【資料】二軸混練押出機TEXによるリサイクルプロセス事例集

PR【リサイクル事例集無料進呈！】 広い適用範囲、効率的な連続生産、樹脂の…

『二軸混練押出機TEX』は広範な原料やプロセスに対応した高いカスタマイズ性能、 バッチ式とは異なる連続生産性を持つ機械です。 またヒーター伝熱とスクリュのせん断による高いエネルギー効率、高トルクによる広い運転領域などの特長を持ち、 樹脂のリサイクルにおいて非常に多くの適用事例がございます。 当資料では、『二軸混練押出機TEX』によるリサイクルプロセス事例をまとめてご紹介しております。 ケミカル...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本製鋼所 樹脂機械事業部

サンプル進呈中｜世界トップレベルの保温性能ネオマパイプカバー

PR【サンプル進呈中】世界トップレベルの断熱性で工場の省エネ対策に｜ネオマ…

　　　先着20名様限定！ ネオマパイプカバーサンプルを進呈。 　　　　　　↓ 下記「お問い合わせ」より 　★「サンプル希望」の文言 　★ご使用の用途（可能な範囲でOK） 上記２点を記載の上、ご連絡ください。 高断熱住宅で使用されているトップブランド断熱材「ネオマフォーム」を工場設備の省エネにも生かしてみませんか？ ネオマパイプカバーは工場設備配管の省エネ、メンテナンス性向上などに貢献しています...

メーカー・取り扱い企業： 旭化成建材株式会社 本社

【技術資料】ウェハーへの均一なテープ貼り付けのコツ

「ダイシング工程におけるテープ貼り付けプロセス」についてご紹介

『テープマウントハンドブック』は、半導体製造装置、洗浄装置、後工程組立装置の 開発・販売を行っているテクノビジョンの技術資料です。 当資料は、「ダイシング工程におけるテープ貼り付けプロセス」について 概要をはじめ、問題点への解決策や装置内容などを掲載しています。 【掲載内容（一部）】 ■概要 ■テープの貼り付け ■手作業による貼り付けの場合 ■既にテープマウンターを...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

フレキシブル シンタリングシステム『SIN200+』

次世代パワー半導体モジュールのシンタリング（焼結）接合試作＆量産装置

のR&D試作評価から量産までの用途に対応できます。特に、SiCパワー半導体に最適です。 真空チャンバー内での加熱、シンタリング（加圧）、冷却の全工程で、サブストレート温度、雰囲気圧力および、プロセスガスを、リアルタイムで正確に制御することができ、併せてギ酸ガスによる還元も実行可能です。従来の大気圧下での接合に比べて、圧力、加圧、ガス注入を適時変化させながらのプロセスは、より均一で高い信頼性を...

メーカー・取り扱い企業： ピンク・ジャパン株式会社

卓上型ＵＶ照射装置　MUV

試料にダメージを与えず高度な洗浄を可能にした、卓上型UV照射装置

による処理を併用することにより 　高いクリーニング効果を得られる ○基板（試料）セット後の処理は自動運転が可能です ○卓上型ながら大型基板の処理が出来、表面改質やウエ 　ハ洗浄等の処理プロセスの開発に最適 ○ウエット洗浄とは異なり廃液を出さず、試料に物理 　的ダメージを与える事なく高度な洗浄効果が得られる ○有機汚染物質はガス化して排気される為 　有機汚染物質の再付着が起こ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社メープル

第17回"超"モノづくり部品大賞「機械・ロボット部品賞」を受賞！

17年連続受賞！半導体製造プロセス用に新しく開発したダイヤフラムバルブ…

象に選出している」賞です。 2020年 第17回の"超"モノづくり部品大賞では、「高精度流量バルブ」が 「機械・ロボット部品賞」を受賞いたしました。 「高精度流量バルブ」は半導体製造プロセス用に当社が新しく開発した ダイヤフラムバルブで、設置面積の大幅カットを実現できます。 製品詳細は随時HPで公開いたします。 ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フジキン(Fujikin Incorporated) 新本社

ウエハー自動洗浄装置　枚葉式自動洗浄装置　スプレータイプ

【デモ機貸し出し可能！】各種プロセスに合わせた洗浄方法で提供致します（…

枚葉式自動洗浄装置は、枚葉式でスプレータイプのクロスコンタミネーションに対応した洗浄装置です。 各種プロセスに合わせた洗浄方法で提供致します（フープ対応可）。 詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社

