MEMS | イプロスものづくり

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業：ティー・ケイ・エス株式会社

簡単導入！電子実験記録ノート『BIOVIA Notebook』

PR【使用開始にあたり特別な準備やトレーニングが不要！】シンプルな画面構成…

電子実験ノート『 BIOVIA Notebook 』は簡単に導入・運用できるELN/電子実験ノートで、研究開発部門のDX化推進に好適なツールです。実験業務において、研究開発のスピードUP、コスト削減、組織間情報共有を実現することで研究開発でのイノベーションを促進します。過去には数億円規模でのコストダウンや4,000ユーザの運用でも専任不要の実績がございます。また BIOVIA Note...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社

高速・可変パラボリックディフォーマブルMEMSミラー

任意に集光位置を設定できる可変パラボリックミラー

REVIBRO OPTICS社製MFCシリーズディフォーマブルMEMSミラーは、∞ <ｆ < 67mmの範囲で任意に集光位置を設定できる、可変パラボリックミラーです。反射部はφ2mmとφ4mmの二種類が選択でき、動作速度は200μsと高速です。従来のディフォーマブル...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ティー・イー・エム

波長可変光フィルタ・光アッテネータ・光スイッチモジュール

各メーカーの波長可変光フィルタ・光アッテネータなどを多数掲載！

は、『波長可変光フィルタ・光アッテネータ・光スイッチモジュール』を取り扱っています。資料では、Lightwaves2020社の波長可変フィルターをはじめ、 Agiltron社のMEMS Free Space VOAや、Opneti Communications社の MEMS1×N光スイッチなどをご紹介しています。【掲載製品（抜粋）】 ■メーカー：Lightwaves...

メーカー・取り扱い企業：サンインスツルメント株式会社本社

MEMS・半導体パッケージ用塗布装置

最先端のMEMS・半導体パッケージプロセスをはじめ、各種実装プロセスに…

ウエハレベルCSP用／ TAB用／COF用など、広範な生産技術に対応。・面内均一性に優れ、50nm ～ 100μmレベルの薄膜・厚膜形成が可能・塗布事例：薄膜・厚膜・凹凸・貫通穴への精密コーティング・装置の販売及び実験、受託テストも行えますのでお客様の用途、環境に合わせてご提案致します。【スピンレス塗布装置】ウエハ・ディスクなどの円形基材に塗工液を無駄にせず非接触で一括塗工...

メーカー・取り扱い企業：ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

MEMS開発プロセス装置

MEMS開発ツール・精密アライメントのナノテック

『MEMS開発プロセス装置』では、コンパクトな微細露光のスタンダード機「片面マスクアライナー」や、両面プロセスのローコストアシストモデル「正面マスクアライナー」、両面・多面プロセスのスタンダード量産機「両面...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ナノテック

MEMS慣性航法システム「Apogee」

高性能で汎用性の高いMEMS慣性航法システム「Apogeeシリーズ」

非常に低ノイズのジャイロスコープ、少ない遅延、高い耐振動性を備えており、正確な方向と位置のデータを提供するシリーズ製品です。内部拡張カルマンフィルターがリアルタイムの慣性データとGNSSデータに融合し、過酷な環境（橋、トンネル、森林など）でも位置と方向の測定を強化できます。Ekinoxシリーズと同様、Apogeeセンサには、操作後の分析または後処理用に8 GBのデータロガーが内蔵されています。.....

メーカー・取り扱い企業：株式会社クレアクト

RF_MEMSプローブ『TPD26-Verticalシリーズ』

プローブ修理及び先端チップの交換可能！プローブ構成はGSSG・GSGS…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TPD26-Verticalシリーズ』についてご紹介いたします。周波数帯域はDC～26.5GHz、挿入損失（GSGSG-150um pitch typ.）は-0.5dB。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノプローブ

RF_MEMSプローブ『TPD67-Verticalシリーズ』

耐電圧が100V、クロストーク（GSGSG-150um pitch t…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TPD67-Verticalシリーズ』についてご紹介いたします。周波数帯域はDC～67GHz、挿入損失（GSGSG-150um pitch typ.）が-1.2dB。また...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノプローブ

MEMS シングルモード光スイッチ

◆標準品最大64ch,その他のチャンネル数についてもカスタム対応◆16…

■MEMS OSW (multi mode)：仕様波長 (nm)：830～870, 960～1000, 1290～1330, 1525～1568 チャンネル数：2/4/8/16/24 挿入損失 (d...

