- 製品・サービス
731件 - メーカー・取り扱い企業
企業
52件 - カタログ
200件
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PR難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに対応可能
当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型 スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。 フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池や バッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や 表面保護のためのコーティングにも対応。 サンプルサイズ、成膜対象マテリアル、バッチプロセス等、お客様の 用途に応じて組み立てることが可能です。 ...
メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社
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【MiniLab（ミニラボ）】シリーズフレキシブル薄膜実験装置
PRモジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…
【フレキシブルシステム】 MiniLab薄膜実験装置シリーズは、豊富なオプションから必要な成膜方法・材料に応じて都度、ご要望に適したコンポーネント（成膜ソース、ステージなど）、制御モジュールを組み込み、カスタマイズ品でありながら無駄の無いコンパクトな装置構成を容易に構築することができます。モジュラー式制御ユニットをPlug&Play 感覚で装置を構成することにより応用範囲が広がり、様々な薄膜プロ...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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高レート イオンビーム・スパッタ高速成膜装置（HR-PVD）
誘電体、強磁性体成膜を高レートかつ高品位に高速成膜
高レートかつ直進性の高い成膜を実現します。 ターゲット面全体を高効率で利用するため、貴重・希少なターゲットを用いる成膜工程でのコスト削減にも貢献します。 ＜特長＞ ■高速・高効率イオンビームスパッタリング 誘電体・強磁性ターゲットへの最適解 ■ヘリコンプラズマイオンソースとターゲット印加 高速スパッタリングと低コンタミの両立 ターゲット利用効率の向上によるランニングコスト削減 グリッド...
メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社
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半導体用貴金属スパッタリングターゲットの世界市場シェア2023
世界の半導体用貴金属スパッタリングターゲット市場2023年：企業・地域…
■日本語タイトル：世界の半導体用貴金属スパッタリングターゲット市場2023年：企業・地域・種類・用途別分析 ■英語タイトル：Global Precious Metal Sputtering Targets for Semiconductor ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社Lpinformationdata 路亿策略
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スパッタリングターゲットおよびスパッタ膜の世界市場調査レポート
『無料サンプル』を入手可能！ 関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…
YH Research株式会社（本社：東京都中央区）は調査レポート「グローバルスパッタリングターゲットおよびスパッタ膜のトップ会社の市場シェアおよびランキング 2024」を2月8日に発行しました。本レポートでは、スパッタリングターゲットおよびスパッタ膜市場の製品定義、分類、用途、企業...
メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社
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世界のマグネトロンスパッタリング成膜装置市場2023年：企業・地域・種…
■レポ－トの種類：グロ－バル市場調査レポ－ト ■日本語タイトル：世界のマグネトロンスパッタリング成膜装置市場2023年：企業・地域・種類・用途別分析 ■英語タイトル：Global Magnetron Sputtering Deposition Systems Market Growth...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社Lpinformationdata 路亿策略
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バナジウムスパッタリングターゲットの世界市場調査レポート2024
バナジウムスパッタリングターゲット世界市場の展望と動向分析レポート：規…
2024年3月11日に、QYResearchは「バナジウムスパッタリングターゲット―グローバル市場シェアとランキング、全体の売上と需要予測、2024～2030」の調査資料を発表しました。本レポートは、バナジウムスパッタリングターゲットの世界市場について分析し、主な...
メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research
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真空スパッタリング成膜装置の世界市場レポート2024-2030
『無料サンプル』を入手可能！ 関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…
YH Research株式会社（本社：東京都中央区）は調査レポート「グローバル真空スパッタリング成膜装置のトップ会社の市場シェアおよびランキング 2024」を3月6日に発行しました。本レポートでは、真空スパッタリング成膜装置市場の製品定義、分類、用途、企業、産業チェーン構造に関する情報を...
メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社
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パイロットラインから量産ラインへが展開が可能な装置です。
RAMカソード（4面対向式低ダメージスパッタリングカソード） 及び強磁場プレーナーカソードを搭載したデポジションアップ式水平インライン型スパッタ装置です。 下地層にダメージを与えないよう、初期層はRAMカソードで低ダメージスパッタ成膜...
メーカー・取り扱い企業： 京浜ラムテック株式会社
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マグネトロンスパッタリング装置の世界市場：メーカー、地域、タイプ、アプ…
グローバル市場調査レポート出版社であるQYResearchは「世界のマグネトロンスパッタリング装置の供給、需要、主要メーカー、2024 ～ 2030 年レポート」レポートには、世界市場、主要地域、主要国におけるマグネトロンスパッタリング装置の販売量と販売収益を調査しています。同時に、マ...
メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research
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並列運転により最大60kW！出力500W～20kWと豊富な製品ラインア…
有限会社エイチ・エス・エレクトリックでは『DCスパッタリング電源』を 取り扱っております。 当社の従来品と比較して、約2/3の小型化を実現。 さらに、低アーク処理もオプションにて対応可能です。 ご用命の際は、お気軽にお問い合わせください...
メーカー・取り扱い企業： 有限会社エイチ・エス・エレクトリック
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多機能・コンパクト・フレキシブル対応、実績と信頼の標準型ラインナップ
コンパクトな筐体に３元のカソードを組み込んだ標準バッチタイプスパッタリングシリーズ。広い膜厚分布均一範囲と自動制御機構によって各種電子デバイスや関連材料の成膜工程をの基礎開発から量産までカバーします。 多くの納入実績に支えられた成膜プロセスとオプションにより御要望...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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液晶用スパッタリングターゲット市場：世界の産業現状、競合分析、シェア、…
2023年11月1日に、QYResearchは「グローバル液晶用スパッタリングターゲットに関する調査レポート, 2023年-2029年の市場推移と予測、会社別、地域別、製品別、アプリケーション別の情報」の調査資料を発表しました。液晶用スパッタリングターゲットの市場生産能...
メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research
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『無料サンプル』を入手可能！ 関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…
YH Research株式会社（本社：東京都中央区）は調査レポート「グローバルチタンスパッタリングターゲットのトップ会社の市場シェアおよびランキング 2024」を1月4日に発行しました。本レポートでは、チタンスパッタリングターゲット市場の製品定義、分類、用途、企業、産業チェーン構造に関する...
メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社
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RFイオンソースを使用し、シングルステージまたはプラネタリーステージを…
●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。 【装置仕様概略】 ・スパッタリング用イオンソース フォーカスグリッド ・アシスト用イオンソース デフォーカスグリッド ・シングルステージ ・ターゲットホルダー ・排気系 ・制御系 【オプション...
メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社
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抗ウイルス スパッタリング加工（各種基材への抗ウイルス機能付与）
積水ナノコートテクノロジー独自のスパッタリング技術で、所望の基材（繊維…
効果が無いものが多い。 ４）溶剤とバインダーが使用されており、環境負荷が高い。 といった課題があり、これらを解決する手法をご提案します。 ◆解決出来る課題・技術適用による効果 １）スパッタリング技術により金属膜を基材上に成膜可能。このため効果は長期間持続。（現時点で半年以上の持続性を確認） ２）ノロウイルスへの効果が高く、食品関係の部材に最適。 ３）この膜一つで抗ウイルス、抗カビ...
メーカー・取り扱い企業： 積水ナノコートテクノロジー株式会社
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ドイツ・ADL社製の、空冷式の小型スパッタ電源です。
「GSシリーズ：GS05-GS30」は、 容量0.5 kWから 3 kWまでをカバーした全11型式がございます。主に研究開発用の小型スパッタ装置をターゲットにした製品です。すべて空冷式であり、煩わしい冷却水を導入する必要がございません。...以下のモデルがございます。 型式 DC-出力 パーツ番号 GS 05/800 0.5 kW 800 V 0.9 A 03Z040...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン
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試作装置・大型装置にて研究開発/試作/量産をアシストします！
『スパッタリングコーティング(成膜)サービス』は、低音高速マグネトロン スパッタを利用したアシストサービスです。 試作装置・大型装置にて研究開発/試作/量産をアシストします。 各種CVD・EB蒸着・...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アシストナビ
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低真空の成膜環境を用いた成膜技術です
立体形状基板（ワーク）に対しても良好な付き回りで均一な成膜が可能なスパッタリング成膜設備を保有しております。 Al、Ag、Cu等の金属成膜が可能で、ガラス基板・樹脂基材へ低応力の薄膜を成膜します。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さ...
メーカー・取り扱い企業： 京浜光膜工業株式会社
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韓国製 スパッタリングターゲット(AZO,ZnO,GZOタイプ)
太陽電池用・ディスプレイ等で採用実績多数の透明導電用スパッタリングター…
＊TCO（透明導電膜）ターゲット材 ＊ナノ粒子を用いた緻密なセラミックコート素材 ＊AZO(ZnO(酸化亜鉛)＋Al2O3(酸化アルミニウム))系、 ZnO(酸化亜鉛)系、GZO(ZnO（酸化亜鉛)＋Ga2O3(酸化ガリウム(III))系 がございます。 AZO・ZnOターゲットは理論密度99.5％以上の高密度。 GZOターゲットは99％以上の高密度 ＊ターゲット表面抵抗：5...
