• エアベアリング ステージ 製品画像

    エアベアリング ステージ

    PRエアステージLBTシリーズ

    エアステージLBTシリーズ Class1クリーンルーム対応 ストロークは50mm~500mm エンコーダは用途により1um~0.05umまで選択可能 真直度、平面度は0.5um/300mm ピッチング、ヨーイングは±2arc sec コイル、マグネット、エンコーダ無しの状態から全て組込み済み状態での納入も可能 半導体検査装置用途として海外での納入実績は豊富にあり国内では初めての紹...

    メーカー・取り扱い企業: TOYO ROBOTICS株式会社

  • 2.5秒短縮可能!高速小型スクリーン印刷装置『FL300』 製品画像

    2.5秒短縮可能!高速小型スクリーン印刷装置『FL300』

    絶縁ペースト印刷向け膜厚を厚く印刷可能!

    『FL300』は、低フリクション印圧制御により、セラミック基板のデコボコに 対して高追従性と高速印刷を可能にした印刷装置です。 位置決め、搬送の速度アップにより、最速印刷タクトを2.5秒に短縮しました。 シングルでありながらダブル並みの速度を達成しフットプリントもダブル比で 半分以下にまでコンパクト化し、また段取り替えにかかる時間が数時間から、 10分程度に短縮しました。 ...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社メック

  • 【設計・製作】機械装置の開発事例(2) 製品画像

    【設計・製作】機械装置の開発事例(2)

    各種機械装置や治具など、設計・製作からアフターサービスまでワンストップ…

    仕様]     ・用力  :ドライエア、バキューム   ・操作方法:専用ソフトによる自動運転、手動運転の2種類   ・装置構成:制御盤、ロードポート、ロボット、FFU、         XYステージ   ・サイズ :2,200 x 2,050 x 2,000 mm(重量約900kg)   ・電源  :AC200V 3相 弊社では、ものづくり事業(設計・製作<ODM> 、部...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社AGORA TECHNO

  • 設備と技術でお悩みのお客様へ  製品画像

    設備と技術でお悩みのお客様へ

    高い防塵環境を求められる精密機器も安心してお任せください!

    受託製造の大浩なら、充実した設備と高い技術力で、効率的な 製造環境をご提供。 CLASS 1000のクリーンルームや、CLASS 100のクリーンブースを完備し、 高い技術を要する高度XYステージや、光学系装置の調整にも対応します。 【主な実績】 ■光造形装置(光学系):スキャナー方式の調整 ■半導体検査装置(光学系):ガルバノモータ方式の調整 ■液晶検査装置:セットアップか...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社大浩

  • 【8インチウェハ対応】ウェハ表裏自動外観検査装置(AOI) 製品画像

    【8インチウェハ対応】ウェハ表裏自動外観検査装置(AOI)

    【ヒューマンエラーを防ぐ】ウェハの表裏両面の異物、キズ、クラックや外周…

    種類を検査部で撮像した画像から自動的に検出する自動外観検査装置です。エッジグリップハンドによりウェハ中央部に接触することなく搬送します。欠陥検出はウェハの表裏画面が対象。自動搬送ユニットが検査部XYステージにウェハを搬送し、全面を撮像した後、表裏を反転させ、再度全面撮像します。 【自動外観検査装置の特長】 ■8インチウェハ対応 ■検出した欠陥はウェハマップにその位置を表示 ■任意の操作...

    メーカー・取り扱い企業: アテル株式会社

  • 『全自動細胞回収装置』 製品画像

    『全自動細胞回収装置』

    環境管理及び培養機能をすべて盛り込んだオールインワン装置!

    制作いたします。 【機能/構成】 ■環境管理HEPAフィルター温調機能 ■ハンドリングロボット ■2連タイプシリンジポンプ ■電動機能付き倒立顕微鏡 ■レーザー導入機構 ■電動XYステージ ■培地交換/細胞回収用チャンバーフタ ■CO2インキュベータ ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

    メーカー・取り扱い企業: エステック株式会社

  • 眼内レンズ向け 光学定数測定装置(量産用) 製品画像

    眼内レンズ向け 光学定数測定装置(量産用)

    量産用の生産現場での使用を目的とした全自動の眼内レンズ向けの光学定数測…

    眼内レンズ光学定数の測定に対しXYステージ、フォーカス調整、レチクル交換、対物レンズ交換、絞り変更、角膜レンズ切換、波長切換、コリメーター回転など9軸の自動機構を装備、専用ソフトウエアによりこれらを制御してどのような測定タスクも全自動化...

