k膜の細孔率測定・色素増感太陽電池のTiO2細孔率測定・細孔サイズ（0.5~65nm)、厚さ（50nm～５um)のサンプル【特徴】・膜厚、屈折率、表面積、浸透率、ヤング率、CTE計測...

メーカー・取り扱い企業：日本セミラボ株式会社新横浜本社
８９００型シリーズ　脱気装置

装置のロングライフ運転に成功しました。脱気装置の高耐久性は、送液ポンプ…

供給する高性能な脱気装置を開発しました。パルスモータと独自の制御ソフトの組合せ、そして装置作動中は常時大気導入機構の自己クリーニング方式で真空ポンプの長寿命が実現できました。脱気モジュールの透過膜は、高性能テフロンAF（アモルファス　フルオロポルマー）を使用しています。AF素材はエアー透過率にとても優れています。よって、ローボリューム（480マイクロL）ですが当社の真空ポンプの性能との組...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ＡＱＵＡＴＨ
抵抗率／シート抵抗測定器【CRESBOX】

抵抗率／シート抵抗測定器【CRESBOX】

いパソコン+専用ソフトウェアでの操作システム ●測定パターンプログラマブルのため、円型・角型測定可能 ●セルフテスト機能、シリコンウエハ測定用厚さ・周辺位置・温度補正機能 ●シート抵抗・メタル膜厚表示可能 ●円型：最大1,225点、角型：最大1,000点の2-Ｄ/3-Ｄマッピングソフトウェア（オプション） ●対象ウエハサイズ： 2インチ〜8インチ、〜156mm角（※）その他...

メーカー・取り扱い企業：ナプソン株式会社
Prestige エッチング加工製品、半導体外観検査装置カタログ

半導体の欠陥、ムラ、シミの検査を同一の検査工程で一度に行うことが可能。…

半導体の各製造工程、成膜、レジスト塗布、リソグラフィー、エッチング、CMPなど、ウェア上の各ダイに均一な製造工程を行いたいもの。しかし、現実には異物混入、パターン欠陥や膜厚などのばらつきにより、ウェハー上にムラが発生し...

メーカー・取り扱い企業： CCTECH Japan CCTECH Japan（株）- 　日本法人
プローブに原子を採用した表面分析装置（CAICISSの発展版）

結晶方位・極製は15分で一目瞭然！帯電の影響がなく安定した表面分析が可…

【特長】 ■結晶方位や対称性あるいは極性結晶の表裏などが視覚化される　※ウルツ鉱構造の結晶(GaNやAlN等)の表裏判別も容易 ■表面近傍の層毎の元素分析と結晶構造解析が簡単　※極薄膜の解析も可能 ■極点図シミュレーションと同期させれば、“見て来た様に”操作できる ■絶縁体試料や有機分子膜などの配向決定等にも問題なし ■SIMSの同時計測により、不純物の高感度評価(TOFス...

メーカー・取り扱い企業：株式会社パスカル
非接触式シート抵抗測定機『LEI-1510シリーズ』

広い範囲で優れた測定直線性！三次元グラフィックマップとしてPCモニター…

【機能詳細】 ■最大300点まで計測可能 ■自動ドリフト補正 ■ソフトウェアで抵抗の測定範囲を選択可能 ■カセットToカセット式ソーティング ■外部膜厚入力 ■ウェーハマッピング(2次元等高線、3次元グラフィック） ■SPC(Statistical Process Control)統計管理ソフト ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お...

メーカー・取り扱い企業：日本セミラボ株式会社新横浜本社
非接触表面抵抗測定器

最大20mm！広い測定ギャップにて測定することが可能！

ドイツNAGY社による渦電流磁界を利用したオンライン、オフラインに対応可能な非接触表面抵抗測定器です。プラスチックフィルム、ガラス基板、ペーパー等に成膜された導電膜のシート抵抗測定が可能で製品の品質管理及びプロセス管理を容易にします。常圧、真空下での測定に対応し、ロールコーター等の既存成膜装置内への取付も可能です。測定チャンネル数は1〜99チャンネ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マツボー
バーンイン装置

様々なご要望に対応した装置を提供致します

【その他取扱製品】 ■品質評価装置　アルミマイグレーション評価装置　TDDB 評価装置　IGBT耐久加速試験装置　IGBT 評価装置　酸化膜評価 ■その他　バーンインボード設計、製作　パフォーマンスボード組立配線　各種プリント基板設計、製作　各種治具設計、製作　自社製半導体 ※詳細については、お気軽にお問い合...

