スパッタリング | イプロスものづくり

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業：ティー・ケイ・エス株式会社

【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置

PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

東邦化研株式会社　事業紹介

受託加工専業30年を超える実績！技術の向上で、更なるイノベーションへ！

東邦化研株式会社では、表面処理に最適なイオンプレーティング（PVD）・真空蒸着・プラズマCVD・スパッタリングなどによる薄膜コーティング受託加工サービスを行っております。特に導電性・絶縁性等の機能性膜に重点を置き、試作・開発・研究・大量生産・小ロット生産までの、幅広いご要望にお応えするべく体制...

メーカー・取り扱い企業：東邦化研株式会社

TruPlasma Bipolar 4000（G2.1）シリーズ

波形と周波数のフレキシビリティ！圧倒的な品質と性能を誇るプラズマCVD…

製造、建築用ガラスコーティング、太陽電池生産、高品質の硬質・装飾コーティング、光学膜向けの水冷式電力供給装置です。信頼性と性能が重要となるプラズマCVD（PECVD）と二重陰極スパッタリング プロセスに好適。エネルギー効率と力率、最高クラスのアーク制御を有します。【3つの大きな利点】 ■波形と周波数のフレキシビリティ ■最高クラスのアーク制御 ■エネルギー...

メーカー・取り扱い企業：トルンプ株式会社

大面積イオンビーム照射装置

成膜せずにドーピングで物質の表面を改質！耐摩耗性の向上、耐疲労性の向上…

性・非晶質化 ○適用分野 →半導体製造(ドーピング)、静電気防止、電磁波遮蔽、耐久性、耐摩耗性、　宝石発色、親水・疏水性処理など ○応用装置 →大面積イオン照射機 →イオンビームスパッタリングシステム →ハイカレントイオンインプランター ○アプリケーション →ヘアクリッパー・ブラックダイヤモンド・サンバイザー・ICトレイ ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧く...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マツボー

【取扱品事例】センサーガラス／カバーガラス

カーナビのセンサーとカバーに！センサーガラスとカバーガラスをそれぞれご…

スチック部品をはじめ、ゴム部品や金属部品、金型、産業資材関連部品などを取り扱っております。「センサーガラス」は、車載品質適合品で、カーナビのセンサーにお使いいただけます。製法はスパッタリング、エッチング。また、「カバーガラス」は、カーナビのカバーに使用でき、ガラス材とAG表面処理による高級感のあるカバーです。どちらも素材はガラスとなっております。【セン...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アトライズヨドガワ本社

低GDD 超短パルス用ミラー一覧

在庫販売で短納期！全品1個から販売

用にデザインされた低GDDミラーのラインアップを拡充しています。当社の低GDDミラーは、散乱と吸収を低く抑えることに加え、コーティングの均一性と耐久性を高めるため、イオンビームスパッタリング(IBS)によってコーティングされます。波長やサイズなど特注仕様の低GDDミラーが必要なアプリケーションの場合は、当社にご連絡ください。 ■詳細は下記リンクよりエドモンド...

メーカー・取り扱い企業：エドモンド・オプティクス・ジャパン株式会社

自動テストシステム『PXI 高密度汎用スイッチモジュール』

信号の品質を最大限にするルテニウム・リード・リレーのソリューション

汎用スイッチモジュール』は多くのノーマル・オープン・リレーを必要とする要件に最適な製品です。リード・リレー・モジュールには、低・中負荷の接点で優れた性能を発揮するルテニウムをスパッタリング加工されたリレーが使われています。また、高負荷の用途に最適なメカニカル・リレーのソリューションも提供しています。モジュール間の結線に利用するコネクタ・ケーブルの組配も対応可能です。...

メーカー・取り扱い企業：アンドールシステムサポート株式会社自動テストソリューション事業部

スパッタ・蒸着ソース複合型成膜装置【nanoPVD-ST15A】

スパッタカソード・蒸着ソース混在型薄膜実験装置コンパクトフレームに…

【仕様】 ◉ 対応基板：〜Φ4inch ◉ スパッタリング：2"カソード x 最大3源 ◉ 真空蒸着：抵抗加熱蒸着（最大2）、有機材料蒸着（最大4） ◉ 7"タッチパネル簡単操作 PLC自動プロセスコントロール ◉ APC自動圧力コントロール ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

自動テストシステム『PXI 低密度汎用スイッチモジュール』

平均250μ秒の高速動作！高信頼性のピカリング社製リード・リレー

しない用途に向いた製品です。 96ピンのオスコネクタでテストシステムに接続できます。モジュールの接続に必要なコネクタやケーブルの組配も承ります。低負荷・中負荷用のスイッチは、スパッタリングされたルテニウム・リード・リレーを使用することにより、微少負荷に対する特性の依存性を抑えます。【特長】 ■モジュールあたり16、24または32個のリレー ■SPST、DPS...

