スパッタリング | イプロスものづくり

コンパクト設計で省スペースを実現！大学や民間の研究室に最適なスパッタリ…

韓国 A-tech社は1964年の創業以来、顧客のニーズに合わせた薄膜製造装置を提供してきました。デスクトッププロは小型高性能でデスクトップに設置でき、経済的にもメリットのあるスパッタリング装置です。物性研究や製品QCおよびQA、半導体の故障解析などに最適です。 ■詳細はカタログダウンロードより■ ●御問合せ：03-5472-1722 (TEL)...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マツボー

研究開発用スパッタリング装置

コンパクト・ローコスト・充実機能、研究開発用ローコストスパッタリング装…

少量生産対応可能な上位機種の能力を手動操作型の簡易実験機で実現８インチ対応の多元高周波スパッタリング装置。高速排気と高いプロセス性能によりＭＥＭＳ・化合物半導体・電子デバイスの基礎研究に対応電子部品の量産対応実績を持つバッチタイプスパッタリング装置シリーズ...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

IBSコート付きオプティクス一覧

在庫販売で短納期！全品1個から販売

エドモンド・オプティクスは、業界屈指のVeeco SPECTOR イオンビームスパッタリング装置を自社内に導入し、精密IBSコーティングに対応しています。 SPECTORプラットフォームの卓越した層厚制御と向上したプロセス安定性は、コーティングバッチの高い再現性と、設計...

メーカー・取り扱い企業：エドモンド・オプティクス・ジャパン株式会社

オーダーメイド型スパッタリング成膜装置

難しい材料、様々な基板形状、用途にも！非常に幅広い基板サイズに対応可能

当社では、研究・試作から量産まで対応可能な「オーダーメイド型 スパッタリング成膜装置(PVD)」を取り扱っております。フレキシブルエレクトロニクス、光通信技術、薄膜太陽電池やバッテリー等の薄膜デバイスの研究開発から量産まで装飾や表面保護のためのコーティ...

メーカー・取り扱い企業：プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

マルチチャンバスパッタリング装置

20年以上の歴史を誇る実績のラインナップ。R&Dから量産までハイエンド…

搬送室を中心としたクラスター型スパッタリング装置。基板搬送もベア及びトレイ（サセプター）も標準対応。矩形・小径・不定形多くの基板に積極対応。最大8インチ及び8インチ相当の矩形基板に対応。6角形タイプと4角形タイプの２機種を標...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

2インチ2元スパッタリング装置『HMS2-300』

フラットヒータ加熱により最大600℃まで昇温可能！真空及びガス置換雰囲…

『HMS2-300』は、フラットヒータ加熱により最大600℃まで昇温可能なため、高温化での成膜が可能な2インチ2元スパッタリング装置です。真空及びガス置換雰囲気下での成膜に対応しています。2インチマグネトロン式スパッタカソードを具備しており、最大3元まで増設可能です。オプションでL/Lチャンバ、移動式膜厚計...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ハイブリッジ東京営業所

ターゲット材『スパッタリングターゲット』

高純度・高品質のレベルが違う、薄膜形成材料のマストアイテム！

『スパッタリングターゲット』は、純度99.5％～99.999％までの高純度品を誇る、高品質薄膜形成材料です。当社では、お客様のビジネス用途にマッチした各種スパッタリングターゲットの製作が可能。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社プロスタッフ

タングステン・モリブデン製　スパッタリングターゲット

世界最高品質のタングステン･モリブデン スパッタリングターゲット

プランゼーは、最高品質のモリブデン・タングステンコーティング材料であるターゲット製品を、世界中のお客様へ納品しています。 スパッタリングは、真空チャンバー内に充填されたアルゴンガスが、プラズマによりイオン化され、そのアルゴンイオンが電界によって負電圧を加えられたターゲット（カソード）に向かい加速、衝突します。その際の強い運動エ...

