リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

オーダーメイド型スパッタリング成膜装置

PR難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに対応可能

当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型 スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。 フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池や バッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や 表面保護のためのコーティングにも対応。 サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の 用途に応じて組み立てることが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

MEMS全自動欠陥検査装置『IR-MEMS100』

コントラストの低い画像を見やすくする処理を使用して見つけにくい欠陥部を…

『IR-MEMS100』は、ロボットにより自動的に貼り合わせウエハーを 搬送してウエハーの内部状態を特殊赤外線光学系で画像を撮影し、欠陥検出 アルゴリズムを使用して各種欠陥を検出するMEMS全自動欠陥検査装置...

メーカー・取り扱い企業： ディスク・テック株式会社 本社

シグナル、MEMS、MOSFET、リレー テスター

当社のリレー テスターのラインアップをご紹介！特長や適用などを掲載

当社の『シグナル、MEMS、MOSFET、リレー テスター』をご紹介いたします。 最大1000ch分のデバイスのバーンイン処理が可能な「MEMSバーンインテスター」 をはじめ、4aアレイ品に対応した「MOSFETリ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社松浦電弘社

【製品不要の改善】MEMS顕微鏡（両面パターンズレ検査装置）

顕微鏡カメラでモニタして、パターンズレや通り違いを検査！

アローズエンジニアリングでは、アイティ・テック社製の MEMS顕微鏡を取扱っています。 『TMIR-2000』は、MEMSウエハを上下両面から顕微鏡カメラでモニタして パターンズレや通り違い検査ができます。 新開発ソフトで2カメラの光軸をアライ...

メーカー・取り扱い企業： アローズエンジニアリング株式会社

MEMS圧力センサー高速温特検査装置

MEMS圧力センサーの温度特性計測時間の大幅な短縮を実現した検査装置 …

『MEMS圧力センサー高速温特検査装置』は、冷熱プレート内蔵加減圧方式(特許申請中)により、 MEMS圧力センサーを高速で温特計測が出来る装置です。 冷熱プレートを加減圧容器内に設けた方式により、3...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ラポールシステム

MEMSウエハチップ検査機

高精度クリーンルーム対応のオートレビュー顕微鏡

MEMSウエハの微細なチップ欠陥を検査する、オートフォーカス顕微鏡です。 XYZ電動躯体の本体にオートフォーカス顕微鏡が搭載されています。 ウウエハを載せてソフト駆動でXYZステージを制御してウエハ上の素子チップ検査や欠陥個所の合焦点画像を最適な倍率で入力して検査できます。 詳しくは、カタログをダウンロードしてご覧下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイティ・テック

インテリジェント小型圧力スキャナ『MPS4264』

9-36V DCの幅広い電源に対応！極めて高いゼロ安定性を実現するダイ…

『MPS4264』は、専用のパッケージと極めて安定した極小圧力センサーを 使用した、コアとなるMEMSセンサーパックを軸に設計された インテリジェント小型圧力スキャナです。 64チャンネルのMEMS圧力センサーを搭載し、TCP/IPプロトコルによる イーサーネット(LAN)通信が可能な他...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大手技研

DC応答 耐久性ケーブル 加速度センサー　64C

DC応答加速度センサー 耐久性のあるローノイズケーブル 小型 信頼性の…

Model 64C加速度センサ(加速度ピックアップ、加速度計)は、非常に優れたダイナミックレンジと安定性を提供する先進のピエゾ抵抗MEMSセンサー素子を基盤としています。 このセンサーはフルブリッジ出力構造で、0～+50º Cの温度領域で補正する特長を持ち合わせています。微量のガスダンピングが突出し...

メーカー・取り扱い企業： エフ・アイ・ティー・パシフィック株式会社

株式会社ラポールシステム　会社案内

計測・制御・通信・メカトロニクスを柱に先端技術分野に大きく貢献していき…

【取扱製品】 ■画像処理関連技術 　・エッジ欠陥検査装置 　・ガラス外観検査装置 　・BGA/CSP外観検査装置 ■半導体（通信／MEMS）関連技術 　・GEMドライバ 　・EES(Equipment Engineering System) 　・半導体装置向けT-BOX(Translator Box) 　・膜厚測定装置 　...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ラポールシステム

水素リークディテクタ『YHLD-100』

高分解能で低濃度（0.5ppm）～高濃度（13,000ppm）まで検知…

素早く 移ることが可能です。 また、水素濃度が13,000ppm(=1.3%)を超えた場合に「危険」 メッセージを表示して、警報を出し測定を中断します。 【特長】 ■当社独自開発MEMS水素センサーを搭載 ■低濃度～高濃度まで水素を検知 ■警報により危険をすばやく検知 ■高速応答で測定後の復帰も早い ■リアル測定 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： ヤマハファインテック株式会社