    メーカー・取り扱い企業: トライオプティクス・ジャパン株式会社

  • 『PLマッピング装置』 製品画像

    『PLマッピング装置』

    フルオートメーション化可能!充実したマッピングができる装置

    『PLマッピング装置』は、LED/LD生産のための2,3,4インチウェハ のフォトルミネッセンスおよび膜厚マッピング測定を行う装置です。 自動XYステージ、オリジナルの多機能測定ソフトウェアにより 充実したマッピングが行えます。 また、ウェハ自動供給・収納機構の接続によりフルオートメーション化 が可能です。 【特長】 ■2,3,...

    メーカー・取り扱い企業: ユアサエレクトロニクス株式会社

  • 光はんだ付け装置 製品画像

    光はんだ付け装置

    幅広い形状に対応可能!キセノンランプが出す光の熱を利用した非接触タイプ…

    当製品は、キセノンランプが出す光の熱を利用した非接触タイプの 本光はんだ付け装置です。 ガルバノ機構により高速走査を行うため、幅広い形状に対応可能。 また、PID(ProportionIntegration Differential) によるランプ光量制御を 用いることで、さまざまな加熱温度および加熱制御曲線に制御可能し、 多くのはんだ付け不良を解消します。 【特長】 ■...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ユメックス

  • 自動塗布テーブル Toftable 製品画像

    自動塗布テーブル Toftable

    接着剤やオイル等の高粘度液体の高精度な自動塗付テーブル

    接着剤やオイル等の高粘度液体を簡易的に自動塗布する装置です。 お客様のご要望の仕様にも対応可能で、塗布対象物や液体によって柔軟にカスタマイズが可能です。...装置サイズ:幅300mm×奥行420mm×高さ550mm 装置重量:15kgf 可動範囲:ステージ・ワーク(XY):100mm×100mm 最大可搬重量:500gf ディスペンサー可動範囲(Z):50mm 電源  AC100V~...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社TOLIMS

  • ウエハチップ外観検査装置 OVS-5000 製品画像

    ウエハチップ外観検査装置 OVS-5000

    半導体業界 (外観検査)

    XYθステージにセットされたウエハチップをラインカメラにてマッピングデータを作成後、高解像度エリアカメラにて複数チップを同時検査する装置です。 ...【特徴】 ○複数チップを同時検査が可能 ○カラー空間にて良品範囲を指定することで詳細な設定が可能 ○品種切り替えはソフトで対応可能 ○検査結果はファイルに出力可能(MAPファイル) ○MAPファイル入力可能(検査結果に書き換え出力) ○...

    メーカー・取り扱い企業: オカノ電機株式会社

  • オカノ電機(株) LED外観検査装置 製品画像

    オカノ電機(株) LED外観検査装置

    NGチップを高速排除もしくはバットマーキングが可能です。

    マガジンから供給されたリング上のウエハチップを XYθステージにセットし、ラインカメラにてマッピングデータを作成後、高解像度エリアカメラにて複数チップを同時検査する装置です。...【特徴】 ○複数チップを同時検査が可能 ○カラー空間にて良品範囲を指定することで詳細設定が可能 ○品種切り替えはソフトで対応可能 ○NG品は排除もしくはバットマーキングが可能 ○MAPファイル入力可能(検査結...

    メーカー・取り扱い企業: オカノ電機株式会社

  • 基板検査装置 製品画像

    基板検査装置

    ワーク平面上の外観検査に最適!設定が驚くほど簡単で、現場作業者も高評価

    サンゲンの自動外観検査装は、XYステージに外観検査に定評のある、FlexInspectorを搭載しています。良否判定の結果をモニター上に表示できるため、不良箇所の特定が簡単に行えます。バックライト照明の設置が可能で透過光を利用した検査...

