無機防汚コーティング剤『エクセルピュア』による気化冷却効果

PR親水性による水膜形成で気化冷却を促進。空調室外機や屋根の散水冷却などに…

『エクセルピュア』は、アクリル、ポリカーボネート、PET、 ガラスなどの基材表面に超親水被膜を形成するコーティング剤です。 親水性により、被膜表面に付着した水分が薄い水膜を形成し、 水分の蒸発が促進されることで気化冷却効果が生まれ、 施工部分の冷却効率が改善されます。 ★PDFダウンロード”より、本製品のカタログのほか 　散水後の表面温度観察結果をまとめた資料をスグにご覧いただ...

メーカー・取り扱い企業： 中央自動車工業株式会社 営業開発部　営業推進グループ

偏光ビームスプリッター ワイヤグリッドタイプ・キューブ型

PRカスタマイズ可能なワイヤグリッド偏光ビームスプリッター、入射角依存の少…

WGF(TM)を使用した、ワイヤグリッド偏光ビームスプリッターキューブタイプ（WGF(TM) PBS)です。 すでにハーフミラーをお使いの場合、WGF(TM) PBSに替えることで輝度向上が期待できます。 縮小系でも色や偏光度が部分的に変わることはなく、画像検査の精度を向上させます。 入射角依存が少なく、安定した光学性能を維持します。 ※WGF(TM)は旭化成の製品です。...規格品　WP...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社オプティカルソリューションズ

【分析事例】リチウム二次電池負極表面の劣化評価

大気非暴露で前処理から測定・観察まで行います

容量低下が見られるリチウムイオン二次電池負極表面を大気非暴露で評価した結果、100～200nm程度のCoを含む付着層が確認され、Coは金属状態であることがわかりました。 適用可能な手法観察手法：FIB‐TEM, SEM 表面分析：SIMS,XPS,AES,TOF‐SIMS その他構造評...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】XAFSによるシリコン酸化膜評価

シリコン周囲の局所構造解析、中間酸化物の定量、バルク・界面の評価

ウムイオン二次電池の負極材料として広く利用されていますが、中間酸化物の有無や界面での結合状態がデバイス特性に大きな影響を与えることが知られています。 放射光を用いたXAFS測定では試料表面から数十nmの深さの情報を検出するため、非破壊でバルク・界面における構造および結合状態を解析することが可能です。 本資料ではXAFSを用いてシリコン酸化膜の中間酸化物の有無を調査した事例を紹介します。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】多元系金属微粒子の結晶構造観察

InGaZnO4粒子の超高分解能STEM観察

Csコレクタ（球面収差補正機能）付きSTEM装置により、超高分解能観察（分解能0.10nm）が可能となりました。原子量に敏感なHAADF※-STEM像は多元系結晶構造を直接理解できる有効なツールです。今回、酸化物半導体中微粒子の評価を行いましたので紹介します。異種材料界面・化合物界面の原...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】Si自然酸化膜の膜厚評価

光電子の平均自由行程を用いた膜厚の見積もり

シリコンウエハ上の自然酸化膜・シリコン酸窒化薄膜など厚さ数nm以下の極薄膜について、XPS分析によって膜厚を算出した事例をご紹介します。Siウエハ最表面のSi2pスペクトルを測定し、得られたスペクトルの波形解析を行うことにより、各結合状態の存在割合を求め、この...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】Siウエハの保管状態による表面汚染評価

フッ酸処理で酸化膜を除去したSiウエハの汚染・酸化の評価

試料搬送時の汚染及び酸化の影響についての知見は、検出深さがnmオーダーの表面分析において重要です。そこで、保管方法の違いによる汚染･酸化の影響をSiウエハにおいて検討致しました。 薬包紙・アルミホイル保管では、一般的に見られる二次汚染による有機物のピークは弱...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】アイシャドウ成分の元素分析

ナノオーダーの形態観察・元素分析が可能

透過型電子顕微鏡（TEM）はμm～nmオーダーの形態観察・元素分析が可能です。 アイシャドウは固体粒子の集まりなので、そのままTEMによる分析を行いました。 TEM観察後、視野内の特定箇所についてEDX分析を行い、構成元素から材料を...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

［SXES］軟X線発光分光法

SXESは、物質から発光される軟X線を用いて化学結合状態を評価する手法…

の評価が可能 ・スペクトル形状は価電子帯における着目元素の部分状態密度を反映 ・X線吸収スペクトル（XAS）との同時測定によってバンド構造の評価も可能 ・バルクの情報が得られるため、表面近傍数nmの影響を受けにくい ・絶縁物に対しても帯電の影響を受けずに評価が可能 ・検出下限が低く（＜1atomic%）、微量成分であっても評価が可能...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】球面収差補正機能

