リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

自動貼り合せ装置（自社開発）

[特異技術] 連続パウチ・貼り合せ・積層加工できる独自装置　（グラ…

話・スマートフォンのLCDパネル固定テープと、防塵クッションの貼り合わせ 薄肉成形部品への、テープ貼り合わせ 小型金属板金部品への、絶縁シート貼り合わせ アモルファスシート、磁性シート等、硬脆材料のパウチ加工（絶縁・保護） オンライン（ロールToロール）で　 グラファイトシート、アモルファスシート、磁性シートなどの 硬脆素材、薄膜素材を 連続パウチ・貼り合せ・...

メーカー・取り扱い企業： オーティス株式会社