資料『次世代半導体の今を説く～SiC・GaN解説～』【進呈中！】

PR次世代半導体SiC・GaNの新情報がここに！

エネルギーの効率的な利用と環境への配慮が今後ますます重要となる中で 従来のシリコン半導体よりも優れた特性を持つ次世代半導体が大きな注目を浴びています。 その中でSiC(シリコンカーバイト)・GaN(窒化ガリウム)の特徴や課題を解説しております。 次世代半導体に触れ、未来の製品開発のヒントとなれば幸いです。ぜひご活用ください。 技術革命の先駆けとなる情報が今すぐあなたの手に。お見逃しなく！ ...

メーカー・取り扱い企業： ジェルグループ【株式会社ジェルシステム／株式会社ナカ アンド カンパニー】

【内部流路】拡散接合【セラミックス・石英ガラス・純モリブデン】

PR拡散接合により、内部に流路を有する複雑形状が実現可能！石英ガラス、純モ…

拡散接合は材料同士を直接接合させる技術です。 接着剤、ロウ材を使用しないため、不純物による汚染問題が起きません。 また、塑性変形の発生を抑えることもできます。 拡散接合を用いることで、通常の切削加工では実現できない中空構造や、内部流路、真直度の良い深穴を形成可能です。 ヘリウムリークテスターを保有しておりますので、リークテストの実施も可能です。 【拡散接合実績材質】 ・アル...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社トップ精工

ウェーハ表面パーティクルスキャナ ＹＰＩ－ＭＸーＤＣ

次世代パワー半導体ウェーハSiC/GaN用パーティクル検査装置

ノンパターンSiCバルクウェーハ　0.1μm検出。 微小スクラッチ検出。 SiCやGaNウェーハの洗浄確認に最適です。 自動搬送とマニュアル搬送が選択できます。 顕微鏡観察機能で測定後のレビューができます。...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社山梨技術工房

評価ボード『EVAL-1ED3251MC12H』

スイッチングデバイスにおける寄生ターンオンを回避！2段階のスルーレート…

ッチング方式の評価を行う事ができ、 スイッチの種類は自由に選択可能。 ゲートドライバーICを追加することで、高電圧側からロジック制御部へ 超高速の過電流フィードバック信号が送信できる為、SiC MOSFETの使用を 実現しています。 【特長】 ■ユニポーラまたはバイポーラの広い電源電圧範囲で動作 ■EiceDRIVER 2L-SRC小型シングルチャネル絶縁型ゲートドライバー...

メーカー・取り扱い企業： インフィニオン テクノロジーズ ジャパン　株式会社

パワーデバイス『ウエハーレベル バーンイン』

完全なハードウェアで各回路を保護！最大6枚、または12枚のウエハーの同…

『wafer level burn-in』は、GaN、SiCデバイスをウェーハでバーンインでき、パワーモジュールの検査ロースを大幅にカットできる設備です。 最大6枚、または12枚のウエハーの同時バーンインに対応できます。 また、治具ごとに独立でbu...

メーカー・取り扱い企業： Semi Next株式会社

各種デバイス、素子向け『ウエハーレベル バーンイン』

完全なハードウェアで各回路を保護！最大6枚、または12枚のウエハーの同…

『wafer level burn-in』は、Si、GaN、SiC、セラミック等のデバイスをウェーハでバーンインでき、デバイスのバーイン効率を大幅アップ！ 最大6枚、または12枚のウエハーの同時バーンインに対応できます。 また、治具ごとに独立でburn-...

メーカー・取り扱い企業： Semi Next株式会社

マニュアル型透明基盤検査装置

ニーズにお応えする基板異物検査装置

ーク設置 マニュアル形式ガラス基板表面検査装置／サファイア表面検査装置です。 小型、安価でありシリコンウエハ、ガラス基板の異物測定が可能で、これまで 難しかったガラス基板の表裏分離測定やSiC表面の潜傷の検出を可能にしました。 また、お客様のシリコンウェハ／ガラス基板等、製品サンプル及び製品を お預りし、YPIシリーズでサンプル測定も実施しております。 【特長】 ■従来...

メーカー・取り扱い企業： ファーストゲート株式会社 本社、大阪オフィス、笹目倉庫

半導体プローブ評価装置

コンパクトでありながら、作業性を向上！電気計測･光学測定可能な装置をご…

プローブ評価装置』をご紹介します。 「有機半導体・EL評価装置」は、高真空から大気圧雰囲気でコンタクト プローブさせた基板を加熱しながら、電気計測･光学測定をすることが可能。 他に、SiC等のパワーデバイスを対象とした「高真空高温プローブ装置」や 「環境制御評価試験装置」もございます。 【ラインアップ】 ■有機半導体・EL評価装置 ■高真空高温プローブ装置 ■環境制御...

