CVD | イプロスものづくり

PR使い方はいろいろ！溶射をはじめとした表面処理・コーティング技術で生産効…

鉄鋼から半導体、医療分野まで、さまざまな業界で幅広く利用される表面処理。資料では、溶射・その他技術の概要や実績のあるアプリケーション等、幅広くご紹介しています！＼こんな方におすすめです！／・表面処理をご検討中の方・今よりも長持ちするコーティングをお探しの方・熱影響の少ない処理をご希望の方・開発中の商品へ高機能性・付加価値付与をご検討中の方 ――――――― 掲載内容 ――――――――...

メーカー・取り扱い企業：トーカロ株式会社

【お役立ち資料】今さら聞けない表面処理DLCの基礎知識※資料進呈

PR金属、樹脂、ゴムなどの長寿命化や耐久性向上を検討の方へ。DLCの特徴や…

当社では、印刷用ロール製造のノウハウや設備を用いたDLCコーティングを行っています。 100℃程度の低温での成膜も行え、金属製の部品等のほか樹脂やゴムの表面処理も可能です。耐摩耗性、摺動性、耐薬品性、耐食性、ガスバリア性の向上に貢献。生体適合性にも優れています。本資料では、「DLCコーティング」の特徴や製法について、初めての方にもわかりやすくまとめて紹介しています。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社シンク・ラボラトリー

『表面処理技術のワンストップサービス』※資料進呈

多種多様なラインアップの中から「コスト」「納期」「機能付加」などニーズ…

Ti-EX、Ti-ExII、PBS-X 「DLC系」 DLC、DLC薄膜、DLC厚膜、フッ素DLC、高密着DLC、窒化DLC、大物・長尺物対応DLC、耐熱DLC、水素フリーDLC 「CVD系」 TiC、TiCN 「装飾系」イオンプレーティング、貴金属メッキ ※詳しくはお気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：千代田交易株式会社

PPX（ポリパラキシリレン）コーティングの磁石への適用　耐水耐湿

日経ニュースでも取り上げられた、錆びやすいマグネットが全く錆びない！防…

パラキシリレン）コーティングを提供しています。今回は磁石への適用例を紹介します。　◆水に弱い材料でも完全に水をシャットアウト！　◆錆びやすいネオジウム磁石も新品同様の外観！　◆CVDコーティングで、複雑形状でも均一なコーティング！　◆形を変えない極薄コーティング！　◆室温付近の低い温度で処理、熱に弱い部品も問題なし！耐水、耐湿性だけでなく、ほかにもPPXコーテ...

メーカー・取り扱い企業：オーエスジー株式会社グループ

「ガス供給ユニット」※溶接配管および特殊ガス用溶接配管の製作も

クラス100、1000のクリーンルーム内で一貫生産！短納期、少量製作に…

、φ1/4、φ3/8、φ1/2インチの配管径に対応。溶接配管および特殊ガス用溶接配管の製作も承っております。【特長】 ■クリーンルーム内で一貫生産（クラス100、1000） ■CVD、エッチング、アッシング装置のプロセスガス供給ライン、　ベントライン設計・製造 ■多様な配管材料、部品の溶接に対応する豊富なバックデータ ■溶接配管および特殊ガス用溶接配管の製作も承ってい...

メーカー・取り扱い企業：ワッティー株式会社

耐酸化・焦付き対策に…スクリューヘッドチタンコーティング

新品の時は付着が無かったのに最近では・・・でお困りの成型機部品に一押し…

金（プラチナ）や金とほぼ同等の強い耐蝕性(耐食性)を持ちます。この特性を活かし、数μの非常に硬い被膜で耐酸化・焦付き対策を提案いたします！ TiN（窒化チタン）などのPVD（物理蒸着）、CVD（化学蒸着）、ラジカル窒化との複合処理等、セラミックコーティングは、先端部品の耐摩耗性を維持しながら、大幅なコンタミ低減をはかります。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マーテック

高純度イットリア溶射材

耐プラズマエロ―ジョン性に優れた溶射皮膜が得られる高純度イットリア粉末…

高純度イットリアではその化学的安定性、耐プラズマエロ―ジョン特性を活かし、半導体、FPD(OLED、LCD)製造装置などに使用されています。アプリケーション例・プラズマエッチング装置　・CVD装置　・静電チャック　・焼成トレイ　など【メッセージ】フジミではお客様のご要望に応じた純度、粒度に調整した粉末の試作も可能です。セラミックス溶射材料に関してご質問やご要望等ございま...