    メーカー・取り扱い企業: サンゲン株式会社

  • 大気型4プローブ表面測定システム 製品画像

    大気型4プローブ表面測定システム

    大気中における「ミクロンオーダー」から「ナノオーダー」の各種表面電気測…

    ■ サンプルのマイクロ・ナノマニピュレーション ■ マルチプロービングによるサンプル表面の各種電気特性の測定...特長: ・光学顕微鏡でサンプル表面を観察しながら4つのプローブの各々独立しているXYZ-3軸がPCとリモコンにより簡単操作! ・サンプルステージ側も独立したXY移動が可能なので煩雑なサンプル位置調整が不要! ・サンプル加熱にも対応可能! ・PC画面上に表示されたサンプル...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社ユニソク

  • 半導体組立装置 ワイヤボンダ FB-900 製品画像

    半導体組立装置 ワイヤボンダ FB-900

    さらに進化した、スピードと安定性

    【特徴】 ○低振動を実現した制振制御XYステージ ○超小型無反動カットクランプ ○低イナーシャを実現した高速ボンディングヘッド ○2周波超音波振動子の搭載 ○ワイドエリアに対応 ○2色LED照明 ○複雑な品種に対応したサポート機能...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社カイジョー ODM事業部

  • プローバ OYM-2000シリーズ 製品画像

    プローバ OYM-2000シリーズ

    コストパフォーマンスに優れたセミオートプローバ

    雄山株式会社より「OYM-2000シリーズ」のご案内です。...【特徴】 ○低価格、高性能、コストパフォーマンスに優れたセミオートプローバ ○XY各軸に高い繰り返し精度が得られるクローズドループ式ステージを採用 ○200mmまでのウエハ及びカットサンプルの測定が可能 ●詳しくはお問い合わせください...

    メーカー・取り扱い企業: 雄山株式会社 東京支店

  • 硬度試験機『Qness Qシリーズ』※JASIS出展 製品画像

    硬度試験機『Qness Qシリーズ』※JASIS出展

    高精度の電子制御と自動形状認識で硬さ試験を全自動化。ISO・DIN・A…

    『Qness Qシリーズ』は、電子制御荷重方式により各種硬度試験を 非常に高精度で行うことができる硬度試験機です。 完全自動XYステージは分解能0.5μmの高精度光学軌道測定システムによる 正確な位置決めと、W420xD300xH145mmの広い試験領域を実現。 6種測定タレットを標準装備し、それぞれに異なる種類の圧子とレン...

    メーカー・取り扱い企業: ヴァーダー・サイエンティフィック株式会社

  • 測定・検査装置 【機械加工・実績例】 製品画像

    測定・検査装置 【機械加工・実績例】

    機械部品設計・製造に関して新規開発や協力工場探しでお困りの方は、睦工業…

    ■□■機械加工部品の最終製品例■□■ ■測定・検査装置 ・ネジ検査装置 ・XYステージ ・測定器スタンド 〜こんな場合はご連絡下さい!〜 ・設計から組立、完成品まで一貫で製造してほしい ・安定した品質でできるだけ短納期に製造してほしい ・図面から立ち上げてほ...

    メーカー・取り扱い企業: 睦工業株式会社

  • フラットパネル対応タイプ CVmap FP-1 製品画像

    フラットパネル対応タイプ CVmap FP-1

    フラットパネル対応型

    【特徴】 ○ベースはCVmap3093A/B ○フラットパネルに対応したモデル ○フラットパネル用のXYステージを備えている ●詳しくはお問い合わせください...

    メーカー・取り扱い企業: 雄山株式会社 東京支店

  • 手動直動ステージ XY軸リニアボールガイド(SS)ステージ 製品画像

    手動直動ステージ XY軸リニアボールガイド(SS)ステージ

    高精度・高剛性・薄型・低価格モデルです

    XY軸リニアボールガイド(SS)ステージはガイドと本体が一体の薄型構造。本体材質をステンレスに、ガイド部にゴシックアーク溝を採用し高強度・高精度を実現させたステージです。 詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。 ...【特徴】 ○ガイドと本体が一体の薄型構造 ○本体材質:ステンレス ○ガイド部にゴシックアーク溝を採用 ○高強度・高精度を実現 ○黒色タイプもあります ...