メーカー・取り扱い企業：株式会社オプトロンサイエンス

RF_MEMSプローブ『TPD67-Angleシリーズ』

コネクタは1.85mm/F（V/F）！低損失、低反射のエアコプレーナプ…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TPD67-Angleシリーズ』についてご紹介いたします。クロストーク（GSGSG-150um pitch typ.）は-35.0dBとなっており、特性インピーダンスは5...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノプローブ

RF_MEMSプローブ『TPD110-Angleシリーズ』

プローブ構成はGSGSG！低損失、低反射のエアコプレーナプローブ設計で…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TPD110-Angleシリーズ』についてご紹介いたします。コネクタは1.0mm/Fとなっており、対応可能ピッチが50～150um。クロストーク（GSGSG-150um ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノプローブ

RF_MEMSプローブ『TPD50-Angleシリーズ』

対応可能ピッチは50～1000um！低損失、低反射のエアコプレーナプロ…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TPD50-Angleシリーズ』についてご紹介いたします。特性インピーダンスは50ohm、周波数帯域がDC～50GHzとなっており、クロストーク（GSGSG-150um ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノプローブ

気圧検知式小型高度変化計『AMBD-04』

MEMS技術を用いて生産することで、センサの小型・軽量化と優れた量産性…

気圧検知式小型高度変化計『AMBD-04』は、ピエゾ抵抗カンチレバー型差圧センサによって微小な気圧変化を検出し、リアルタイムに高度変化を測定できるセンサです。既存の高度計と組み合わせた高さ情報の精度向上や、扉の開閉検知などにぜひご活用ください。【仕様】 ■単4乾電池2本サイズ（L40mm×W18mm×H8mm） ■100円玉1枚程度の重さ（約5g） ■市販のBlu...

メーカー・取り扱い企業： MEMS-on Technologies株式会社本社

RF_MEMSプローブ『TPD40-Angleシリーズ』

プローブピッチ50～1,000umで選択可能！周波数帯域がDC～40G…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TPD40-Angleシリーズ』についてご紹介いたします。特性インピーダンスは50ohm、接触抵抗（対金パッド）が0.05ohmとなっており、低損失、低反射のエアコプレー...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノプローブ

RF_MEMSプローブ『TP40-Verticalシリーズ』

プローブピッチ50～1,000umで選択可能！挿入損失（GSG-150…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TP40-Verticalシリーズ』についてご紹介いたします。コネクタは2.92mm/F（K/F）、プローブ構成はGS・SG・GSGとなっており、コンタクト寿命（オートプ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノプローブ

RF_MEMSプローブ『WR8-Tallシリーズ』

プローブピッチ50～1,000umで選択可能！プローブ痕サイズ（幅）3…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『WR8-Tallシリーズ』についてご紹介いたします。反射損失（GSG-150um pitch typ.）は-10.0dB、耐電力は5Wで、針圧（推奨オーバードライブ＝20...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノプローブ

RF_MEMSプローブ『TPD50-Verticalシリーズ』

クロストーク（GSGSG-150um pitch typ.）は-35.…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TPD50-Verticalシリーズ』についてご紹介いたします。コネクタは2.4mm/F、対応可能ピッチが50～1000umとなっており、低損失、低反射のエアコプレーナプ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノプローブ

RF_MEMSプローブ『TP50-Angleシリーズ』

コネクタは2.4mm/F！低損失、低反射のエアコプレーナプローブ設計と…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TP50-Angleシリーズ』についてご紹介いたします。周波数帯域はDC～50GHz、挿入損失（GSG-150um pitch typ.）は-0.6dBで、特性インピーダ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノプローブ

『MEMSセンシング＆ネットワークデバイス向け装置ラインアップ』

MEMS展で大好評だった装置を紹介。分極処理やエッチング、焼成などのプ…

当社では、ウェハの洗浄からエッチング、剥離、検査まで MEMS生産における各プロセスで活躍する装置を取り揃えています。今回、「MEMSセンシング＆ネットワークシステム展 2020」にてお立ち寄りいただいた方からの反響の大きかった製品をピックアップ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社日立ハイテク

RF_MEMSプローブ『TP67-Angleシリーズ』

挿入損失（GSG-150um pitch typ.）は-0.8dB！プ…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TP67-Angleシリーズ』についてご紹介いたします。コネクタは1.85mm/F（V/F）、対応可能ピッチが50～1000umとなっており、針位置精度は10um以内です...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノプローブ

RF_MEMSプローブ『TP26-Verticalシリーズ』

針材質はニッケル合金！低損失、低反射のエアコプレーナプローブ設計です！

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TP26-Verticalシリーズ』についてご紹介いたします。コネクタは3.5mm/F、対応可能ピッチは50～1000umとなっており、プローブ構成はGS・SG・GSGで...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノプローブ

RF_MEMSプローブ『TPD40-Verticalシリーズ』

挿入損失（GSGSG-150um pitch typ.）は-0.8dB…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TPD40-Verticalシリーズ』についてご紹介いたします。周波数帯域がDC～40GHzとなっており、特性インピーダンスは50ohm。コネクタは2.92mm/F（K/...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノプローブ

RF_MEMSプローブ『TP50-Verticalシリーズ』

周波数帯域はDC～50GHz！プローブピッチ50～1,000umで選択…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TP50-Verticalシリーズ』についてご紹介いたします。特性インピーダンスは50ohm、挿入損失（GSG-150um pitch typ.）は-0.6dB。また、コ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノプローブ

RF_MEMSプローブ『TP40-Angleシリーズ』

耐電圧は100V、周波数帯域はDC～40GHz！プローブ修理及び先端チ…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TP40-Angleシリーズ』についてご紹介いたします。針先平行度は5um以下、プローブ痕サイズ（幅）は30um以下となっており、特性インピーダンスは50ohm。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノプローブ

RF_MEMSプローブ『TP67-Verticalシリーズ』

プローブ修理及び先端チップの交換可能！反射損失（GSG-150um p…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TP67-Verticalシリーズ』についてご紹介いたします。周波数帯域はDC～67GHzとなっており、特性インピーダンスが50ohm。コネクタは1.85mm/F（V/F...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノプローブ

RF_MEMSプローブ『WR12-Tallシリーズ』

プローブ修理及び先端チップの交換可能！耐電圧100V、耐電流は1Aです

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『WR12-Tallシリーズ』についてご紹介いたします。針材質はニッケル合金、筐体材質はアルミニウム合金となっており、プローブ痕サイズ（幅）は30um以下です。ご用...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノプローブ

MEMSプロセスにおける高集積化・低温接合技術

～陽極接合・薄膜金属接合・気密パッケージ・真空封止～

★MEMSの実用化・競争力向上のためにいかにしてコストと信頼性の両立をはかるか!? ★キーテクノロジーとなるウェハレベルパッケージのノウハウを徹底詳解!! 【講演主旨】　MEMSの実用化と競争力...

メーカー・取り扱い企業：株式会社AndTech

RF_MEMSプローブ『TPD26-Angleシリーズ』

特性インピーダンスは50ohm、挿入損失（GSGSG-150um pi…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TPD26-Angleシリーズ』についてご紹介いたします。周波数帯域はDC～26.5GHzとなっており、コネクタは3.5mm/F。また、プローブピッチは50～1,000u...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノプローブ

RF_MEMSプローブ『TP26-Angleシリーズ』

コネクタは3.5mm/F！プローブピッチは50～1,000umで選択可…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TP26-Angleシリーズ』についてご紹介いたします。特性インピーダンスは50ohm、周波数帯域はDC～26.5GHzとなっており、挿入損失（GSG-150um pit...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノプローブ

