フレキシブル半導体製造装置『SHUTTLELINEシリーズ』

PR薄膜堆積用PECVD・ドライエッチング・故障解析用プロセス対応。多機能…

『SHUTTLELINE(R)シリーズ』は、RIE/ICP-RIE、PECVD/ICP-CVDに対応し コンパクトながら高性能かつ多機能な半導体製造装置です。 成膜とエッチングプロセスを一台で実現し、様々なウエハサイズと形状に対応可能。 シャトルシステムにより、異なるサンプルサイズでもハードウェアの変更が不要です。 世界で広く採用されており、Plasma-Therm LLCの グ...

メーカー・取り扱い企業： プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

Enovasense Field Sensor

PR高速な不透明膜の厚みマッピング、内部欠陥のエリア検出が可能なレーザーフ…

フランスのEnovasense社のセンサは、レーザフォトサーマル技術を使用した 高性能なセンサで、非接触で不透明体の厚みを測定できます。 本新製品は、従来のシングルポイントセンサと異なり、約１１万点を同時に測定できるエリアセンサです。 不透明体の厚みマッピングだけでなく、表面層下の欠陥、欠け、剥がれの有無を検知できます。 ■特長 　・非接触で下記が測定できます。 　　　☆不透明体の厚みマッピング...

メーカー・取り扱い企業： プレシテック・ジャパン株式会社

高純度　シリカガラス製品

半導体製造プロセスに不可欠な高純度シリカガラス製品

半導体製造プロセスに不可欠な高温作業に強く 活性ガスとの化学変化を起こさない、高純度のシリカガラス製品 【特徴】 ○CVD、拡散用各種炉芯管をはじめさまざまな機器・冶具に最適 ○半導体製造工程に必要なあらゆる石英製品をラインナップ 　・オーバーフロー槽 　 　薬液処理のウェハー洗浄工程で使用され、 　 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社フェローテックホールディングス

グラフェンで被覆したポーラスガラス

耐アルカリ性が向上！グラフェン膜で被覆された多孔質硝子

『グラフェンで被覆したポーラスガラス』は、ポーラスガラスの表面をシリル化し、その後、加熱した有機ガスによって炭素被覆した（化学気相蒸着法；CVD）多孔質硝子です。 以上の方法でポーラスガラスの細孔表面をグラフェン膜で完全に覆うことができます。 板状のサンプルであれば、外表面から内部まで連続したグラフェン膜が形成しているため、硝...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社赤川硬質硝子工業所

大面積への成膜加工！　ガラス…フィルム…セラミック…金属材…

大面積への成膜加工が可能！もちろん小さなものも（たくさん）搭載できます…

東邦化研株式会社では、イオンプレーティング、真空蒸着、スパッタリング、プラズマCVDによる機能性薄膜の受託加工（コーティングサービス）を行っております。 金属膜や、酸化膜・炭化膜・窒化膜等の反応膜、合金膜、また、それらの積層膜等、様々な膜種に対応し、試作・開発・研究などの...

メーカー・取り扱い企業： 東邦化研株式会社

透明導電膜（TCO）付きガラス『NSG TEC』

ガラスに高耐久の透明導電膜をコーティング。冷蔵ショーケース、発熱ガラス…

『NSG TEC』とは、Transparent Electrically Conductive glass（電気を通す透明なガラス）です。 ガラス製造工程での熱分解を活用したオンラインCVD製法で、ガラス表面に金属の導電性薄膜(TCO)をコーティングした製品です。 金属薄膜は、フッ素を添加した酸化スズ膜であり、FTO、SnO2:Fとも呼ばれています。 【News】ガラス厚み0...

メーカー・取り扱い企業： 日本板硝子株式会社

石英ガラス

紫外線から赤外線まで幅広い波長範囲！急激な温度変化にも耐えられる！

要とされる半導体製造プロセスは、『石英ガラス』の 重要な応用分野の一つです。 近年、この分野ではプロセスの自動化が進み、ますます高精度な製品が 求められるようになってきています。 CVD工程や酸化・拡散工程に不可欠なチューブ、ボート等 当社の加工技術で高度な要望に応えてさらに応用分野を拡大しています。 【特長】 ■紫外線から赤外線まで幅広い波長範囲 ■良好な透過特性 ...

メーカー・取り扱い企業： 京浜ラムテック株式会社