超音波映像装置

MEMSデバイス向け非破壊不良検査装置。試作品の接合界面評価から量産品…

『超音波映像装置』は、MEMSデバイス向け非破壊不良検査装置です。 日立ハイテクは、開発・試作～少量生産向けの「FineSATシリーズ」から ウェハ全自動検査向けの「Wafer LINE」まで対応が可能。 豊富な...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日立ハイテク

産業用音響カメラ『FLIR Si124 2022』

エアリーク/部分放電の見える化！124個のマイクで少量の漏れも検出しま…

【仕様（抜粋）】 ■音響性能 　・マイク数：124個低雑音MEMS 　・感度：0db 　・ダイナミックレンジ：＜-15dB(下限)　＞120dB(上限) 　・帯域：2～65kHz ■環境 　・動作保証及び保管温度：-10～50℃ 　・動作保証及び保管...

メーカー・取り扱い企業： 宮原酸素株式会社

超音波式リーク検知カメラ「サーチソニックイメージャー」※動画あり

小さなガス漏れ・空気漏れ・放電などの異常も視覚により識別、発見します。

■主な仕様 ・検知原理：ビームフォーミングテクノロジー ・センサ原理：112chデジタルMEMS ・周波数範囲：2k～48kHz ・マイクロフォン感度：-41dB（A） ・検知距離：0.3m～50m ・フレームデート：25FPS ・ディスプレイ：５インチ640×480タッチスクリー...

メーカー・取り扱い企業： 日本ハネウェル株式会社 本社

マイクロホンテストシステム

マイクロホンメーカーの方必見！簡単な操作とセットアップでコスト削減！ …

内容 　Flexus FX100 オーディオアナライザ 　RT-MicFX テストソフトウェア 　測定用マイクロホンM2010 ■オプション 　マイクロホン指向性測定オプション 　MEMS Mic 測定用インターフェース 　温湿度センサー 　プレシジョンキャリブレータ 94/114 dB 　IO アダプタボックス 　スタックライト (赤/オレンジ/緑) 　フットスイッチ ...

メーカー・取り扱い企業： エヌティーアイジャパン株式会社

炭化水素ガス検知警報器『GasSecure GS01』

防爆取得済！ケーブル工事が不要のワイヤレスの炭化水素ガス検知警報器

計で、お客様に費用対効果の高い付加価値をご提供します。 赤外線、技術、定期的な校正が不要で、安定したガス検知を生涯実現します。 【特長】 ■信頼性の高いシングルビーム、トリプル波長のMEMS ■SafeWireless 通信 ■SIL2 適合 ■ケーブル不要のワイヤレス通信 ■本質安全防爆認証 ■プロジェクト総費用の最大 60～80%の削減 ※詳しくはカタログをご覧頂...

メーカー・取り扱い企業： ドレーゲルジャパン株式会社　セイフティー事業部

デバイスの残留ガス分析【受託分析サービス】

当社のラボにてサンプルをお預かりしてデバイスの残留ガスの受託分析サービ…

分析アプリケーション例（蓄積法） 破壊分析 　●半導体チップの各積層間の残留・放出ガス測定 　●半導体ウェハ基板からのガス放出測定 　●MEMSデバイスチップ内の残留ガス測定 非破壊分析 　●封止デバイスのリークテスト・放出ガス測定 ...

メーカー・取り扱い企業： 東京電子株式会社

PLAZMARK O2クリーニング用・Arクリーニング用

3種の感度から選択！実装工程などに最適なプラズマ処理硬化の評価ツール

O2クリーニング用のほうが適しています。 【使用例】 ■めっき前の表面改質 ■ワイヤーボンディングなど接合面の表面改質 ■部品実装後のアンダーフィル前クリーニング ■LSI、メモリ、MEMS等電子デバイスの封止前のクリーニング ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社サクラクレパス PI事業部

光学式エンドポイントモニター【Verity社製】

超高性能エンドポイント検出システム 検出困難だったイオンミリングプロ…

エッチャー内のプロセスによる発光をリアルタイムに モニタリングすることができます。 CCDセンサを搭載し、200-800nmの波長領域をサポート、 UV領域の感度が高く、 検出困難だった微細な変化でも捉える分光計を備えています。 さらに、真空フィードスルーオプションで イオンミリングプロセスにも対応します。 Verity社製光学式エンドポイントモニターは 真空中のサンプ...

メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社

レーザ走査表面形状検査機『CSM＆CSYSシリーズ』

広い範囲の微小な高さの変化を測定可能な表面形状検査機！極めて振動に強く…

『CSM＆CSYSシリーズ』は、広い測定範囲を超高感度で速く測定が可能な レーザ走査表面形状検査機です。特許技術の「レーザ表面形状検査機」で、半導体ウエハ（Si,SiC,GaN,etc.）、MEMS、ハードディスク、FPD用機能性フイルム、スパッタ薄膜などの「表面形状」「粗さ」「うねり」「パーティクル」「キズ欠陥」を高感度で、早く、広い範囲を検査して「デジタルデータ」と「3D画像データ」を表...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コアシステム

試料裏面マスクアライメント露光装置　BAシリーズ

プロセスの異なる試料表裏の一致した位置にパターン露光。

ライメント露光装置　BAシリーズは、従来の露光装置では困難であった試料裏面からのアライメントを可能にするローコストなマスクアライメント装置です。通常の片面露光マスクアライナーとしても使用でき、各種MEMSや半導体素子の両面デバイス開発を支援します。本装置では試料の第1面に予め形成されたアライメントマークに対して、その対面（第2面）の指定された位置にマスクパターンをアライメントして露光できます。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ナノテック

FBGセンサモニタ『AR4041B』

外部通信ポートを装備！被検物の歪や温度の変化をFBGにより高感度に検出…

当製品は、MEMS光スキャナによる波長掃引光源方式のインテロゲータです。 お客様にてWindows搭載PCおよびFBGセンサをご用意いただき、当製品と 組み合わせることにより、FBGセンシングシステムを構築...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社オプトクエスト 本社工場

TS150-150mmマニュアル・プローバー

汎用性の高い150mm(6インチ)マニュアル・プローバー

デバイス評価、モデリング、WLR、故障解析、IC設計、MEMSなど幅広いアプリケーションに対応しております。 ...

メーカー・取り扱い企業： MPI Corporation

音響イメージングカメラ『HM-AP56-W/W-AI56』

5MP解像度の高品質光モジュール！1.0倍から8.0倍の連続デジタルズ…

可能。 当製品を使用する事で、潜在的な安全上のリスクを発見、トラブルシューティングを 抑え、機器の故障やダウンタイムの追加コストを省く事に貢献します。 【特長】 ■64個の低ノイズMEMSマイクロフォン、 　リアルタイムサウンドVイシュアライゼーション ■複数のパレットをサポート ■5MP解像度の高品質光モジュール ■ハイキャリバー800×480解像度 4.3インチLCDタ...

メーカー・取り扱い企業： ハイクマイクロ株式会社 HIKMICRO

音響イメージャー『AI56』

長いバッテリー寿命！産業環境で加圧空気漏れを見つけたりするための簡単で…

『AI56』は、64個の低ノイズMEMSマイクと2kHZから60kHZまでの 調整可能な帯域幅範囲を備えている音響イメージャーです。 潜在的な安全上のリスクを発見し、トラブルシューティングを抑え、 機器の故障やダウンタイムによ...

メーカー・取り扱い企業： ハイクマイクロ株式会社 HIKMICRO

K-Kit ウェットセル TEM用液体サンプルホルダー

TEM付属標準グリッドホルダーで観察可能！材料系・化学系・バイオ系の研…

【その他の特長】 ■シリコンベースの材質（MEMS技術） ■真空下で使用できる汎用接着剤 ■Si3N4メンブレン膜 ■圧力変化に耐久性がある ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： エルミネット株式会社

多機能ラックマウント式プラットフォーム LTB-8

◆モジュール挿入により必要機能を追加◆ラボ用各種オプティカルテスト◆S…

_v5_en (光可変アッテネータ) FTBx-5245-5255_2_en (光スペクトラムアナライザ) FTBx-9150_v2_en (光スイッチ) FTBx-9160_v2_en (MEMSスイッチ) FTBx-9600_v2_en (光カプラ) POWER-BLAZER_v3_en (光トランシーバ試験用モジュール) fip-400b_v5_en (コネクタ端面検査装置)...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社オプトロンサイエンス

【X線透視・CT検査装置】マイクロフォンの観察事例

【動画あり】X線透視観察＆直交CT観察！マイクロフォンの観察事例をご紹…

マイクロフォン部品をX線透視観察＆直交X線CTで観察した事例をご紹介します。 MEMSチップやSiチップは透けてしまうので、微かにしか観察できません。 しかし、X線透視像では、ワイヤーボンディングの様子や実装基板の配線 パターンが観察できます。 直交CT像では、MEMSチ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス