【資料】レールシステム+自動位置決め+パワーアシスト装置の提案

PR人が行っているピッキング及び組付けを重筋作業軽減及び工数低減を実現！

当資料では、「レールシステム+自動位置決め+パワーアシスト装置」の 構造をご紹介しております。 走行(X)方向駆動装置、横行(Y)方向駆動装置、昇降(Z)方向駆動装置の 詳細や、位置検出機構の詳細などを図を用いて解説。 その他、使用事例もいくつかの写真とともにご紹介しておりますので、 導入検討の際に参考にしやすい内容となっております。 【掲載内容(一部)】 ■Knight...

メーカー・取り扱い企業： シンテック株式会社

大型FDM方式3Dプリンタ『Modix BIGシリーズ』

PR誰もが簡単に大型造形を始められるFDM(熱融解積層方式)3Dプリンタ組…

『Modix BIGシリーズ』は、大型造形を誰でも簡単に始めることができるFDM(熱融解積層方式)3Dプリンタ組み立てキットです。 安定した造形を実現するための自動補正機能など、数々の機能を揃えています。 [特徴] ■水平出しを自動で補正 テーブルの水平度はモデルの品質を左右するため、水平出し作業は重要な工程になります。 「Modix BIGシリーズ」は完全自動で設定することができ、造形前の適切...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社システムクリエイト

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VFX3000NMシリーズ』

【～300mmウエハ用】 アーム長、Z軸の有無の選択が可能なシングル…

■2種類のアーム長に標準対応。 Z軸の有無も選択可能のため、さまざまな装置レイアウトに対応。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

大気環境用ウエハ搬送ロボット『UTM-R3700F』

【～300mmウエハ用】走行軸無しで広範囲へ動作！ さまざまな装置レ…

【仕様】 ■動作範囲 ・X1, X2-axis（前後）：590mm ・θ-axis（旋回）：332° ・Z-axis（昇降）：310-703.8mm ・Y-axis（左右）：±767.5mm ・A-axis（左右の傾き補正）：±2° ■最大動作速度 ・X1, X2-axis：1600mm/sec...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UTVW-R2800H』

【～300mmウエハ用】旋回軸にダイレクトドライブモータを採用！ 高…

■Z軸が標準搭載されているダブルアームタイプの真空用ウエハ搬送ロボット ■θ軸にダイレクトドライブモータを採用し、ウエハを低振動で搬送することで スループット向上に貢献 ■CVD装置、アニ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

大気環境用ウエハ搬送ロボット『UT-AFX/W4000NM』

【～300mmウエハ用】高可搬搬送・広範囲動作が可能！ 高速電力線通…

【仕様】 ■動作範囲 ・X1, X2-axis：500mm ・θ-axis：340° ・Z-axis：300mm or 450mm ■最大動作速度 ・X1, X2-axis：1000mm/sec ・θ-axis：200°/sec ・Z-axis：250mm/sec ■繰返し位置...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

防水対応3軸円筒座標型ロボット　SWHR3156シリーズ

LSI製造プロセスにおける、酸・アルカリの雰囲気中のウエハ搬送に最適

【特徴】 ○アームバリエーション:156mm ○Z軸バリエーション:200mm、300mm ○可搬重量:アーム第3関節換算3kgf以下 ○アーム部は、テフロンコーティングにより耐蝕性を確保 ○アーム関節部防水構造にVシール使用 ○部品の接合...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

ローダーロボット『ガントリーローダー』

省スペースに搬送する場合にも対応！非切削時間を短縮可能なロボット

【仕様】 ■ローダー形式：2軸門型ローダー ■搬送重量：10kg（10kg以上も承ります） ■走行ストローク 　・X軸（左右方向）：打合せにより決定 　・Z軸（上下方向）：打合せにより決定 ■走行速度 　・X軸：200m/min 　・Z軸：120m/min ■ワーク径：Φ20～Φ150mm（Φ150mm以上も承ります） ■ワーク長さ：10mm...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社前田工作所 本社

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VDX3000NSシリーズ』

【～300mmウエハ用】ダイレクトドライブモータを搭載！ 振動の大幅…

■動作範囲 ・X-axis　850mm ・θ-axis　Endless ・Z-axis　- ■動作時間 ・X-axis　2.0sec / 850mm ・θ-axis　2.5sec / 180° ・Z-axis　　- ■繰返し位置精度 ・XY direction　...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

