リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

放射性セシウム除去（磁性焼結球体）フィルター

非磁性のセシウムを磁石に反応する物質にして、フィルターで捕獲します

非磁性のセシウムを磁石に反応する物質にして、フィルターで捕獲します 大学との共同研究で、すでに特許も取得しております。...

メーカー・取り扱い企業： 技研パーツ株式会社