メーカー・取り扱い企業：株式会社フジミインコーポレーテッド

セラミックス溶射各種対応(金属・サーメット・成膜)

部品加工から成膜まで一括受託はもちろんのこと支給材も承ります！セラミッ…

溶射とは、、、融解状態に加熱した溶射材料粒子を対象ワークに吹きつけ皮膜させる方法。めっき、CVD、PVD、イオンプレーティング法などの表面改質技術の一種。溶射の使用用途 ■耐磨耗・潤滑コーティング ■電機絶縁コーティング ■クリアランス制御コーティング ■離型性コーティング ...

メーカー・取り扱い企業：ナラサキ産業株式会社メカトロソリューション部　機能材料課

高純度アルミナセラミックスADS「電気絶縁性、高強度、耐摩耗性」

ADSアルミナセラミックスは、吸水率が0.01％以下と非常に緻密な焼結…

などの特性・半導体やFPD製造用部材としての用途が拡がっている・酸・アルカリやハロゲンプラズマに対して高い耐食性を有する【ADSの用途】・エッチング、アッシング装置用部品・CVD装置用部品・ウェーハ研磨用ラッププレート・ウェーハ搬送用アーム・各種大型製品や複雑形状品の対応が可能です。 ※詳しくはお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社渡辺商行

イオンビーム　エッチング・成膜装置『QuaZar』

総保有コストを減少させる事が可能！最高クラスの均一性とスループットを実…

ることにより<0.6% 3σも達成可 ■従来と比較しMTBMを2倍にしたIon Source、Marathon Grid、　Dual PBNは、他社の既存装置でも搭載可能 ■当社のPVD、CVD等とのクラスター可が可能 ■150mm、200mm ※詳しくはお気軽にお問い合わせください。...

メーカー・取り扱い企業：プラズマ・サーモ・ジャパン株式会社

オスミウムコーターＨＰＣ－１ＳＷ

ＳＥＭで観察する試料のチャージ防止にはオスミウムコーティング！！

）を追加可能。　四酸化オスミウムを大気に晒す不安が解消されます。 ○HPC専用の真空ポンプと排出オスミウムトラップ付属。【その他の特徴】 ○ホローカソード試料台による低電圧放電CVD法（特許出願中）を採用、　試料にやさしく金属オスミウムをコーティングします。 ○試料の大きさ、高さには制限がありません。 ○結晶オスミウムの消費を節約できます。 ●詳しくはお問い合...

メーカー・取り扱い企業：株式会社真空デバイス

FHR Anlagenbau GmbHについて

優れた技術力！高品質の結合スパッタリングターゲットを提供するFHRにつ…

FHRは薄膜技術を提供し、世界中の顧客に幅広い用途向けにカスタマイズされた機器を提供しています。【FHRテクノロジーポートフォリオに含まれるもの】 ■マグネトロンスパッタリングとCVDによる高度なメタライゼーション技術 ■酸化物および窒化物の堆積のための反応性スパッタリング技術 ■高密度プラズマ源のサポートによる高度なエッチング技術 ■半導体、金属、セラミック、ナノ構造、...

メーカー・取り扱い企業：ティー・ケイ・エス株式会社

【事例集】金型コーティング

製品の寿命や性能を向上！環境負荷を低減する「環境貢献型製品」で地球環境…

ついて紹介します。高硬度、高密着力、低摩擦、耐熱、耐摩耗など金型に求められる要求に対応するために、多彩な被膜をラインアップ。金型の耐久性を向上します。また、処理温度はすべて500℃以下。CVDやTD処理に比べ、熱による歪みが少なく、処理後の型合わせの時間が大幅に短縮できます。【特長】 ■熱歪が少ない ■高耐久 ■複合処理 Jcoat ＋α ■環境貢献型コーティング ※詳しくはカ...