3軸円筒座標型クリーンロボット　SSCR3115Sシリーズ

小型ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。

トプリント化、軽量化により、半導体製造装置内部、検査装置及びLED製造装置等の小径ウエハ搬送に適し、装置レイアウトを小型化できます。SSCR2090S-PMとはユニット互換があり、リンクアーム仕様、Z軸レス仕様にも変更が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

大気環境用ウエハ搬送ロボット『UT-AFX/W3000NM』

【～300mmウエハ用】ロボット本体内・外配ケーブルを大幅に削減！ …

【仕様】 ■動作範囲 ・X1, X2-axis：500mm ・θ-axis：340° ・Z-axis：300mm or 450mm ■最大動作速度 ・X1, X2-axis：1000mm/sec ・θ-axis：200°/sec ・Z-axis：250mm/sec ■繰返し位置...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

垂直連続搬送機『ハーディバーチレーター』

ダンボールケースからパレット、カゴ車など幅広く対応！垂直連続搬送機のご…

ニットを昇降させることによって、搬入・搬出階を変更できますので 各階相互のロット搬送に適している「搬送階変更バーチレーター」や 「台車用バーチレーター」をご用意しています。 【特長】 ■Z形式：間口対面方向 ■C形式：間口同面方向 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 和研ハーディ株式会社 岡山本社

大気環境用ウエハ搬送ロボット『UTW-REH5500』

【～300ｍｍウエハ用】450WPHの高速搬送！ 装置のスループット…

【仕様】 ■動作範囲 ・X, A-axis：500mm ・θ-axis：340° ・Z-axis：300mm ■最大動作速度 ・X1,A-axis：1800mm/sec ・θ-axis：360°/sec ・Z-axis：500mm/sec ■繰返し位置精度：XYZ dire...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

大気環境用ウエハ搬送ロボット『UTX/W-RF5501RW』

【～300ｍｍウエハ用】水分を扱うプロセスでの使用が可能！ 保護等級…

【仕様】 ■動作範囲 ・X, A-axis：500mm ・θ-axis：340° ・Z-axis：300mm ・R-axis：180° ■最大動作速度 ・X, A-axis：800mm/sec ・θ-axis：130°/sec ・Z-axis：200mm/sec ・R-a...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VDW3000HSシリーズ』

【～300mmウエハ用】世界最速級の真空内高速搬送！ 装置スループッ…

【仕様】 ■動作範囲 ・X1, X2-axis：620mm ・θ-axis：346° ・Z-axis：50mm ■最大動作速度 ・X1, X2-axis：380°/sec ・θ-axis：300°/sec ・Z-axis：185mm/sec ■繰返し位置精度 ・XYZ dir...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UT-VFX4000NM』

【～300mmウエハ用】高可搬型シングルアーム真空ロボット！

【仕様】 ■動作範囲 　・X-axis：750mm 　・θ-axis：340° 　・Z-axis： 22mm ■最大動作速度 ・X-axis： 62°/sec ・θ-axis：192°/sec ・Z-axis：121mm/sec ■繰返し位置精度：XYZ direction...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

搬送機器『バーチカルコンベヤ』

低コスト・短納期！本体がブロック方式のため、現場での据付期間の短縮がは…

【バリエーション】 ■Z型（上下の出入口が反対方向） ■C型（上下の出入口が同じ方向） ■多階式 ■台車搬送式 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社オカムラ　物流システム事業本部

【昇降機】連続垂直搬送機　ジャロック

大量商品を短時間で垂直搬送！確認申請・法定点検の必要なしで設置可能。

連続昇降で商品を一度に大量搬送します。 一度に大量の商品を運びたい場合に便利な昇降機です。 出入り口はC型・Z型どちらでもレイアウト可能です。 搬送物の種類・大きさ、昇降速度等ご相談の上、設計致します。 【特長】 ・大量商品を短時間で垂直搬送します。 ・建築基準法上、「垂直搬送機（コンベア）」と...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジャロック

ガントリーローダー／(株)スター精機

高精度・高性能のガントリーローダー誕生！パレットチェンジャーとの連動も…

【その他仕様】 ■常用空気圧：0.5Mpa ■ストロークX軸(走行)：2500mm ■ストロークY軸(前後)：200mm ■ストロークZ軸(上下) ・GX-800VIP、GXW-800VIP：800mm ・GXW-1200VIP：1200mm ■操作ペンダント：STEC-520(ケーブル長4.5) ■操作ペンダント重量：1....