ガラス基板加熱・冷却装置

ガラス基板加熱・冷却装置

■ガラス基板の加熱・冷却における製造プロセスを確立するために最適化された装置です ■ホットプレート部・クールプレート部には、長年にわたり培ってきた、八光電機製作所の均熱技術を用いています ■クリーンルームでの使用を考慮した構...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社八光電機

固体ソースECRプラズマ成膜装置『AFTEX-8000シリーズ』

均一性に優れた多層膜を形成できる！全自動多層膜形成装置

【真空排気系仕様】 ■到達圧力 プロセスモジュール: < 3×10-5Pa トランスファー室: < 3×10-4Pa ロードロック室: < 3×10-4Pa ■真空排気系 プロセスモジュール: ターボ分子ポンプ 1300L/se...

メーカー・取り扱い企業： JSWアフティ株式会社

耐蝕・耐熱ベローズバルブ

耐蝕・耐熱ベローズバルブ

■Hバルブはベローズタイプで、接続部は全てPTFE製であり、耐薬品性、耐久性に優れ、医薬、半導体プロセスに適しています。 ■バイアス圧力を加えると、高圧仕様で使用できます。流体圧力が０．２５Mpa以上の場合は、バイアス圧をかけてください。 ■ディスク部は、ネジ込み・キャップ構造で簡単に交換が...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハルナ

固体ソースECRプラズマ成膜装置『AFTEX-9000シリーズ』

低温プロセス　高屈折率制御　高速反応性成膜　緻密・平坦膜

を最大３基接続可能な 　本格的マルチチャンバ方式の C to C枚葉式全自動システム ■3基のECRプラズマによる同時成膜可能で高い生産性を実現 ■レシピによる搬送フロー､成膜チャンバ､成膜プロセスの設定が可能で､ 　任意の材料の多層膜を全自動で成膜可能 ■基板傾斜回転と低圧成膜により、優れた均一性を実現 ■装置内分光システム（オプション）で膜厚・屈折率分散等の 　測定が可能 ■固...

メーカー・取り扱い企業： JSWアフティ株式会社

チャンバーなどの半導体製造装置部材のコーティングに！シリカコート

金属に高純度シリカガラスをコーティング！酸化が抑えられ耐食性が向上！金…

ガラスの優れた耐食性が得られます。 また、高温での金属の酸化も防ぐことが可能。 金属表面が合成石英並みのSiO2になることにより、メタルコンタミの問題を解決できます。 先進の半導体製造プロセスでは、微量の金属汚染が製品品質や歩留まりに大きく影響するため、チャンバー、チャンバー回りパーツ、フランジ類などへコーティングすることでメンテナンスサイクルが大きく改善します。 【概要】 ■...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コンタミネーション・コントロール・サービス

サーマルALD装置『Phoenix G2』

量産に必要な多くの安全対策仕様！コンパクトな装置サイズで成膜温度50～…

『Phoenix G2』は、中規模量産に適したサーマル式のALD装置です。 優れたプロセスフレキシビリティーで実証されたリアクターデザインで、 多用途に対し容易に使用可能。 また、セミオートローダー又は真空ロードロックに対応しており、 適切なチャンバーサイズ(＜370mm×4...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ

Revolution セミオートウェットプロセッサー

省スペースなマルチステップ ウェットプロセッサー

RENAのマルチステップウェットプロセッサー、Revolutionは回転式ロボット設計と精密工学を採用し、 プロセスコントロールの操作性をアップさせました。 省スペースでありながら、強力かつ柔軟性の高い設計となっております。 Advancerシリーズは、モジュール式で設置が容易なロボット搬送の半自動ウェットプロ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社インターテック販売 東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）

水量コントローラー「FCV」

流量センサとバルブの機能を一体化させ、冷却水等の水量をマイコンにより自…

流量/設定値/制御状態を確認できる。 ■ 流量に対する警報設定が可能。 ■ 全閉入力により、バルブを全閉することが可能。 ■ ユーザー機器との接続に便利な各種レベルの入出力信号の供給が可能。プロセス制御に応用できる。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リガルジョイント

真空ガス四重極分析計

遠隔インターネット管理を実現、真空ガス分析管理装置

リアルケーブルやLAN（イーサネット）で行っていた距離制限のあるRGA管理制御が、ネット環境のある所であれば、世界中からアクセスでき、距離を越えて制御が行えます。 使い易さの向上のみならず、プロセスモニタリングやe-Diagnostics（診断）に新しい可能性を切り開きます。 【仕様】 ◇マスレンジ：　1-100 / 1-200amu ◇分解能　　：　≦10％valley（マスレン...

メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社

熱はく離シート 「リバアルファ」

加熱することで用意にはく離が可能になる粘着シート。しっかり固定しても熱…

電子部品の各種製造工程で自動化・省人化に大きく貢献しています。 ■熱はく離とは 各種部品やデバイスの加工時には強固に接着し、加熱処理後は接着力がなくなり自然にはく離できることが望まれるプロセスをターゲットとして開発されました。常温では通常の粘着シートと同じように接着。はがしたい時は、加熱するだけで粘着剤層が発泡して接着面積の低下により粘着力が低下し、自然はく離が可能となります。 ...

メーカー・取り扱い企業： 日東エルマテリアル株式会社

RFプラズマ源　ERFS-500

RFプラズマ源　ERFS-500

無電極放電により 金属コンタミの少ないプロセスが可能なRFプラズマ源 【特徴】 ○光学窓付きにより放電が目視確認できる ○石英製窓により高精度のプラズマ分光等が可能 ○自動マッチング機構により 　操作が簡単かつ長時間安定な動作...

メーカー・取り扱い企業： アリオス株式会社

セル生産対応・超音波対応フリップチップボンダー

セル生産対応。多品種生産用途からプロセス・材料開発まで対応可能！

上型フリップチップボンダーです。 ●高精度で低価格化を実現！ 　弊社の基板自動搬送システムにより量産用フルオートシステムへアップグレード可能。 ●セル生産に対応した多品種生産用途からプロセス・材料開発用途まで幅広く対応可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェル

後工程の半導体製造装置に「本当に適した部品」を使用できてますか？

「チップの引っ掛けキズやひび割れ」「作業時にチップの持ち帰り問題」など…

) ■当社コレットを導入するマシン(メーカーと型番など) ■エラー検出の方式(真空判定、光学式判定など) ■使用環境について、温度など(耐熱性を考慮する必要性など) ■当社製品の用途、使用プロセスについて(ダイアタッチ、トレーやパッケージへの移送など) ■現在の使用中のコレット(材質、メーカー、サイズ、型番など) ■今回当社商品を検討するに至った経緯 ※詳しくはPDF資料をご覧い...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社オルテコーポレーション 本社

EFEM（Equipment Front End Module）

EFEM（Equipment Front End Module）

t Front End Module）です。 ウエハサイズは、200/300mm（8/12インチ）に対応しています。 スループット：　150wph OCR / 450wph transfer（プロセス除く）...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社リバティー

原子層堆積（ALD）デモ成膜/導入サポート

原子層堆積（ALD）プロセス装置の老舗、PICOSUNによるコンサルテ…

・アプリケーションに応じた豊富なプロセス事例 ・カスタマイズ工程の開発検討 ・デモサービスのご提案 ・その他コンサルティングサービス...

メーカー・取り扱い企業： PICOSUN JAPAN株式会社

加圧脱泡装置（オートクレーブ）

液晶ディスプレイの第7世代以降の大型パネル対応

加圧・加熱により粘着シート等の粘着剤に混入した気泡を除去し、粘着強度を短時間に増大させる装置です。 当社独自の技術により均一な温度分布が得られ、プロセス時間も短縮されます。 液晶ディスプレイの第7世代以降の大型パネル対応のインライン枚葉式のオートクレーブ装置もご用意しております。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社協真エンジニアリング 本社

高精度絶対圧真空計

高精度絶対圧真空計

MKSの製品は、半導体・液晶パネルを始めとする、先進技術を用いて製造される様々な製品の製造プロセスで活躍しています。 特に現在のハイテク電子製品に使われている半導体デバイスの製造に必要とされるプロセスを「Control/Analyze/Energize/Isolate（制御/分析/電源供...