RF_MEMSプローブ『TP110-Angleシリーズ』

コネクタは1.0mm/F、対応可能ピッチが50～250um！プローブ修…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TP110-Angleシリーズ』についてご紹介いたします。特性インピーダンスは50ohm、周波数帯域がDC～110GHzとなっており、挿入損失（GSG-150um pit...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノプローブ

RF_MEMSプローブ『TPWR15』

プローブ修理及び先端チップの交換可能！接触抵抗（対金パッド）は0.05…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TPWR15』についてご紹介いたします。反射損失（GSG-150um pitch typ.）は-5.0dB、耐電力は5Wで、プローブ痕サイズ（幅）は30um以下です。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノプローブ

RF_MEMSプローブ『TPWR6』

プローブピッチ50～1,000umで選択可能！プローブ痕サイズ（幅）3…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TPWR6』についてご紹介いたします。針材質はニッケル合金、筐体材質はアルミニウム合金となっており、針圧（推奨オーバードライブ＝20～30um）は20gfです。ご...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノプローブ

RF_MEMSプローブ『TPWR8』

小さなプローブ傷跡！反射損失（GSG-150um pitch typ.…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TPWR8』についてご紹介いたします。コンタクト寿命（オートプローバ使用時）は100万回となっており、針位置精度は10um以内、針先平行度は10um以下です。ご用...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノプローブ

Semiconductor MEMS プロセスサービス／基板材料

装置・専門技術者・オペレータ不要！プロセスサービス外注対応

日本機能材料株式会社では、欧米を中心とした、プロセス会社＋基板材料会社の世界的な連合との間の適切な橋渡しをしております。「エピ成長」「酸化」「装着・スパッター」「ウェーハ研磨」「レーザー加工」「その他プロセス」などのプロセスサービス及び「FZウェーハ」「CZウェーハ」「SOIウェーハ」「SOSウェーハ」「その他ウェーハ」などのウェーハ基板を提供いたします。【特長】 ○装置不要 ○専...

メーカー・取り扱い企業：日本機能材料株式会社

RF_MEMSプローブ『WR6-Tallシリーズ』

小さなプローブ傷跡！反射損失（GSG-150um pitch typ.…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『WR6-Tallシリーズ』についてご紹介いたします。接触抵抗（対金パッド）は0.05ohm、針位置精度は10um以内で、針先平行度は10um以下です。ご用命の際は...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノプローブ

RF_MEMSプローブ『TPWR12』

プローブピッチ50～1,000umで選択可能！接触抵抗（対金パッド）は…

当社で取り扱っているRF_MEMSプローブ『TPWR12』についてご紹介いたします。耐電圧は100Vで、耐電流は1Aとなっており、コンタクト寿命（オートプローバ使用時）は100万回です。ご用命の際はお気軽に...

メーカー・取り扱い企業：株式会社テクノプローブ

MEMS向けゲッター「PageWafer / PageLid」

デバイスの長期安定性を向上！ MEMS真空パッケージ向けにデザインさ…

MEMS向けゲッターフィルムはMEMSパッケージに特化して開発された製品です。ウエハレベルパッケージ向け製品（PageWafer）とディスクリートパッケージ向け製品（PageLid, PageSheet）の両方を用意しており、いずれもパッケージに要求される高真空レベルを保持し、デバイスの長期信頼性・安定性に貢献します。現在では、MEMS向けゲッターは、軍事･防衛関連/自動車/工業用途/民生用途向...

メーカー・取り扱い企業：サエス・ゲッターズ・エス・ピー・エー日本支店

白金電極採用HTCC基板　評価用標準パッケージあります！

車載センサ、MEMS、水晶発振器、オゾン発生装置、医療・ヘルスケア用途…

【用途例】・小型パッケージ部品（車載センサ、MEMS 、 LED 、水晶発振器、光通信など）・放電用基板（オゾン除菌・脱臭装置、プラズマ分解など）・医療／ヘルスケア用途（人工網膜、人工臓器、マイクロチップなど） ※詳しくは資料をご覧...