メーカー・取り扱い企業： 大喜産業株式会社

光学式アライナ　SAL3261GRシリーズ

2インチ,3インチ,100～150mmウェーハのアライメントが可能です

ーハのアライメントが可能 ○ウェーハ端面を検出するタイプのセンサを搭載 →シリコン、透明、半透明ガラス、サファイヤウェーハ等のアライメントが可能 ○オプションでウェーハ持ち直し動作を行うためのZ軸ユニットを準備 ○スピンドルのウェーハ接触部はPEEK材、Oリング(特殊フッ素ゴム)を採用 ○その他、ウェーハ形状に合わせカスタマイズ 【仕様】 ○被搬送物：2インチ,3インチ,100...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

円筒座標型クリーンロボット『PHT-R-4』

ウエハの大気中搬送に対応！本体重量は約47Kgでコントローラは約8Kg

『PHT-R-4』は、クリーンルームで使用する水平多関節型の ウェーハ搬送ロボットです。 前後(X軸)・旋回(θ軸)・上下(Z軸)+ハンド回転(0～180度)の動作が可能で ウエハの大気中搬送に対応。 駆動モータは、ACサーボモータで全軸アブソリュートエンコーダ仕様です。 【製品概要(抜粋)】 ■設置環境：...

メーカー・取り扱い企業： PHT株式会社

4軸水平多関節型クリーンロボット　GCR4280-AMシリーズ

300mm、450mm対応の半導体製造装置内等のウエハなどの搬送に最適

【特徴】 ○アームバリエーション:280mm ○ロボットのみで3FOUP対応可(300mmウェーハ) ○Z軸バリエーション:300mm、420mm ○可搬重量:アーム第3関節換算4kgf以下 ○クリーン対応:真空ラインには、0.1μmメッシュフィルタ装備 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フラ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

垂直搬送機『ハーディトレーリフター TWU型/TWB型』

ビットなしの対応も可能！倉庫や配送センター内の運搬作業を向上！

、倉庫や配送センター内の運搬作業を向上させます。 豊富なオプションがあり、使い勝手や高い安全性のために様々な 組合わせができます。 【特長】 ■抜群のレイアウト性能で、前面、両側面、Z型、全てに対応 ■設置が簡単で既存設備のリニューアル、リプレイスへの対応が容易 ■ビットなしの対応も可能 ■法定点検が不要でランニングコストを抑えることができる ■豊富なオプション ※...

メーカー・取り扱い企業： 和研ハーディ株式会社 岡山本社

大型重量物 真空搬送モジュール【可搬重量200kg対応！】

真空中での重量物搬送に特化した真空搬送モジュール！真空ロボット方式やロ…

【仕様】 ■可搬重量 200kg以下 ■搬送軸 X:3000mm、θ:360°、Z:100mm ■繰り返し精度 ±1mm以下 ■搬送速度 X:300mm/s、θ:180° ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： コミヤマエレクトロン株式会社

横型マシニングセンター加工

１ｍ×１ｍで10枚パレットの東芝機械BMCです。X軸は２０００動きます…

東芝機械製BMC100E・ATC120本・パレット10枚・主軸φ100・X軸2000・Y軸1250・Z軸1200・テーブル1000×1000...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社防府鉄工所

ウエハリング供給対応高速ハンドラー装置『BITA-2KWD』

極薄部品、微細部品に配慮した吸着・収納！単純なシート剥離の為、部品にダ…

部品に力学的ストレスを 　与えることなくソフトな吸着可能な状態を実現 ■吸着時と収納時に部品に与えるダメージをなくすため、微細な「すきま」を維持した 　高さへノズルを位置決めする高精度な高さ（Z軸）制御を行う ■移載ヘッドには高速自転・公転する16本のノズルを備え、1往復のX軸動作で16個の部品を一気に移載 ■XY軸の高精度制振制御、高精度部品姿勢認識、自動キャリブレーションにより、±...

