オーダーメイド型スパッタリング成膜装置

PR難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに対応可能

当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型 スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。 フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池や バッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や 表面保護のためのコーティングにも対応。 サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の 用途に応じて組み立てることが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

小型電子部品専用気密検査装置｜MSX-0101 series

ボンビングによる充填、圧力変化確認によるグロスリーク、質量分析によるフ…

『 MSX-0101 series 』はMEMS、水晶デバイス、SMD等の電子部品の気密検査に最適な小型電子部品専用気密検査装置です。 ヘリウム充填、グロスリークテスト、ファインリークテストを1台のシステムに完全装備。 充填時間、放置時間を...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フクダ

水素リークディテクタ『YHLD-100』

高分解能で低濃度（0.5ppm）～高濃度（13,000ppm）まで検知…

素早く 移ることが可能です。 また、水素濃度が13,000ppm(=1.3%)を超えた場合に「危険」 メッセージを表示して、警報を出し測定を中断します。 【特長】 ■当社独自開発MEMS水素センサーを搭載 ■低濃度～高濃度まで水素を検知 ■警報により危険をすばやく検知 ■高速応答で測定後の復帰も早い ■リアル測定 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： ヤマハファインテック株式会社

小型電子部品専用気密検査装置｜MUH-0100 series

小型電子部品の高感度リーク試験！ウルトラファインリークまでご提案【特許…

積法」を採用した超微小漏れ測定専用の気密検査装置です。 当社では、超微小漏れの測定技術として、高感度のヘリウムリーク検出技術「カプセル蓄積法」を開発。 角速度センサや赤外線イメージセンサなどのMEMS部品や小型電子部品は、長い年月にわたって製品内部の密封性を保持する必要があり、高い気密性が求められています。 【カプセル蓄積法　特長】 ■4×10⁻¹⁵Pa・m³/s (He) まで計測可能 ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フクダ

小型電子部品専用気密検査装置｜MSX-7000 series

超小型パッケージ 1.0 × 0.8 mm、1.2 × 1.0 mm …

「 MSX-7000 series 」は小型電子部品、水晶振動子、MEMS・光デバイス、各種センサなど、密封パッケージ品の気密検査装置です。 新しい機構により、初めて 1.0 × 0.8 mmサイズの検査を実現し、画像処理を用いた位置補正で搬送精度が向上しました。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フクダ