メーカー・取り扱い企業：プランゼージャパン株式会社

多機能スパッタリング装置【MiniLab-S060】

コンパクト、60ℓ容積チャンバーにスパッタ・蒸着・EB・アニールなどの…

）+ HiPIMS（PulseDC 5KW） x 1 プラズマリレーSWでHMI画面より自在に4カソードへの電源分配・配置設定の変更が可能 MFC x 3系統（Ar, O2, N2）反応性スパッタリング RIEエッチングステージRF300W（メインチャンバー） + <30Wソフトエッチング（LLチャンバー）基板加熱：Max500℃, 800℃, 又は1000℃（C/C、又はSiCコート...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

SDR型巻取式スパッタリング装置（RｔｏＲタイプスパッタ装置）

サンプルテスト対応中　フィルム・金属箔に成膜、フレキシブルデバイスや先…

装置形態：巻取式マグネトロンスパッタリング装置基板寸法：最大幅１０００ｍｍまで対応カソード数：最大４元膜種：金属・磁性膜・反応性酸化膜オプション機構：プラズマ前処理機構・イオンガン・ランプヒータ・加熱ロール等...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

スパッタリング装置『MiniLab-060』

蒸着・スパッタ・EB・アニールなどの薄膜モジュールをご要望の構成で組み…

コンパクト/省スペース、ハイスペック薄膜実験装置下記蒸着源から組合せが可能・抵抗加熱蒸着源 x 最大4 ・有機蒸着源 x 最大4 ・電子ビーム蒸着・2inchスパッタリングカソード x 4（又は3inch x 3, 4inch x 2）・プラズマエッチング：メインチャンバー、ロードロックチャンバーのいずれでも設置可能【スモールフットプリント・省スペ...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

スパッタリング　薄膜加工　成膜加工（薄膜成膜受託加工）

スパッタリングは低温でもすぐれた密着が得られます。ローコスト・短納期に…

スパッタリングは乾式メッキ法に分類され、コーティングする対象物を液体や高温気体にさらす事なくメッキ処理が出来ます。それにより様々な基盤材料(樹脂・ガラス・セラミック・その他)の板物・成型品に、例えば電極・シールド・マスキングとして使用されています。【特徴】・異なる金属を同一ターゲットに「合金」として加工し成膜する事が可能・クリーンな表面処理加工 ※詳しくは、お問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ビースパッタ

スパッタリング膜加工サービス

膜種の多様性を徹底追求！当社の独自コーティング技術のスパッタリング膜

スパッタリングとは、ドライプロセス（乾式めっき法）の一種であり、基材と対向配置した材料ターゲットに高いエネルギーを持ったイオンを衝突させ、材料ターゲットからコーティング材料を叩き出し、基材上にコーティング材料を堆積する方式です。コーティングサービスには様々な手法があり、スパッタリングはその一つです。当社では、複数台のスパッタリング装置を運用し、試作開発向けの単発、少量物件...

メーカー・取り扱い企業：タイゴールド株式会社

量産対応バッチタイプスパッタリング装置　（STH10311型）

φ４１０基板×４枚の自公転基板台を４枚備えたバッチ型のスパッタリング装…

複数の自公転基板台の採用により、量産用としての処理量と優れた膜厚均一異性を両立したバッチタイプスパッタリング装置です。サイドスパッタ方式により1ｍを超えるチャンバ系でありながら、基板やターゲットの着脱作業、真空層内のメンテナンスの簡易性を実現しました。量産用途に最適なデータロギングシステムや...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

ラットパネルディスプレイ用スパッタリングターゲット調査レポート

フラットパネルディスプレイ用スパッタリングターゲットに関する調査レポー…

QYResearchは「グローバルフラットパネルディスプレイ用スパッタリングターゲットに関する調査レポート, 2023年-2029年の市場推移と予測、会社別、地域別、製品別、アプリケーション別の情報」の調査資料を発表しました。フラットパネルディスプレイ用スパッタリング...

メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research

アルミニウム-スカンジウム・スパッタリング・ターゲットのレポート

アルミニウム-スカンジウム・スパッタリング・ターゲットに関するグローバ…

2023年7月21日に、QYResearchは「グローバルアルミニウム-スカンジウム・スパッタリング・ターゲットに関する調査レポート, 2023年-2029年の市場推移と予測、会社別、地域別、製品別、アプリケーション別の情報」の調査資料を発表しました。アルミニウム-スカンジウム・スパッタリン...

メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research

FHR.Roll.1600-FCCLスパッタリング装置

FCCL（フレキシブル銅張積層板）製造用高スループットロール to ロ…

FCCL（フレキシブル銅張積層板）製造用高スループットロール to ロール型スパッタリング装置です。特徴１．装置構成の自由度が高い２．高い温度安定性３．適正なシード層形成４．オプションでクロームフリーの接着層が可能５．高剥離強度を実現詳しくはお問合せ...

メーカー・取り扱い企業：ティー・ケイ・エス株式会社

インジウム・ティン・オキサイドスパッタリング・ターゲット

インジウム・ティン・オキサイド（ITO）スパッタリング・ターゲットの世…

2023年4月23日に、QYResearchは「グローバルインジウム・ティン・オキサイド（ITO）スパッタリング・ターゲットに関する調査レポート, 2023年-2029年の市場推移と予測、会社別、地域別、製品別、アプリケーション別の情報」の調査資料を発表しました。インジウム・ティン・オキサイド（ITO）...

メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research

表面処理用多目的スパッタリング装置 STV6301型

立体形状部品や外周全面や平板基板の両面、立体形状の成膜に特化した表面処…

立体形状品の外周全面に成膜可能な基板機構と複数の目的を想定した成膜機構（カソード）を装備したスパッタリング装置。冶金用途やハードコーディングで実績豊富で信頼性の高い機構と最新の成膜技術で従来に無い表面処理を実現。独自機構でコップやタンブラーなどの凹形状の内面にも成膜を可能とし...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

スパッタリングターゲット&ボンディング加工

スパッタリングターゲット（プラナー/円筒型）の販売、およびボンディング…

半導体、MRAM、タッチパネル、反射防止膜、太陽電池（PV）、リチウムイオン電池、ディスプレイ等の用途向け・スパッタリングターゲットの少量試作から量産向け供給まで幅広く対応。・永年の経験と知識に基づく確実なボンディング対応およびご予算に合わせたご提案が可能。・プラナー型のみでなく、コストメリットや歩留まり...

メーカー・取り扱い企業：株式会社協同インターナショナル

液晶フラットパネルディスプレイ用スパッタリングターゲットレポート

液晶フラットパネルディスプレイ用スパッタリングターゲットに関するグロー…

2023年7月14日に、QYResearchは「グローバル液晶フラットパネルディスプレイ用スパッタリングターゲットに関する調査レポート, 2023年-2029年の市場推移と予測、会社別、地域別、製品別、アプリケーション別の情報」の調査資料を発表しました。液晶フラットパネルディスプレイ用スパッタリ...

メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research

（インジウム・ガリウム・亜鉛酸化物）スパッタリングターゲット

IGZO（インジウム・ガリウム・亜鉛酸化物）スパッタリングターゲットの…

2023年4月23日に、QYResearchは「グローバルIGZO（インジウム・ガリウム・亜鉛酸化物）スパッタリングターゲットに関する調査レポート, 2023年-2029年の市場推移と予測、会社別、地域別、製品別、アプリケーション別の情報」の調査資料を発表しました。IGZO（インジウム・ガリウム・亜鉛酸化物...

メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research

コーティング技術『スパッタリング』

色や質感など、アレンジ自在！環境にも配慮した塗膜の先進技術です

当社では、環境に配慮しリサイクル性にも優れた薄膜加工を代表するコーティング技術『スパッタリング』を用いて、強さと美しさを併せ持つ塗膜をご提案いたします。当社のスパッタリングはクロム、その他金属など、使用するターゲットによって様々な色調や質感を得ることができます。 ...

メーカー・取り扱い企業：有限会社戸塚綜業

リモートイオンソース型 HR-PVDスパッタリングモジュール

指向性成膜を実現し、リアクティブスパッタリングも可能な高イオン電流ヘリ…

AVP Technology社製 HR-PVDスパッタリングモジュール・ヘリコンプラズマイオンソースを用いたリモートプラズマソースによりICPソースと比べ高いイオン化効率を実現しています。・傾斜角方向からの優れた直進性により、膜厚均一性およびステ...

メーカー・取り扱い企業：ティー・ケイ・エス株式会社

大型スパッタリングターゲット加工

銀、銅（6N）、錫（6N）など様々な大型スパッタリングターゲットの切削…

当社の「門型マシニングセンター」設備は門幅2100mmのため、大型の半導体用（Φ660mm以上）、液晶製造用（2000ｘ4000mmまで）の大型スパッタリングターゲット加工が可能です。また、NC制御＋多軸ＡＩ制度補正機能を有するため、繰り返し精度も高く工作機械上で3次元測定機能を用い、加工製品の制度保証を全数行うことが可能です。月産10...