メーカー・取り扱い企業：日本コーティングセンター（ＪＣＣ）株式会社

アークフィラメント式イオンプレーティング装置　

緻密な酸化膜厚膜（～１０μｍ）を高速形成。新開発イオン化機構搭載　Ｃ…

緻密で耐プラズマ性の高いイットリア膜やＳｉＣ膜を高速形成。高密度プラズマによる反応性プロセスによりCVDより低温で溶射法より緻密な膜質を実現。半導体関連部品にも応用可能なクリーンな成膜プロセスを実現。 PVD法のため装置のメンテナンスも容易で低コスト。絶縁膜（酸化膜・炭化膜）を高速形成。緻...

メーカー・取り扱い企業：神港精機株式会社東京支店

硬質皮膜のコーティングで工具・金型の長寿命化！※基礎講座資料進呈

切削工具、金型、パンチ、部品類の長寿命化が実現！硬質皮膜をコーティング…

切削工具、金型、パンチ、部品類の耐久性でお困りはございませんか？材質・用途別に適したコーティングを行うことで長寿命化を実現することができます。現在、PVD法（物理蒸着）、CVD法（化学蒸着）によるコーティング原理から、用途別の選定まで解説している各種セラミックコーティングの基礎講座資料を進呈しております。主なコーティング処理製品 ■超硬ドリル・超硬エンドミ...

メーカー・取り扱い企業：オーエスジー株式会社グループ

『事例』プラズマや熱によるセンターリングの劣化対策　無料進呈中

真空配管設備の不安を解消！プラズマや熱によるセンターリングの劣化対策の…

製品使用例のご紹介です。・プラズマCVD装置によるプラズマや高温排気の影響で配管接続に使用しているフッ素ゴムO-リングが劣化してしまう。・高価なセンターリングを採用しているが、コストが高く困っている。・真空設備のセンターリングが...

メーカー・取り扱い企業：株式会社キッツエスシーティー

高熱伝導製品『TC-1050ALY』

1,000w/mkの驚異の熱伝導！銅の3倍の熱伝導特性を有した高熱伝導…

『TC-1050ALY』は、当社のCVD技術を駆使して製造した、優れた高熱伝導材料であるTPGと色々な材料を複合化したユニークな製品です。銅の3倍の熱伝導特性を保有しており、アルミよりも軽量。色々なサイズ・形状に対応可能です。 ...

メーカー・取り扱い企業：モメンティブ・テクノロジーズ・ジャパン株式会社

【お役立ち資料】今さら聞けない表面処理DLCの基礎知識※資料進呈

金属、樹脂、ゴムなどの長寿命化や耐久性向上を検討の方へ。DLCの特徴や…

当社では、成膜方法にプラズマCVD法を採用。低温での処理により、樹脂やゴムにも成膜可能なほか、高いつきまわり性で、凹凸のある複雑形状にも対応できます。最大φ1000×3500の容積を処理可能です。 ※詳しくはお気...

メーカー・取り扱い企業：株式会社シンク・ラボラトリー

【金型コーティング】※樹脂金型やダイカストの事例を紹介

製品の寿命や性能を向上！JCCの処理温度は、すべて500℃以下。処理後…

します。高硬度、高密着力、低摩擦、耐熱、耐摩耗など金型に求められる要求に対応するために、多彩な被膜をラインアップ。金型の耐久性を向上します。また、処理温度はすべて500℃以下。CVDやTD処理に比べ、熱による歪みが少なく、処理後の型合わせの時間が大幅に短縮できます。【特長】 ■熱歪が少ない ■高耐久 ■複合処理 Jcoat ＋α ■環境貢献型コーティング ...

