リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

SHMシリーズ　長周期振動モニタリングシステム HM-0013

身近に実現、構造ヘルスモニタリング！

性能・コストとのバランスを配慮した小型高性能振動計測装置です。 新開発加速度センサモジュール搭載で、長周期地震波の検知から構造物ヘルスモニタリングまで広範囲に対応します。 構造物に限らず多点、高密度の地震計測や傾斜検知にも広く応用いただけます。 【特長】 ○高い長周期検知能力 ○高い微動検知能力 ○3軸同時計測可能 ○衝撃に耐える強固なセンサ ○常にセンサの健全性をセルフチェ...

メーカー・取り扱い企業： ＩＭＶ株式会社