メーカー・取り扱い企業： 日本エム・ケー・エス株式会社

超音波フリップチップボンダー

超音波フリップチップボンダー

超音波（横振動）接合方式による金バンプ接合用途の小型卓上型フリップチップボンダー。 セル生産に対応した多品種生産用途からプロセス・材料開発用途まで幅広く対応可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウェル

ヒューズテクノネット　透明導電膜加湿ユニット

H2Ｏを加温気化し、マスフローコントローラーで流量制御し、エッチング装…

加湿タンク内でＮ2ガスをバブリング、マスフローコントローラーで安定制御、温調器でプロセスラインベーキング制御、各炉へ安定供給します。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ヒューズテクノネット

パイロリティックボロンナイトライド（PBN）

高純度、高熱伝導、軽量で靭性があり、高い耐熱衝撃性を発揮する高温セラミ…

■高熱伝導性（ヒータとして熱均一性を向上） ■高温下で引張強度が増加（>1000℃でも安定して使用可能） ■耐熱衝撃性（過激なヒートサイクル環境下でも使用可能） ■わずかなアウトガス（高真空プロセスで実績） ■異方性がもたらす電気的、機械的、熱的な利点 ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。...

メーカー・取り扱い企業： モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社

Ion Beam Delayering装置/半導体物理解析

半導体故障解析 歩留まり解析 リバースエンジニアリング マイクロ…

理アプリケーションにはビームベースの技術が出現しています。Ion Beam Delayering（イオンビームディレイヤイング）では、大面積の試料作製が可能であり、正確かつ制御された物理解析の処理プロセスを実現することができます。...

メーカー・取り扱い企業： 伯東株式会社 本社

半導体モールド金型用セルテスXコーティング

先進の真空プラズマ技術による低温PVDコーティングです。

半導体モールド金型用セルテスXコーティングは、先進の真空プラズマ技術による低温PVDコーティングです。PBS（プラズマブースタースパッタリング）プロセスにより成膜された２～５μｍの窒化クロム被膜（CrxNy）はビッカース硬さ1800以上で、シリカ粒子によるアブレシブ摩耗に対してすぐれた耐摩耗性を示します。また鋼母材では、放電加工面上の被膜の脱膜再...

メーカー・取り扱い企業： ナノコート・ティーエス株式会社 石川事業所

イワキフォトレジストディスペンスポンプ　PDSシリーズ

再現性±0.3%（F.S.）以下、大幅な省レジストを実現

■□■特長■□■ ■大幅な省レジスト ■多様なコートプロセスに対応 ■ダウンタイムの短縮 ■コンタミフリー ■高粘度用途に対応（PDS-H115) 詳しくはPDFデータをダウンロードいただくか、お気軽にお問合せください。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社イワキ

高温対応バルブ　SCVサブマージブルバルブ『TD-Sシリーズ』

高温環境(最高200℃)で多種多用なガスに使用可能な集積化ガスシステム…

ガスシステム対応のダイヤフラムバルブです。 バルブ全体を最高200℃までの高温環境で使用できることにより 効率の良いヒーティングが可能。 流量の再現性が求められる原子層堆積（ALD）プロセスのプリカーサ （前駆体）供給に適しています。 【特長】 ■高温環境に対応 ■安定したCv値 ■PFAシートの採用 ■多種多用なガスに使用可能 ■高耐久 ※詳しくはPDF資料...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社キッツエスシーティー

エポキシ樹脂でできたディスペンスノズルとは

エポキシ塗布に悩まない！最適なデザインを設計。装置に付随している純正品…

- テーリング、ブリッジング、ボイド等不安定なエポキシ塗布量などの問題解決に最適なデザインを設計。 - シングル/マルチノズルで提案可能で、使用するプロセス、アプリケーション、または塗布パターンに応じて選択可能。 ...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社オルテコーポレーション 本社

良好な電流密度を約束するワイヤーボンディング用スパーク電極

半導体業界で使用される各社のワイヤーボンダー用のEFOトーチを幅広く設…

■EFOトーチとは？ EFOトーチ（電極トーチ）はワイヤーボンディングプロセスで使用されます...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社オルテコーポレーション 本社

高精度フルオート フリップチップボンダー：femto2

FINEPLACER femto2 は最先端用途向けに設計された高精度…

ダーです。 装置エンクロージャにより、完全に制御された環境下で、要求の厳しいアプリケーションに対応致します。 システムは完全に外部の影響を遮断し、最高クラスの歩留まりで、安定したアセンブリプロセスを実現します。 ※詳しくはPDFをダウンロード、もしくはお問合せください。...