メーカー・取り扱い企業：アンドールシステムサポート株式会社自動テストソリューション事業部

表面改質PVD処理『クロームドッペ-N』

機械部品・金型の『耐食性』、『耐摩耗性』、『離型性』を飛躍的に向上！ク…

～クロームドッペ-Nの特性～【処理方法】スパッタリング 【硬さ（Hv）】1500～2000 【組織】　　　固容体（Cr+N）+CrxNy 【密着性】　　　　○　【耐食性】　　　　◎ 【寸法精度】　　 ◎ 【離型性】　　　　◎ 【処...

メーカー・取り扱い企業： DOWAサーモテック株式会社

デモ可能！あなたの欲しい集塵機つくります

豊富な経験と技術をもとに、お客様の要望に合わせ集塵機をつくります

×99.95％　P.A.O →耐熱型フィルター　ポリエステル 130℃MAX　m-アラミド 200℃MAX　SUS316 400℃MAX →防爆型フィルター　帯電防止ろ布　SUS スパッタリング →ミストフィルター　パウダー連続供給方式によりミストを吸着 →有害ガス除去　活性炭　ゼオライト等を使用し、ガスや臭気を吸着 ○フィルター自動再生式 ○処理風量を自由に選定 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社流機エンジニアリング

蒸着/スパッタ・デュアルチャンバーシステム【MiniLab】

2台の薄膜実験装置をロードロック機構で連結。異なる成膜装置（スパッタ、…

MiniLab-E080A（蒸着装置）・基板サイズ：Φ8inch ・EB蒸着:7ccるつぼ x 6 ・抵抗加熱蒸着 x 2 ・有機蒸着限 x 2 2. MiniLab-S060A（スパッタリング装置）・基板サイズ：Φ8inch ・Φ2"マグネトロンカソード x 4源同時スパッタ・DC, RF両電源対応 3. Load Lockチャンバー・プラズマエッチングステージ ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

超親水性反射防止(AR)処理剤『ハニセラン PI-400AR』

反射防止性と親水性に優れたスプレーＡR処理剤【技術資料進呈中】

ーコート剤です。特長 ■1液型反射防止コーティング剤 ■ガラス基材への優れた密着性 ■シリカ由来の低屈折率塗膜を形成可能 ■膜厚100nmオーダーで平滑な連続膜を形成可能 ■スパッタリング方式よりも低コストご依頼いただければ塗布サンプルを作製させて頂きます。用途：各種ディスプレイ・センサー・レンズ等の反射防止膜　　　 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽...

メーカー・取り扱い企業：ハニー化成株式会社

豊富な設備による試作から量産まで対応可能な『受託製造サービス』

圧倒的な設備力により開発・試作～量産・出荷までをワンストップでご提供！…

も可能です。＜設備一覧＞射出成形機／大型射出成形機／マシニングセンター／金属3Dプリンタワイヤーカット／NC放電加工機／ガンドリル／NCフライス盤ダイスポッティングプレス／スパッタリング装置／塗装ロボットインクジェットプリンター／ホットスタンプ機／レーザーマーカーインサーター／高速マウンター／全自動圧着挿入機／自動半田付装置 ※設備の詳細については、PDFをダウ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社NAITO

薄膜実験装置_「PRODUCTS GUIDE 2022」

半導体・電子デバイス・燃料電池・ディスプレイなどの研究開発用各種実験装…

◉ nanoベンチトップシリーズ薄膜実験装置 - nanoPVD-S10Aマグネトロンスパッタリング装置 - nanoPVD-T15A有機膜・金属膜蒸着装置 - nanoCVDグラフェン合成装置 - ANNEALウエハーアニール装置 - MiniLabシリーズフレキシブル薄膜実験装置...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