メーカー・取り扱い企業：有限会社埼玉プレーナー工業所本社

スパッタリングターゲットの世界市場調査レポート2023

スパッタリングターゲットの世界市場調査レポート:規模、現状、予測202…

スパッタリングとは、シリコンウェーハやガラスなどの基板上に薄膜を形成する技術である。スパッタリング装置内の真空状態で、スパッタリングターゲットにアルゴンイオンを照射する。これにより、スパッタリングターゲットから原子や分子が放出される。原子や分子は堆積し、基板上に薄膜を形成する。スパッタリングターゲットとは、スパッタリングが行われる際にイオンを浴びせる対象である。 QYResearchが発行した最新市場...

メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research

スパッタリング装置『MiniLab（ミニラボ）シリーズ』

モジュラー組込式の為必要な成膜方法に応じ都度フレキシブルに専用機の組立…

【MiniLabフレキシブル薄膜実験装置構成モジュール】 ◉ 製作範囲抵抗加熱蒸着（TE）、有機膜蒸着（LTE）、電子ビーム蒸着（EB）、RF/DCスパッタリング（SP）、T-CVD/PE-CVD、プラズマエッチング（RIE） ◉ チャンバー・026（26Litter）-TE/LTE/SP/CVD/Etch/*Globe Box option：M...

メーカー・取り扱い企業：テルモセラ・ジャパン株式会社

高純度スパッタリングターゲットのグローバル分析レポート2024

『無料サンプル』を入手可能！関連リンクから詳細をご覧になり、直接お申…

YH Research株式会社（本社：東京都中央区）は調査レポート「グローバル高純度スパッタリングターゲットのトップ会社の市場シェアおよびランキング 2024」を3月15日に発行しました。本レポートでは、高純度スパッタリングターゲット市場の製品定義、分類、用途、企業、産業チェーン構造に関す...

メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社

セラミック・スパッタリング・コーターのグローバル分析レポート

セラミック・スパッタリング・コーターの市場動向および予測：タイプ別、ア…

2024年3月26日に、QYResearchは「セラミック・スパッタリング・コーター―グローバル市場シェアとランキング、全体の売上と需要予測、2024～2030」の調査資料を発表しました。本レポートは、セラミック・スパッタリング・コーターの世界市場について分析し、主...

メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research

テルルのスパッタリングターゲットのグローバル分析レポート2024

テルルのスパッタリングターゲット調査レポート：市場規模推移、シェア、促…

2024年5月10日に、QYResearchは「テルルのスパッタリングターゲット―グローバル市場シェアとランキング、全体の売上と需要予測、2024～2030」の調査資料を発表しました。本レポートは、テルルのスパッタリングターゲットの世界市場について分析し、主な総...

メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research

マグネトロンスパッタリング絶縁膜のグローバル分析レポート2024

世界のマグネトロンスパッタリング絶縁膜業界全体規模、国内外シェア、主要…

2024年4月19日に、QYResearchは「マグネトロンスパッタリング絶縁膜―グローバル市場シェアとランキング、全体の売上と需要予測、2024～2030」の調査資料を発表しました。本レポートは、マグネトロンスパッタリング絶縁膜の世界市場について分析し、主な総販売...

メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research

酸化鉛スパッタリングターゲットのグローバル分析レポート2024

酸化鉛スパッタリングターゲットの世界市場レポート：成長、市場規模、競合…

2024年5月13日に、QYResearchは「酸化鉛スパッタリングターゲット―グローバル市場シェアとランキング、全体の売上と需要予測、2024～2030」の調査資料を発表しました。本レポートは、酸化鉛スパッタリングターゲットの世界市場について分析し、主な総販...

メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research

スパッタリング・シミュレーション・モジュール（SPUTSM）

より真実味のある入力データでスパッタリング解析をおこなうことが可能です…

『スパッタリング・シミュレーション・モジュール（SPUTSM）』は、 PIC-MCCMの計算結果（ターゲットへの入射イオンのフラックス、エネルギー、入射角）を参照し、SASAMALを用いて、スパッタリン...

