- 製品・サービス
370件 - メーカー・取り扱い企業
企業
40件 - カタログ
103件
-
-
-
フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』
PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…
『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...
メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
-
-
-
-
-
粉体の連続熱／CVD処理、連続CNT合成などに
反応管の傾斜と回転機構により、粉末試料の連続フィード／回収機構を有する連続CVD処理装置です。 粉末試料表面へのカーボコート、熱処理、CVD処理、ドープ処理などの大量生産が可能。 大面積の配向CNT基板や、多収量の粉末タイプCNTの大量生成に適します。...【特 徴： ・炉心管の傾斜角度および回転速度の調整により、粉末試料の素性に合わせた導入速度の調整が可能 ・試料導入用回転機構と、CVD処...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社マイクロフェーズ
-
-
-
-
反応ガスの流れが均一！反応室内にガスが淀むことがない熱CVD装置
『熱CVD装置』は、試料装填後、真空に排気した反応管内で気相成長を 行うための装置です。 石英製反応室、基板加熱系、真空排気系、ガス導入系及び制御系からなり、 基板上に成膜が出来ます。 本装置...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社日本シード研究所
-
-
-
-
【調査資料】半導体静電チャック用セラミックヒーターの世界市場
半導体静電チャック用セラミックヒーターの世界市場：アルミナ(Al2O3…
ー市場の種類別（By Type）のセグメントは、アルミナ(Al2O3)ヒーター、窒化アルミニウム(AlN)ヒーター、その他を対象にしており、用途別（By Application）のセグメントは、CVD装置、PVD装置、エッチング装置、その他を対象にしています。地域別セグメントは、北米、アメリカ、ヨーロッパ、アジア太平洋、日本、中国、インド、韓国、東南アジア、南米、中東、アフリカなどに区分して、半...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社マーケットリサーチセンター
-
-
-
-
【産業調査レポート】世界の化学気相成長 (CVD) 装置市場
世界の化学気相成長 (CVD) 装置市場：プラズマ強化 CVD（PEC…
IMARC社の本報告レポートによると、世界の化学気相成長 (CVD) 装置市場規模が2022年に281.3億ドルに至りました。2028年には461.9億ドルまで拡大し、2023年から2028年の間にCAGR 8.30%で成長すると予測しています。本レポートでは、化学気相成長 (CVD) 装置の世界市場について調査・分析を行い、序論、範囲・調査手法、エグゼクティブサマリー、イントロダクション、技術別...
メーカー・取り扱い企業： H&Iグローバルリサーチ株式会社
-
-
-
-
フロー管理システムが搭載！粉体へも高温でのCVD/PECVDによる処理…
『EVADシリーズ』は、ガス、蒸気、液体や固体原料から合成・成膜可能な、 CVD、PECVD横型炉装置です。 シングルゾーン、マルチゾーンによる温度分布を制御し、 回転機構付き高品質ステンレス製チャンバーにより粉体へも 高温でのCVD/PECVDによる処理が可能。 PLASMICON制御システムにより全自動プロセス、データ保存に対応しています。 【特長】 ■FLOCONシ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ
-
-
-
-
装置サイズを可能な限りコンパクト化！安定した成膜処理と低パーティクルを…
『A200V』は、少量多品種から大量生産までカバーするφ150・φ200mm ウェーハ対応の枚葉式常圧CVD装置です。 フェイスダウン式成膜方法の採用により優れた膜厚均一性、パーティクル 制御、埋め込み性能を発揮し、SiH4をベースとしたシリコン酸化膜を成膜。 また、TEOS-O3、SiH4...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社天谷製作所
-
-
-
-
SiCトレーを採用！搬送システムで、大量生産を可能にするとともにコスト…
『A6300S』は、毎時120枚のスループットを擁する小口径ウェハ対応 大量生産用連続式常圧CVD装置です。 自動トレー交換装置、ヘッド昇降機構を備え、メンテナンス時間を短縮し 生産可能時間を延伸するとともに、お客様の大量生産のニーズとオペレータの 安全にも配慮しました。 【特長...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社天谷製作所
-
-
-
-
PlasmaMAX Hollow Cathode プラズマCVD
最高品質を保ちつつ、基板幅と成膜速度を最大化することで、大量生産プロセ…
