MEMS | イプロスものづくり

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業：ティー・ケイ・エス株式会社

オーダーメイド型スパッタリング成膜装置

PR難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに対応可能

当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池やバッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や表面保護のためのコーティングにも対応。サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の用途に応じて組み立てることが可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業：プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

DSOI　ウエハーソリューション

20年以上の経験！興味深い仕様範囲の材料で完全なDSOIの解決法をご提…

アイスモス・テクノロジーはDSOIのリーディングサプライヤーです。 DSOIは、ICやMEMS用に幅広く使われており、SOI製造の20年以上の経験をもとに、私たちは幅広い市場で応用できるような興味深い仕様範囲の材料で完全なDSOIの解決法をご提供します。広範囲なSOI経験が...

メーカー・取り扱い企業：アイスモス・テクノロジー・ジャパン株式会社

DC応答耐久性ケーブル加速度センサー　64C

DC応答加速度センサー耐久性のあるローノイズケーブル小型信頼性の…

Model 64C加速度センサ(加速度ピックアップ、加速度計)は、非常に優れたダイナミックレンジと安定性を提供する先進のピエゾ抵抗MEMSセンサー素子を基盤としています。このセンサーはフルブリッジ出力構造で、0～+50º Cの温度領域で補正する特長を持ち合わせています。微量のガスダンピングが突出し...

メーカー・取り扱い企業：エフ・アイ・ティー・パシフィック株式会社

SS-OCT用光源『HSL-20』

100kHzの安定した高速スキャンが可能！MEMS技術を用いた光源

『HSL-20』は、MEMS技術を用いることで従来技術よりも小型で、高速スキャンが可能な光源です。当社の独自設計により最速で100kHzの安定した高速スキャンが可能。また、当製品はシステムと同期するための...

メーカー・取り扱い企業： santec Holdings株式会社

ウェット処理装置

立体構造パターン対応！MEMS特有の材料・工程に対応したカスタム装置

日立ハイテクでは『ウェット処理装置』を取り扱っております。厚膜レジスト、フィルムレジスト対応の装置をはじめ、 MEMS対応仕様などをラインアップ。お客様特有のプロセスもカスタマイズ対応します。お気軽にご相談ください。【特長】＜現像剥離工程＞ ■厚膜レジスト、フィルムレジスト対応 ■豊富なオ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社日立ハイテク

書籍　【CM0702】高機能デバイス封止技術と最先端材料

　【CM0702】高機能デバイス封止技術と最先端材料 ■□■書籍内容■□■ 本書では、第1章で半導体封止、第2章でLED、第3章で有機EL、第4章で太陽電池そして、最後の第5章でMEMSを取り上げ、それらの高機能デバイス封止技術と封止材料について最先端の情報を提供することを目的にした。 ■第1章　半導体封止 ■第2章　LED封止 ■第3章　有機EL封止 ■第4...

メーカー・取り扱い企業：株式会社AndTech

二軸小型傾斜角度センサー(±25°)／ M193AN-25P

最新の精密MEMSセンサーを使い、傾斜による静電変化の導電率を角度とし…

最新の精密MEMSセンサーを使い、傾斜による静電変化の導電率を角度として捉えるセンサーである。センサーそのものが原理的及び構造に長期間厳しい環境に耐えるものとして設計されている防護構造IP67に適したケースに収...

メーカー・取り扱い企業：株式会社シロ産業

マスフローコントローラ/メータ『4800シリーズ』

スピード重視のフロープロセス向けの超高速応答！幅広い種類の非腐食性ガス…

『4800シリーズ』は、応答時間が向上するに従って、プロセスの効率と生産性も向上するエラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータです。高度なMEMS式サーマルセンサは、コントロールバルブへの応答に最適化された専用のPIDアルゴリズムを搭載し、セットポイントを任意に変更した場合でも、当製品は実流量を高速で追従させることができます。 ...

メーカー・取り扱い企業： ITWジャパン株式会社

水晶発振器センタリング組立セル

作業者によるバラツキを排除できる！

◆SSEの発振子関連装置 MEMS・発振子・圧力-加速度センサ　用両面アライナ MEMS・発振子・圧力-加速度センサ　用コーターデベロッパー MEMS・発振子・圧力-加速度センサ　用センタリング組立セル MEMS・発振子・圧...