メーカー・取り扱い企業： KNE株式会社

5軸真空水平多関節型クリーンロボットGTVHR5000シリーズ

チャンバ加工のシンプル形状化による加工コスト削減が可能

【特徴】 ○アームバリエーション:281mm、330mm ○Z軸バリエーション:60mm ○可搬重量:アーム第3関節換算4kgf以下 ○アーム関節部には磁性流体シール使用 ○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用 ○クリーン対応:アーム内排気用に5...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

真空対応4軸円筒座標型クリーンロボットSTVCR4000シリーズ

STVHRに比べ、可搬重量が2倍になり、コストパフォーマンスに優れます

【特徴】 ○アームバリエーション:160mm、190mm、260mm ○Z軸バリエーション:50mm ○可搬重量:第3関節にて2kgf以下(アーム長160mm、260mm) 　第3関節にて3kgf以下(アーム長190mm) ○アーム関節部には、磁性流体シール装備 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

真空対応4軸円筒座標型クリーンロボットDTVHR4000シリーズ

長寿命と信頼性の高い搬送を維持でき、低アウトガス環境での使用が可能

【特徴】 ○アームバリエーション:275mm ○Z軸バリエーション:50mm ○リンク式採用による優れた直進性、低パーティクルを実現 ○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用 ○ツインアーム採用によりウェーハ交換時間の短縮 ○使用環境:...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

『バーチカルコンベヤシリーズ』

スピーディで確実なタテの流れをつくる！ラインレイアウトの省スペース化に…

/ミニリフタ」をはじめ、ケース品を 安定搬送できる「PV/パーフェクトベヤー(スチール製)」や 「TC/タテコン」などをご用意しています。 【ラインアップ】 <個包装品用> ■VCS-Z/ミニパーフェ ■FML/ミニリフタ <ケース・袋用> ■PV/パーフェクトベヤー(スチール製) ■AP/パーフェクトベヤー(アルミ製) ■TC/タテコン ■LFK/ケースリフタ ...

メーカー・取り扱い企業： オークラ輸送機株式会社 東京支店、大阪支店、名古屋支店、（営業所）札幌、仙台、北関東、南関東、兵庫、四国、広島、九州

トラバーサ型　AGV

あなたの想いを乗せて走る

自動車業界、物流業界への導入実績あり。 I型、C型、Z型　など様々なご要望にお応えできるように カスタマイズも可能です。 【基本仕様】 ・制御：PLC制御 ・走行駆動：DCギヤモータ ・ローラ駆動：DCモータローラ ・ストッパ駆動：DC...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社山岡製作所

3軸円筒座標型クリーンロボット　LHR3000シリーズ

Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能

ガラス基板対応3軸円筒座標型クリーンロボットLHR3000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

4軸円筒座標型クリーンロボット　LTHR4000シリーズ

液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています

ガラス基板対応4軸円筒座標型クリーンロボットLTHR4000シリーズは、液晶製造装置内、検査装置等のガラス基板の搬送に適しています。Zストローク760mm以上はZ軸が多段式の為、低パスライン化が可能です。被搬送物、装置レイアウトに合わせた最適チャックでの対応が可能です。 詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

真空対応3軸円筒座標型クリーンロボット　SVCR3000シリーズ

真空チャンバ内でのウェーハの搬送にご使用頂けます。

【特徴】 ○アームバリエーション:160mm、190mm、260mm ○Z軸バリエーション:20mm、40mm ○可搬重量:第3関節にて2kgf以下(アーム長160mm、260mm) ○第3関節にて3kgf以下(アーム長190mm) ○アーム関節部には、磁性流体シー...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

4軸円筒座標型クリーンロボット　STHR4000シリーズ

ウェーハ搬送に適しており、短時間でのウェーハの交換が可能です。

【特徴】 ○アームバリエーション:95mm、156mm ○Z軸バリエーション:200mm、300mm ○可搬重量:アーム第3関節換算3kgf以下 ○クリーン対応:真空ラインには、0.01μmメッシュフィルタ装備 ○ツインアーム採用によりウェーハ交換時間...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型クリーンロボット　SHR3000シリーズ

装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択が可能

【特徴】 ○アームバリエーション:100mm、130mm、158mm、173mm、203mm ○Z軸バリエーション:200mm、300mm ○可搬重量:アーム第3関節換算3kgf以下 ○クリーン対応:真空ラインには、0.01μmメッシュフィルタ装備 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

4軸円筒座標型クリーンロボット　STCR4000Sシリーズ

2本のアームにより短時間でウェーハの交換が可能です。

【特徴】 ○アームバリエーション:100mm、130mm、160mm、200mm ○Z軸バリエーション:200mm、300mm、400mm、500mm ○可搬重量:アーム第3関節換算3kgf以下 ○クリーン対応:真空ラインには0.1μmメッシュフィルター装備 ○ツインアーム採用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型クリーンロボット　MCR3000Cシリーズ

