資料『次世代半導体の今を説く～SiC・GaN解説～』【進呈中！】

PR次世代半導体SiC・GaNの新情報がここに！

エネルギーの効率的な利用と環境への配慮が今後ますます重要となる中で 従来のシリコン半導体よりも優れた特性を持つ次世代半導体が大きな注目を浴びています。 その中でSiC(シリコンカーバイト)・GaN(窒化ガリウム)の特徴や課題を解説しております。 次世代半導体に触れ、未来の製品開発のヒントとなれば幸いです。ぜひご活用ください。 技術革命の先駆けとなる情報が今すぐあなたの手に。お見逃しなく！ ...

メーカー・取り扱い企業： ジェルグループ【株式会社ジェルシステム／株式会社ナカ アンド カンパニー】

解説資料 開発元監修『見積段階から機械動作を可視化する3D構想』

PR複雑する装置仕様を見える化！受注率UPと手戻り削減に貢献する3DCAD…

機械設計向け3次元CAD「iCAD SX」の開発元が監修しました。 複雑化する装置仕様の摺合せが難しい理由や問題点を洗い出し、 "装置仕様（動き）の可視化"について解説した資料を無料進呈中です。 　【資料概要】 　　■製造業を取り巻く環境と、装置の複雑化 　　■仕様説明時における取組と課題、目指す姿 　　■打ち合わせ初期から一連の動作フローを可視化する効果 　　※ 本ページのPDFダウンロード...

メーカー・取り扱い企業： i CAD株式会社 - 機械設計向け3DCAD（3次元CAD）開発元 -

ウェーハ表面パーティクルスキャナ ＹＰＩ－ＭＸーＤＣ

次世代パワー半導体ウェーハSiC/GaN用パーティクル検査装置

ノンパターンSiCバルクウェーハ　0.1μm検出。 微小スクラッチ検出。 SiCやGaNウェーハの洗浄確認に最適です。 自動搬送とマニュアル搬送が選択できます。 顕微鏡観察機能で測定後のレビューができます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社山梨技術工房

パワーデバイス『ウエハーレベル バーンイン』

完全なハードウェアで各回路を保護！最大6枚、または12枚のウエハーの同…

『wafer level burn-in』は、GaN、SiCデバイスをウェーハでバーンインでき、パワーモジュールの検査ロースを大幅にカットできる設備です。 最大6枚、または12枚のウエハーの同時バーンインに対応できます。 また、治具ごとに独立でbu...

メーカー・取り扱い企業： Semi Next株式会社

各種デバイス、素子向け『ウエハーレベル バーンイン』

完全なハードウェアで各回路を保護！最大6枚、または12枚のウエハーの同…

『wafer level burn-in』は、Si、GaN、SiC、セラミック等のデバイスをウェーハでバーンインでき、デバイスのバーイン効率を大幅アップ！ 最大6枚、または12枚のウエハーの同時バーンインに対応できます。 また、治具ごとに独立でburn-...

メーカー・取り扱い企業： Semi Next株式会社

マニュアル型透明基盤検査装置

ニーズにお応えする基板異物検査装置

ーク設置 マニュアル形式ガラス基板表面検査装置／サファイア表面検査装置です。 小型、安価でありシリコンウエハ、ガラス基板の異物測定が可能で、これまで 難しかったガラス基板の表裏分離測定やSiC表面の潜傷の検出を可能にしました。 また、お客様のシリコンウェハ／ガラス基板等、製品サンプル及び製品を お預りし、YPIシリーズでサンプル測定も実施しております。 【特長】 ■従来...

メーカー・取り扱い企業： ファーストゲート株式会社 本社、大阪オフィス、笹目倉庫

レーザ走査表面形状検査機『CSM＆CSYSシリーズ』

広い範囲の微小な高さの変化を測定可能な表面形状検査機！極めて振動に強く…

『CSM＆CSYSシリーズ』は、広い測定範囲を超高感度で速く測定が可能な レーザ走査表面形状検査機です。特許技術の「レーザ表面形状検査機」で、半導体ウエハ（Si,SiC,GaN,etc.）、MEMS、ハードディスク、FPD用機能性フイルム、スパッタ薄膜などの「表面形状」「粗さ」「うねり」「パーティクル」「キズ欠陥」を高感度で、早く、広い範囲を検査して「デジタルデ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コアシステム

卓上型アライナー『GA2400』

極単純構造で製造コストを削減！4インチウェハ対応エッジグリップ仕様アラ…

【仕様】 ■被搬送物：4インチ　GaAsウェハ、SiCウェハ ■位置決め精度 　・センタリング：±0.2mm以内 　・オリフラ：±0.1度以内ないしは±0.15度以内 ■位置決め時間：約15秒以内ないしは約10秒 ■クリーン度：ISO クラ...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

マクロ検査装置『ARCscan　TypeRE&ME兼用』

今まで困難だった高速・高感度・大面積のマクロ観察が可能なツール！

ノインプリントモールド、導光板、拡散板、レンズアレイ ■エッジ反射マクロ光学技術でパターン形状と相関性の高いエッジ検出 〔Type:ME〕 ■マクロ光学系でナノの評価が可能 　→シリコン・SiC・化合物ウェハのマクロ外観検査 ■オフアクシス光学系で10nm以下のパターン群の変化を検出 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： スミックス株式会社

スクラッチ装置

高精度・精密計測！任意のしきい値設定から欠陥に対してOK/NG判別を全…

ーザー変位計を装備しておりウエハーの 厚みに依存しません。 画像記録のほか任意のしきい値設定から欠陥に対してOK/NG判別を、 全自動で行います。アプリケーションとして、透明体、半透明のSiCやGaN、 GaAs、サファイア、シリコンなど、多彩に対応致します。 【特長】 ■極微少なスクラッチ（傷）、異物、カケの外観検査を全自動で行う ■ワークまでの距離を自動で測るレーザー変...

メーカー・取り扱い企業： ソフトワークス株式会社

ウエハー工程装置

レーザースクライバーや高速チップ移載装置、真空プラズマ装置などをご紹介

大日商事株式会社が取扱う『ウエハー工程装置』についてご紹介します。 「レーザースクライバー」は、サファイア・GaN・SIC・水晶等ウエハー用 スクライバーです。 「高速チップ移載装置」は、シートtoシート0.2sec／個の高速化を実現し、 シートtoトレー搬送も適応している製品です。 その他にも、印刷前の表面改質可能な「大気圧プラズマ／真空プラズマ装置」や、 LED・LD対...

メーカー・取り扱い企業： 大日商事株式会社

自動搬送型透明基盤検査装置

高精度な表裏分離を可能にした基盤検査装置

■装置外形寸法：W1,800mm×D1,230mm×H2,151mm ■本体重量：約1,000kg ■消費電力：約1.5kW(100V) ■検査対象基板：石英ガラス基板、サファイア基板、SiC基板、 エビ膜付きSiC基板等 ■最小検出感度：石英ガラス基板時、0.2μm ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ファーストゲート株式会社 本社、大阪オフィス、笹目倉庫