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PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…
ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...
メーカー・取り扱い企業: ティー・ケイ・エス株式会社
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フォークリフトによる入出庫作業を自動化。 前後左右に走行するシャトル…
サイビスター2はシャトル(搬送台車)がラック内を前後左右に走行しパレット品の高密度保管を実現するパレットストレージシステムです。 現状のスペースで保管量を増やしたい、これまでの保管量を維持しつつ保管効率を高めスペースを削減したい、どちらの要望にも対応します。 また先...
メーカー・取り扱い企業: 株式会社オカムラ 物流システム事業本部
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