リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

CIQTEK QDAFM Diamond III

CIQTEK 量子ダイヤモンド原子間力顕微鏡 Diamond III

ダイヤモンドプローブによる量子制御とスピンの検出により、サンプルの磁気特性が定量的かつ非侵襲で取得できます。 ナノスケールの空間分解能と超高検出感度を備えた QDAFM は、磁気テクスチャ、高密度磁気ストレージ、およびスピントロニクスを研究開発するための革新的なテクノロジーです。 ダイヤモンドNVセンター搭載の量子プローブによって可能になった磁気イメージング技術は、高い空間分解能と優れた...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エルエイシステムズ