この技術により、バリア成膜品、光学多層膜製品、機能性繊維、ディスプレーの製造や、一連の関連するカスタムアプリケーションを最適化することができます。 PlasmaMAX ホローカソード は、形状をカスタマイズすることができるため、水平型インライン式の真空成膜装置、垂直型インライン式真空成膜装置、ロールツーロールのウェブコーティングプロセスにも容易に組み込むことが可能です。簡単にカスタマイズできるデ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社マツボー
-
-
-
-
長尺粉体CNTの生成、基板への垂直配向CNTの成長、粉体試料表面へのカ…
オプションで、アンモニアガスや、その他のCVDガスの導入ユニット、CVD反応用の固体や液体前駆体の導入ユニットを追加することにより、窒化処理、カルコゲナイド層状物質の成膜も可能です。...【特徴】 ○ 真空CVDモードおよび大気圧CVDモードを実施できます。 ○ マスフローガス導入システム標準装備 ○ ナノカーボン生成向けCVDプロセスレシピを開示 ●その他機能や詳細はお問い合わせくだ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社マイクロフェーズ
-
-
-
-
小型でスペース効率の優れた装置！基板はφ4インチ対応で、加熱機構・T/…
当製品は、TEOSをはじめ、液体原料ソースを対象とした シリンダーキャビネット付きプラズマCVD装置です。 液体ソースに対応したベーカブルMFC、各種ベーキング機構を備えており、 内部異常放電防止対策や安定プラズマ生成目的の独自のプラズマ電極を 設計開発。 上蓋開閉により基板交...
メーカー・取り扱い企業： ケニックス株式会社
-
-
-
-
グローバルCVD装置市場の収益、市場規模、販売量、売上高、価格の分析レ…
2023年4月10日に、QYResearchは「グローバルCVD装置に関する調査レポート, 2023年-2029年の市場推移と予測、会社別、地域別、製品別、アプリケーション別の情報」の調査資料を発表しました。CVD装置の市場生産能力、生産量、販売量、売上高、価格...
メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research
-
-
-
-
世界の化学気相成長（CVD）装置市場2024-2032：技術別、用途別…
ARC Groupは、2024年から2032年にかけて7.25%の成長率（CAGR）を示し、2032年までに583億米ドルに達すると予測しています。エレクトロニクス産業の著しい成長、医療用途でのCVD装置需要の増加、広範な研究開発（R&D）活動が市場を牽引する主な要因の一部です。 化学気相成長（CVD）装置は、ガス状の試薬と熱による化学反応を利用して、さまざまな材料の薄膜を基板上に蒸着するため...
メーカー・取り扱い企業： H&Iグローバルリサーチ株式会社
-
-
-
-
大学・研究機関でグラフェンなど炭化水素系化合物での各種材料開発に適した…
少量・小サイズのテストピースが簡単な操作で作れるように小型化し、 同時に大幅なコストダウンを実現しました。 また、従来小型では困難とされてきた5～100Pa での圧力コントロール機能を備え、 より多様な処理パターンに対応可能としました。 さらに炭化水素系の可燃性ガスに対しては、警報検出による機器停止、 大気放出ガス希釈ユニットなどの安全装置を備えています。 詳しくは、カタログをダウンロ...
メーカー・取り扱い企業： 佐藤真空株式会社
-
-
-
-
CVDコーティング装置の世界市場規模、シェア、動向分析の調査レポート2…
2023年6月26日に、QYResearchは「グローバルCVDコーティング装置に関する調査レポート, 2023年-2029年の市場推移と予測、会社別、地域別、製品別、アプリケーション別の情報」の調査資料を発表しました。CVDコーティング装置の市場生産能力、生産量、販売量、売上高、価格及び今後の動向を説明します。世界市場の主要メーカーの製品特徴、製品規格、価格、販売収入及び世界市場の主要メーカーの...
メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research
-
-
-
-
簡単に試料セットする事が可能！外部ビューポートよりYAGレーザーを入射…
当製品は、高周波加熱コイルの中心に試料ステージ（自動回転機構付き）があり、 外部ビューポートよりYAGレーザーを入射し成膜ができるCVD装置です。 サンプル導入口はチャンバー側面で、両側開閉可能。 簡単に試料セットする事ができます。 オプションでチャンバー上部にガス供給系（最大5系統）を設置する事も可能です。 【...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社和泉テック
-
-
-
-
【産業調査レポート】世界の化学蒸着法（CVD）市場：カテゴリー別
世界の化学蒸着法（CVD）市場2022-2030：カテゴリー別（CVD…
0年までに407億ドルへ達すると予測しています。当調査レポートでは、化学蒸着法（CVD）の世界市場を調査対象とし、調査手法・範囲、エグゼクティブサマリー、市場変動・動向・範囲、カテゴリー別分析（CVD装置、CVD材料、CVDサービス）、用途別分析（データストレージ、ソーラー製品、切削工具、医療機器、その他）、地域別分析（北米、ヨーロッパ、アジア太平洋、中南米、中東・アフリカ）、競合分析、企業情報...