メーカー・取り扱い企業：ペガサスソフトウェア株式会社

半導体用スパッタリングターゲットのグローバル分析レポート2024

半導体用スパッタリングターゲット調査レポート：市場規模、シェア、産業分…

2024年5月20日に、QYResearchは「半導体用スパッタリングターゲット―グローバル市場シェアとランキング、全体の売上と需要予測、2024～2030」の調査資料を発表しました。本レポートは、半導体用スパッタリングターゲットの世界市場について分析し、主な総...

メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research

硫化ヒ素スパッタリングターゲットのグローバル分析レポート2024

硫化ヒ素スパッタリングターゲット市場分析：製品、用途、タイプ、メーカー…

2024年5月11日に、QYResearchは「硫化ヒ素スパッタリングターゲット―グローバル市場シェアとランキング、全体の売上と需要予測、2024～2030」の調査資料を発表しました。本レポートは、硫化ヒ素スパッタリングターゲットの世界市場について分析し、主な総...

メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research

高純度スパッタリングターゲット世界市場レポート2024-2030

高純度スパッタリングターゲットの世界市場調査レポート:規模、現状、予測…

スパッタリングとは、ターゲット基板に対象物をスパッタリングと散乱によって付着させ、薄膜を形成するプロセスであり、スパッタリングターゲットは高速で粒子を衝突させるための材料である。本報告では、半導体用高純度スパッタリングターゲット材料として、4N（純度99.99％以上）を対象とした。 QYResearchが発行した最新市場調査レポート「高純度スパッタリングターゲットの世界市場レポート 2024-2030...

メーカー・取り扱い企業： QY Research株式会社 QY Research

半導体用アルミニウムスパッタリングターゲットの世界市場レポート

半導体用アルミニウムスパッタリングターゲットの世界市場調査レポート Y…

YHResearchが発行した新しい市場調査レポート「半導体用アルミニウムスパッタリングターゲットの世界市場レポート 2023-2029年」によると、半導体用アルミニウムスパッタリングターゲットの世界市場規模は2023年の1億8,022万米ドルから2029年には2億5,130万米...

メーカー・取り扱い企業： YH Research株式会社

バイアススパッタリング装置『SPR-014-B』

良好な絶縁膜形成を実現するバイアススパッタリング装置！

『SPR-014-B』は、基板側にバイアスを印加しながら スパッタリングを行い、絶縁層用の成膜が可能なロードロック式バイアススパッタリング装置です。ピンホール密度が低く、良好なステップカバレージ性を備えた良好な絶縁膜形成ができます。【特長】...

メーカー・取り扱い企業：株式会社日本シード研究所

スパッタリングターゲット材の市場分析レポート

スパッタリングターゲット材の市場分析レポート：企業・地域・種類・用途別…

HJResearchでは、「スパッタリングターゲット材の世界市場：成長、動向、予測」調査資料の販売を2023年9月23日に開始いたしました。本調査レポートは、スパッタリングターゲット材の世界市場について調査・分析した資料で、スパッタリ...

メーカー・取り扱い企業： HJResearch有限会社

【産業調査レポート】世界の銅スパッタリングターゲット市場

世界の銅スパッタリングターゲット市場：低純度銅スパッタリングターゲット…

本調査資料では、グローバルにおける銅スパッタリングターゲット市場（Copper Sputtering Target Market）の現状及び将来展望についてまとめました。銅スパッタリングターゲットの市場動向、種類別市場規模（低純度銅スパッタリ...

メーカー・取り扱い企業： H&Iグローバルリサーチ株式会社

ロールtoロール方式のスパッタ技術を使った反射防止フィルム

【技術資料を無料進呈】当社の反射防止フィルムのしくみ、生産方法、メリッ…

て「ウェット工法」と「ドライ工法」の 2種類の工法があります。ウェット工法はその名のとおり、液体の材料をベースフィルムに塗工し、乾燥させて膜を成形します。ドライ工法は「蒸着」と「スパッタリング」に分かれ、デクセリアルズではスパッタリングによる製造を行っています。 スパッタリングは成膜のための代表的な技術で、真空チャンバー内で膜の材料となるターゲット材に高電圧下でイオン...