    メーカー・取り扱い企業: 駿河精機株式会社

  • ガルバノ連動超精密ステージ『GRANAS-40XY-GL』 製品画像

    ガルバノ連動超精密ステージ『GRANAS-40XY-GL』

    【短納期】XY超精密グラナイトエアスライダー搭載!レーザー各種に対応可…

    『GRANAS-40XY-GL』は、レーザ、ガルバノとXY超精密ステージが 同期連動して動作可能なシステムです。 溶接、切断、スクライブ、穴あけ等のレーザー微細加工をはじめ、 レーザーマーカ、計測機器にご使用いただけます。 【特長】 ■レーザー各種に対応可能(532nm、パルスレーザー、他) ■キヤノン製ガルバノスキャナ搭載 ■XY超精密グラナイトエアスライダー搭載 ■コン...

    メーカー・取り扱い企業: ピー・ヂー・ダブリュー株式会社

  • 微小硬度計/ビッカース硬度計 自動XYステージシステム AS90 製品画像

    微小硬度計/ビッカース硬度計 自動XYステージシステム AS90

    微小硬度計/ビッカース硬度計 自動XYステージシステム AS90

    微小硬度計/ビッカース硬度計 自動化システム  『自動XYステージシステム AS90』 本システムは、硬度計と組み合わせることにより、圧痕の計測や 多点測定時のステージコントロールを自動化し、作業者の個人誤差による ばらつきの低減と、大きな合理化、省...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社フューチュアテック

  • 微小硬度計/ビッカース硬度計 XYステージPCモニタ計測システム 製品画像

    微小硬度計/ビッカース硬度計 XYステージPCモニタ計測システム

    自動XYステージPCモニタ計測システム ASV90

    微小硬度計/ビッカース硬度計 自動化システム  『自動XYステージPCモニタ計測システム ASV90』 本システムは、硬度計と組み合わせることにより、圧痕の計測や 多点測定時のステージコントロールを自動化し、作業者の個人誤差による ばらつきの低減と、...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社フューチュアテック

  • 【超精密位置決めピエゾステージ】PSベーシックタイプ XY軸 製品画像

    【超精密位置決めピエゾステージ】PSベーシックタイプ XY軸

    高速、高分解能で再現性に優れた位置決めが可能です。ストロークは30/3…

    超精密位置決めピエゾステージのPSベーシックシリーズのXY軸ステージです。 XY軸ステージはストロークが30/30μmから500/500μmまでの製品を充実のラインアップで取り揃えております。 PSベーシックシリーズは高速、高精度位置決めで 圧電素子の高い応答性と内蔵変位センサによるクローズドループ制御により、高速、高分解能で再現性に優れた位置決めが可能です。 使いやすいインターフェースが自慢で...

    メーカー・取り扱い企業: THKプレシジョン株式会社

  • カスタムクロスローラガイド「XYステージ/IXY-150」 製品画像

    カスタムクロスローラガイド「XYステージ/IXY-150」

    研究・開発・評価工程に最適!各種カスタム対応可能なXYステージ

    XYステージ/IXY-150」は駆動部にクロスローラー使用した、高精度・薄型タイプのXYステージです。カスタム対応品ですので、サイズ・トッププレート形状・マイクロメータ搭載方向などのカスタマイズが可能です。...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社MSAファクトリー

  • カスタム手動XYステージ 「SXY150」 製品画像

    カスタム手動XYステージ 「SXY150」

    天板、ベースプレートへの追加加工など、カスタム対応製品

    「SXY150」は、駆動部にリニアブッシュ、台形ねじを使用いたしました簡易駆動XYステージです。 天板、ベースプレートへの追加加工など、カスタム対応製品です。 トッププレート形状、ロック機能などカスタマイズが可能です。 【仕様カスタマイズ】 ○X,Yストローク 100mm...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社MSAファクトリー

  • カスタム手動XYステージ 「SXY100」 製品画像

    カスタム手動XYステージ 「SXY100」

    研究・開発・評価工程の装置への組み込み品として、装置メーカ様OEM対応…

    「SXY100」は、駆動部にリニアブッシュ、台形ねじを使用いたしました簡易駆動XYステージです。 天板、ベースプレートへの追加加工など、カスタム対応製品です。 トッププレート形状、ロック機能などカスタマイズが可能です。 【仕様カスタマイズ】 ○X,Yストローク 100mm...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社MSAファクトリー

  • 【超精密位置決めピエゾステージ】PU超精密加工用タイプ XY軸 製品画像

    【超精密位置決めピエゾステージ】PU超精密加工用タイプ XY軸

    超精密切削におけるマイクロ・ナノ加工が実現!ストロークは30μmと60…

    ピエゾステージ PU超精密加工用タイプは、軸超精密加工への応用に最適です。 FTS(ファストツールサーボ)としてバイトの切り込みや、ワーク(加工物)の移動に 用いて精密金型加工が実現できます。 他のタイプと比較して、数倍大きな発生力をもつ積層型圧電素子を搭載しています。 ■防塵防滴の対策 密閉構造で加工液やミスト対策を施しており、小さな切削屑などの侵入を防ぎます。 ■堅牢な本体 加工時の安定性...

