リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

屋内点検用ドローン『ELIOS 3』

人の立ち入りが困難な施設の点検に。　LiDARで取得した点群データの3…

『ELIOS 3』は、LiDARセンサーとSLAM技術の活用により、 人が立ち入るのが困難な場所の点検作業を効率的に行えるドローンです。 LiDARセンサーで周囲をスキャンし、高密度な点群マップを作成。 操縦者の手元のタブレットに撮影画像と併せてリアルタイムに表示されます。　 GeoSLAM社のソフトウェアパッケージとの統合により、 精細な点群データの作成（3Dモデリン...

メーカー・取り扱い企業： ブルーイノベーション株式会社