メーカー・取り扱い企業： ケニックス株式会社

評価ボード『EVAL-1ED3890MX12M』

I2Cバスを使用し、パラメータ調整、状態監視、フォールトフィードバック…

『EVAL-1ED3890MX12M』は、ゲートドライバーICを2つ搭載したハーフブリッジ構成で、 Si MOSFETやIGBT、SiC MOSFETなどのパワースイッチを駆動します。 スイッチの種類は自由に選択可能。ボードサイズは、電源スイッチを 取り付けていない状態で85×85×15mmです。 また、マイコンを搭...

メーカー・取り扱い企業： インフィニオン テクノロジーズ ジャパン　株式会社

【RECOM社】評価ボードとリファレンスデザイン

RECOM社が提案する評価ボードとリファレンスデザイン

られるサポートアイテムとして評価ボードや リファレンスデザインの提供をしております。 対象となるアプリケーションは低消費電力IoTアプリケーション、 ハイパワーIGBT、第一及び第二世代SiC MOSFET、GaN MOSFET等 多岐に渡ります。 　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　 ＊詳細に関しましては下記ファイルをご参照下さい。 ＊資料をダウンロード頂き...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社理経

評価ボード『EVAL-PSIR2085』

対応するEiceDRIVER絶縁型ゲートドライバ評価ボードとの併用でプ…

R2085』は、EVAL-1ED3122MX12HなどのEiceDRIVER絶縁型ゲート ドライバ評価ボードに電源を供給するために開発された標準の電源ボードです。 MOSFET、IGBT、SiC MOSFETなどのパワー半導体が搭載されている様々な 評価ボードに対応。 産業用モータドライブをはじめ、業務用空調機器やEV充電、蓄電システム等の アプリケーションにお使いいただけます...

メーカー・取り扱い企業： インフィニオン テクノロジーズ ジャパン　株式会社

アイソレートゲートドライバー評価ボードEVAL-PSIR2085

使いやすい電源ボード、2つの絶縁された電源！プラグ＆プレイで使用可能

085』は、EVAL-1ED3122MX12HなどのEiceDRIVER 絶縁型ゲートドライバ評価ボードに電源を供給するために 開発された標準の電源ボードです。 MOSFET,IGBT,SiC MOSFETなどのパワー半導体が搭載されている 様々なEiceDRIVER絶縁型ゲートドライバ評価ボードに対応します。 【特長】 ■2つの絶縁された電源 ■ゲートドライバの一次側用電...

メーカー・取り扱い企業： インフィニオン テクノロジーズ ジャパン　株式会社

ウェーハ表面欠陥検査装置『Laser Explorer』

透明ウェーハも高速検査！高出力レーザーが微小な傷・パーティクルを検出！

【主な仕様】（型式：LE-W1） 検出方式　　：レーザー散乱方式、反射方式、位相シフト方式 検出欠陥　　：パーティクル、スクラッチ、ピット、ヒロック、ステイン等 対象素材　　：Si、SiC、GaN、LT、サファイア等 対象サイズ　：2、4、6、8インチ （その他、別途ご相談） 検査時間　　：約90秒／枚（4インチ、10μmピッチ、搬送時間含む） レーザー波長：405nm 検...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社クボタ計装

レーザ走査表面形状検査機『CSM＆CSYSシリーズ』

広い範囲の微小な高さの変化を測定可能な表面形状検査機！極めて振動に強く…

『CSM＆CSYSシリーズ』は、広い測定範囲を超高感度で速く測定が可能な レーザ走査表面形状検査機です。特許技術の「レーザ表面形状検査機」で、半導体ウエハ（Si,SiC,GaN,etc.）、MEMS、ハードディスク、FPD用機能性フイルム、スパッタ薄膜などの「表面形状」「粗さ」「うねり」「パーティクル」「キズ欠陥」を高感度で、早く、広い範囲を検査して「デジタルデ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社コアシステム

卓上型アライナー『GA2400』

極単純構造で製造コストを削減！4インチウェハ対応エッジグリップ仕様アラ…

【仕様】 ■被搬送物：4インチ　GaAsウェハ、SiCウェハ ■位置決め精度 　・センタリング：±0.2mm以内 　・オリフラ：±0.1度以内ないしは±0.15度以内 ■位置決め時間：約15秒以内ないしは約10秒 ■クリーン度：ISO クラ...