TEM：透過電子顕微鏡法

球面収差補正機能(=Csコレクタ)つきSTEM装置では、原子レベルでの高分解能観察･高感度分析が可能です。分解能は約0.10nmです。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

SIM像　3D再構築解析受託サービス

SIM像3D再構築解析の受託スタート！※材料開発や半導体、基板のトラブ…

察、めっきの積層構造や厚さ の確認等を可能にします。 【特長】 ■逐次加工・観察で再構築データを作成 ■スライスデータの重ね合わせが高精度で、高品位な３Ｄデータを作成 ■スライスピッチは1nm～1μmで設定可能 ■高分解能なSIM像観察 ■観察対象：200µmまで対応可能 ■研磨加工で不具合箇所が消えてしまうような微小な観察対象でも観察可能 ※解析例などの詳細については、お問い合...

メーカー・取り扱い企業： 東レ・プレシジョン株式会社

シミ分析の受託サービス｜JTL

試料表面の微量なシミの分析から調査まで一貫してご対応します。

けすることにより、視覚的にサンプルの状態を把握することが可能です。 ●薄いシミも分析可能 酸化膜等の、ナノオーダーの非常に薄いシミも分析可能です。 ESCA/XPSを用いることにより、表面nmからの分析に対応しております。また、イオンスパッタリングにより、深さ方向の分析も可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業： JAPAN TESTING LABORATORIES株式会社 本社

［SIMS］二次イオン質量分析法

二次イオンを検出し、各質量における検出量を測定することで、試料中に含ま…

・高感度（ppb～ppm） ・HからUまでの全元素の分析が可能 ・検出濃度範囲が広い（主成分元素から極微量不純物まで） ・標準試料を用いて定量分析が可能 ・深さ方向分析が可能 ・数～数十nmの深さ方向分解能での評価が可能 ・数μm角までの微小領域の測定が可能 ・同位体分析が可能 ・破壊分析...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

ガス昇圧設備を用いた高圧ガス試験

自動車およびその周辺分野を含めた様々なニーズにお応えし、委託試験・研究…

ガス充填・放出サイクルを繰り返す耐久試験や大流量の水素ガスを使用する試験が可能です。 ●超低温恒温恒湿槽を使用した高圧部品の温度サイクル試験、水素ガス性能・耐久試験 ●圧縮水素容器への水素ガス充填試験・ガスサイクル試験 ●高圧水素圧縮機にて供試体を95MPaまで昇圧可能 ●ガスブースター装置により、水素・窒素・ヘリウム・天然ガスにて供試体を110MPaまで昇圧可能 ●圧縮水素ガスを燃...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人日本自動車研究所

白色干渉計測法

非接触・非破壊で3次元測定可能

三次元測定が可能な装置です。 ・高輝度白色光源を用いた表面形状測定装置 ・非接触・非破壊で三次元測定が可能 ・広い視野（50μm×70μm ～ 5mm× 7mm） ・高垂直分解能（0.1nm） ・広いダイナミックレンジ（＜150μm）...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

光学応用機器開発　オプトメカトロ機器の受託開発

オプトメカトロ機器の受託開発例。

○アグリチェッカ・クロマトチェッカ →試験片を装置にセットするだけで試験片の呈色の度合いを濃度分析や分光分析等の手法で判定することができる。 ○高出力半導体レーザ照射ユニット →波長808nm50W のファイバーレーザを用いプラスティックの熱融着による接合を行う。 ○パーティクルセンサ →気体（煙）及び液体（飲料水、薬液、オイル等）に含まれるパーティクルの検出。 ○バイオ計測用光源...

メーカー・取り扱い企業： エーエルティー株式会社

塗膜内異物の非破壊分析＜顕微レーザーラマン分光分析＞

共焦点を用いたラマン分光分析による非破壊調査が可能！ラマン分光分析装置…

【測定条件】 ■レーザー波長：532nm ■対物レンズ：100倍 ■アパーチャー径：40μm ※詳しくは関連リンクをご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社大同分析リサーチ

【DL可/XPS】XPSでの材料表面(ニッケルめっき)の変色調査

X線光電子分光分析(XPS)は表面汚染・変色の分析や表面処理の評価に有…

X線光電子分光分析(XPS)は ●試料最表面(数nm)の元素情報を得ることができるため、表面処理の評価、 表面汚染・変色の分析に有効です。 ●元素の特定だけでなく、元素の結合状態の解析も可能です。 この事例では「XPSによる材料表面(ニッケ...

