リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

【3次元走行台車システム】T-AstroX

3次元を駆ける。保管・搬送・ピッキング作業自動化。

▼▼ポイント▼▼▼ ・ Goods to Person 搬送ロボットが商品を作業者の手元まで運んでくる「GTP」方式を採用しており、作業者の負担軽減や作業ミス低減による省人化を実現！ ・高密度保管 ダブルリーチ機構を搭載し、棚の手前と奥に保管することが可能。 ・荷姿を選ばない保管形態 商品が入ったケースを移載トレイに載せてハンドリングするため、専用ケースへの移し替えが不要。 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社椿本チエイン　マテハン事業部