リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

雰囲気焼結炉

複雑な形状もお任せ！高密度の焼結処理が1サイクルで行える全自動型焼結炉

『雰囲気焼結炉』は、射出成形品のような非常に複雑な形状の 焼結製品でも、精度よく処理できる炉です。 高密度（95％以上）の焼結処理が1サイクル（常圧雰囲気）で 行うことができ、最新機器による厳密な温度・雰囲気制御で、 運転は全自動を実現。 さらに表面処理や仕上げ加工（HIP、サイジング）を行...

メーカー・取り扱い企業： 中外炉工業株式会社

プラズマ式灰溶融炉

都市ごみ焼却灰減容・無害化を目的としたプラズマ式溶融炉です。

設備特長 ●高密度熱源によって装置のコンパクト化が図れる。 ●高温溶融が可能。 ●エアプラズマ、不活性ガス(N2、Ar）プラズマ等、キャリアガスタイプを選択できます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社タナベ 東京本部