メーカー・取り扱い企業： 蝶理株式会社 無機ファイン部
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円筒ITOターゲットのパイオニア、ユミコア社製円筒形ITOスパッタリン…
特徴： -. 組成：90wt% In2O3 ー10wt% SnO2はもちろん、SnO2の組成比を1wt%から20wt%まで柔軟に対応致します。 -. 最長670ｍｍまで分割無しで製作可能です。 -. 平面形状、ディスク形状でのご提供も可能です。...組成： Ｉｎ２Ｏ３―ＳｎＯ２（１－２０ｗｔ％） 密度： ７．１０ｇ／ｃｃ以上 純度： ９９．９９％以上 製法： Ｔｉ製バッキングチューブへ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン
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ターゲット材、スパッタリング材用高純度シリコン製品（5N〜6N）
高純度シリコン製品（5N〜6N）をお客様の要望によってカスタマイズしま…
弊社では、高純度シリコン製品を製造する海外企業と密接な関係を作っており、お客様の要望に合わせた仕様の多結晶シリコン・インゴット、単結晶シリコン・ターゲット、単結晶スパッタリング・ターゲットを供給可能です。まずは弊社からのヒアリングにお答えいただき、サンプルを作成させていただきます。そのサンプルを実際にお手にとってご判断ください。きっとご満足いただけると思っております...
メーカー・取り扱い企業： テラスケープ合同会社
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小径基板専用のコンパクトタイプスパッタリング装置 全手動操作で低コスト…
高い信頼性をもつ上位機種と真空槽・排気系を共通化。操作方法の手動化によって低コスト化を実現。膜種・目的に合わせて各部（カソード・基板台等）が選択可能。実績豊富な各部機構と安定した成膜性能で研究開発作業の効率化・質の向上が「図れます。...成膜系：φ３インチカソード １元装備 ：高周波電源 １源装備 ：基板加熱機構標準装備 ：排気系 拡散ポンプ＆油回転ポンプ 操作...
メーカー・取り扱い企業： 神港精機株式会社 東京支店
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スパッタリングターゲット、CMPスラリーなど、微量不純物分析の前処理に…
9 cm ・温度：最大300℃ 、 圧力：最大199bar、 出力：最大2000W ・最大サンプル数:28 CMPスラリー：研磨剤、酸化剤（酸化性物質）、キレート剤、腐食抑制剤 スパッタリングターゲット：アルミニウム、銅、ステンレス、タンタル、ニッケル ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社アントンパール・ジャパン
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正確な体積量で、パウダーを分注
パウダーディスペンサーSDM-1は、非常に正確にかつ再現性高く、予め規定した体積量の粉末を分注します。非常にコンパクトに設計されていますので、現在の作業工程に組み込みやすく、電源も使用しません。SDM-1は、1回の取り分けにつき、5mgから250mgまでの分量で設定可能です。...交換可能な体積基準の分注ディスク バルク密度がわかれば、重量基準での分注も可能 典型的な分注範囲は5mgから250...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社スパッタリングコンポーネンツジャパン
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【金属調_ドライメッキ_蒸着、スパッタリング】樹脂成形、ゴム成形
樹脂やゴムの部品を高級感のある金属調に加飾します。
金属調の意匠性を実現！カラーバリエーションの対応も可能 蒸着、スパッタリングはドライメッキと言われ、樹脂部品やゴム部品に金属調の意匠性を実現した技術です。 ゴム材料に対してメッキ調の加飾が可能で、折り曲げにも追従し 蒸着層に割れが発生しません。 要望により、...
メーカー・取り扱い企業： サンアロー株式会社
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『無料サンプル』を入手可能！ 関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…
2023年9月5日に、YHResearchは「グローバルチタンスパッタリングターゲット材のトップ会社の市場シェアおよびランキング 2023」の調査資料を発表しました。本レポートでは、チタンスパッタリングターゲット材の世界市場について、製品別、アプリケーション別、会社別...
メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社
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光学コーティング剤の世界市場（2023～2028）：光学フィルター用コ…
ゼクティブサマリー、市場動向、製品種類別分析（光学フィルター用コーティング剤、反射防止コーティング剤、透明導電コーティング剤、ミラーコーティング剤、その他）、技術別分析（化学蒸着、イオンビームスパッタリング、プラズマスパッタリング、原子層堆積、サブウェーブレングス構造表面）、産業別分析（航空宇宙＆防衛、電子＆半導体、通信、医療、その他）、地域別分析（中国、インド、日本、韓国、アメリカ、カナダ、メ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社マーケットリサーチセンター
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ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…
ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...
メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社
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『無料サンプル』を入手可能！ 関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…
2023年9月26日に、YHResearchは「グローバルパネル用スパッタリングターゲットのトップ会社の市場シェアおよびランキング 2023」の調査資料を発表しました。本レポートでは、パネル用スパッタリングターゲットの世界市場について、製品別、アプリケーション別、会社別、...
メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社
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半導体や電子部品に蒸着させる高純度高品質のスパッタリングターゲットをお…
今以上にレアメタル系のスパッタリングターゲットは供給市場が逼迫します。レアメタル先進国の中国から、小ロットでも短納期で対応いたします。...
メーカー・取り扱い企業： 合同会社樋口経済企画研究所
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鮮明な画質を追求したモリブデンスパッタリングターゲットです。
スターの決め手になります。個々の画素（ピクセル）を瞬間的に制御し、その結果、鮮明な画質を保証します。 モリブデン層はCIGS太陽電池の背面電極にも使用されています。 プランゼーのモリブデンスパッタリングターゲットは、密度がほぼ100%です。 そのため、スパッタリング時間が短縮され、プロセス速度を上げることができます。 モリブデンターゲットの密度が高くなればなるほど、生成される層の導電性も...
メーカー・取り扱い企業： プランゼージャパン株式会社
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スパッタリングターゲット材について
スパッタリングターゲットは、 Cr,Ti,CrAl,WC、その他多種類の材料を取り揃えており、 形状・寸法につきましても丸状、板状、棒状など お客様のニーズにより対応致しますので、ご要望をお待ちしております。 ...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社エムアンドシー
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TruPlasma Highpulse 4000（G2）シリーズ
数マイクロ秒でのフォーミング、長年にわたる耐久性！当社の電力供給装置を…
『TruPlasma Highpulse 4000（G2）シリーズ』は、高出力インパルス マグネトロンスパッタリング向けに専用設計された電力供給装置です。 硬く均質で滑らかなコーティングは、機能的にも装飾的にも好適。 当製品が生み出す独特なイオン特性は、金属イオンエッチング （スパッタリング前...
メーカー・取り扱い企業： トルンプ株式会社
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ロードロック方式スパッタリング装置 「SPH-2500-II」
膜厚分布：トレー内 ±1.2％、トレー間 ±1.5％を達成しました。
昭和真空は、約15年の実績を誇るベストセラー装置SPH-2500のフルモデルチェンジを行いました。 ロードロック方式スパッタリング装置 「SPH-2500-II」は、従来装置の特徴を受け継ぎつつ最新のテクノロジーを採用し、あらゆる面で従来機を超える性能を達成致しました。 【特徴】 ○外形：W1200×D2500×...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社昭和真空
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受託サービス（CVD、スパッタリング、パターニング、エッチング）
ウェハー上への微細加工、確かな技術で幅広い受託サービスを提供します。
少量試作・開発・量産まで、成膜加工（CVD、スパッタリング）・パターニング（フォトリソ）・エッチング加工に関する受託加工サービスを提供いたします。 成膜は、ウエハー上に数百ナノの絶縁膜、金属膜を形成。 パターニング（フォトリソ）は、マスクに描...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社九州セミコンダクターKAW 山香工場
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表面改質から触媒利用まで！成膜事例付きで密着性が高い粉体スパッタ技術を…
会社の取り扱う『粉体スパッタ技術』 についてご紹介しています。 「粉体コーティングにおけるめっき(湿式)とスパッタ(乾式)の比較について」や、 「成膜事例(光学顕微鏡観察像)」「粉体スパッタリング装置外観図」などを 掲載しています。 【掲載内容】 ■粉体コーティングにおけるめっき(湿式)とスパッタ(乾式)の比較について ■応用性の広がり ■粉体スパッタリング装置外観図 ...
メーカー・取り扱い企業： エイ・エス・ディ株式会社 技術研究所
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立体物成膜での高いカバレッジを実現！ 最大3台のスパッタカソードを搭…
『立体物用スパッタリング装置』は、当社独自のスパッタカソードを 搭載しています。 ワークステージに4軸機構（昇降、公転、自転、チルト）を搭載し、立体物成膜での高いカバレッジを実現。 加熱機構、バイアス電源を...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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金属・金属酸化物・誘電体膜対応 薄膜コーティング
フォトプレシジョン社 『薄膜コーティング』のご案内です。 ほとんどの金属・金属酸化物をコーティングすることが可能！ ■□■特徴■□■ ■抵抗加熱真空蒸着、EB加熱真空蒸着、スパッタリング装置を 社内に保有 ■抵抗過熱真空蒸着 真空中で薄膜材料（ターゲット）を加熱蒸発させ、基板面に 付着させる蒸着方法 ■E.B.加熱真空蒸着 真空中でターゲットを加...
