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PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…
ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...
メーカー・取り扱い企業: ティー・ケイ・エス株式会社
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当社製品のLED照明『マイナスイオン LED』を展示いたします。除菌・…
り省電力でより明るく、空気をキレイに保つことが可能。 また、モーターなどの駆動音も発生しないので、設置場所をより良い空間へと変えることができます。 夕バコの煙やカビ、トイレなどの様々な臭いを、高密度マイナスイオンを 発生させることにより減少させ、目には見えない浮遊物質の減少にも、 優れた効果を発揮します。 【特長】 ■マイナスイオン32 万個/cm3 ■優れた除菌/消臭/除塵効...
メーカー・取り扱い企業: エスプランニング株式会社
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