メーカー・取り扱い企業：日本コーティングセンター（ＪＣＣ）株式会社

グラフェンで被覆したポーラスガラス

耐アルカリ性が向上！グラフェン膜で被覆された多孔質硝子

『グラフェンで被覆したポーラスガラス』は、ポーラスガラスの表面をシリル化し、その後、加熱した有機ガスによって炭素被覆した（化学気相蒸着法；CVD）多孔質硝子です。以上の方法でポーラスガラスの細孔表面をグラフェン膜で完全に覆うことができます。板状のサンプルであれば、外表面から内部まで連続したグラフェン膜が形成しているため、硝...

メーカー・取り扱い企業：株式会社赤川硬質硝子工業所

原子吸光分析用グラファイトコンポーネント (AAS)

優れた耐熱性と高い証明制度の提供で、ラボの生産性と信頼性を飛躍的に向上…

分析プロセスの中で最も高い証拠精度を提供します。 Schunk Carbon Technology は、原子吸光分光法(AAS) 用のグラファイト製コンポーネント、チューブ、キュベット、および CVD 熱分解炭素コーティング技術の開発と製造において長年の経験があり、幅広い製品を取り揃えています。配合、混合、成形から黒鉛化、高温洗浄に至るまでの当社の開発および生産プロセスは、分析技術における...

メーカー・取り扱い企業：シュンク・カーボン・テクノロジー・ジャパン株式会社

角型ゲートバルブ/インサート L-MOTION

開閉動作をエアシリンダーで行うことで衝撃とパーティクルを低減し、超寿命…

エッチャー、CVDのような過酷なプロセスに最適。 -real L-MOTIONによるゲートシールの均一な押し付けおよび長寿命化 -サービスカバーからの簡単なメンテナンス -開または閉位置での圧空ロック機構 ...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

バタフライコントロールシステム　Series 61.2

CVDなどの高速で高度なプロセスに最適な圧力制御用バルブ

-優れた圧力制御能力 -サービス時期の自動検出（コンタミネーション検出） -サービスポート装備（PC接続用またはサービスBOX接続用） -コンタミの多いプロセスへの優れた適応性...サイズ: DN25-320mm (1“ – 12“) アクチュエータ: 搭載型コントローラボディ材質: アルミニウムまたはステンレススチール軸シール: 回転軸シール標準フランジ: I...

メーカー・取り扱い企業： VAT株式会社

ヒーター　各種設計・製造・改造

配管ヒーターもお任せください！

【各種設計・製造】 ○半導体向けCVDヒーター ○LCD向けヒーター ○ホットプレート ○基板加熱ヒーター【ヒーター改造】 ○一体化、分割化等 ○配管ヒーター【配管ヒーターの設計・施工】 ○各装置用配管ヒー...

メーカー・取り扱い企業：千代田交易株式会社

リチウム二次電池炭素系電極材の技術開発と充放電特性・高出力改善

★高いリチウム吸蔵放出容量を発揮できる炭素材料とは? ★負極材料の特…

の可能性について、各種技術データ等を踏まえた特徴と他負極材動向の中での位置づけ等を紹介し、今後の開発展望について述べさせて頂きます。【講演主旨】カーボンナノウォール(CNW)はプラズマCVD法によって基板に垂直に生成される新規ナノカーボン材料の一つである。CNWはナノグラファイトドメインから構成されている特異な構造をもつ。本講演では、CNWの生成法、および構造上の特徴について説明する...

メーカー・取り扱い企業：株式会社AndTech

[マーケットレポート］ALD装置の世界市場

ALD装置の世界市場が倍増、2031年までに83.3億米ドルに急拡大

ン別医療エネルギー従来の光学コーティング研究開発施設その他主要な企業: Kurt J. Lesker Company Optorun Co. Ltd CVD Equipment Corporation ASM International Entegris AIXTRON Picosun Arradiance Beneq ALD Nano...

メーカー・取り扱い企業： Panorama Data Insights Ltd.