メーカー・取り扱い企業： ファインテック日本株式会社

【資料】『半導体製造装置における 現状の課題と対策』※実例掲載

半導体製造装置開発におけるそのお困りごと、コネクタで解決できるかもしれ…

ペース減少による耐熱性能の確保 市場において、このような背景があります。 ■半導体の微細化・多種開発、立上げ時間の短縮 ■スループットの向上、装置の小型化、カスタム対応 ■歩留り改善、プロセスユニットの増加、大口径化 こういった背景で、 装置のヒーターは拡大しつつも装置自体は小型化させる傾向にあります。 装置内のスペースが限られることによりコネクタやケーブルは以前よりヒーター...

メーカー・取り扱い企業： レモジャパン株式会社

枚葉式プラズマリフロー装置（フラックスレスリフロー）テスト受付中

フラックスレスウェハバンプリフロー装置。微細バンプのリフローをウェット…

ンフロー型表面波プラズマの強還元性Ｈ２ラジカル雰囲気でフラックスレスリフロー　フラックス塗布、洗浄工程　塗布装置、洗浄装置を削減。完全ドライＣｔｏＣシステム。ファインピッチバンプの短タクトリフロープロセスを実現。 ...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

スピンタイプ洗浄装置WULFシリーズ「高精細フォトマスク対応」

機能水を使用したスピン洗浄ユニットを装備！RCA洗浄液に変わる洗浄液・…

ることにより、ワーク上の不純堆積物を高速除去するとともに廃液管理も安全な環境対応ツールです。 RCA洗浄液に変わる洗浄液・洗浄方法の採用 SPM → オゾン水 ・完全室温洗浄の実現(高温プロセス不要) ・マスク上の薬液残留量減少 ・廃液処理の安全化(ISO14000対策) SC-1 → アンモニア添加水素水 ・MoSiハーフトーンマスクのエッチング防止 ※詳しくはお問い...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社渡辺商行

株式会社SCREEN SPEサービス【会社案内】

製造ラインの「性能アップ」と「安定稼働」を支えるお客さまの技術パートナ…

プロセス装置の最適化改造から、工場内の各種周辺機器のご提供まで、お客様の製造ラインの安定稼働と生産性アップに貢献します。 近年、電子デバイスの高性能化と多様化に伴い、製造環境の最適化は、ますます重要となってなっています。 SCREEN SPE サービスでは、SCREENグループで共有する技術情報のもと、信頼性の高いソリューションのご提案を進めています。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社 SCREEN SPEサービス

半導体チップのキズと不良チップを解消する革新的な性能評価手法

未来を切り拓く、革新的な半導体製造技術！キズと不良をゼロにする究極の性…

型化されたプローブを使用してトランジスタを直接測定することができます。この革新的な手法は、主に故障解析に活用されています。トランジスタの微細な部分に生じる不具合やキズを高精度に検出することで、製造プロセスの改善に繋げることができるでしょう。 電子線技術による静電容量測定 電子線技術を用いることで、試料の表面電荷を求めることが可能です。この手法を用いて等価回路の抵抗値や容量値を推定することで...

メーカー・取り扱い企業： 有限会社オルテコーポレーション 本社

フォトマスク洗浄装置（セミオート）

シリーズ累計200台以上のロングセラ機種です。

「Final洗浄」に最適。 ■デバイスメーカ様では、「コンタクト露光時に付着したレジスト除去」に実績豊富 ■基板サイズごとにシリーズ化した標準装置ですが、カスタム対応も可能です。 ■基本処理プロセスは、「洗剤/スクラブ⇒DIW2流体⇒表裏リンス⇒スピン乾燥」 　◎スクラブや2流体処理時には、スキャン旋回機能が標準搭載 　◎DIW2流体ツールで、優れたパーティクル除去 　◎スクラブブラシ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング

