リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

粉体輸送装置【PTS】　電池/バッテリー材料のハンドリングに

電池／バッテリー材料の不活化ハンドリングに好適！リチウム、ニッケル、コ…

独自の輸送メカニズムである高真空を利用することにより、高密度で低速なプラグ輸送を実現。結果的に従来の空気輸送装置では困難であった電池材料である金属粉体などの重質な粉体や湿潤粉体、液体の輸送が可能となります。さらには、輸送ホース内を不活化雰囲気にすることで輸...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社樋口商会