巻取式プラズマ処理装置（RtoRプラズマ装置　評価テスト受付中）

繊維の搬送・処理に実績を持っており電子関連や先端材料まで幅広い用途に対…

理装置」を取り扱っています。真空プラズマにより基板や目的に合わせたプロセスガスやプラズマモードが選択でき、大気圧プラズマでは困難なプロセスに対応しています。実績豊富な巻取式スパッタリング装置と基本構造を共通化しており、信頼性の向上とコスト低減を図っています。薄膜成膜前の表面処理に有効で、有機物の除去や親水化などに大きな効果が得られます。【特長】 ■真...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

中性フラッシュエッチング液 “OPCシードエッチャントNE”

微細回路基板対応、銅スパッタ膜用フラッシュエッチング液 “OPCシード…

化、高性能化、高機能化にともない、半導体デバイスには高速な動作が要求されるようになりました。半導体パッケージ基板とプリント基板の配線の実装については、さらなる微細化と層間密着性の向上のために、スパッタリングによって銅のシード層を形成し、その後電気めっきする方法が一般的になっています。当社は、銅スパッタ膜に対応し、銅スパッタ膜を優先的にエッチングするフラッシュエッチング液を新たに開発しました。...

メーカー・取り扱い企業：奥野製薬工業株式会社大阪・放出、東京、名古屋など

【関西ものづくり新撰2023選定！】緻密＆平滑膜形成装置

驚くほど緻密で平滑な反応膜を実現した『アーク放電型マグネトロンスパッタ…

当社で取り扱う、『アーク放電型マグネトロンスパッタ装置』をご紹介します。マグネストロンスパッタ機構の前面に低電圧大電流のアーク放電機構を付加したことで、基板に入射するイオン量が一般的な装置に比べて10倍多くなり、緻密で硬い、平滑な反応膜を工業レベルで形成できるようになりました。また、コーティング面の仕上げ研磨が不要になったことで、耐久性も向上し、省エネルギーに貢献してい...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

【ベアリング使用環境】真空環境

真空環境にグリースレスベアリングやフッ素グリース封入ベアリングが適して…

真空蒸着装置やスパッタリング装置など真空状態で動作する装置には、基油の蒸発が少ないフッ素グリース封入ベアリングやグリースレスベアリングが適しています。当社では、グリースが使用出来ない高温や真空環境に最適な...

メーカー・取り扱い企業：株式会社南海精工所

【事例紹介】水電池へ使用されるV2O5電極表面への水吸着

『Materials Studio』はバッテリー特性計算ができます【事…

レーションツール ■メソスケール・シミュレーションツール ■統計ツール ■分析/結晶化ツール【事例】・結晶成長・結晶表面の原子の挙動・結晶解析・物性値の計算・スパッタリングシミュレーション・潤滑剤の性能向上・触媒・トライボケミカル(潤滑)反応　　　など【製品特長】 ■さまざまなタイプの材料に対応 ■一つのGUI画面上で、結晶構造の作成...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社

ALNコーティング装置（高密度プラズマスパッタADMS装置）

高密度プラズマスパッタで結晶性ＡｌＮ膜を形成、立体形状への全面コーティ…

独自開発の高密度プラズマスパッタ　ADMS法（アーク放電型マグネトロンスパッタリング法）により従来に無い緻密なＡｌＮ膜を立体形状基板に成膜。従来の10倍のイオン量の高密度プラズマスパッタを実現。他には無い高反応性スパッタで結晶性ＡｌＮを５００℃以下の低温で形成電子デバ...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

【事例】MaterialsStudioのSTMシュミレーション

『Materials Studio』でのPd上にあるCOのSTM像…

レーションツール ■メソスケール・シミュレーションツール ■統計ツール ■分析/結晶化ツール【事例】・結晶成長・結晶表面の原子の挙動・結晶解析・物性値の計算・スパッタリングシミュレーション・潤滑剤の性能向上・触媒・トライボケミカル(潤滑)反応　　　など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。株式会社ウェーブフロント営業部　 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社

【分析事例】高分子フィルムの多層構造の解析

GCIBを用いた低ダメージスパッタリングで多層フィルムの層構造を明瞭に…

フィルムの機能性は素材・厚み・層構造等で決まることが知られています。今回は食品用ラップフィルムとして一般的に用いられるポリエチレン系多層フィルムの層構造を評価しました。 FT-IRで主にポリエチレンで構成されていることを確認したフィルムに対し、GCIB（Arクラスター）をスパッタに用い、TOF-SIMSで深さ方向に測定することで、10μmの厚みの中でポリエチレンとナイロン6とが積層されてい...