メーカー・取り扱い企業： H&Iグローバルリサーチ株式会社
-
-
-
-
モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…
【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
-
-
-
-
太陽光発電（PV）セルCVD装置―グローバル市場シェアとランキング、全…
2024年1月4日に、QYResearchは「太陽光発電（PV）セルCVD装置―グローバル市場シェアとランキング、全体の売上と需要予測、2024～2030」の調査資料を発表しました。本レポートは、太陽光発電（PV）セルCVD装置の世界市場について分析し、主な総販売量、売上...
メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research
-
-
-
-
広範な膜特性の制御可能！大幅なパーティクル低減および生産性を向上します
『酸化膜／窒化膜プラズマCVD装置』は、2周波独立印可方式により、 低応力、高硬度、高絶縁性を実現します。 ラジカルプラズマクリーニングシステムによる大幅なパーティクル低減 および生産性を向上。 マルチチャンバ仕...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
-
-
-
-
高い汎用性を備えたシンプルな構造！独自のプラズマ制御方式を採用していま…
『立体物用プラズマCVD装置』は、豊富な蓄積データを有し、 独自のプラズマ制御方式を採用しています。 チャンバー容積は1m3。 多段式大量一括処理可能で、高い汎用性を備えたシンプルな構造です。 マルチチャン...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
-
-
-
-
低温成膜。高絶縁、ハイバリア、均一性！
『PEGASUS』は、メモリ、パワーデバイス、MEMSへの 絶縁膜、保護膜の形成プロセスに低温で緻密な安定した成膜が可能な 量産対応型プラズマCVD装置です。 インターロック機構による、高い安全性を持ち合わせており、ウエハ 接触部位に非金属を使用しているため、裏面からの汚染を防止します。 【特長】 ■低温成膜 ■メンテナンス性 ■ウエハ取扱...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社セルバック
-
-
-
-
3インチウェハ対応！コンパクトな設計となっており省スペース化を実現しま…
当製品は、酸化シリコンを成膜する為のCVD装置です。 コンパクトな設計となっており省スペース化を実現。 内面処理は電解研磨、チャンバー材質はSUS316です。 また、3インチウェハ対応となっております。 【特長】 ■酸...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社和泉テック
-
-
-
-
『無料サンプル』を入手可能！ 関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…
YH Research株式会社（本社：東京都中央区）は調査レポート「グローバルCVDエピタキシー装置のトップ会社の市場シェアおよびランキング 2024」を5月7日に発行しました。本レポートでは、CVDエピタキシー装置市場の製品定義、分類、用途、企業、産業チェーン構造に関する情報を提供します。また、CVDエピタキシー装置市場の開発方針と計画、製造プロセスとコスト構造についても考察します。主要生産地域...
メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社
-
-
-
-
10種類以上の半導体ガスを自在にコントロール可能！カスタマイズ可能
縦型、枚葉、ウェハーサイズ、ガス種、フットプリントなど多くの使用に対応。汎用性を重視したハイグレード縦型減圧CVD装置です。標準仕様を基にカスタマイズを施し、より安価に製造することも可能です。 【特長】 ■スモールフットプリントながらウエハーサイズ3" 6" 8"/inchに対応 ■ヒーター昇降機能に...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社ハイテクノサービス
-
-
-
-
炉のスライド移動による急冷機構を搭載
グラェン膜を合成するための管状炉熱CVD装置です 炉のスライド移動機構を搭載、サンプルの急加熱／急冷が可能 オプションで、モータ駆動による自動スライド機能も追加可能 オプションで、ターボ排気ポンプの追加により、さらに高品質...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社マイクロフェーズ
-
-
-
-
省スペース設計で、バキュームポンプ・モジュールはプロセス・モジュールか…
本装置は、4/5/6 及び 8 インチ・ウェハーに対応しており、プラズマ CVD 法によってウェハーに酸化シリコン膜及び窒化シリコン膜を形成するものです。 基本構成は、プロセス・モジュール及び RF ジェネレータ・モジュール（高周波,低周波各 1Set ）、バキュームポンプ・モジュールの 3 モジュールで構成され ます。...※詳しくは外部リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社インターテック販売 東京本社（拠点－関西営業所、熊本営業所）
-
-
-
-
厚膜形成用プラズマCVD装置。高速かつ低ストレス（特許出願中）
PD-270STPは、液体ソースのTEOSによるシリコン酸化膜（SiO2）形成用の低温、高速プラズマCVD装置です。カソード側の高いシース電界で得られるイオンエネルギーにより、薄膜から厚膜までのシリコン酸化膜を低ストレスで形成することが可能です。...