メーカー・取り扱い企業：ニッコー株式会社機能性セラミック商品事業部

MEMS開発ツール

ナノテックのMEMS開発ツール製品情報です。

『MEMS開発ツール』では、標準片面マスクアライナーや、試料裏面観察アライナーの「マスクアライナー」、UVナノインプリンター・マイクロコンタクトプリンターの「インプリント」、スプレーコーター「コーター」、オ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ナノテック

MEMSに欠かせない技術『精密電鋳』解説資料 ※用語集付き

プリンターヘッド、自動車、携帯電話等で使われる加速度センサーやミラーデ…

精密電鋳技術は、MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)の構成要素となる微小機構部品を製作する手法のひとつです。写真製版(フォトリソグラフィ)技術によって作られた微細なパターンに、...

メーカー・取り扱い企業：株式会社オジックテクノロジーズ

MEMS マルチモード光スイッチ

◆標準品最大24ch,その他のチャンネル数についてもカスタム対応◆低挿…

◆チャンネル数、動作波長等、カスタム対応可【仕様】 ■MEMS OSW (multi mode) 波長 (nm)：830～870, 960～1000, 1290～1330, 1525～1568 チャンネル数：2/4/8/16/24 挿入損失 (dB)：...

メーカー・取り扱い企業：株式会社オプトロンサイエンス

FTIRモジュール『超小型MEMS-FTIR』

MEMS技術を使用した革新的なFTIRモジュール

本製品はMEMSを利用することにより干渉計と検出器を一体化した非常に小型なFTIRです。光源を内臓している従来の大型なFTIRとは異なり、本製品は任意の光源を外付けで使用できるため、光源のスペクトルを測定...

メーカー・取り扱い企業：株式会社東京インスツルメンツ

IoTセンス拡張キット

オーディオや機械学習のアプリケーション向け！I2Cを使用した124×6…

単にPSoC 6 MCUプラットフォームに接続できます。 ModusToolbox Machine Learningソフトウェアと共に使用することが可能。当社のデュアルバックプレートMEMS技術を採用し、105dBのダイナミックレンジと130dBSPLまでの高い直線性を実現した高性能XENSIV MEMSデジタルマイク2個を搭載しています。【特長】 ■高精度で優れた...

メーカー・取り扱い企業：インフィニオンテクノロジーズジャパン　株式会社

PVAテプラ社マイクロ波プラズマ処理装置(前工程向け)

ユニークなウエハー移載機搭載のバッチ処理装置から枚葉処理装置まで、世界…

5GHzのマイクロ波で励起された高密度のプラズマと、イオンの運動エネルギーを抑制することで、ダメージレスのプロセス結果を得ることができます。ウエハープロセスにおけるアッシング、レジスト剥離、MEMSなどのSU-8レジストアッシング、デスカム処理、基板の表面クリーニングや表面活性化など、幅広いアプリケーションに対応できるよう設計されております。...

メーカー・取り扱い企業：伯東株式会社本社

【技術者必見!!】MEMS関連　フォトエッチング技術資料集

技術開発が進むMEMS関連の研究開発に役立つ情報を集約した技術資料集を…

さまざまな応用分野での活躍を期待されるフォトファブリケーションやマイクロマシーン技術を中心とするMEMS。その加工技術や、応用技術を多数掲載した『技術資料集』を一挙公開いたします。 MEMSや表示デバイス基板等における要素技術である『フォトエッチング』、Siウエハー上に形成された回路を正確...

メーカー・取り扱い企業：豊和産業株式会社

インクジェット技術『PrecisionCoreテクノロジー』

シリアルヘッド方式やラインヘッド方式が可能！商業・産業領域などに高速か…

刷速度を大幅に向上させながらも高画質な印刷を実現し、使用できるインクや印刷可能な素材の幅を大きく広げます。エプソンが長年にわたって培い、蓄えてきたインクジェット技術と経験に、高精度MEMS加工技術や薄膜ピエゾテクノロジーなどを融合。インクジェットプリンティングの水準を新たなレベルまで引き上げます。【特長】 ■印刷速度を大幅に向上 ■高画質な印刷を実現 ■使用できる...

メーカー・取り扱い企業：エプソン販売株式会社 IJSMD課