メーカー・取り扱い企業：一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【事例】MaterialsStudio充電放電における電極膨張

『Materials Studio』はバッテリー特性計算ができます【事…

レーションツール ■メソスケール・シミュレーションツール ■統計ツール ■分析/結晶化ツール【事例】・結晶成長・結晶表面の原子の挙動・結晶解析・物性値の計算・スパッタリングシミュレーション・潤滑剤の性能向上・触媒・トライボケミカル(潤滑)反応　　　など ※詳しくはお気軽にお問い合わせ下さい。株式会社ウェーブフロント営業部　 MA...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ウェーブフロント本社

クライオポンプ　CRYO-Uシリーズ

優れた信頼性、高性能と高品質、バラエティに富んだ豊富な機種をラインナッ…

0AT/C15R/C40R ○C30VR/C30MVR/C30PVRT/C30PMVRT [クライオマルチシステム] ○CRYO-U6H・3/U8H・3/U10H・2/U8H・4 [スパッタリングプロセス用クライオポンプ] ○CRYO-U8HSP/U1HSP/U12HSP [スーパートラップ] ○スーパートラップシリーズ ○Speed TSシリーズ [極低温冷凍機] ○4K...

メーカー・取り扱い企業：アルバック・クライオ株式会社

くし形電極加工（オーダメイドでパターンチップを作成します）。

各種金属を薄膜〜パターン加工した「くし型電極チップ」です。電極構成…

１）薄膜成膜実績真空蒸着・スパッタリング加工を用いて、多様な金属や誘電体での成膜が可能です。基板についても、実績種類は豊富です。最適な薄膜構成をご提案致します。 ■金属/合金単層膜 Au、Ag、Pt、Cu、Ti、Cr、Ni、Al...

メーカー・取り扱い企業：安達新産業株式会社本社

書籍【有機/金属・無機界面のメカニズム-密着性・機能発現の要因】

界面に起こる現象理解!トラブル対策に終始しないために:結合の支配因子、…

価第10章　圧延・電解銅箔と樹脂の密着性要因とその評価第11章　銅/ポリイミドの密着機構第12章キャスト法、ラミネート法による銅/ポリイミド界面の状態と密着性第13章　スパッタリングによる銅/ポリイミド界面の状態と密着性第14章 LCP−CCLの開発動向第15章 PET/セラミックス薄膜(ITO)の界面付着強度第16章　PET/DLC界面の状態と密着性 ...

メーカー・取り扱い企業： S&T出版株式会社

スパッタの基礎と装置の改善策～トラブルから見た膜厚分布改善

★スパッタプロセス時に要求される、膜厚分布の改善、パーティクルの低減改…

講　師株式会社アルバック　半導体電子技術研究所　研究部　部長　様　対　象 スパッタリング、薄膜技術に関心のある技術者・研究者・担当部門・初心者など会　場東京中央区立産業会館 4F　第2集会室【東京・日本橋】都営新宿線馬喰横山駅地下通路経由　　B4出口 5分　(道案...

メーカー・取り扱い企業：株式会社AndTech

角板形金属薄膜固定抵抗器

絶縁型で実装密度が大きい！組立工数の低減が可能な超高性能抵抗器

『角板形金属薄膜固定抵抗器』は、高純度アルミナ基板の表面にNi-Cr系抵抗薄膜をスパッタリングによる着膜技術と、エッチングによるパターン成形技術により製造した超高性能な角板形金属薄膜固定抵抗器です。徹底した品質管理のもとに製造され、計測器、医療機器、通信機器など、広く産業機器な...

メーカー・取り扱い企業：株式会社フラット電子本社

油回転真空ポンプVD シリーズ

『低騒音型ポンプ』として開発された油回転真空ポンプです。【アルバック／…

VD シリーズは「低騒音型ポンプ」として開発されたモータ直結油回転真空ポンプです。蒸着・スパッタリング装置から真空包装機まで、真空をつくる根幹のポンプとして幅広い排気用途でご利用いただけます。真空ポンプには作業環境の向上のため「静かさ」が強く求められています。VDシリーズは、このような...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

角形金属薄膜チップ抵抗器

鉛フリー(RoHS対応)品！経年変化が小さく安定性に優れている抵抗器

『角形金属薄膜チップ抵抗器』は、スパッタリング技術とエッチング技術を利用して、高純度アルミナ基板表面にNi-Cr系抵抗薄膜を着膜し、レザートリミング技術により微細加工した高精度高信頼性の角形金属薄膜チップ抵抗器です。徹底した品質管...