メーカー・取り扱い企業： サムコ株式会社
-
-
-
-
CVDコーティング装置の世界市場レポート：成長、市場規模、競合状況、予…
2024年3月6日に、QYResearchは「CVDコーティング装置―グローバル市場シェアとランキング、全体の売上と需要予測、2024～2030」の調査資料を発表しました。本レポートは、CVDコーティング装置の世界市場について分析し、主な総販売量、売上、価格、主要企業の市場シェアとランキングに焦点を当てています。また、地域別、国別、製品タイプ別、用途別の分析も行っています。CVDコーティング装置の...
メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research
-
-
-
-
太陽光発電（PV）セルCVD装置に関するグローバル市場分析、市場規模、…
2023年10月26日に、QYResearchは「グローバル太陽光発電（PV）セルCVD装置に関する調査レポート, 2023年-2029年の市場推移と予測、会社別、地域別、製品別、アプリケーション別の情報」の調査資料を発表しました。太陽光発電（PV）セルCVD装置の市場生産能力、生産量...
メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research
-
-
-
-
多彩なプラズマソースが搭載可能！CVD、MOCVDやALD装置をカスタ…
当社では、研究開発や小規模バッチ量産向け装置である、 「CVD・MOCVDカスタマイズ装置」を取り扱っております。 CVD、MOCVDやALD装置をカスタマイズ設計で、 PLUM、FLARION及びMIRENIQUEシリーズの多彩なプラズマソースが搭載可能。 また、FLOCONシリーズのフロー管理システムを搭載しております。 【特長】 ■研究開発や小規模バッチ量産向け装置 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ
-
-
-
-
半導体化学蒸着装置の世界市場：大気耐性CVD、低圧CVD、超高真空CV…
本調査レポート（Global Semiconductor Chemical Vapor Deposition Equipment Market）は、半導体化学蒸着装置のグローバル市場の現状と今後5年間の展望について調査・分析しました。世界の半導体化学蒸着装置市場概要、主要企業の動向（売上、販売価格、市場シェア）、セグメント別市場規模、主要地域別市場規模、流通チャネル分析などの情報を収録しています。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社マーケットリサーチセンター
-
-
-
-
【湿式、乾式(CVD、PVD、溶射、その他】 様々なご提案！
【膜種、方式にとらわれないコーティングの全方位提案！】
こんなお困りごとはありませんか？ 課題、用途に適した膜種、方式を提案 【湿式、乾式(CVD、PVD、溶射、その他】 ●「装置部材の長寿命化」「生産消耗部材の長寿命化」のテーマがある ↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓ ●部材そのものの切替にはコストやリスクがありコーティングを検討したい ↓↓↓↓↓↓↓↓↓↓ ●コーティングメーカーが...
メーカー・取り扱い企業： ナラサキ産業株式会社 メカトロソリューション部 機能材料課
-
-
-
-
-
どのような形状の品物に対しても制限なく使用できる、CVDコーティング装…
中日本炉工業社が取扱う CVDコーティング装置のご紹介です。...どのような形状の品物に対しても 制限なく使用できる、CVDコーティング装置 【特徴】 ○加熱炉一台にコーティングチャンバーを 2〜4台を付加することが可能 ○コーティングは規定圧力で行われる ○プロセスシーケンスは予備プログラミング可能な 自動プロセッサーによって監視され さらに制御及び調節装置を装...
メーカー・取り扱い企業： 中日本炉工業株式会社
-
-
-
-
『無料サンプル』を入手可能！ 関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…
YH Research株式会社（本社：東京都中央区）は調査レポート「グローバルCVD装置のトップ会社の市場シェアおよびランキング 2023」を11月8日に発行しました。本レポートでは、CVD装置市場の製品定義、分類、用途、企業、産業チェーン構造に関する情報を提供します。また、CVD...
メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社
-
-
-
-
高硬度、耐熱、半導体特性、化学蒸着法炭化ケイ素 CVD-SiC
『CVD-SiCコーティング』は、高硬度、耐熱性、耐磨耗性に優れた 半導体特性を持つ薄膜です。 当社独自のCVD法により半導体装置部品等にも適応可能なグレードを保ち、 高純度のSiC膜を最大2mm以上析出してバルクのSiCを作成しております。 【特長】 ■高硬度 ■優れた耐熱性 ■優れた耐磨耗性 ■半導体特性を有する ■半導体装置部品等にも適応可能 ※詳しくはカタロ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社インターフェイス
-
-
-
-
ランプ加熱式の為にRTP、RTCVD処理可能！クオーツ製チューブ型チャ…
『MC-050』は、最大50mm径基板対応のDLI-CVD/DLI-ALD装置です。 最大成膜温度は1100℃(ランプ加熱方式)で、最大6×DLI気化器を搭載可能。 また、マスフローコントローラーは最大8、ターボポンプ搭載可能です。 ご用命の際は、当社へお気軽にご相談ください。 【特長】 ■最大50mm径基板対応 ■最大成膜温度：1100℃(ランプ加熱方式) ■最大6x ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ
-
-
-
-
DLI-CVD/DLI-ALD装置『MC-100/MC-200』
最大成膜温度は800℃！チャンバー加熱機構で最大4x DLI気化器を搭…
『MC-100/MC-200』は、スチールステンレス製チャンバーの DLI-CVD/DLI-ALD装置です。 最大200mm径基板対応、マスフローコントローラーは最大「MC-100」が8、 「MC-200」は6で、ターボポンプ搭載可能となっております。 ご用命の際は、当社へお気軽にご相談ください。 【特長】 ■最大200mm径基板対応 ■最大成膜温度：800℃ ■最大4...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社ハイテック・システムズ
-
-
-
-
リチウムイオン電池用Si系や黒鉛系負極材表面への均一なCVDカーボンコ…
炉心管を回転させ、粉体試料を攪拌させながら、CVDプロセスを可能にした装置。攪拌作用により、均一なCVD処理が可能になる。...【特徴】 ○ 炉心管をモータ駆動で可変の速度で回転可能 ○ 真空CVDモードにおいても回転可能 ○ 粉体試料の各種CVD処理に最適。 ●その他機能や詳細はお問い合わせください。...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社マイクロフェーズ
-
-
-
-
優れた高純度・耐食性！半導体製造装置部品として高い性能を発揮します
『CVD-SiC』は、CVD法（気相成長法）で製造したバルクSiCです。 高純度、耐食性に優れ、半導体製造装置部品として高い性能を発揮。 長寿命で、SiCコート品におけるピンホール、剥離の問題が発生しません。 また、プロセスによって適したグレードを選択できます。 【特長】 ■高純度・優れた耐食性 ■長寿命 ■低抵抗、高抵抗グレード ■プロセスによって好適なグレードを選択...
メーカー・取り扱い企業： 巴工業株式会社 機能材料部
-
-
-
-
プラズマCVD装置『PD-270STLC／PD-2201LC』
引張り～圧縮の応力制御が可能！スペースに合わせて柔軟に設置できます
サムコ株式会社では、プラズマCVD装置である『PD-270STLC／PD-2201LC』を 取り扱っております。 「PD-270STLC」は、上部、中部、底部とカバレッジ性良く成膜が可能。 また「PD-2201LC」は...
メーカー・取り扱い企業： サムコ株式会社
-
-
-
-
ホットワイヤーソース『HWCV/DCAT-CVD/ICVD』
触媒CVDおよびiCVDアプリケーション向け！統合されたガス分配システ…
当社では、触媒CVDおよびiCVDアプリケーション向けにホットワイヤーソースを 提供しています。 インラインおよびダイナミック製膜プロセスには特殊な直線形エネルギー源が 利用可能。 特殊設計のソースフランジ、すばやく取り付けができるワイヤーコンポーネント によって構成されており、必要に応じて、単にユニット毎に交換することで、 このワイヤーコンポーネントダウンタイムを短縮できます...
メーカー・取り扱い企業： フォンアルデンヌジャパン株式会社
-