    メーカー・取り扱い企業: THKプレシジョン株式会社

  • 10nmフィードバックステージ FS-1050PX/XY  製品画像

    10nmフィードバックステージ FS-1050PX/XY

    【精密位置決め装置】10nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後…

    光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、 位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-511との組み...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 1nmフィードバックステージ FS-1050UPX / XY 製品画像

    1nmフィードバックステージ FS-1050UPX / XY

    【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりま…

    光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能でクローズドループ制御が可能な精密位置決めステージです。 ストロークは『 50mm 』と長く、移動と精密位置決めが1台でできます。 フィードバックステージコントローラ『 FC-911 』と組み合わせて使用すると移動速度5mm/secで動作させることができます。...最小分解能:1nm 最大移動速度:5mm...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 5nmフィードバックステージ FS-1050SPX/XY 製品画像

    5nmフィードバックステージ FS-1050SPX/XY

    【精密位置決め装置】5nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の…

    光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 5nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-611との組み合わせ.....

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 10nmフィードバックステージ FS-1040PX/XY  製品画像

    10nmフィードバックステージ FS-1040PX/XY

    【ストローク40mm】10nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置保持…

    光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、分解能、位置決め再現性、位置保持性が優れております。 フィードバックステージコントローラ FC-511と組み合わせることでエンコーダの読み取り値の『10nm』分解能で『40mm』ストロークで動作させることができます。...最...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 1nmフィードバックステージ FS-1020SPX(MD)/XY 製品画像

    1nmフィードバックステージ FS-1020SPX(MD)/XY

    【精密位置決め装置】1nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の…

    光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 1nm 』分解能(*1)でストロークは『 20mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 高トルクタイプはFS-1020SPX(MD) 高速度タイプはFS-10...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 10nmフィードバックステージ FS-1020PX/XY  製品画像

    10nmフィードバックステージ FS-1020PX/XY

    【10nm分解能】フィードバック制御により位置の分解能・再現性・保持性…

    光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 エンコーダの位置情報をもとにフィードバック制御を行い、高分解能・高い位置再現性・高い位置保持性を持っています。 フィードバックステージコントローラ FC-511と組み合わせて使用することでストローク『 20mm 』間を『 10nm 』分解能で動作します。 ...最小分解能:10nm 最大移...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 10nmフィードバックステージ FS-1100PX/XY 製品画像

    10nmフィードバックステージ FS-1100PX/XY

    【エンコーダ内蔵】10nm分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置…

    光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して位置検出誤差を少なくし、コントローラへ位置情報をフィードバックすることで高い分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 100mm 』となっております。 動作範囲が長いため移動と位置決めがこのステージ1台で行えます。 (*1)フィードバックステージコントローラF...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 1nmフィードバックステージ FS-1050SPX(MD)/XY 製品画像

    1nmフィードバックステージ FS-1050SPX(MD)/XY

    【精密位置決め装置】1nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の…

    光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 1nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 高トルクタイプはFS-1050SPX(MD) 高速度タイプはFS-10...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 1nmフィードバックステージ FS-1040SPX(MD)/XY 製品画像

    1nmフィードバックステージ FS-1040SPX(MD)/XY

    【精密位置決め装置】1nmの高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の…

    光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 1nm 』分解能(*1)でストロークは『 40mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 高トルクタイプはFS-1040SPX(MD) 高速度タイプはFS-10...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 5nmフィードバックステージ FS-1040SPX/XY 製品画像

    5nmフィードバックステージ FS-1040SPX/XY

    【精密位置決め装置】リニアエンコーダを内蔵し、5nm分解能で動作する位…

    光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 5nm 』分解能(*1)でストロークは『 40mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路によりフルクローズドループ制御を行っているため、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコ...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 5nmフィードバックステージ FS-1020SPX/XY 製品画像