メーカー・取り扱い企業： セイコーフューチャークリエーション株式会社

[TEM ED-Map]TEM電子回折マッピング法

TEMの電子回折を利用して、結晶性試料の方位分布解析を行う手法です。

apping）-TEM法とも呼ばれます。 結晶粒径解析が可能 測定領域の配向測定が可能 双晶粒界（対応粒界）の観察が可能 特定結晶方位の抽出が可能 隣接結晶粒の回転角の測定が可能 数nm以上の結晶粒を評価可能 ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】角度分解XPS（ARXPS）による極薄膜組成分布評価

基板上の極薄膜についてデプスプロファイルを評価可能です

スプロファイルを評価する手法です。従来のArイオンスパッタを用いた方法と比較すると、深さ方向分解能が向上し、かつ選択スパッタやミキシングによる組成変化が無いといったメリットがあり、基板上の極薄膜（数nm程度）のデプスプロファイル評価に有効です。 本資料ではSi基板上のSiN膜について、膜中の組成分布評価を行った事例をご紹介します。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】AESによるボンディング界面の元素分析

加工を併用することで界面の元素分析が可能

AES分析は最表面（～深さ数nm）の組成情報や元素分布を得る手法ですが、断面加工を併用することで、層構造内や構造界面でも同様の情報を得ることができます。合金層や元素拡散・偏析等の評価が可能であるため、デバイスの故障解析や不具合調査...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

技術情報誌 201910-03 in-situ 昇温手法

技術情報誌The TRC Newsは、研究開発、生産トラブルの解決、品…

結果、ガス発生は構造変化と密接な関係にあることが示された。充放電挙動と酷似した変化も認められ、温度をパラメータにした一連の測定結果は、実材料を解析する上でも重要な知見になること、また、高分解能（40nm角程度の視野）でないと検出できない微視的構造変化（ドメイン構造の形成など）について、ASTAR＊（＊ASTARはNanoMEGAS社の登録商標）を用いることで1μm角以上の視野で可視化でき、定量的に...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社東レリサーチセンター

【分析事例】ZnO膜表面の形状観察

広域の表面形状観察が可能

走査型白色干渉計（光干渉計）は、試料の表面形状を「高い垂直(Z)分解能(0.1nm)と広い(X-Y)測定視野(50μm～4.2mm)」で高精度に、非接触3次元測定を行うことが可能です。4.2mm×4.2mmの視野まで測定可能です。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【DL可：XPS/AES/GD-OES】表面分析に関する事例集1

Niめっきの膜厚や濃度測定、表面汚染レベル測定などXPS、AES、GD…

　・手法：GD-OES（グロー放電発光分析） 　・結果：ステンレス基板表面のC元素（カーボン）が減少しており洗浄効果を確認 ■XPSによる表面汚染分析 　〈XPSの特長〉 　・試料最表面（数nm）の元素情報を得ることができるため、表面汚染・変色の分析、 　表面処理の評価に有効 　・元素の特定だけでなく、元素の結合状態の解析も可能 　・分析事例 ※詳しくはPDF資料をご覧いただく...

メーカー・取り扱い企業： セイコーフューチャークリエーション株式会社

【分析事例】タイヤ（シリカ充填ゴム）断面のナノスケール物性分析

タイヤ中のシリカ粒子の分散状態とバウンドラバー相を可視化した事例をご紹…

【分析結果】 ■黒色の弾性率の低いゴム層に、最大約600nmサイズの弾性率の高いシリカ粒子（青色）が分散していた ■シリカ粒子とゴムの界面には、バウンドラバー相（緑色：シリカ粒子とゴムの中間の弾性率）が、 　存在していることが明瞭に確認 ※詳しくは...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カネカテクノリサーチ 　　　　　　　　　　　　　　　本社、東京営業所、名古屋営業所、大阪分析センター、高砂分析センター

耐爆火災試験設備を用いた試験

自動車およびその周辺分野を含めた様々なニーズにお応えし、委託試験・研究…

屋内の大型耐爆火災試験設備により、風雨などの外的要因の影響を受けずに、発火・爆発のリスクがある多様な試験や大規模な火災試験が可能です。 ●圧縮ガス容器搭載車・電気自動車・ガソリン車などの車両火災試験 ●高圧ガス保安法などの各法規に準拠した圧力容器の火炎暴露試験 ●リチウムイオン電池などの各種安全性評価試験（UN-R100など） ●国内外の液体燃料用樹脂製タンクや金属製タンクの耐火性試験...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人日本自動車研究所

【分析事例】清涼飲料中の糖類（単糖～オリゴ糖）の定量分析

目的物質の定量をすることが可能！HPLC-RID法、HPLC-ELSD…

糖類（単糖～オリゴ糖）の紫外吸収は190～195nm付近でしか得られず 検出が難しいため、誘導体化を行ったり、示差屈折率検出器（RID）や 蒸発光散乱検出器（ELSD）を用いたりしてHPLCで測定する方法が有効です。 ここでは、清涼飲料中の...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カネカテクノリサーチ 　　　　　　　　　　　　　　　本社、東京営業所、名古屋営業所、大阪分析センター、高砂分析センター

【分析事例】自動車用樹脂中のフィラーの分散状態観察

樹脂に配合したフィラーの定量的な評価が可能！フィラーの体積ごとの分散状…

【分析方法】 ■FIB-SEM（Zeiss製CrossBeam550）を用いて、自動車用樹脂の加工・観察を 　100nmステップにて300回繰り返す ■取得した画像から三次元モデルを構築、画像解析を行い樹脂とフィラーの体積比率、 　体積ごとの分布を求めた ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社カネカテクノリサーチ 　　　　　　　　　　　　　　　本社、東京営業所、名古屋営業所、大阪分析センター、高砂分析センター

XPS角度分解法による薄膜層の深さ方向分析

非破壊でnmオーダーの薄膜の深さ方向分析が可能！分析事例もご紹介いたし…

子の 検出深さを変えることが可能。 これより得られたデータをシミュレーションにより数値的に解析し、 深さ方向のプロファイルに変換します。 通常のイオンエッチング法では測定が困難な表面付近nmオーダーの、 均一な薄膜の深さ方向分析を実現します。 HDD磁気面の深さ方向を分析した事例もございます。 【特長】 ■非破壊でnmオーダーの薄膜の深さ方向分析が可能 ■均一な薄膜の深さ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社アイテス

【分析事例】AES分析による積層試料の割断面評価

割断サンプルで50nm薄膜を可視化

AES分析は最表面から数nm深さまでの組成情報を得る手法ですが、試料の断面からAES測定を行って元素分布像を得ることで、層構造を明瞭に評価することが可能です。積層構造の評価やトレンチやホールの内壁の元素分析に加え、機械加工やイ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】クロスハッチパターンの形状観察

高い垂直方向分解能で小さな凹凸を可視化可能

走査型白色干渉計（光干渉計）は、試料の表面形状を「高い垂直(Z)分解能(0.1nm)と広い(X-Y)測定視野(50μm～4.2mm)」で、高精度に非接触3次元測定を行うことが可能です。Si/SiGe積層試料表面（クロスハッチパターン）の形状観察の事例を紹介します。 平均粗さ(R...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【DL可/XPS】XPSによる撥水膜の分析

X線光電子分光分析(XPS)は試料最表面(数nm)の元素情報を得られる…

●試料最表面(数nm)の元素情報を得ることができるため、表面汚染・変色 の分析、表面処理の評価に有効です。 ●元素の特定だけでなく、元素の結合状態の解析も可能です。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気...

メーカー・取り扱い企業： セイコーフューチャークリエーション株式会社

【分析事例】ステンレス不動態皮膜の深さ方向状態評価

波形解析・Arスパッタによる結合状態の深さ方向分布評価

成分（金属と結合している成分）などの結合状態の評価が可能です。また、アルゴンイオンスパッタリングを併用することにより、深さ方向の結合状態の評価も可能です。 ※ ステンレス表面の不動態皮膜（厚さ数十nm～数百nm程度）について、上記測定を行った結果、（1）表面側にFe酸化成分が多い、（2）Cr酸化成分がFe酸化層の下側に存在、（3）Ni酸化成分はほとんど存在していないことがわかりました。 ※スパ...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【資料DL可：XPS/AES/AFM】表面分析に関する事例集2

変色調査や表面改質評価などXPS、AES、AFMによる事例を厳選しまし…

【掲載内容詳細（抜粋）】 ■XPSによる材料表面の変色調査 　〈特長〉 　・試料最表面（数nm）の元素情報を得ることができるため、表面処理の評価、 　表面汚染・変色の分析に有効 　・元素の特定だけでなく、元素の結合状態の解析も可能 　・分析事例 ■XPSによるPET表面改質評価 　...