スピン枚葉処理装置（エッチング・RCA・洗浄・現像等）

高品質基板を安価に得られるスピン枚葉装置

各種要素技術の全ては、 　　《新型》のスピンプロセッサーに発展応用させて搭載済みです。 ■SPM、APM、HPM、DHFといったRCA処理に最適。 ■塩化第2鉄、HF/HNO3等のエッチングプロセスにも対応 ■リフトオフ・レジスト剥離にも対応。 ■従来型平置きSpin枚葉として、安価システム構築可能 ■薬液の掛捨て処理に最適 ■クロスコンタミフリー 　◎SPM処理時は基板直上で新液...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ソフエンジニアリング

マスク洗浄機｜全自動マスク洗浄装置「TWC-200A」

マスクに付着した1μm以上のパーティクルとレジスト残渣を一挙に完全除去

で専用洗浄剤を開発し、除去効果を大幅に向上させるとともに安全性や地球環境にも配慮しました。 オペレーターはマスクを装填したカセットを乗せるだけ。 危険な薬品に曝される事も無く安全性を高め、露光プロセスの品質向上と歩留まり向上に大きく貢献いたします。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノビジョン 本社

K&Sのフリップチップボンダ 『KATALYST』

3um位置精度で最大UPH15,000を実現！高速フリップチップボンダ

ルチダイディップフラックス ■ 15,000UPH ■ 50μm薄ダイピックアップ性能 ■ ＜3μmの精度 ■ シングルノズルセットアップとティーチング ■ マシンヘルスチェック診断 ■ 材料とプロセスのトラッキング ■ 精度自動安定機能 ■ エレクトロニック振動キャンセル機能 ■ フラックスディップ品質検査 ■ ダイエジェクター、ピックツール、およびプレースツールの 　 オートチェンジャー ■...

メーカー・取り扱い企業： キューリック・アンド・ソファ・ジャパン株式会社

Micro Point Pro（マイクロポイントプロ）株式会社

ウェッジボンディングツールをはじめ、世界で9000台以上の実績を持つ卓…

イクロ電子デバイスアセンブリ業界向けの商材を幅広く取り扱っています。 イスラエルに拠点を構え、150名の従業員とグループ企業600名の従業員がサポート。 MPPでは原材料から完成品まで全ての製造プロセスがあり、多くのグローバル企業との実績も多数ございます。 【取扱製品】 ■ウェッジボンディングツール（細線・太線 ウエッジツール） ■ダイコレット ■マニュアルワイヤボンダ ■ピック＆プレース、フ...

メーカー・取り扱い企業： Micro Point Pro ltd株式会社 本社

ボンディングツール・ウェッジツール

テクノアルファはワイヤボンダのシェアで世界トップクラスを誇るK＆Sのワ…

ァクトスタンダードとなったV溝ツールを考案するなど、その開発に多くのリソースを継続的に投入しています。 ワイヤーボンダ装置・ワイヤ・ボンディングツールのバランスと調和が取れることでワイヤボンドプロセスの安定性が成立します。...

メーカー・取り扱い企業： テクノアルファ株式会社

真空排気装置（真空ポンプユニット）

実績と信頼の排気系ユニット。単一のポンプでは困難な用途に対応。目的に合…

プの組合せユニット。 長年に渡り多数の納入台数を誇る水封式真空ポンプ/油回転式真空ポンプ/ドライポンプとメカニカルブースタの組合せにより新たな性能と価値を実現。 乾燥・蒸留・脱気などのケミカルプロセス、脱ガスなどの冶金用途、硬質膜コーティング装置やＣＶＤ装置、樹脂成型などの一般工業用途など、幅広い用途の真空排気の問題を解決！...

メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店

ポーラスシリコン形成装置（陽極酸化装置）

従来の陽極酸化装置をさらに応用したポーラスシリコン形成装置。使用薬液・…

ました。 ■N型、P型両方に対応出来ます。 ■2～6インチまで各種サイズ対応いたします。8インチ以上はご相談ください。 ナノシリコン技術としてバイオメディカル・二次電池・太陽電池・半導体プロセス分野の新用途開発にも可能性が広がります。 ※孔の直径やポーラスシリコン層の厚さはご相談下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダルトン

セラミックス製ウエハー搬送ハンド PeriZac（ペリザック）

パーティクル発生リスクを極限に抑えた、大気用セラミックス製搬送ハンドの…

半導体製造装置におけるエンドエフェクター（搬送ロボットの手の部分）には、より軽く、強く、たわみの少ない材料を要望頂くことが多くあります。一度に多くのウエハを処理したいプロセスには、クリアランスの小さいスリットにウエハを積載する必要があり、より薄いセラミックス製のエンドエフェクターが使用されます。吸着機構を備えた搬送ハンド（エンドエフェクターのこと）には内部に流路を設け...