    5nmフィードバックステージ FS-1020SPX/XY

    【エンコーダ内蔵】分解能・位置決め再現性・位置保持性が高い5nm分解能…

    光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 5nm 』分解能(*1)でストロークは『 20mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、 位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-611との組み...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 10nmフィードバックステージ FS-3150X/XY 製品画像

    10nmフィードバックステージ FS-3150X/XY

    【精密位置決め装置】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持…

    光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 150mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラFC-511との組み合わせ...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • 新製品!V-855型小幅&高速リニアモーターステージ 製品画像

    新製品!V-855型小幅&高速リニアモーターステージ

    100mmの小幅で長動作の高精度&高速リニアモーターステージをリリース…

    ※OPIE2023ポジショニングEXPO出展製品 4/19-21 パシフィコ横浜 PI社はリニアモーター製品を拡充しています。 最大1200mm、耐荷重600Nの「V-855型」 高精度&長作動&小幅の1軸リニアモーターステージリリースしました。 XY軸構成も可能です。 【特徴】 ・長い移動距離(1200mmまで)で小幅形状(幅100mm) ・最大速度3 m/s ・高精...

    • csm_PI-G-901_R3199-ACS_3898909ed8.jpg

    メーカー・取り扱い企業: ピーアイ・ジャパン株式会社 本社

  • 1nmフィードバックステージ FS-1040UPX / XY 製品画像

    1nmフィードバックステージ FS-1040UPX / XY

    【精密位置決め装置】1nmの高分解能はそのままに、移動速度が早くなりま…

    光学式リニアエンコーダを内蔵し、内蔵スケールの読み取り値に対して『1nm』分解能でクローズドループ制御が可能な精密位置決めステージです。 ストロークは『 40mm 』と長く、移動と精密位置決めが1台でできます。 フィードバックステージコントローラ『 FC-911 』と組み合わせて使用すると移動速度5mm/secで動作させることができます。...最小分解能:1nm 最大移動速度:5mm...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • サブミクロンフィードバックステージ FS-1050X/XY 製品画像

    サブミクロンフィードバックステージ FS-1050X/XY

    【精密位置決め装置】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持…

    光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 50nm 』又は『 100nm 』分解能(*1)でストロークは『 50mm 』となっております。 自社開発リニアエンコーダと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 (*1)フィードバックステージコントローラF...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

  • ウエハホットチャック PH-201 XYステージ搭載タイプ 製品画像

    ウエハホットチャック PH-201 XYステージ搭載タイプ

    サイズ、吸着パターン、温度までカスタマイズ可能!

    ウエハ、ガラス基板など極薄のワークを均一に加熱いたします。最高温度は300℃ 対応可能です。 ワークは真空吸着により固定いたしますのでワークに固定によるストレスを与えません。手動簡易XYステージとの組合せにより、検査ステーションを低予算で構築できます。 MSAデジタル温度コントローラーにて精密温度制御も可能です。OEM対応もいたします。 ●詳しくはカタログをダウンロード、も...

    メーカー・取り扱い企業: 株式会社MSAファクトリー

  • サブミクロンフィードバックステージ FS-1040X/XY 製品画像

    サブミクロンフィードバックステージ FS-1040X/XY

    【エンコーダ内蔵】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持性…

    光学式リニアエンコーダをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 自社開発したエンコーダで位置を読み取りフィードバック制御を行うことで分解能・位置決め再現性・位置保持性に優れています。 フィードバックステージコントローラ FC-411と組み合わせることで『50nm』分解能で動作。 FC-111と組み合わせることで『100nm』分解能で動作します。 ストロ...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

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    10nmフィードバックステージ FS-3200X/XY

    【精密位置決め装置】高分解能・高い位置決め再現性・位置決め後の位置保持…

    光学式リニアスケールをステージ中央に内蔵して検出誤差を少なくした高分解能位置決めステージです。 『 10nm 』分解能(*1)でストロークは『 200mm 』となっております。 自社開発リニアスケールと自社独自のフィードバック制御回路により、高分解能、高い位置決め再現性、位置決め後の位置保持性を備えております。 スローダウンセンサを搭載しており、ストロークエンドでの停止時の衝撃を...

    メーカー・取り扱い企業: シグマ光機株式会社

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