[BSE]機械加工部品

機械加工部品

[事業＆製品] ・半導体DRAMとフラッシュメモリ生産に必要な設備・CVD(LPCVD、MOCVD)、Ether装備(設備)に装着される加工品・精密な穴加工; 半導体装備/ディスプレイ装備に所要される精密加工部分品 [主要納入先] SAMSUNG、 SK HYNIX...

メーカー・取り扱い企業：大韓貿易投資振興公社(KOTRA)

ダイヤモンドコーティング 4枚刃エンドミル

CFRPの仕上げ加工に抜群の威力

刃径φ4mm～φ10mm 実績のある刃具形状とCVDダイヤモンドコーティングが、驚くほどの切削品質と長いツールライフを可能にしました。...

メーカー・取り扱い企業：ハムジャパン株式会社本社

レーザーマイクロジェット加工機「MCS シリーズ」

水ジェットとレーザーのメリットを融合した高精細なレーザー加工機です！

形状】 ■金属：アルミ、銅、ステンレス、ニッケル、チタン ■高度材料：アルミナセラミックス、CBN 焼結体、焼結体ダイヤモンド、超硬合金、単結晶ダイヤモンド、CVD ダイヤモンド ■加工形状：切断、穴あけ、溝掘り、チップブレーカー、　　　　　　 3 次元加工、ダイシングなど ※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをダウンロードしてください。...

メーカー・取り扱い企業： SYNOVA JAPAN株式会社

石英ガラス加工製品・再生石英材料

最高の加工技術で作られた製品をお客様に提供します。

【加工例】 ◯洗浄装置用処理槽 ◯ウェーハ用キャリアー、ボート、チャック ◯拡散・CVD用炉芯管 ◯エッチャー/アッシャー用ベルジャー ◯各種治工具類 ●詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。 ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社インテリンク

大気圧プラズマ『Precise』シリーズ　※資料進呈中

【異種接合・接着剤レス直接接合】密着性・親水性などが向上！炭素繊維を高…

ため乾燥工程(ドライプロセス)が不要 ■目的とする接触角をコントロールできる ■活性ガス(OHラジカル)の侵入部分全て処理ができる ■種々のガスを添加することで、撥水・還元処理やエッチング、CVD装置プラズマソースとして簡便に使用できる ■装置がコンパクト(省スペース) ■親水処理では排ガス等の後処理も不要 ■処理表面への物理的ダメージがない(ダウンストリーム型) ■処理後の帯電が...

メーカー・取り扱い企業：株式会社イー・スクエア

注目の技術専門書一覧　＜化学・材料・エレクトロニクス・自動車＞

サイエンス＆テクノロジーの、注目の技術専門書一覧　＜化学・材料・エレク…

ジメント・空調技術 ■偏光板・位相差板入門 ■押出成形の基本技術と現場での実践技術 ■真意を聞き出すアンケート設計と開発・評価事例 ■最新ディスプレイ技術トレンド 2018 ■プラズマCVDにおける成膜条件の最適化 ■セルロースナノファイバーの均一分散と複合化 ■マイクロLEDの製造技術と量産化への課題・開発動向 ■超親水・親油性表面の技術 ■狙いどおりの触覚・触感をつくる技...

メーカー・取り扱い企業：サイエンス＆テクノロジー株式会社

コゲ、焼付き防止の温度管理に…シリンダー冷却パイプ交換

シリンダー内径補修時に、水冷却パイプの交換サービスも行っております！

でなく、スクリュー、スクリューヘッド、チェックリング、シートリングなどの関連部品は、厳しい摩耗条件下にありながら、耐コンタミ性、耐食性を要求されます。TiN（窒化チタン）などのPVD（物理蒸着）、CVD（化学蒸着）、ラジカル窒化との複合処理等、セラミックコーティングは、先端部品の耐摩耗性を維持しながら、大幅なコンタミ低減をはかります。何でもお気軽にお問い合わせください！ク...