メーカー・取り扱い企業：株式会社藤田製作所
ロールtoロール生産ラインにCMW広幅ウェブクリーナー装置

ロールtoロール生産ラインで広幅装置をご検討のお客様へ

着、スパッタリング、その他〕）ラミネーティング技術、粘着加工技術、プリンティング技術、仕上加工（スリッティング、カッティング、抜き加工、制袋）、表面加飾、表面処理技術、塗液製造・分散技術、製膜・成膜技術、ウェブハンドリング技術、その他関連技術＜得意業界＞電気・電子分野、包装（食品・非食品）、医療・医薬分野＜得意製品＞偏光板、離型フィルム、剥離フィルム、銅箔 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ヤンゴージャパン
高耐圧用ＰＴＦＥガスフィルター

濾過膜はＰＴＦＥ製２層構造で経年や振動などでの伸びが殆どなく、安定した…

全数疑縮核式パーティクルカウンターによって０.００３μｍのパーティクル捕捉試験を実施しております。...【特徴】 ○濾過精度は０.００３μｍです。 ○推奨流量は４０Ｌ/ｍｉｎ、１５０Ｌ/ｍｉｎ各種です。 ○ハウジング設計圧力は２０.６８ＭＰａ(３,０００ＰＳＩＧ、２１０ｋｇｆ/ｃｍ２)ａｔ２０℃です。 ○最高使用圧力は０.９８ＭＰａ（１４２ＰＳＩＧ）ａｔ２０℃です。 ○最高使用温度は１２...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ
株式会社片桐エンジニアリング　技術紹介

開発、設計から加工・溶接・組立・検査までを一貫して手がけております。

の共同研究による最先端プラズマ技術を元に装置開発を続けています。電子ビーム励起プラズマ（EBEP）を社内設備として設置し、企業ニーズに応えた開発、試作を行っており、EBEPによる高速チッ化処理、有機膜の親水性密着性向上に成功いたしました。詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社片桐エンジニアリング
ティーイーアイソリューションズ株式会社　事業紹介

インテグレーテッドR&Dファウンドリーとして高度な専門技術を提供します…

識を提供し、お客様の開発をサポート ○半導体に限らず、エネルギー、バイオ・メディカルセンサーなど　各種新興技術にも対応［テストウェハー販売］ ○材料や装置評価に用いるパターン付き、または膜付きのウェハーを提供 ○各種ウェハーサイズの対応が可能 ○新規テストウェハーの開発（新材料・新構造）も対応 ○シリコン基盤以外のウェハーにも対応が可能［分析・評価サービス］ ○顕微鏡検査...

メーカー・取り扱い企業：ティーイーアイソリューションズ株式会社つくば研究所
秩父電子株式会社　事業紹介

半導体研磨加工の匠集団

体フォトマスク基板用合成石英ガラス、 GaP・GaAs等の化合物半導体、MEMS、SiC（シリコンカーバイド）サファイア、GaN(窒化ガリウム）、Siウェハーの研磨加工を軸にエピ成長、金属膜蒸着等半導体材料の加工を幅広く行っている技術集団です。屈指の研磨技術で高硬度素材・高精度加工などの高い技術を必要とする研磨加工を承ります。【製品ラインアップ】 ■フォトマスク研...

メーカー・取り扱い企業：秩父電子株式会社
薄膜太陽電池パネル測定装置

薄膜太陽電池パネル測定装置

太陽電池で必要な様々な光学系、電気系測定が1台で可能です。　- 分光エリプソ(膜厚、光学特性) 　- ライフタイム測定　- シート抵抗測定　- 比抵抗測定　- ラマン分光第10世代パネル対応まで対応可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業：日本セミラボ株式会社新横浜本社
ロールツーロール分光エリプソメータ

ロールツーロール分光エリプソメータ

ロールツーロールにてノンストップで膜厚を多点測定可能です。...