メーカー・取り扱い企業：株式会社フラット電子本社

大面積への成膜加工！　ガラス…フィルム…セラミック…金属材…

大面積への成膜加工が可能！もちろん小さなものも（たくさん）搭載できます…

東邦化研株式会社では、イオンプレーティング、真空蒸着、スパッタリング、プラズマCVDによる機能性薄膜の受託加工（コーティングサービス）を行っております。金属膜や、酸化膜・炭化膜・窒化膜等の反応膜、合金膜、また、それらの積層膜等、様々な膜種に対応し、試...

メーカー・取り扱い企業：東邦化研株式会社

厚膜成膜

薄い膜だけじゃない！厚く成膜することもできます。

ちろん、どのような基材に何の膜をつけるのかによって変わってまいりますが、まずはお気軽にご相談ください★（もちろん薄い膜も得意です）東邦化研株式会社では、イオンプレーティング、真空蒸着、スパッタリング、プラズマCVDによる機能性薄膜の受託加工（コーティングサービス）を行っております。金属膜や、酸化膜・炭化膜・窒化膜等の反応膜、合金膜、また、それらの積層膜等、様々な膜種に対応し、試作...

メーカー・取り扱い企業：東邦化研株式会社

イオンプレーティング（物理蒸着：PVD）

加工ワークサイズは球状から長尺物まで可能！電気を通さない絶縁物にも実績…

チタンやクロムなどの窒化・炭化・酸化させたセラミック膜のコーティングを行う手法です。当社では「電子銃溶融型イオンプレーティング」「アーク放電イオンプレーティング」「マグネトロンスパッタリング」の3方式の設備を保有。基材とご要求される成膜条件に合わせた加工機を選択する事ができ、金属製品に擦り傷や摩耗剥がれに強く、耐蝕性・耐候性に優れた意匠着色を得意としております。 ...

メーカー・取り扱い企業：アイテック株式会社

異常放電防止ユニット　A2Kシリーズ

高スループット！マスタースレーブ接続により大容量化が可能です。【アルバ…

A2Kシリーズは、反応性スパッタリングプロセスにおいて直流電源にプラス電圧をパルス印加し、ターゲット上の電荷を中和する異常放電防止ユニットとなります。異常放電を削減することでハイパワーの投入が可能。 A2K-20K、40Kは...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

加工技術『カラーステンレス』

PVDコーティングで均一な着色『MG-Glanz』、酸化皮膜により発色…

サン・アクト株式会社では、スパッタリング（PVDコーティング）の『MG-Glanz』及びカラー発色の『インコカラー』の、2種類のカラーステンレスの設備を有しております。『MG-Glanz』は物質を真空中で蒸着させ、PVD...

メーカー・取り扱い企業：サン・アクト株式会社

発色チタンプレート　ART PLATE「和（なごみ）」

発色可能な色なら組合せも自由、サイズやレイアウトもフリーに製作致します

【製品各種】 ○パターン1　ベースデザイン：スパッタリング（金）　文字：パープル系 ○パターン2　ベースデザイン：梨地（原色）　文字：シャインブルー系 ○パターン3　ベースデザイン：梨地（青）　文字：白塗料 ○パターン4　ベースデザイン：グ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社大和彫刻所

メッキとは？　メッキの豆知識、Q&A

「メッキの役割」、「外観の向上」、「耐食性の向上」などを紹介します。

メッキ法は処理の態様から湿式・乾式に大別されます。湿式メッキ法は化学的作用によるもの（電気メッキ法・化学メッキ法・浸漬メッキ法など）で、乾式メッキ法は物理的作用によるもの（真空蒸着・スパッタリング・イオンプレーディングなど）です。日本バンパー販売株式会社の工法は、電気メッキ法（クロム）です。電気メッキ法とは、金属塩の水溶液から外部電流により加工物表面へ金属を還元析出させるもので、Cu、...

