リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

【事例】進行波方式超音波モータの周波数応答解析

ディスク型とリング型進行波方式超音波モータの 進行波の様子及び振動体…

電子 超音波モータは、圧電素子によりステータに超音波振動を発生させ、 摩擦力を介してロータを駆動するアクチュエータです。ギアなしで 低速・高トルク、高速応答、保持トルクが大きい、静粛性や非磁性などの 特徴をもっています。光学機器、精密機器、情報機器、医療機器、 輸送用機器など様々な分野で実用化が進められています。 本解析では、ディスク型とリング型進行波方式超音波モータのステータに ...

メーカー・取り扱い企業： 株式会社エヌ・エス・ティ