メーカー・取り扱い企業： セイコーフューチャークリエーション株式会社

【分析事例】シリコン(Si)酸化膜の状態評価

TOF-SIMSで無機物の分子情報を深さ方向に捉えることが可能

化物・炭化物・合金・金属など無機物の化学状態の区別が可能、（3）微量な状態の評価が可能、（4）OHのモニターが可能、（5）相対的なサンプル間の比較（膜厚・組成）が可能、（6）イメージ分析により表面数nm程度について状態の分布を視覚的に捕らえた評価が可能です。 自然酸化膜と酸化膜の結果をまとめます。 測定法：TOF-SIMS 製品分野：LSI・メモリ 分析目的：化学結合状態評価・組成分布評価...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】AES・SEM-EDXによるCu表面変色部の評価

SEM観察を行いながら検出深さの浅い元素分析が可能

金属表面の変色や異物の簡便的な調査にはSEM-EDX分析やAES分析が適していますが、変色や異物が薄い・小さい場合は、表面のごく浅い領域（4～5nm程度）の情報が得られるAES分析が有効です。 MST保有のAES装置はSEM像を取得できるため、SEM像で着目箇所の確認をしながらAES分析を行うことが可能です。本事例では、Cu表面に存在する変色...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】固体高分子燃料電池　触媒材料の形態観察・成分分析

SEM・STEM・EDXによる触媒粒子の評価

燃料電池の電極は、カーボンに触媒であるPt粒子またはPt合金（PtRu等)粒子が担持されています。この触媒粒子は数nmと微細構造のため、形態観察、組成分析にはSEMやTEM分析が用いられています。 初期状態での評価の他に通電後の劣化として合金組成の変調、Ruの溶出、触媒粒子径の増大が報告されていますが、これらの評...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】極薄SiON膜の組成・膜厚評価

光電子の平均自由行程を用いた膜厚の見積もり

シリコンウエハ上の自然酸化膜・シリコン酸窒化薄膜など、厚さ数nm以下の極薄膜について、サンプル最表面のSi2pスペクトルを測定します。得られたスペクトルの波形解析を行うことにより、各結合状態の存在割合を求め、この結果と光電子の平均自由行程から膜厚を見積もります（...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】SiON膜の評価

膜厚1nm程度のSiON中Nの評価が可能

高感度なSIMS分析が得意とする低濃度領域に至るまで、SiON膜中Nの分布を深さ方向に評価し、N量（単位：atoms/cm2）を高い精度で評価が可能です（図1）。またNをatomic%へ変換(図2)、Nのフィッテングカーブ算出することができ、フィッティングによりNのピーク濃度・深さ・半値幅を算出(図3)することが可能です。...詳しいデータはカタログをご覧ください...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】XPSによる歯科インプラントの評価

最表面の組成・結合状態の評価が可能

多く用いられ、インプラントと骨との結合を促進する目的で、表面に様々なコーティングが施されています。インプラントは生体に埋め込むため、生体と直接触れる表面部の安全性評価が重要です。XPSは最表面(～5nm程度) の組成・結合状態の評価が可能です。 本資料では、XPSで評価を行った事例をご紹介します。...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【分析事例】固体高分子燃料電池　触媒材料の粒子径・組成評価

STEM・EDXによる触媒粒子の評価

燃料電池の電極は、カーボンに触媒であるPt粒子またはPt合金（PtRu等)粒子が担持されています。この触媒粒子は数nmと微細な構造のため形態観察、組成分析にはSEMやTEM分析が用いられています。初期状態での評価の他に通電後の劣化として合金組成の変調、Ruの溶出、触媒粒子径の増大が報告されていますが、これらの評価に...

メーカー・取り扱い企業： 一般財団法人材料科学技術振興財団　MST

【資料】材料系解析事例

30nmから5μmの切片作製が可能！材料系解析事例を複数ご紹介した資料…

当資料は、株式会社花市電子顕微鏡技術研究所が行った材料系解析を まとめた事例集です。 「ウルトラミクロトーム」では、生物組織、金属メッキ層や無機蒸着 層を含む複合材料、ナノ粒子など幅広い分野における高品質な超薄切片 および断面作製に適応可能です。 当社では、受託分析を始めました。協力機関とタイアップして材料分析を 実施致します。 【掲載事例】 ■リポソームの構造解析 ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社花市電子顕微鏡技術研究所