メーカー・取り扱い企業： アスザック株式会社 ファインセラミックス事業部

ハンディタイプＵＶ（紫外線）硬化装置

高出力のUV硬化装置をお手元で、簡単に。 樹脂にあわせた３種類の…

できます。また溶剤を必要としませんので、大気汚染・水質汚染の心配もありません。 このＵＶ（紫外線）硬化技術は、印刷分野から半導体や電子部品・精密部品・光学部品などのハイテク分野にも欠かせないプロセスとして拡がっています。 UV（紫外線）硬化装置のハンディタイプ。少量生産、実験機に最適、場所を問わずご利用できます。 硬化目的に合わせてタイプは三種類。ランプの差し替えが可能です。 ・メ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社あすみ技研

アローズエンジニアリング株式会社　会社案内

お客様のニーズに的確に捉え、最適なサービスを提供し、躍進して参ります。

リーンルーム →自社クリーンルームなのでスピーディな対応を実現 ○装置サポート →新規装置の立ち上げ →中古装置の立ち上げ →移設装置の立ち上げ ○製品・販売 →半導体装置向け部品（プロセスパーツ）の販売・再生 →溶接ベローズの販売 →各種ヒーターの販売 【主な製品】 ○検査装置・原子間力顕微鏡 →照明などの光学系や機械系の検討 →機械系とのインターフェイス、技術系コ...

メーカー・取り扱い企業： アローズエンジニアリング株式会社

チェックバルブ（逆止弁）　『H-400シリーズ』

ステンレス316製、コンパクト設計、高圧対応チェックバルブH-400＆…

キン材質をご用意し様々な流体に対応しております。 お客様の用途に合わせ、高圧タイプ、ワンピースタイプ、クラッキング圧力調整タイプもご用意しております。 シンプルな機構、簡単な取り付けで異常時にプロセスラインの機器類をまもります。 ＜特長＞ ・標準タイプ（H-400）、高圧タイプ（H-400HP）、コンパクト1ピースタイプ（H-400OP）、コンパクト1ピース圧力調整タイプ（H-400O...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハムレット・モトヤマ・ジャパン

高温用磁気浮上型ベアリングレスポンプ BPS-4H

Better Pumps for Better Yields !

【主な特長】 ○寿命がある軸受や、摩耗するシールを使わない ○微粒子の発生がほとんどない →接液部に機械的接触がない部品で構成されている為 →半導体洗浄プロセスでの微粒子発生他ポンプに比べ10～50倍微粒子の発生が減少する ○保守コストを削減 →軸受･バルブ･軸シール等がなく、高額なオーバーホールも不要な為 ○装置の稼働率が高められる ○磁...

メーカー・取り扱い企業： Levitronix Japan株式会社

純水供給圧の不足や変動の問題を解消！純水昇圧ユニット

工場の設備増設に伴う純水圧不足や、その変動を、純水昇圧ユニットが解決！…

純水昇圧ユニットの導入により、 純水供給圧の不足や変動の問題を解消！安定したプロセス処理を行うことができます。 純水の安定供給は、デバイス生産において、品質と歩留まりに影響する重要な要素です。 この昇圧機能は、帯電防止ユニットや純水加温ユニットへも組み込み可能。設置ス...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社 SCREEN SPEサービス

積層薄膜作製装置

多層塗りによる厚膜の作製！スピンコータに液だれ防止が工夫されている装置

『積層薄膜作製装置』は、化学溶液法による積層薄膜作製プロセスである、 スピンコーティング、乾燥、焼成、冷却の各工程の繰り返しをロボットを 用いて行い、多層塗りによる厚膜の作製を自動で行う装置です。 コンピュータコントロールによるプログラム設定によ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社和泉テック

Parker 計装用ニードルバルブ

パーカー製 V シリーズ・ニードル・バルブ

パーカー製 V シリーズ・ニードル・バルブは、プロセス制御、発電および計装用途等で使用される液体や気体を完全なリーク・タイ トで遮断し、調整するよう設計されています。多様なポート・サイズおよびスタイルを備え、－ 54 °C ～ 232 °C（－ 6...