メーカー・取り扱い企業： アテル株式会社

マクロ検査装置『ARCscan　TypeRE&ME兼用』

今まで困難だった高速・高感度・大面積のマクロ観察が可能なツール！

ノインプリントモールド、導光板、拡散板、レンズアレイ ■エッジ反射マクロ光学技術でパターン形状と相関性の高いエッジ検出 〔Type:ME〕 ■マクロ光学系でナノの評価が可能 　→シリコン・SiC・化合物ウェハのマクロ外観検査 ■オフアクシス光学系で10nm以下のパターン群の変化を検出 ※詳しくはカタログをご覧頂くか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業： スミックス株式会社

顕微鏡外観検査

最小で350μmの製品を取り扱っており、検出の難しい100μm以下の不…

得が大変難しいため、社内でも30％の 人員しか取得していない難易度の高い検査となります。 【特長】 ■主要製品は、プラスチック製品(携帯カメラのレンズ、電池カバー) 　セラミック製品、SiC製品、エッチング製品など ■検出不良としてはキズ、変色、気泡、欠損、エッチング残り、 　メタライズ残りなどがある ■取り扱いが非常に難しいため、特別な顕微鏡検査の資格を有した 　検査員が業...

メーカー・取り扱い企業： サイトー電子株式会社 赤坂事業場

フィルム表面検査装置

SiC、サファイア、GaNウエハなどの化合物系ウエハ外観検査装置です。…

内部マイクロパイプや、脈離、表面傷、異物、研磨痕などの検査に有効です。検査に、スーパーマクロ、微分干渉、暗視野、透過の４つの光学系を持ち、全ての光学系にオートフォーカスを持ち、自動ステージにより同じ座標系での検査が可能です。オプションで、同じ座標系に、ＡＦＭやウエハ厚さ測定を載せる事も可能です。 【装置アプリケーション】 ■ウエハー内部のマイクロパイプ ■ウエハー内部の脈離 ■表面傷検査、...

メーカー・取り扱い企業： ブルーオーシャンテクノロジー株式会社

スクラッチ装置

高精度・精密計測！任意のしきい値設定から欠陥に対してOK/NG判別を全…

ーザー変位計を装備しておりウエハーの 厚みに依存しません。 画像記録のほか任意のしきい値設定から欠陥に対してOK/NG判別を、 全自動で行います。アプリケーションとして、透明体、半透明のSiCやGaN、 GaAs、サファイア、シリコンなど、多彩に対応致します。 【特長】 ■極微少なスクラッチ（傷）、異物、カケの外観検査を全自動で行う ■ワークまでの距離を自動で測るレーザー変...

メーカー・取り扱い企業： ソフトワークス株式会社

ウエハー工程装置

レーザースクライバーや高速チップ移載装置、真空プラズマ装置などをご紹介

大日商事株式会社が取扱う『ウエハー工程装置』についてご紹介します。 「レーザースクライバー」は、サファイア・GaN・SIC・水晶等ウエハー用 スクライバーです。 「高速チップ移載装置」は、シートtoシート0.2sec／個の高速化を実現し、 シートtoトレー搬送も適応している製品です。 その他にも、印刷前の表面改質可能な「大気圧プラズマ／真空プラズマ装置」や、 LED・LD対...

メーカー・取り扱い企業： 大日商事株式会社

【NEW】HPシリーズ/HPDシリーズ(ハイパワーRFプローブ)

最大40GHz 最大50W (5A/1000V) の電力ハンドリングを…

○最新の高周波技術とメカニカル性能を融合 ○パワーハンドリングに優れた特殊材料を採用 ○GaN（窒化ガリウム）およびSiC（炭化ケイ素）を代表とする様々なハイパワーデバイスの特性評価に適した設計 ○堅牢なプローブ先端 ○均一な平坦度と安定的なコンタクト ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社テクノプローブ

自動搬送型透明基盤検査装置

高精度な表裏分離を可能にした基盤検査装置

■装置外形寸法：W1,800mm×D1,230mm×H2,151mm ■本体重量：約1,000kg ■消費電力：約1.5kW(100V) ■検査対象基板：石英ガラス基板、サファイア基板、SiC基板、 エビ膜付きSiC基板等 ■最小検出感度：石英ガラス基板時、0.2μm ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードして下さい。...

メーカー・取り扱い企業： ファーストゲート株式会社 本社、大阪オフィス、笹目倉庫