メーカー・取り扱い企業：日本バンパー販売株式会社

PETボトル用プラズマCVD装置

3L容器までコーティング可能！容器軽量化による物流コストの低減などに貢…

バー容積：1m3 ■独自のプラズマ制御方式 ■多段式大量一括処理可能 ■高い汎用性を備えたシンプルな構造 ■様々な製品材質に成膜可能『High-Rate Depo. 圧電膜形成スパッタリング装置』 ■圧電に寄与する軸長を最大限に長くするDeposition構造 ■当社独自のスパッタカソードを搭載 ■ムービングマグネットにも対応し全面エロージョンが可能 ■トレイ搬送も対応可...

メーカー・取り扱い企業：ジャパンクリエイト株式会社

非破壊素材系検査

新素材も対象！高速データ処理技術や高速画像処理技術・解析アルゴリズムに…

ンライン超音波検査システム ■アルミビレット生産オンライン超音波検査システム ■シリコンウェハー生産オンライン超音波検査システム ■ベアリング用丸棒生産オンライン超音波検査システム ■スパッタリングターゲット材内部組成超音波検査システム ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社エンターシステム

半導体製造装置向けボードコンピュータ『HPUD100』シリーズ

画像処理、HMI、リアルタイムモーションコントロール用途に好適！長期安…

OSカスタマイズ対応高信頼性が求められる、以下の様な半導体製造装置への組込みに適しています。 ◆露光装置 ◆エッチング/薄膜形成装置 ◆レジスト処理装置 ◆CVD装置 ◆スパッタリング装置 ◆ダイシング装置 ◆エージング装置 ...

メーカー・取り扱い企業：萩原テクノソリューションズ株式会社事業企画本部事業推進部

真空環境内の圧力測定センサ【真空環境内の圧力分布を同時測定！】

真空チャンバー内などセンサ複数設置により広範囲が測定可能！今まで困難だ…

ム構築 ■耐振動・耐環境性真空装置内の任意の箇所へ設置してピンポイントで圧力測定ができます。また、複数設置で圧力分布測定も可能です。例１：真空蒸着装置の対象物前後に設置例２：スパッタリング装置の対象物近傍へ設置例３：真空成形装置の金型近傍へ設置例４：真空チャンバー内へ複数設置 ※詳細は資料請求して頂くか、ダウンロードからPDFデータをご覧下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社岡野製作所

電源システム『Ascent DC電源』

アーク制御技術を実装！安定した電力供給のできる電源システム！

【利点】 ■フィールドでの信頼性の向上 ■最適化されたアーク制御能力により膜質、生産性、スループット、歩留まりが向上 ■容易なスパッタリングプロセス用電源の統合　・ソーラーPV 　・FPD 　・工業用コーティング　・ウェブコーティング ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：アドバンスドエナジージャパン株式会社

【光学膜】反射防止コーティング

色調調整も可能！貼り付けが容易なPETフィルムへの反射防止フィルムを広…

おこりその原理を利用して特定の波長の反射率を低減させた膜のことです。タイゴールドの反射防止膜は、米国JDSUniphaseの反射防止膜HEA2000シリーズを継承しており、低温スパッタリングマシンMeta Mode（メタモード）でガラスはもちろんのこと、フィルム、樹脂（アクリル、ポリカーボネート等）に対して反射防止膜をコーティングしております。『反射防止コーティン...

メーカー・取り扱い企業：タイゴールド株式会社

成膜加工

薄膜形成からパターニング及びメッキ加工まで一貫したプロセスで対応可能！

化学的気相法（CVD）・液相法で分ける事ができます。豊和産業株式会社で対応可能な薄膜形成技術は、ガラス、シリコンウエハ、セラミックス、フィルム等のベース材に行う気相成長法の抵抗加熱・ＥＢ蒸着・スパッタリング・イオンプレーティングです。液相成長法では、電解メッキ・無電解メッキ・ゾルゲル法を用いた加工対応ができます。光学・電子部品などを製作する際に応用する技術であり、使用目的・手段に合わせて膜選...

メーカー・取り扱い企業：豊和産業株式会社

シミ分析の受託サービス｜JTL

試料表面の微量なシミの分析から調査まで一貫してご対応します。

とが可能です。 ●薄いシミも分析可能酸化膜等の、ナノオーダーの非常に薄いシミも分析可能です。 ESCA/XPSを用いることにより、表面nmからの分析に対応しております。また、イオンスパッタリングにより、深さ方向の分析も可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： JAPAN TESTING LABORATORIES株式会社本社