従来型MHRに比べコストパフォーマンスに優れています。

【特徴】 ○アームバリエーション:160mm、200mm ○Z軸バリエーション:300mm、350mm、500mm ○可搬重量:アーム第3関節換算4kgf以下 ○クリーン対応:真空ラインには、0.1μmメッシュフィルタ装備 ○装置レイアウトに合わせベース...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

4軸円筒座標型真空対応クリーンロボット　FTVHR4000

液晶製造装置内、検査装置等のマスク・ガラス基板の搬送に最適

【特徴】 ○アームバリエーション:550mm、750mm、800mm、820mm ○Z軸バリエーション:95mm、105mm、335mm ○可搬重量 →第3関節にて30kgf以下(550mm、750mm、820mm) →第3関節にて40kgf以下(800mm) ○リンク式採用...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

4軸水平多関節型クリーンロボット　GCR4000-AMシリーズ

ACサーボモータ仕様及び、動作軌跡最適化による高速搬送化

【特徴】 ○アームバリエーション:210mm ○ロボットのみで2FOUP対応可能 ○Z軸バリエーション:300mm ○可搬重量:アーム第3関節換算4kgf以下 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型クリーンロボット　SCR3000CSシリーズ

半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に適しています。

【特徴】 ○アームバリエーション:100mm、130mm、160mm、200mm ○Z軸バリエーション:200mm、300mm、400mm、500mm ○可搬重量:アーム第3関節換算3kgf以下 ○クリーン対応:真空ラインには0.1μmメッシュフィルター装備 ○装置レイアウトに...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

4軸円筒座標型クリーンロボット　MTCR4000シリーズ

ウエハ搬送に適しており、全軸ACサーボによる高速搬送が可能です。

【特徴】 ○アームバリエーション:160mm ○Z軸バリエーション:300mm ○可搬重量:アーム第3関節換算4kgf以下 ○ツインアーム採用によりウエハ交換時間の短縮 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

4軸水平多関節型クリーンロボット　GCR4000-PMシリーズ

300mm対応の半導体製造装置内、検査装置等のウェーハ搬送に最適

【特徴】 ○アームバリエーション:210mm ○ロボットのみで2FOUP対応可能 ○Z軸バリエーション:300mm ○可搬重量:アーム第3関節換算3kgf以下 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、フランジタイプの選択可能 ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

3軸円筒座標型クリーンロボット　SCR3100S-PMシリーズ

省フットプリント化により、装置レイアウトを小型化できます。

【特徴】 ○アームバリエーション:100mm ○Z軸バリエーション:200mm、300mm ○可搬重量:アーム第3関節換算0.5kgf以下 ○クリーン対応:真空ラインには0.1μmメッシュフィルター装備 ○装置レイアウトに合わせベースタイプ、...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

2軸円筒座標型クリーンロボット　SSCR2090Sシリーズ

全軸ステッピングモータを使用した省エネ設計となっています。

【特徴】 ○SSCR3115S-150-PMとはユニット互換があり、 　リンクアーム仕様、Z軸付仕様にも変更可能 ○可搬重量:アーム第3関節換算0.1kgf以下（ワークのみ） ○動作モニター装備 ○制御方式:RS232C及びパラレルフォトI/O ○全軸2相ステッピングモータ使用 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

真空対応3軸円筒座標型クリーンロボットSVCR3330Sシリーズ

真空チャンバ内で4kgf以下のトレイの搬送にご使用頂けます。

【特徴】 ○アームバリエーション:330mm ○Z軸バリエーション:60mm ○可搬重量:第3関節にて10kgf以下 ○アーム関節部には、磁性流体シール装備 ○真空シール:磁性流体シール及びベローズ使用 ○クリーン対応:アーム内排気用に5μ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル

5軸水平多関節型クリーンロボットGTCR5000-AMシリーズ

シングルアームでありながらツインアームの機能を確保しております。

【特徴】 ○アームバリエーション:210mm、280mm ○ロボットのみで2FOUP対応（210mm）、3FOUP対応（280mm）が 　それぞれ可能 ○Z軸バリエーション:300mm ○可搬重量:アーム第3関節換算4kgf以下 ○ツインチャック採用によりウエハ交換時間の短縮 ○シングルチャック仕様も選択可能 ○装置レイアウトに合わせベースタイ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ジェーイーエル