メーカー・取り扱い企業：株式会社マーテック

300mmバッチクラスタ装置「Sprinter」

枚葉プロセスレベルの成膜品質をバッチ装置で！クラスタシステムにより生産…

PICOSUN Sprinter ALDシステムは、優れた膜質、短いサイクルタイム、完全自動化により、ALDの大量生産に革命をもたらします。プリカーサフローを完全に層流にすることで、不要にCVD成長させることのない完全なALD成膜を保証し、システムメンテナンスの必要性を最小限に抑えます。プリカーサの供給が最適化されているため、材料の無駄がありません。 ※詳しくはPDFダウン...

メーカー・取り扱い企業： PICOSUN JAPAN株式会社

磁性流体シール

構成要素を全てグループ企業内で、開発・製造！高性能・高信頼性のシールを…

ノサイズの磁性微粒子を液体中に分散させたコロイド液体 ■耐熱性能が高いため、周辺に冷却機構を設ける必要がない ■差動排気無し直接排気のみで極高真空に対応 ■低アウトガス性能に優れている ■CVD装置等で局部的な冷却による副生成物の発生を抑えることが期待される ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：ダイジク株式会社大阪本社

大面積への成膜加工！　ガラス…フィルム…セラミック…金属材…

大面積への成膜加工が可能！もちろん小さなものも（たくさん）搭載できます…

東邦化研株式会社では、イオンプレーティング、真空蒸着、スパッタリング、プラズマCVDによる機能性薄膜の受託加工（コーティングサービス）を行っております。金属膜や、酸化膜・炭化膜・窒化膜等の反応膜、合金膜、また、それらの積層膜等、様々な膜種に対応し、試作・開発・研究などの...

メーカー・取り扱い企業：東邦化研株式会社

ULVAC DIGEST　真空関連機器　総合カタログ

無料プレゼント中！真空ポンプやクライオポンプなどを紹介しています。【ア…

ータ ○リークディテクタ ○電源 ○膜厚・蒸着速度制御 ○真空機器構成部品 ○分子間相互作用解析装置／ソフトウェア／真空搬送系 ○スパッタリング装置 ○蒸着装置／巻取式蒸着装置 ○CVD装置／イオン注入装置 ○アッシング装置／自然酸化膜除去装置　エッチング装置／巻取式スパッタリング装置 ○研究開発用装置 ○分析装置 ○凍結真空乾燥装置 ○真空炉／真空蒸留装置／自動ヘ...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アルバック／ULVAC, Inc.

書籍【SiCパワーデバイス最新技術】

次世代パワーエレクトロニクスの大本命!

.SiCパワーデバイス用酸化膜の形成方法第12章.SiCへの金属電極の形成方法第13章.パワーデバイス用金属電極/SiCの界面反応組織と信頼性第14章.SiCパワーデバイス量産に向けたCVD技術第15章.SiCパワーデバイス超高温熱処理装置第16章.SiCパワーデバイス用SIT ～21章...

メーカー・取り扱い企業： S&T出版株式会社

厚膜成膜

薄い膜だけじゃない！厚く成膜することもできます。

材に何の膜をつけるのかによって変わってまいりますが、まずはお気軽にご相談ください★（もちろん薄い膜も得意です）東邦化研株式会社では、イオンプレーティング、真空蒸着、スパッタリング、プラズマCVDによる機能性薄膜の受託加工（コーティングサービス）を行っております。金属膜や、酸化膜・炭化膜・窒化膜等の反応膜、合金膜、また、それらの積層膜等、様々な膜種に対応し、試作・開発・研究などの少...

メーカー・取り扱い企業：東邦化研株式会社

切削工具　総合カタログ　【ダイジェスト版】

倍速切削！旋削加工や溝入れ加工、転削加工などに適した工具を掲載

【掲載内容】 ■材種(工具材料) 　・コーティング/CVD 　・コーティング/PVD 　・セラミック　他 ■TurnLine(旋削加工用工具) 　・インサート　・外径用ホルダ　・内径用ホルダ　他 ■GrooveLine(溝入れ加工用工具...