メーカー・取り扱い企業：日本セミラボ株式会社新横浜本社
Junction Photo Voltage(JPV)

JPV法により、非接触で、PNジャンクションのジャンクション・リーク、…

ジ法）を用いているため、高速で再現性の良いマッピング測定が可能です。【特徴】 - 非接触、非破壊測定 - プローブの調整は不要 - 測定のための特別な試料準備は不必要 - 表面に酸化膜やコーティングが存在しても測定可能 - 空間分解能の高い分布測定（マッピング）が高速で可能 - 再現性の高い測定が可能 - セミラボ社のベンチトッププラットフォームWT-2000、WT-250...

メーカー・取り扱い企業：日本セミラボ株式会社新横浜本社
抵抗率／シート抵抗測定器【WS-8800】

抵抗率／シート抵抗測定器【WS-8800】

動システム】 ◆厚さ測定、P/N判定、温度測定に対応可能（シリコンウエハ） ◆セルフテスト機能、校正機能、広範囲測定レンジ ◆厚さ・周辺位置・温度補正機能（抵抗率測定時） ◆シート抵抗・膜厚表示が可能（メタル膜測定時） ◆カセット数はご要望により、いくつでも対応可能 ◆通信ソフトウェア、SMIFまたはFOUP対応（オプション） ◆最大1,225点のマッピングソフトウェア（オプシ...

メーカー・取り扱い企業：ナプソン株式会社
飛行時間型原子散乱表面分析装置『TOFLAS-3000』

結晶方位・極製は15分で一目瞭然！帯電の影響がなく安定した表面分析が可…

【特長】 ■結晶方位や対称性あるいは極性結晶の表裏などが視覚化される　※ウルツ鉱構造の結晶(GaNやAlN等)の表裏判別も容易 ■表面近傍の層毎の元素分析と結晶構造解析が簡単　※極薄膜の解析も可能 ■極点図シミュレーションと同期させれば、“見て来た様に”操作できる ■絶縁体試料や有機分子膜などの配向決定等にも問題なし ■SIMSの同時計測により、不純物の高感度評価(TOFス...

メーカー・取り扱い企業：株式会社パスカル
FPD用シート抵抗測定器【NC-50/RG-1200S】

FPD用シート抵抗測定器【NC-50/RG-1200S】

【作業性を考慮した、ガラス基板測定用斜め置き測定ステージ】 ◆セルフテスト機能、測定位置補正、広範囲測定レンジ ◆0.1mm分解能で、測定パターンを任意に設定可能 ◆シート抵抗・膜厚表示機能 ◆CIM通信、2-D/3-Dマッピングウェア ■４探針測定タイプ（RT-3000/RG-1200S)もございます。 ●対象ガラス基板サイズ：680mm×880mm 〜 2,...

メーカー・取り扱い企業：ナプソン株式会社
ＰＮ判定器【ＰＮ-50α】

ＰＮ判定器【ＰＮ-50α】

【センサーに近づけるだけで瞬時に判定可能な非接触ＰＮ判定器】 ◆判定方式：光パルス照射による光起電力方式 ◆非接触方式のため、シリコンウエハにダメージを与えません ◆表面に酸化膜のあるウエハも判定可能 ◆光パルス照射のため、瞬時に判定可能 ◆ＰＮ判定可能な抵抗率範囲：0.1〜1,000Ω/cm 　　　　（ただし、ウエハの表面状態による） ◆自動ウエハ搬送装置に組み込...

メーカー・取り扱い企業：ナプソン株式会社
高濾過精度低圧力損失ＰＴＦＥガスフィルター

安定した濾過性能

濾過膜はＰＴＦＥ製２層構造で経年や振動などでの伸びが殆どなく、安定した濾過性能を有します。全数疑縮核式パーティクルカウンターによって０.００３μｍのパーティクル捕捉試験を実施しております。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ピー・ジェイ