リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

オーダーメイド型スパッタリング成膜装置

PR難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに対応可能

当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型 スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。 フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池や バッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や 表面保護のためのコーティングにも対応。 サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の 用途に応じて組み立てることが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

実装機での高速供給を可能にした搬送機【FILM FEEDER】

半導体装置で使用される実装機(マウンター)を使用してテープ・シールを高…

■PI(ポリイミド)貼付け ■貼り合わせ加工(貼合) ■ノイズ対策／シールド材の貼り付け ■カバーレイ貼付 ■フレキシブルアンテナ反射材アッセンブリー ■FPC多層化アッセンブリー ■MEMSマイクやセンサへの水密通気フィルム貼り付け ■筐体および接触部へのクッション材の貼り付け ■機構部品／防水シール貼り付け ■光学ユニットのアッセンブリ(導光体、拡散フィルムなど） ■実装基...

メーカー・取り扱い企業： 三井金属計測機工株式会社 FAソリューション関連事業

薄型ウェハー搬送装置『TWH150/200/300』

化合物半導体ウェハーの搬送やオートメーションにも適した移載機

搬送を可能にします。 分析計やプロセス装置と組み込みモジュールシステムとして薄型ウェハー搬送を 全自動化させることができます。 薄型やシリコンウェハーに限らず非接触搬送が必要とされるMEMS ウェハー、 化合物半導体ウェハーの搬送やオートメーションにも適しています。 【特長】 ■極薄ウェハー対応 ■全自動詰め替え搬送を可能にする ■オートメーションにも好適 ※詳し...

メーカー・取り扱い企業： デリクソンテクノロジージャパン株式会社

特殊ウェハの搬送・検査

搬送の難しい特殊ウェハも各種ユニットを開発してきたアテルが解決します！

パワーデバイスやMEMS 等で使われるデバイスは特殊なものばかり。 扱いが難しかったり、各種センシングの難しいデバイスが多いです。 当社は、これらの「特殊ウェハを確実に搬送する事こそ使命」と考え「割らない」のは当...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社