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PR装置全体をコンパクト化し組立た状態で運搬する為設置工事を簡略化 !生…
『Deopo(デオポ)』は、従来の蓄熱燃焼式脱臭装置「RTO」の3塔式と回転式の 優れている要素を併せ持ち、ワンユニットにパッケージ化した装置です。 VOCの処理効率は98%以上、温度効率は95%以上の性能を持ち、従来品に比べ、 パージ部分の体積を最小にすることによりコンパクト化することが出来ました。 また、工場で組立した状態で運搬可能なサイズなので、標準装置の場合は 現地の荷降...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社サーマルプラント
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PRカスタマイズ可能なワイヤグリッド偏光ビームスプリッター、入射角依存の少…
WGF(TM)を使用した、ワイヤグリッド偏光ビームスプリッターキューブタイプ(WGF(TM) PBS)です。 すでにハーフミラーをお使いの場合、WGF(TM) PBSに替えることで輝度向上が期待できます。 縮小系でも色や偏光度が部分的に変わることはなく、画像検査の精度を向上させます。 入射角依存が少なく、安定した光学性能を維持します。 ※WGF(TM)は旭化成の製品です。...規格品 WP...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社オプティカルソリューションズ
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GasPro PTFE ガスフィルター TEM-800シリーズ
あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミク…
[流量] 0~300L/min [3nmフィルター] 多孔質PTFEフィルターで0.003マイクロメートルのろ過精度 [最大使用温度] 不活性ガス中 80℃ CDA(60℃を超える用途)でのフィルター寿命に関してはお問い合わせくだ...
メーカー・取り扱い企業: エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
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GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター TEM-1900
半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…
[流量] 0~100L/min [フィルターメディア] PTFE [その他材質] フッ素系樹脂/FEP被覆バイトン [3nmフィルター] 多孔質PTFEフィルターで0.003ミクロンのろ過精度 [最大使用温度] 121℃ [最大使用圧力] 20.7MPa [クリーンルーム製造] クリーンルームで製造されてお...
メーカー・取り扱い企業: エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
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GasPro PTFE ガスフィルター TEM-200シリーズ
あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミク…
[流量] 0~5700L/min [3nmフィルター] 多孔質PTFEフィルターで0.003マイクロメートルのろ過精度 [最大使用温度] 不活性ガス中 80℃ CDA(60℃を超える用途)でのフィルター寿命に関してはお問い合わせくだ...
メーカー・取り扱い企業: エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
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GasPro PTFE ガスフィルター TEM-400シリーズ
あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミク…
[流量] 0~2100L/min [3nmフィルター] 多孔質PTFEフィルターで0.003マイクロメートルのろ過精度 [最大使用温度] 不活性ガス中 80℃ CDA(60℃を超える用途)でのフィルター寿命に関してはお問い合わせくだ...
メーカー・取り扱い企業: エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
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GasPro PTFE ガスフィルター TEM-300シリーズ
あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミク…
[流量] 0~2900L/min [3nmフィルター] 多孔質PTFEフィルターで0.003マイクロメートルのろ過精度 [最大使用温度] 不活性ガス中 80℃ CDA(60℃を超える用途)でのフィルター寿命に関してはお問い合わせくだ...
メーカー・取り扱い企業: エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
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GasPro PTFE ガスフィルター TEM-100シリーズ
あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミク…
[流量] 0~8550L/min [3nmフィルター] 多孔質PTFEフィルターで0.003マイクロメートルのろ過精度 [最大使用温度] 不活性ガス中 80℃ CDA(60℃を超える用途)でのフィルター寿命に関してはお問い合わせくだ...
メーカー・取り扱い企業: エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
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GasPro PTFE ガスフィルター TEM-500シリーズ
あらゆるグレードの半導体プロセスガスとCDAに。ろ過精度0.003ミク…
[流量] 0~700L/min [3nmフィルター] 多孔質PTFEフィルターで0.003マイクロメートルのろ過精度 [最大使用温度] 不活性ガス中 80℃ CDA(60℃を超える用途)でのフィルター寿命に関してはお問い合わせくだ...
メーカー・取り扱い企業: エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
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GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター TEM-1400
半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…
[流量] 0~2100L/min [フィルターメディア] PTFE [その他材質] フッ素系樹脂/FEP被覆バイトン [3nmフィルター] 多孔質PTFEフィルターで0.003ミクロンのろ過精度 [最大使用温度] 150℃ [最大使用圧力] 1.72MPa [クリーンルーム製造] クリーンルームで製造されてお...
メーカー・取り扱い企業: エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
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GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター TEM-1300
半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…
[流量] 0~2900L/min [フィルターメディア] PTFE [その他材質] フッ素系樹脂/FEP被覆バイトン [3nmフィルター] 多孔質PTFEフィルターで0.003ミクロンのろ過精度 [最大使用温度] 150℃ [最大使用圧力] 1.72MPa [クリーンルーム製造] クリーンルームで製造されてお...
メーカー・取り扱い企業: エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
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GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター TEM-1100
半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…
[流量] 0~8550L/min [フィルターメディア] PTFE [その他材質] フッ素系樹脂/FEP被覆バイトン [3nmフィルター] 多孔質PTFEフィルターで0.003ミクロンのろ過精度 [最大使用温度] 150℃ [最大使用圧力] 1.72MPa [クリーンルーム製造] クリーンルームで製造されてお...
メーカー・取り扱い企業: エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
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GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター TEM-1800
半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…
[流量] 0~300L/min [フィルターメディア] PTFE [その他材質] フッ素系樹脂/FEP被覆バイトン [3nmフィルター] 多孔質PTFEフィルターで0.003ミクロンのろ過精度 [最大使用温度] 121℃ [最大使用圧力] 5.16MPa [クリーンルーム製造] クリーンルームで製造されてお...
メーカー・取り扱い企業: エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
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GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター TEM-1200
半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…
[流量] 0~5700L/min [フィルターメディア] PTFE [その他材質] フッ素系樹脂/FEP被覆バイトン [3nmフィルター] 多孔質PTFEフィルターで0.003ミクロンのろ過精度 [最大使用温度] 150℃ [最大使用圧力] 1.72MPa [クリーンルーム製造] クリーンルームで製造されてお...
メーカー・取り扱い企業: エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
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GasProオールフッ素樹脂ガスフィルター TEM-1500
半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…
[流量] 0~700L/min [フィルターメディア] PTFE [その他材質] フッ素系樹脂/FEP被覆バイトン [3nmフィルター] 多孔質PTFEフィルターで0.003ミクロンのろ過精度 [最大使用温度] 150℃ [最大使用圧力] 1.72MPa [クリーンルーム製造] クリーンルームで製造されてお...
メーカー・取り扱い企業: エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
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GasProオールフッ素樹脂ガスフィルターTEM-900シリーズ
半導体ガスフィルター用、ろ過精度0.003ミクロンの高性能インラインガ…
[流量] 0~30L/min [フィルターメディア] PTFE [その他材質] PTFE/FEP/FKM [3nmフィルター] 多孔質PTFEフィルターで0.003ミクロンのろ過精度 [最大使用温度] 121℃ [最大使用圧力] 20.7MPa [クリーンルーム製造] クリーンルームで製造されてお...
メーカー・取り扱い企業: エア・ウォーター・メカトロニクス株式会社 ST事業部
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