リモートプラズマ・イオンビームスパッタリング装置　

PRヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印…

ヘリコンプラズマソースをイオン源として、ターゲット、基盤へのバイアス印加により高品質かつフレキシブルな成膜をする装置です。 イオン源、ターゲット、基盤それぞれに対して独立した電流制御を行います。 複数のターゲットを搭載し、切り替えての多層成膜も簡単に行えます。同時にターゲット付近、基盤付近に独立したガス供給も行えるため、酸化膜・窒化膜をはじめとした様々な多層光学薄膜も成膜可能。新たな素材探索や成膜...

メーカー・取り扱い企業： ティー・ケイ・エス株式会社

超小型リニア超音波モータ

キヤノンカメラで採用のモータがさらに小型化！高信頼＆高速応答。無通電で…

場などの分野で 小型・軽量な直動アクチュエータをお探しの方におススメです。 【特長】 ■超小型ながら高推力＆高精度を実現 ■ストロークは8mmと3mmを選択可能 ■磁界の発生が少なく、磁性の影響を受けない ※詳しくはPDF資料をご覧ください。 　リニア超音波モータの駆動原理などを紹介した資料も進呈中です。...

メーカー・取り扱い企業： キヤノンプレシジョン株式会社 北和徳事業所