メーカー・取り扱い企業： フォトプレシジョン株式会社
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ヒーターステージ(1000℃)搭載！開発工程～量産工程まで様々な用途へ…
『S600』は、多層・積層成膜プロセスの改善により電子部品の品質強化と 生産性向上に貢献する多層膜スパッタリング装置です。 高品質・高精度な成膜によりデバイス品質の向上。高スループット、 生産歩留り向上、材料利用効率の最適化によりコスト競争力をアップします。 多様な成膜条件に対応したオプシ...
メーカー・取り扱い企業： パナソニック プロダクションエンジニアリング株式会社
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High-Rate Depo. 圧電膜形成スパッタリング装置
半導体、MEMS、電子部品等に！単結晶エピタキシャルバッファ層から圧電…
『圧電膜形成スパッタリング装置』は、プラズマエミッションモニター搭載により 圧電特性低下に寄与する元素検知可能な製品です。 単結晶エピタキシャルバッファ層から圧電膜まで連続成膜することができます。 また発光分...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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真空装置のサポート・真空プロセス製品を広くご紹介しております。
メンテナンス・リサーチ株式会社は、米国Materia Is Research Corporation製造スパッタリング装置のメンテナンスを目的に2008年に設立しました。 メンテナンス・リサーチは新しい真空プロセス設備のご紹介とともに、ご使用設備を長く安定して稼働して頂くよう、製造中止パーツの置き換え、電源...
メーカー・取り扱い企業： メンテナンス･リサーチ株式会社
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イオンソースを搭載した実験用装置 精密光学の超薄膜多層成膜に活用可能
OSIの「イオンビームスパッタリング装置」は、お客坂の使用ニーズに合わせてカスタマイズできるイオンソースを搭載した実験用装置です。Veeco社の SPECTOR 相等の能力を発揮します。 RFイオンソースをスパッタ用およびスパ...
メーカー・取り扱い企業： アールエムテック株式会社
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CVD室、蒸着室、プラズマクリーニング室等の組み合わせも対応可能です！
『ロードロック式スパッタリング装置』は、ムービングマグネットにも対応し 全面エロージョンが可能です。 当社独自のスパッタカソードや急速昇降温基板加熱機構を搭載し 基板温度900℃を実現。 発光分析システムに...
メーカー・取り扱い企業： ジャパンクリエイト株式会社
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スパッタリングターゲット、蒸着材料ともに高純度の製品をお届けします。
半導体をはじめ、さまざまな産業分野で活躍する各種薄膜材料。 高純度貴金属にはじまり、高純度ニッケル・コバルト合金、 希少金属材料と、高付加価値の薄膜材料を供給いたします。...【特徴】 ◯電極膜形成用ターゲット 湿式精製、高温精製技術を駆使した、極めて不純物の少ないターゲットを提供します。 ◯バリア膜形成用ターゲット 接合用ハンダ材料から拡散する各種元素からセラミックなどの基盤を守...
メーカー・取り扱い企業： 株式会社タイヘイテクノサービス
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不純物なく金属・絶縁物等を堆積するRF, DC, パルスDC対応高効率…
【特徴】 ・高真空対応 ・Φ2inch、Φ3inch、Φ4inchサイズ ・クランプリング式を採用、ボンディングが不要 ・メンテナンス性に優れ、容易にターゲットの交換が可能 ・シャッター、チムニーポート、ガスインジェクション、磁性材用高強度マグネット、などのオプションが豊富 ・各種フランジサイズ接続に対応...【主仕様】 ■RF, DC, パルスDC対応 ■ターゲット厚さ：1/16...
メーカー・取り扱い企業： テルモセラ・ジャパン株式会社
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優れた技術力！高品質の結合スパッタリングターゲットを提供するFHRにつ…
ました。 FHRは薄膜技術を提供し、世界中の顧客に幅広い用途向けにカスタマイズ された機器を提供しています。 【FHRテクノロジーポートフォリオに含まれるもの】 ■マグネトロンスパッタリングとCVDによる高度なメタライゼーション技術 ■酸化物および窒化物の堆積のための反応性スパッタリング技術 ■高密度プラズマ源のサポートによる高度なエッチング技術 ■半導体、金属、セラミック...
メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社
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PR
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3次元レーザ統合システム『ALCIS-1008e』
【変わる世界に、光でこたえを。】高出力Blueレーザによる高速…
株式会社アマダ（アマダグループ） -
リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置
ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバ…
ティー・ケイ・エス株式会社