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PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…
ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...
メーカー・取り扱い企業: ティー・ケイ・エス株式会社
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自動切換バルブ付き高圧シリンジポンプ『L.TEX8523型』
モータードライブの高圧バルブ装備!自動切換バルブ付き高圧シリンジポンプ
○送液形式:ボールネジによるシリンジ駆動形式 ○最大使用圧力:20MPa ○設定流量範囲:0.5~500μl/min ○シリンダー容量:30ml ○接液部材質:SUS316、PEEK、高密度ポリエチレン、フッ素樹脂 ○主な機能 →定流量/定圧送液機能、タイムプログラム(ステップワイズ)、 →上下限圧力リミッター、ポンプオフタイマー、流路自動切換バルブ →撹拌用強電磁スターラー...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社エルテックス
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撹拌用強電磁スターラー付き!スラリー液の高圧送液ができるシリンジポンプ
○送液形式:ボールネジによるシリンジ駆動形式 ○最大使用圧力:15MPa ○設定流量範囲:0.01~5.00ml/min ○シリンダー容量:50ml ○接液部材質:SUS316、PEEK、高密度ポリエチレン、フッ素樹脂 ○主な機能 →定流量/定圧送液機能、タイムプログラム(ステップワイズ) →上下限圧力リミッター、ポンプオフタイマー、流路自動切換バルブ →撹拌用強電磁スターラー付...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社エルテックス
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自動切換バルブ付大容量高圧シリンジポンプ『L.TEX8525型』
大容量シリンダー装備!長時間安定した無脈動送液を可能にしたシリンジポン…
○送液形式:ボールネジによるシリンジ駆動形式 ○最大使用圧力:10MPa ○設定流量範囲:0.1~20.0ml/min ○シリンダー容量:300ml ○接液部材質:SUS316、PEEK、高密度ポリエチレン、フッ素樹脂 ○主な機能 →定流量/定圧送液機能、タイムプログラム(ステップワイズ) →上下限圧力リミッター、ポンプオフタイマー、流路自動切換バルブ ○流路切換バルブ:自動切換...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社エルテックス
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手動バルブ付き中容量高圧シリンジポンプ『L.TEX8526型』
中容量シリンダー装備!耐圧も高く汎用の用途に最適なシリンジポンプです
○送液形式:ボールネジによるシリンジ駆動形式 ○最大使用圧力:30MPa ○設定流量範囲:0.01~5.0ml/min ○シリンダー容量:80ml ○接液部材質:SUS316、PEEK、高密度ポリエチレン、フッ素樹脂 ○主な機能 →定流量/定圧送液機能、タイムプログラム(ステップワイズ) →上下限圧力リミッター、ポンプオフタイマー、流路自動切換バルブ →撹拌用強電磁スターラー付...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社エルテックス
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シールの位置を工夫!溶媒と外気の接触を遮断する構造のシリンジポンプ
○送液形式:ボールネジによるシリンジ駆動形式 ○最大使用圧力:20MPa ○設定流量範囲:0.01~0.5ml/min ○シリンダー容量:15ml ○接液部材質:SUS316、PEEK、高密度ポリエチレン、フッ素樹脂 ○主な機能:定流量送液機能、ピストン洗浄機構内蔵 ○大きさ/重量 →ポンプ部:145(W)×463(H)×300(D) 約8kg →電源部:178(W)×100(...
メーカー・取り扱い企業: 有限会社エルテックス
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