メーカー・取り扱い企業：株式会社タンガロイ

下地強化処理サービス

PVDの密着性を向上させる複合処理技術

【複合処理技術】 CVDが化学反応による“結合”に対し、PVDは衝突エネルギーによる“蒸着”であるため、密着性は一般的に劣ると言われています。 PVDの密着性を向上させるには、母材表面とコーティング皮膜硬さの差を縮める...

メーカー・取り扱い企業： SEAVAC株式会社本社

ユニフォームプラズマスパッタ装置

均一性プラズマ閉じ込めによる高品質スパッタリング

●均一なプラズマ分布 ●独立したプラズマ室 ●基板温度100℃以下の低温スパッタ(SiO2，2KW，1時間) ●基板へのプラズマ衝撃フリーにより緻密な膜の形成・組成ずれのない合金膜 ●CVDのような特殊なガスを使わず、ターゲット間を電子が高速で往復することでスパッタ粒子(ターゲット材)を活性種化。それにより効率的に反応性スパッタ膜が形成されます。 ●テストスパッタはご相談ください。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ヤシマ

半導体製造装置向けボードコンピュータ『HPUD100』シリーズ

画像処理、HMI、リアルタイムモーションコントロール用途に好適！長期安…

長寿命設計 ◆BIOSカスタマイズ対応高信頼性が求められる、以下の様な半導体製造装置への組込みに適しています。 ◆露光装置 ◆エッチング/薄膜形成装置 ◆レジスト処理装置 ◆CVD装置 ◆スパッタリング装置 ◆ダイシング装置 ◆エージング装置 ...

メーカー・取り扱い企業：萩原テクノソリューションズ株式会社事業企画本部事業推進部

固体ソースECRプラズマ成膜装置『AFTEX-8000シリーズ』

均一性に優れた多層膜を形成できる！全自動多層膜形成装置

密度ECR(Electron Cyclotron Resonance)プラズマ源を用い、プラズマ引き出し部にターゲットを配置することによって固体ソースによるECRプラズマ成膜を実現しています。 CVDのような危険なガスを用いる必要がないため排ガス処理の必要もなく、地球環境に優しい成膜技術です。【特長】 ■高絶縁膜特性 ■多層膜 ■緻密・平坦膜 ■低ダメージ ■長期安定稼働 ...

メーカー・取り扱い企業： JSWアフティ株式会社

研究用から一般工業炉まで使えるマルチヒータ

各種金属熱処理炉（焼入・焼鈍・均質・浸炭）やパイプ連続炉処理炉（ステン…

。・各種金属熱処理炉（焼入・焼鈍・均質・浸炭）・パイプ連続炉処理炉（ステンレス・銅・アルミ等）・アルミ溶解炉・保持炉・ロー付け炉・セラミック焼成炉・半導体用拡散炉・CVD炉・弱電・電子関連連続処理炉・陶磁器焼成炉・ガラス熱処理炉多くは丸線発熱体をコイル状に巻いて作ったものを使用しますが、貞徳舎では帯状発熱体を使ったヒータも製作しております。...

メーカー・取り扱い企業：貞徳舎株式会社

マイクロボール研削盤『MB-20』

単結晶ダイヤモンド工具をサブミクロン精度に！小径ボールエンドミルの決定…

PCD、CBN素材の高精度化にも最適です。【特長】 ■ボールエンドミルをサブミクロン精度に ■輪郭精度0.3マイクロ、回転振れ精度を1マイクロ以下 ■単結晶ダイヤモンド（天然、人造、CVD）の研磨が可能 ■超高硬度材料の研磨が可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社アビコ技術研究所

温度計測器『NX-3100/NX-1200シリーズ』

センサーが求めたスピード＆高精度のコンビネーション！新たな温度計測器の…

■高精度：最高±3mK(±0.003℃)で温度を計測 ■多点同時：8点(NX-3100)/2点(NX-1200) ■USBインターフェイスを介したPCによるデータ計測 ■ITS-90及びCVD温度変換演算による温度計測 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。...

メーカー・取り扱い企業：株式会社ネツシン