メーカー・取り扱い企業：三和システムエンジニアリング株式会社

地中変位計 ShapeArray CLOUD

センサーレイアウトは自由自在！細い機器で自由度が高く素早く設置

『地中変位計 ShapeArray CLOUD』は、3軸重力加速度センサ(MEMS)を用いた 3D地中変位計です。地すべり、護岸、橋梁、トンネル、鉄道、液状化対策、ダムなど様々なシーンで、0.01mm(誤差±1.5mm)の精度で遠隔モニタリングが可能。取得...

メーカー・取り扱い企業：株式会社GRIFFY

カスタマイズ特化｜圧力センサ STX｜基盤実装型｜S'mate

お客様のご要望に沿って、圧力レンジ・精度・サイズ・出力形式・接続方法な…

納期・少量生産に加え、特性のカスタマイズ・コネクタなどのオプション製造も承ります。そのため、お客様のパッケージング時の設計コスト削減やわざわざ他部品の調達する手間なども省くことができます。 MEMSと応力集中構造を採用し測定圧力直線性を向上。校正機能と温度補償により広い温度範囲に渡り高精度で安定した出力を実現。 ASIC補償技術を使用してセンサ毎に特性補償。＜特徴＞ 1.ME...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アイテクソリューション

【保有設備】FIB（Focused Ion Beam)

半導体、MEMS、液晶ガラスなど！微小領域の断面加工やTEM試料の作製…

「FIB」をご紹介します。「FIB（集束イオンビーム）」は、Gaイオンを数μｍ以下に絞り、ビームを走査させて試料表面の原子を弾き飛ばしながら微小領域を加工する装置です。半導体、MEMS、液晶ガラス、ビルドアップ基板など、微小領域の断面加工や TEM試料の作製が可能です。【保有設備】 ■クロスビームFIB「Carl Zeiss 1540XB」 ■シングルビームFIB...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アイテス

ALD装置（原子層堆積装置）『P-300B』

高品質のALD膜を作り出す！MEMS機器の生産や3Dオブジェクトの成膜…

『P-300B』は、プリントヘッド、センサー、マイクなどのMEMS機器の生産やレンズ、光学部品、機械部品、ジュエリー、コイン、医療用インプラントといった3Dオブジェクトの成膜に適した装置です。当社が特許取得済みの高温壁設計と完全に分離した投入口を組み合わ...

メーカー・取り扱い企業： PICOSUN JAPAN株式会社

BMW Advanced Crash Safety

人命をできる限りまもるための安全システムの解析

のは、Advanced Crash Safety Module。高速運転中に車がふらつくその状態で４輪の各々の回転率を変更し、ブレーキとアクセルを４輪独立して制御するシステム。これを制御するには、MEMSのセンサーを駆使し、そこへソフトウェアのアルゴリズムを適用させる。車載のシステムの中でもかなりの難易度をしめるシステムになる。このモジュールにどのような半導体が使用されているかを、詳しく解説してい...

メーカー・取り扱い企業：テックインサイツジャパン株式会社（TechInsights）

ASC IMU 7シリーズ　慣性測定装置

主な市場：自動車、鉄道、農業、土木、海洋

ASCの慣性測定ユニット（IMU）は、ジャイロスコープと加速度計の組み合わせを使用して線形および角運動を測定する6軸システムです。 ASC MEMS IMU 7.x.yには、3軸加速度計と3軸ジャイロスコープを含む精密慣性センサが組み込まれています。これにより、IMUは生の加速度信号および回転速度信号を出力し、これを積分して実際の位置...

メーカー・取り扱い企業：理研電具製造株式会社

PDT102 微差圧トランスミッター

ライフサイエンスやハイテク分野のクリーンルーム向け

PDT102は、主にライフサイエンスやハイテク分野のクリーンルーム向けに設計された高性能機器で、堅牢なMEMSシリコンセンサ技術により、優れた精度、感度、安定性、耐久性を実現しています。...

メーカー・取り扱い企業：ヴァイサラ株式会社

【調査資料】プレスセラミックパッケージの世界市場

プレスセラミックパッケージの世界市場：セラミックメタルシーリング（CE…

ス、トランスポンダガラス、リードガラスを対象にしており、用途別（By Application）のセグメントは、トランジスタ、センサー、レーザー、フォトダイオード、エアバッグイグナイター、発振結晶、MEMSスイッチ、その他を対象にしています。地域別セグメントは、北米、アメリカ、ヨーロッパ、アジア太平洋、日本、中国、インド、韓国、東南アジア、南米、中東、アフリカなどに区分して、プレスセラミックパッケー...