メーカー・取り扱い企業： アマノ機工株式会社 パーカーストア豊田店 パーカーストア事業部

MOCVD装置　VEECO K465i G2用排気フィルター

MOCVD装置　VEECO　K465i G2

メリカＲＡＮＤ社の高級耐高温不織布と中国産ＳＵＳ３０４を構成した製品、不織布材料はアメリカから直接輸入、耐高温、耐高圧、高精度、ろ過効果がいいなどの特徴があり、K465i G２ シリーズは2回ろ過プロセスを採用、ろ過チャンバーの長さを十分利用できる。 アメリカから輸入したガラス繊維ろ紙を使用、隙間分部が均一、ろ紙厚く、透過性よく、差圧低く、MOCVD装置の保護機能もある。 優れる強度があり...

メーカー・取り扱い企業： 愛鋭精密科技（大連）有限公司（AIRY TECHNOLOGY CO., LTD.) 中国大連本社

ウェーハID　OCRカメラ　WID120

簡単な接続・取付の小型ウエハーIDリーダー。RGB特別照明対応、簡単読…

HTT社製（ドイツ）WID120ウェーハ IDカメラは半導体工場の環境下のいかなるプロセスでも最高のスループットでIDナンバーを読み取ることが可能です。最強のRGB照明システムにより汚れた文字や読みにくい文字も対応できます。ウェーハソーター、ウェーハプローバー、光学検査装置、クラスタ装...

メーカー・取り扱い企業： ディスク・テック株式会社 本社

真空環境用ウエハ搬送ロボット『UTVW-R2800H』

【～300mmウエハ用】旋回軸にダイレクトドライブモータを採用！ 高…

るダブルアームタイプの真空用ウエハ搬送ロボット ■θ軸にダイレクトドライブモータを採用し、ウエハを低振動で搬送することで スループット向上に貢献 ■CVD装置、アニール装置など、高温プロセス装置に対応 ■可搬重量2kgのため、重量物搬送にも対応 ■ウエハセンター位置ずれ補正機能付き ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ダイヘン

高精度リニヤステージ　エアースライドステージ

300mmサイズのワークのプロセスに最適！

リニアモータ駆動とエアーガイドの採用により 高い速度安定性と超高精度位置決めを可能にした、エアースライドステージ 【特徴】 ○ワーク搭載テーブルがエアベアリングを介して 　石定盤で支えられており、高い移動平行度と剛性を確保 ○可動部・駆動部共に非接触 　防塵効果や静粛化に貢献し、クリーンルーム内での使用も可能 ○可動部に全面浮上方式を採用 　高剛性仕様が可能で、超高精度仕...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ウイング

チャッククリーニングウェハ(CCW)

生産用シリコンウェハと同様、自動搬送で流すだけで効果を発揮します。

技術は、チャック上のゴミ/パーティクルを除去。簡単な使用方法で ダミーウェハのロスの低減、装置ダウンタイムの削減を実現します。 フォトリソグラフィーのほか、エッチングやスパッタリングの プロセスにおいて効果が期待できます。 【特長】 ■チャックの表面形状に合わせた3D加工も可能 ■専用のメンテナンスシートでクリーニングウェハの再生も可能 ■チャック上のゴミ/パーティクルを除去...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社協同インターナショナル

機械加工サプライヤー多品種少量の精密機械加工

多品種少量の精密機械加工、治工具の設計、製作がメイン

管理された加工プロセスを基に、加工治具や精密な測定器を使い、不具合の発生を抑えることにより、納期短縮、低価格、高品質の製品を実現させています。 ●サプライヤー開拓に自信 アジアに多種多様な優良工場ネットワークを...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイパーウェブ

角型ゲートバルブ

「シングルゲートバルブ」と「デュアルゲートバルブ」をラインアップ！

当製品は、半導体製造装置のプロセスチャンバー用の真空ゲートバルブです。 カム駆動式による逆圧対応の「シングルゲートバルブ」と完全水平移動の為、 Oリングの擦れが無い「デュアルゲートバルブ」をラインアップ。 お客様ご要...

メーカー・取り扱い企業： ナカンテクノ株式会社